扩散泵返油
全合成高真空扩散泵油
全合成高真空扩散泵油
【全合成高真空扩散泵油——产品介绍】:
全合成高真空扩散泵油是采用高度精制的合成油以高真空蒸馏装置精馏的高真空用扩散油。
加美润滑油中全合成高真空扩散泵油因为具有优越的耐热、耐氧化稳定性,蒸气压低,可以维持高真空,可以长期的使用。
【全合成高真空扩散泵油——产品优势】:
1优越的耐热、耐氧化、耐放射线、耐活性气体性等化学稳定可性,可以长期的维持真空泵的性能;
2饱和蒸汽压在常温下极低,可以维持高真空,极限真空度达4*10-9;
3快速抽真空,缩短调节运行时间;
4吸收能力高,反扩散强,使用寿命长;
5排气速度快,可以很快达到目标压力;
6使用寿命长,降低成本。
【全合成高真空扩散泵油——产品应用】:
应用于高真空蒸馏、真空冶炼、电子工业及原子能工业等要求获得高真空环境的系统润滑,以及彩色显示管、集成电路、半导体器件、光学镀膜、真空电镀等生产用高真空。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理引言:油扩散泵是一种常用的工业泵,广泛应用于石油、化工、制药等行业。
它的主要作用是将液体从低压区域抽送到高压区域,实现物质的输送。
油扩散泵的工作原理是通过油膜的扩散来实现液体的压力增加,这种原理有着较高的效率和可靠性。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理。
一、油扩散泵的基本结构油扩散泵通常由泵体、泵腔、压力传感器和控制系统等部分组成。
泵体通常采用高强度材料制成,以保证泵的密封性和耐腐蚀性。
泵腔是液体流通的主要空间,它由进口管道、出口管道和液体流动通道组成。
压力传感器用于监测泵的工作压力,以便实时调节泵的工作状态。
控制系统负责整个泵的工作过程的自动控制。
二、油扩散泵的工作原理油扩散泵的工作原理基于油膜的扩散效应。
具体来说,当泵启动时,泵腔内的液体经过进口管道进入泵腔,并在泵腔内形成液体膜。
随着液体的流动,液体膜逐渐减薄,从而形成了一个液体膜梯度。
在液体膜梯度的作用下,液体分子将向低压区域扩散,从而增加了压力。
同时,液体膜的减薄还会增大液体分子之间的相互作用力,使得液体分子更加紧密地排列在一起,从而进一步增加了压力。
三、油扩散泵的工作过程油扩散泵的工作过程可以分为吸液过程和压液过程。
在吸液过程中,液体通过进口管道进入泵腔,随后在液体流动的作用下,液体膜逐渐形成,从而实现了液体的吸取。
在压液过程中,液体膜梯度的形成使液体分子向低压区域扩散,进一步增加了压力。
同时,在液体分子之间的相互作用力的作用下,液体分子紧密排列,使得压力进一步增加。
控制系统会根据压力传感器的反馈信号,自动调节泵的工作状态,以保证泵的稳定工作。
四、油扩散泵的优点油扩散泵具有以下优点:1. 高效节能:油扩散泵采用油膜扩散的原理,工作效率高,能耗低。
油扩散泵
三 结构原理
油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、 油扩散泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、 蒸汽流导管和加热器构成
(一)油扩散泵的喷嘴结构
1 伞形喷嘴
2 喷射喷嘴 (排气口处,得到 超音速气流, 根据伯努利方 程可知此处压 力很低)
(二 ) 油扩散泵的分馏装置
采用分馏装置的作用: 采用分馏装置的作用:消除扩散泵油 中挥发性较高的轻馏分对泵的性能产 生不良影响的重要手段。 生不良影响的重要手段。
油扩散泵工作原理 四 油扩散泵工作原理
扩散泵油被泵外电炉加热产生油蒸气 油蒸气沿蒸气导管上升到管顶 油蒸气经伞形喷嘴向下喷出产生射流
接机 械泵
气体分子与射流中油分子碰撞 发生动量交换 气体分子与射流一起向下运动 油蒸汽与水冷的泵壁相遇而冷却回流 气体分子则被带到排气口附近被抽走
抽气示意图
五 油扩散泵的返流
油扩散泵
一 概述 二 油扩散泵特点 三 结构原理 四 油扩散泵的返流
扩散泵外形图
一 概述
油扩散真空泵是用来获得高真空和超高真空 的主要设备,广泛用于电子工业、化学工业、 的主要设备,广泛用于电子工业、化学工业、真 空冶炼等高科技领域。 空冶炼等高科技领域。 油扩散泵的工作压力范围10 a,其极 油扩散泵的工作压力范围10-1-10-6Pa,其极 限压力是10 Pa。 限压力是10-8Pa。 油扩散泵一定要在压力低于4ห้องสมุดไป่ตู้Pa 40Pa的时候才能 油扩散泵一定要在压力低于40Pa的时候才能 开油扩散泵,分子泵则要低于1Pa才能启动。 1Pa才能启动 开油扩散泵,分子泵则要低于1Pa才能启动。 表示方法: 括号里面代表口径mm 表示方法:K-() 注:括号里面代表口径mm
