无尘车间标准等级的划分

无尘车间标准等级的划分

无尘车间的等级说明

首先是无尘车间标准等级定义如下：

Class X (at Yμ m )

其中 X 是无尘车间的等级，例如100 或 10000 等等， Y 是粒径如 0.2 μm , 0.5 μm

等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该

等级的限度。以下是几个例子：

Class1 (0.1μ m, 0.2μ m , 0.5μ m)

Class 100(0.2μ m , 0.5μ m )

Class 100(0.1μ m, 0.2μ m , 0.5μ m )

在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径

即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。

第二个是规定无尘车间的状态，例如：

Class X (at Yμ，mAt)-rest

第三个是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘车间都很干净，微粒控制能力

测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：

Class 10000 (0.3μ m <= 10000)，As-built

Class 10000 (0.5μ m <=，1000)As-built

这样做的目的是确保无尘车间在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。

以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644 的等级定义。

Fed-Std-209E 洁净度定义

Class Limits

0.1 μ m0.2 μ m0.3 μ m0.5 μ m5μ m

Class Name

Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units

SI U.S.(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3) M 13509.9175.7 2.1430.90.87510.00.283--

M 1.511,24035.02657.50106 3.0035.3 1.00--M 23,50099.175721.43098.75100 2.83--

M 2.51012,4003502,65075.01,06030.035310.0--M 335,0009917,5702143,09087.51,00028.3--

M 3.5100--26,50075010,6003003,530100--M 4--75,700214030,90087510,000283--

M 4.51,000------35,3001,0002477.00 M 5------100,0002,83061817.5 M 5.510,000------353,00010,0002,47070.0 M 6------1,000,00028,3006,180175 M 6.5100,000------3,530,000100,00024,700700 M 7------10,000,000283,00061,8001,750

ISO-14644 洁净度定义

Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the ISO

considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation classification

(1).

number(N)

0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1mm5mm ISO Class 1102

ISO Class 210024104

ISO Class 3 1 000237102358

ISO Class 410 000 2 370 1 02035283

ISO Class 5100 00023 70010 200 3 52083229

ISO Class 6 1 000 000237 000102 00035 2008 320293

ISO Class 7352 00083 200 2 930

ISO Class 8 3 520 000832 00029 300

ISO Class 935 200 0008 320 000293 000 NOTE Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three

significant figures be used in determining the classification level.

Equation (1): Cn = 10NX (0.1/D)2.08其中Cn是微粒浓度，N是洁净度，D是粒径

比较以上两表我们可看出

1.209E 的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其

相关性。两制放同一表，徒然造成混淆

2.在两表中 0.5mm 几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径 0.5mm 的粒子非常具

有代表性

3.在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，ISO-14644 的范围比209E 都来的广，因此具有未来性

无尘车间等级标准划分

洁净度等级标准 ISO14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）

及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）0.1um～0.5um 范围内累计分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～0.5um）、超微粒子（＜ 0.1um）和宏粒子（＞ 5.0um）。

空气洁净度分级标准：ISO14644-1（国际标准）