1 凝结于顶喷嘴表面上的油膜的再蒸发; 2 泵壁上凝结油膜的再蒸发和爬移; 3 喷嘴内喷出的高速油蒸汽流碰到泵壁后的 散射; 4 油蒸汽由喷嘴喷出后,由于油蒸汽分子的 热运动、碰撞、反弹,包括泵油爆沸产生 的飞溅和压力起伏引起的泵油分子直接向 高真空侧返流
扩散泵的结构示意图和工作原理
扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时, 产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出因喷嘴外面有机械泵提供的真空(1~101Pa),故油蒸气流可喷出一长段距离, 构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器,即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。
由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。
由于射流具有高流速(约200m/s),高的蒸气密度,且扩散泵油分子量大(300〜500),故能有效地带走气体分子。
气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
冷却术卡口排y3图4AA-3扩散泵的结构图I—朮冷套畀一嚥油嘴丘一导流管洱一泵壳小_曲热器油扩散泵故障处理(1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
(2)泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
(3)被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
(4)泵如暂时不用,保管期间应保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10C〜40C之间。
(5)泵在正常运行时如突然出现性能变坏,应先检查加热器是否正常。
(6)泵在长期工作后,性能会逐渐变坏,应定期检修。
a.泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理。
b.零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗,并置于80C〜100C温度下烘干或用电吹风吹干。
c.处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
关于扩散泵返油问题通过咨询和了解,结合我公司油扩散泵实际问题,关于扩散泵返油问题,得出如下几点:咨询了爱得华售后服务中心,他们认为扩散泵返油与如下问题有关:a、冷却水;b、机器保养;c、油质等。
扩散泵返油对抽气能力会有影响,与以前抽气能力作对比是否发生变化,前管压力是否与以前一致?如果确认这些都没有问题,则可判断没有返油。
油扩散泵真空系统操作注意事项
书山有路勤为径,学海无涯苦作舟
油扩散泵真空系统操作注意事项
任何油扩散泵真空系统中都会因发生故障而有可能影响设备的性能或
生产能力。
任何一只阀门的误操作都会使扩散泵泵油返流到真空室内,从而污
染真空室和产品。
前级管道上的漏孔、机械泵油液面高度不适当或前级管道阀
门的失灵都会使前级压力超过临界值。
当前级压力超过临界值时,扩散泵油会
迅速返流到真空室里去。
在许多情况下,泵液的返流是由设备发生故障或操作步骤不当造成的。
要做到这些注意事项的最简便的办法就是实现系统全自动操作。
有了自动控制
和定期维护,就可以提供完善的故障保护。
并使返流减少到只有很少一点有机
物污染的程度。
下面列出了操作人员必须熟悉的几条注意事项。
1.不能用机械泵将真空室直接抽至低于13.3Pa 的压力。
因为当压力低于13.3Pa 时会引起机械泵油蒸汽分子返流到真空室而造成污染。
假如在机械泵与真空室之间有油气捕集器,则允许机械泵抽到13.3Pa 以下压力。
2.假如在扩散泵入口与高真空阀之间装有液氮冷阱,则在抽气时不要在真空室的压力高于10-2Pa 时,给阱加入液氮,否则将使冷阱中凝结过多的水气。
冷阱加液氮前,要把冷阱贮液罐中的所有水凝液清除掉,以避免水冻结在阱内。
3.在因为需要必须将扩散泵(或油增压泵)通大气之前,应将泵油冷却到安全温度以下,防止高温下泵油的氧化。
4.要防止因前级管道上的漏水、机械泵油液面高度不适当或前级管道阀门的失灵使扩散泵的前级压力超过临界值,当前级压力超过临界值时,泵液会迅。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理
油扩散泵是一种用于输送液体或气体的机械设备,主要利用机械作用将液体或气体从低压区域输送到高压区域。
具体而言,油扩散泵的工作原理如下:
1. 首先,油扩散泵将被输送的液体或气体吸入泵体内部。
这通常通过泵体内的一个吸入阀门实现。
吸入阀门会打开并允许流体进入泵体。
2. 当吸入阀门关闭后,泵体开始进行压缩。
这会导致泵体内的压力增加,从而推动液体或气体通过泵体的排出阀门。
3. 排出阀门打开后,压缩后的液体或气体会被推送出泵体,并通过管道输送到目标区域。
通常,泵体内会有一个压力调节阀,用于控制输出压力。
4. 一旦液体或气体被排出泵体,压缩力会减小,泵体内的压力也会下降。
此时,重复上述步骤,使得液体或气体连续地从低压区域输送到高压区域。
总的来说,油扩散泵通过吸入、压缩和排出的过程,实现了液体或气体的输送。
根据具体的工作条件和需求,油扩散泵的结构和工作原理会有所差异,但核心的工作原理大体相似。
扩散泵返油范文
扩散泵返油范文扩散泵返油是指在扩散泵运行过程中,由于系统压力过高或泵内产生故障等原因,导致泵无法正常工作,此时需要进行返油处理。
返油是一个重要的操作环节,不仅能保证扩散泵的正常运行,还可以避免由于泵内油液进入高真空系统而产生的污染和损坏。
扩散泵是一种用于产生真空的设备,它通过排放高速运动的油蒸汽,将气体分子抽出从而形成真空环境。
在扩散泵运行过程中,油蒸汽会被吸附在金属表面上,从而形成较高的压力。
为了保证扩散泵的正常运行,需要定期进行返油操作,将泵内的油液排出。
1.检查系统压力:在进行返油操作之前,需要先检查系统的压力。
如果系统的压力过高,需要先将系统的压力减小至正常范围内,以免在返油过程中发生意外。
2.关闭扩散泵:在进行返油操作之前,需要先关闭扩散泵并断开其电源。
确保扩散泵完全停止运行,以免在返油过程中发生意外。
3.连接返油装置:将返油装置与扩散泵的进油口连接好,确保密封良好,以免泄漏。
同时,还需要将返油装置的出油口与油桶或集油器连接好,以便将泵内的油液收集起来。
4.打开返油阀门:在连接好返油装置后,打开返油阀门。
返油阀门一般位于扩散泵的进油口和出油口之间,通过打开返油阀门,可以让泵内的油液流入返油装置。
5.排除气体:在返油过程中,可能会有一些气体被带出泵内,为了防止气体进入高真空系统,需要通过开启排气阀门,将气体排出。
6.收集油液:在进行返油操作的同时,需要将泵内的油液收集起来。
通过连接好的出油口,将泵内的油液流入油桶或集油器中。
收集好的油液可以进行后续的处理和再利用。
7.检查返油情况:在返油操作结束后,需要检查泵内的油液是否完全流入返油装置。
如果返油不完全,需要重新进行返油操作,直到泵内的油液完全排出。
扩散泵返油是一项重要的操作,不仅能保证扩散泵的正常运行,还可以避免由于泵内油液进入高真空系统而产生的污染和损坏。
在进行返油操作时,需要注意安全,并按照操作规程进行操作,以免发生意外。
此外,还需要定期进行扩散泵的维护和保养,以确保泵的性能和使用寿命。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理引言:油扩散泵是一种常见的工业设备,主要用于将液体或气体中的油分子扩散开来,以实现泵送或抽取的目的。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理,包括其构造、工作流程和应用场景等方面的内容。
一、油扩散泵的构造油扩散泵主要由真空室、油蒸汽发生器、冷凝器、油过滤器、油泵和控制系统等部件组成。
其中,真空室是整个系统的核心部分,起到扩散真空作用的关键。
油蒸汽发生器利用加热装置将液态油转化为蒸汽状,冷凝器则将蒸汽冷凝为液态油,以保证系统的正常运行。
油过滤器用于除去杂质,保持油的纯净度。
油泵则负责将液态油送入系统,以维持其正常工作。
二、油扩散泵的工作流程1. 开始工作时,首先启动油泵,将液态油送入真空室。
2. 液态油经过油蒸汽发生器中的加热装置,被加热转化为蒸汽状态。
3. 蒸汽进入真空室后,与空气或其他气体中的油分子进行扩散反应,使油分子逐渐分散到更大的范围内。
4. 分散的油分子被吸附在真空室的壁面上或被其他部件捕获。
5. 经过一段时间的工作,蒸汽中的油分子会逐渐减少,减小真空室中油分子的浓度。
6. 为了保持系统的正常运行,需定期清理或更换油蒸汽发生器中的油,确保油的纯度和质量。
三、油扩散泵的应用场景油扩散泵广泛应用于真空冶炼、电镀、医疗设备、半导体制造等领域。
具体而言,它在真空冶炼中用于抽取高纯金属的含气体,以保证产品质量。
在电镀行业,常用于将有毒气体如铜蒸汽抽取。
在医疗设备中,油扩散泵常用于真空干燥、真空冷冻、真空包装等。
同时,油扩散泵的高效、稳定性能使其成为半导体制造过程中的重要设备。
结论:油扩散泵利用油蒸汽发生、扩散和吸附的工作原理,有效实现了液体或气体中的油分子的分散和抽取。
它的工作流程清晰简单,能够在各种应用场景下发挥重要作用。
随着工业技术的不断发展,油扩散泵将继续得到更广泛的应用和改进。
扩散泵的常见故障及排除方法
Beijing JDK Electric Equipment Business Center
扩散泵的常见故障及排除方法
故障现象产生原因排除方法
扩散泵不起作用 1.系统漏气 1.关闭泵的上部主阀检漏
2.加热器不起作用 2.检查电源是否接触良好和加热器是否烧断
3.油温不足 3.检查加热电压和功率是否符合规定
4.泵出口压强过高4.检查前级管道有无漏气,前级泵是否符合要求,工作是否正常
5.泵本身漏气5.检查前级管道与泵体焊接处,泵底与泵体焊接处是否漏气,应对二处细加检查
极限真空度低 1.系统漏气,泵本身微漏 1.查漏处,消除之
2.泵芯安装不正常 2.检查各级喷口位置和间隙是否正常
3.系统和泵内不清洁 3.检查、清洗、烘干洗涤溶剂
4.泵油变质 4.泵洗后换油
5.泵冷却不好 5.检查水流量和出水温度,保持水路畅通
6.泵油不足 6.加油至规定数量
7.泵过热7.降低加热功率并检查冷却水流量
抽速过低 1.泵油加热不足 1.检查电源电压及电炉功率是否符合规定
2.泵芯安装不正确(对金属泵而言可修复)2.检查各级喷口有无倾斜及间隙是否正常
返油率过大顶喷嘴螺帽松动,泵芯内结构不合理,加
热功率不对
消除通孔螺帽,加挡油帽改进结构,加挡油装置,重调加热功
率,加暴沸挡板,泵口加冷井等.。
扩散泵的结构示意图和工作原理
当扩散泵油被电炉加热时,产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。
因喷嘴外面有机械泵提供的真空 (1~10-1Pa),故油蒸气流可喷出一长段距离,构成一个向出气口方向运动的射流。
射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器,即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。
由进气口进入泵内的气体份子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。
由于射流具有高流速 (约200m/s),高的蒸气密度,且扩散泵油份子量大(300~500),故能有效地带走气体份子。
气体份子被带往出口处再由机械泵抽走。
(1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,住手加热后必须保证泵工作液已彻底冷却后方可关闭冷却水。
(2)泵住手工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
(3)被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
(4)泵如暂时不用,保管期间应保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀。
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10℃~40℃之间。
(5)泵在正常运行时如蓦地浮现性能变坏,应先检查加热器是否正常。
(6)泵在长期工作后,性能会逐渐变坏,应定期检修。
a. 泵油是否减少或者氧化,按相应要求加油或者更换处理。
b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丝绸蘸乙醚或者丙酮进行擦洗,并置于80℃~100℃温度下烘干或者用电吹风吹干。
c. 处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
通过咨询和了解,结合我公司油扩散泵实际问题,关于扩散泵返油问题,得出如下几点:咨询了爱得华售后服务中心,他们认为扩散泵返油与如下问题有关:a、冷却水;b、机器保养;c、油质等。
扩散泵返油对抽气能力会有影响,与以前抽气能力作对照是否发生变化,前管压力是否与以前一致?如果确认这些都没有问题,则可判断没有返油。
如果返油,在泵口也可以看到有残留油污。
至于反油率,泵一辈子产出来就定了的,我们没有这个标准,也没有检测手段。
后来咨询了湘潭宏大真空设备有限公司黄总(我们的老交道),他们也生产油扩散泵,他认为,首先检查冷却水温和流量是否正常,是否有冷阱。
扩散真空泵电镀机返油维修要点
扩散真空泵电镀机返油维修要点扩散泵返油怎么办,如果真空规管没有损坏,返油一般是不需要修理的,主要清洗真空室内扩散泵的油。
最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。
油一定要清干净是最关键的,如果室内还有油的存在,就会出现镀白膜,膜层质量很不好等现象,并不是因为电镀设备的损坏,而是因为真空室有油。
扩散泵经常返油可能是以下问题:1、冷却水路不通畅或水压不够,导致冷却能力下降,扩散泵上半部分变热,油蒸汽不能良好液化。
解决办法将扩散泵进水管接以4mpa的气源,吹出水垢,接出水管同样以4mpa吹。
若水垢结的很多并且牢固,可通入稀盐酸。
或者更换扩散泵。
2、加热温度过高,由于扩散泵加热器功率与额定功率不符,过高,造成蒸汽量大,可造成返油,更换电炉丝可解决。
3、加油量过高,加油量高容易导致蒸汽量循环缓慢,向下级压缩时滞留,造成返油,根据厂家提供信息进行加油量的控制可避免。
4、油氧化,扩散泵油氧化后,粘稠度和蒸汽流都受到影响,达不到喷射速度,自然就返到真空室内。
可讲扩散泵拆下,将泵心取出,用120#汽油进行清洗,然后打磨,将结碳和黑色氧化层打磨掉,再次用120#汽油清洗、晾干,然后安装,倒入扩散泵油或硅油,加热几次以后才可以投入工作。
防止污染工件。
5、若扩散泵服役时间超过8-10年,或在恶劣的环境下使用,可考虑更换。
提高工作效率及维护成本。
1、对工作蒸汽及其干度的研究:蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响,因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力,但所用真空泵结构设计已定型,过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。
另外,要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定,最好用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽,这样蒸汽压力就不会出现波动,真空泵性能稳定。
2、对循环冷却水要求的研究:冷却水供量不足,冷凝器会发热,气流声音变大,真空度迅速下降,甚至蒸汽会返入抽气管。
冷凝水在多级真空泵中具有举足轻重的作用,冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝,真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压,因此冷凝水的温度也要低于该压力下的饱满温度,才能保证泵体的正常作业。
真空泵常见问题
在金属油扩散泵的锅炉中,由于高温. 金属催化作用以及油爆发式沸腾,是 高分子的有裂化成低分子的碳氢化合 物及轻的气体等)。这些裂化后的氢和 碳氢化合物的蒸汽压很高,限制了扩 散泵的极限真空。
此外,机械泵油反流到扩散泵中,也 产生分裂物,使扩散泵的真空受到影 响。
4.真空泵的清洁度
清洗不干净的真空泵,污染物会留 在泵中并重复循环,影响泵极限真 空。
4.润滑油太脏或牌号 不符
抽速 1.管道通导能力下降 不足 2.前级抽速不足
排除方法
1.管路.系统检漏 2.泵漏油 3.修或换前级泵 4.换润滑油
1.换大管道 2.换前级泵
扩散泵内部水冷及外形图
扩散泵及水冷示意图
运转
1.启动
1.1 接通冷却水,确认冷却水的流量是 否达到规定要求。
1.2 启动前级泵,当扩散泵泵口压力 <=10Pa后,才能启动扩散泵加热电源。
1.3 泵加热40~80分钟后,就进入正常 工作状态。
2.停止
2.1 先关闭高真空阀门,然后切断扩散泵电 源,前级泵继续工作。
2.2 当炉体内部温度降到 <=60·的时候(用 手可以接触的状态),可以停止前级真空 泵。
注意事项
1. 像炉体内放气时,必须在泵油温 度<=60·时进行。油温度过高,会 造成泵油氧化,导致泵性能下降。
五.用扩散泵获得高真空的方法
1.选用性能好的扩散泵油 2.采用合理的烘烤技术 3增加冷阱装置,防止泵油返流
和迁移 4.减少被抽气体的反扩散
扩散泵结构示意图
滑阀泵及原理其示意图
滑阀泵故障现象及排除方法
故障现 象
真 空 度 不 高
产生 原因
排除方法
1.油被污染 2.密封装置漏气 3.油管接头漏气 4.排气阀片损坏 5.排气阀弹簧断裂 6.个封面漏气 7.泵内零件有幢击.卡 紧.变形 8.油路阻塞
真空扩散泵的工作原理
真空扩散泵的工作原理
真空扩散泵是一种用于产生高真空的泵,其工作原理基于热扩散效应和定向压缩技术。
以下是真空扩散泵的工作原理:
1. 热扩散效应:真空扩散泵内部装有一个加热器,通过加热器对扩散泵内的油进行加热。
当油被加热时,其中的分子会因为热运动而迅速扩散。
2. 油蒸气流动:加热后的油开始产生蒸气,高速分子朝着低浓度区域移动。
这些油蒸气会在扩散泵内产生一个气流,将空气或气体分子排出。
3. 定向压缩:在真空扩散泵的上部,通常还会设置一个一维析出器,利用冷却水将流出的热扩散油蒸气冷却为液体油。
这样,油蒸气会被压缩成液体状,并因重力作用而向下流动,最终回到油箱内准备再次循环使用。
4. 气体抽出:通过热扩散效应和定向压缩的作用,真空扩散泵能够将容器内的气体逐渐排出,达到产生高真空的效果。
需要注意的是,真空扩散泵在工作过程中,必须保持较高的温度以维持油的蒸发。
因此,定期更换或添加新油是保持泵的稳定工作的重要因素之一。
油扩散泵的工作原理
油扩散泵的工作原理概述油扩散泵是一种常用的设备,用于将液体或气体扩散到更大空间。
它具有高效、可靠的特点,在很多行业得到广泛应用。
本文将详细介绍油扩散泵的工作原理。
工作原理油扩散泵的工作原理涉及到两个主要过程:油蒸发和扩散。
1. 油蒸发油扩散泵中的工作液体通常是一种易挥发的油。
在泵内加热工作液体,使其达到沸点,液体开始蒸发。
蒸发的液体经过一系列构造精密的通道,形成气体状态。
2. 扩散蒸发的气体在泵内被抽出,并通过泵的排气口排出。
在油扩散泵内部,有一个扩散器。
扩散器通常由许多小孔组成,形成一个环形的结构。
蒸发的气体从扩散器的小孔中释放出来,进入到扩散器的真空空间中。
在这个过程中,气体会因浓度差异而扩散。
即使在非常低的气体压力下,气体分子也会朝着低浓度的方向扩散。
工作流程了解油扩散泵的工作流程有助于更好地理解其工作原理。
1. 启动首先,油扩散泵需要通过加热使工作液体达到蒸发温度。
启动过程中,通过控制加热功率来控制工作液体的蒸发速率。
一般来说,启动时加热功率会较高,以加快蒸发速度。
2. 吸气当工作液体开始蒸发,泵内的压力开始下降。
此时,泵会吸入外部的气体,将其排出泵外。
泵在吸气过程中需要保持一定的真空度,以获得更高的抽气效率。
3. 扩散蒸发的气体经过泵内的扩散器,向环形的扩散空间进行扩散。
扩散过程中,气体会逐渐从高浓度区域向低浓度区域扩散。
4. 排气扩散后的气体进入排气管道,在泵外被排出。
排气的速度取决于泵的抽气速度和气体的浓度。
优缺点油扩散泵具有一些独特的优势和限制。
优点•高效:油扩散泵在低压力范围内具有较高的抽气速度和较好的抽气效果。
•可靠:油扩散泵结构简单,维护方便,使用寿命长。
•稳定性好:油扩散泵适用于大部分气体和蒸气,工作稳定可靠。
缺点•污染:油扩散泵在工作过程中需要使用润滑油,可能会导致气体被污染。
因此,在一些对气体纯度要求较高的应用中,需要慎重选择。
•高成本:与其他气体泵相比,油扩散泵的成本较高。
扩散泵的原理
油扩散泵(见图7)是一种蒸气射流泵,当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后,其速度逐渐增大,压力及密度逐渐降低,射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B,在B处,工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用,而被抽气体在B 处堆积、压缩,最后被下级射流携带走,以达到逐级压缩,最后被前级泵抽走。
其工作极限真空度在10-2~10-5 Pa范围内。
应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2~10-4 Pa范围内。
性能曲线见,见图8影响扩散泵性能的因素:①扩散泵油蒸气的返流。
a. 泵壁表面油膜和油滴的蒸发。
b. 喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。
c. 一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。
d. 喷口边缘高速油蒸气流的散射。
e. 室温下油沿泵壁向表面迁移。
②气体分子的反扩散。
③扩散泵油的裂化分解(油氧化没抽速)。
④清洗不干净的真空泵,污染物留在泵内并重复循环。
针对以上原因,在使用油扩散泵过程中,增加了一些装置来防止上述现象的出现,真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。
加罗茨泵和双机械泵是为了减少扩散泵出气口的压力(≤40Pa)。
尽量减少气体分子的反扩散。
采用合格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。
油扩散泵性能曲线(图8)扩散泵的维护与保养及常见问题的处理:①扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
②扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
③被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
④扩散泵如暂时不用,保管期间应保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀。
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10℃~40℃之间。
⑤扩散泵在正常运行时如突然出现性能变坏,应先检查加热器是否正常。
⑥扩散泵在长期工作后,性能会逐渐变坏,应定期检修。
a. 泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理。
b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗,并置于80℃~100℃温度下烘干或用电吹风吹干。
扩散泵返油范文
扩散泵返油范文
一、概述
扩散泵返油是一种较新型的泵设备,具有节能、高效、低噪音、低振动、耐高温、耐腐蚀、高耐磨性等特点。
它是一种更强大的泵,可以达到
泵的最高效率。
扩散泵返油是一种密封结构,具有非常好的耐磨性能和高
抗渗性能,可以在高温、高压条件下工作,使泵可以在高压下运行,减少
能量损失。
扩散泵返油能够有效的保护环境,改善居民的生活环境。
二、原理
扩散泵返油的原理是利用气动的力量,使用气动力来推动液体的流动,实现对液体进行吸入、排出、增压、抽取等功能。
它利用气动作用力将液
体进行吸入,液体吸入后,形成压力,液体会在内部的叶轮设置处分发出,由出口轴子上的管道把液体从泵体出口抽取出来。
泵体内部的多设置的叶
轮结构可以有效的提高油泵的输出压力。
三、优点
1、扩散泵返油采用完全封闭式密封结构,有效降低泄漏率,而且具
有抗腐蚀、防爆、耐高温、耐磨性等特点;
2、扩散泵返油比其他类型泵节能高,能够减少能量消耗,节约能源,改善环境;
3、扩散泵返油可以运转的速度比其他类型的泵要快,可以实现更高
的效率;。
机械泵系统的返油原因
机械泵系统的返油原因
抽真空系统中机械泵返油现象的原因
机械泵系统的返油原因
(1)机械泵油流向高真空端的现象叫做机械泵的返油。
(2)返油现象。
经常发生在抽气管道中压力较低时,一般系统粗抽时(真空度大于130Pa)不会发生返流现象,因为此时管道中的气流为定向黏滞流。
但是随着泵入口管道中的压力降低,气体流动状态由定向黏滞流逐渐变为自由分子流,油蒸汽分子的平均自由程不断增大,使分子之间的碰撞次数不断减少,这就会使机械泵油分子跑到主泵泵腔中或通过粗抽管道跑到真空室中,污染腔室。
机械泵油本身分子量很大,但在机械泵中由于金属旋片与金属泵腔内摩擦产生局部过热,使旋片连续划破油润滑膜,导致泵油发生单纯性的热分解或热金属作触媒的分解,油分解成碎片。
油扩散泵返油率的控制分析
书山有路勤为径,学海无涯苦作舟油扩散泵返油率的控制分析,它可使返油率减少50%左右,而对泵的抽速却无显著影响。
挡油帽用水冷却比不用水冷却效果要好。
假如在顶部喷嘴的上方,紧贴泵壁加一挡油环,则效果更佳,最多时返油率可减少达20%。
结构如3.2、障板由于油蒸汽从泵入口处向被抽容器中返流,因此在泵入口处可装上阻拦油蒸汽返流的障板,来减少油的返流。
障板通常用水冷却。
高真空情况下,蒸汽分子是直线运动的,因此障板就是不能使蒸汽分子直线穿过。
当油蒸汽向高真空端运动时,就必然要和障板相碰撞,使油蒸汽分子或者凝结在障板上,或者减弱它的漫射能力。
扩散泵正常工作中油蒸汽分子先撞导管壁被吸留,吸留的分子蒸发;在靠近真空容器的泵壁再次被吸留,再蒸发;已经有两次碰撞的蒸汽分子继续向真空容器中扩散,这时就撞击到障板上,从而阻止油蒸汽的返流。
4、实例分析以我公司目前使用的卧式板材真空退火炉为例。
卧式板材真空退火炉真空系统由两套泵组并联,主泵为两台K-800T 的油扩散泵,该设备在使用过程中故障率很高,不能正常使用。
现象:高真空度达不到使用要求,真空度为8.9 乘以10-2 Pa;成品退火料被污染(表面发黑);扩散泵耗油较明显,每炉料将有约1.5 L~2 L 的泵油返回炉体;判断为返油严重。
分析原因:根据扩散泵返油的主要因素来逐一排除,分析泵返油的原因。
①扩散泵壁冷却能力的检测,室温27 ℃,冷却水压0.3 MPa;冷却水畅通;冷却水进水温度25 ℃,出口温度为30~35 ℃;泵壁温度30 ℃;冷却能力达到要求。
②测量加热功率符合标准;油温实时监测200~220 ℃(扩散泵油温要求范。
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扩散泵返油
扩散泵冷却水水温偏高,易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上,这是导致脱膜的生要因素之一。
定期观察扩散泵冷却水水温,做好记录,尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候,更应如此。
扩散泵的工作原理:它的原理是将扩散泵油加热至沸腾,气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射,扩散泵的四周有冷却水管或者水套,将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。
如果上半部分热的话说明冷却不好,会向真空室返油,那就是不正常的现象了,说明冷却不好,原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。
所以说您的扩散泵工作时候上半部分不热是属于正常现象,请放心使用
也有可能是功率太大或者加的油过量,都可能导致返油。
什么型号的泵啊,哪个单位产的,和生产商问一下电炉丝功率和加油量,要不买一根新的,安上试试,如果还返油给我留言。
日本新科隆的泵。
一直在用都还可以,最近才出现的问题。
加热丝也确认过没有问题,油量也是一直在用没有加过,应该不是油量问题。
我还是认为冷却不好。
还有其它可能吗?
你吧,用高压气分别从进水口和出水口充气,确认一下是否有堵塞的现象,也能清理一下水路的杂物什么的,如果是水路脏的话,以后还是准备一台循环水,用好一点的水,冷却就基本上不会出问题了。
感谢你的关注。
冷却水管道我已经清洁过了的。
我想会不会是油劣化掉了呢?
不客气,一般来讲跟油氧化没多大关系,油如果氧化了会导致高真空上不去,应该不会造成返油。
你换油试试,也没准出现这样少见的情况。
我们是两个扩散泵。
因为之前扩散1主阀上有油,所以我一直怀疑是扩散1的问题,前天有把喷油塔和主阀清洁过,还是没有改善。
今天把扩散1的油换了,的确油色比扩散2的油色要黄得多。
顺便我也把扩散2的主阀打开来清洁一下,结果发现扩散2主阀上有明显的油印。
我想应该是扩散2在反油,今天给扩散2多加了一组水冷。
晚上试一下,明天看结果。
你是专搞真空镀膜设备的还是其它都有在搞?
你初步认为是扩散泵返油造成,那扩散泵的护网上肯定是油湖湖的,这是定返油的必定的条件!
这个问题应该如果解决?第一,最简单易行的清理是用30%的盐酸清洗扩散泵冷却水管道.让冷却水水温达到3度左右.
第二,较麻烦是对扩散泵进行一级保养,拆洗扩散泵,并清理扩散泵冷却管路,扩散泵一级保养,一般是一年一次.
第三,是把扩散泵前的护网换成冷凝网,对提高真空度有好处,但较麻烦,不推荐用此法.
扩散泵返油特征比较明显,容易判断:
一是观察该黑点特征,一般为圆形,大小不一,基本在产品正面,擦拭即掉;
二是观察该黑点分布特征,一般在高阀进气口附近同一高度分布,如果产品离出口比较远时也可能会广些,背面基本不会有;
三是出现返油时,产品出炉时应该能闻到或轻或重的油焦味。
建议两点:
一是检查扩散泵前级压力,在抽气时是否过高(不应高于10帕),如偏高须检查前级机组性能;
二是检查扩散泵泵体温度,在中部及以上应当是凉的,如果暖甚至热时,需要检查冷却水的效果,下调温控系统温度或增加温控系统。
如果真空规管没有损坏,返油一般是不需要修理的,主要清洗真空室内扩散泵的油。
最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。
油一定要清干净是最关键的,如果室内还有油的存在,就会出现镀白膜,膜层质量很不好,等现象,并不是因为电镀机坏,而是因为真空室有油。