键合实用工艺全参数培训
键合工艺参数培训
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- Default = 0.5 mils/ms
Min = 0.2 mils/ms
在 TIP 范围内的速度。
Max = 3.0 mils/ms
Parameter
USG Mode 1
USG Power 1 USG Volts 1 USG Current 1
-
Default /
Allowable Range
Default / Allowable Range Default = 10 % Min = 0 % Max = 75 % Default = 0 % Min = 0 % Max = 25 % Default = 1.5 ms Min = 1.5 ms Max = 3.0 ms Default = 125 % Min = 100 % Max = 200 %
Function Function
Default = 0 ms Min = 0 ms Max = 10 ms
压力开始到超声开始的延时时间,主要针对压得不十分 理想的。
Default = 0 % Min = 0 % Max = 100 %
Default / Allowable Range Default = 0 % Min = 0 % Max = 100 % Default = 100 % Min = 0 % Max = 200 % Default = Ramp Min = Ramp Max = Burst
Function
焊头脱离挤压金球开始往上升到第一个转折点(kink height)起动速度的大小。
安置超声波,在劈刀下降过程中的一个超声的能量输 出,目的是协助金球落在劈刀中心,参考值为:50100mA
1.1.2 Second Bond Parameters
金丝键合主要工艺参数技术研究
![金丝键合主要工艺参数技术研究](https://img.taocdn.com/s3/m/bb9a578d7f1922791688e8d3.png)
金丝键合主要工艺参数技术研究作者:刘文来源:《科学与财富》2018年第22期摘要:介绍了金丝键合技术,阐述了影响金丝键合强度的主要工艺参数,采用超声热压技术和楔形键合方式对25μm的金丝进行键合正交试验。
通过对测试结果进行极差分析,获得了超声功率、超声时间和热台温度的最佳匹配组合关系及影响键合强度的主次因素顺序关系。
关键词:金丝键合工艺参数正交试验1引言微组装技术因成本低廉、实现简单、热膨胀系数小、适用电路封装形式多样化等优点[1],在现代通信系统中发挥着至关重要的作用。
金丝键合是微组装技术中的关键工艺,其键合质量好坏直接影响产品可靠性和电性能稳定性。
衡量金丝键合质量好坏的主要指标为键合强度,而键合强度的期望值不能通过单独改变某个工艺参数即可实现,需对某些主要工艺参数进行调节,才能达到最佳效果。
2金丝键合定义金丝键合是多芯片微波组件中常用的工艺,它是指将延展性和导电性很好的极细金丝压焊在基板-基板、基板-芯片或芯片-芯片表面上,实现电气特征相互关联的一种技术。
根据键合能量的不同,金丝键合分为热压键合、超声键合和超声热压键合[2][3]。
根据键合方式和劈刀外形、材料的不同,金丝键合又分为球形键合和楔形键合[3]。
3 键合强度影响因素影响金丝键合强度的工艺参数有很多,从设备方面考虑,它与超声功率、超声时间、热台温度、键合压力、劈刀温度和劈刀安装长度等因素有关;从被键合表面上考虑,它与被键合面的材料特性、厚度、平整度、清洁度和处理工艺等因素有关[1]。
根据以往经验,影响键合强度最主要工艺参数为:超声功率、超声时间和热台温度。
3.1超声功率超声是指振动频率大于1200Hz的振动波。
适当的超声功率是金丝键合具有可靠性的前提,能够产生足够强度的、稳定的键合。
过小的超声功率会导致金丝翘起,无法焊接或只微焊接于焊点上,而过大的功率会导致焊点发生形变,甚至金丝断裂或焊盘破裂[3]。
3.2超声时间超声时间是指在劈刀上施加超声功率和键合压力的作用时间,目的是控制超声能量。
手动键合专业技能培训大纲
![手动键合专业技能培训大纲](https://img.taocdn.com/s3/m/553b8e7ba9956bec0975f46527d3240c8447a1ad.png)
手动键合专业技能培训大纲技能培训大纲:手动键合专业技能
1. 基础知识介绍:
a. 手动键合的定义和原理
b. 手动键合的应用领域
c. 手动键合的基本要求和技巧
2. 设备和工具的介绍:
a. 键合机的类型和功能
b. 键合针和焊线的选择
c. 其他辅助工具(镊子、倒钳等)的使用
3. 准备工作:
a. 工作环境的搭建和准备
b. 检查设备和工具的工作状态
c. 清洁和维护设备的基本知识
4. 键合操作的基本步骤:
a. 准备焊线和待处理的器件
b. 将焊线固定在器件上
c. 启动键合机并选择适当的参数
d. 进行焊接操作
e. 检查焊接结果并进行必要的修正
5. 常见问题和故障排除:
a. 焊接时可能遇到的问题和原因分析
b. 常见故障的排查方法和解决方案
c. 如何预防常见问题和故障的发生
6. 键合技巧和进阶操作:
a. 不同器件的键合技巧和注意事项
b. 高难度键合操作的技巧和经验分享
c. 键合工艺的优化和改进方法
7. 安全操作和注意事项:
a. 使用键合机的安全规范和操作要点
b. 避免操作中可能遇到的危险和损伤
c. 紧急情况下的应急处理和自救方法
8. 实践操作和案例分析:
a. 进行实际的键合操作练习
b. 分析实际案例的键合过程和结果
c. 根据实践操作和案例分析问题和讨论
9. 培训总结和评估:
a. 培训内容的总结和回顾
b. 对培训效果进行评估和反馈
c. 提供进一步学习和改进的建议。
《键合技能培训》课件
![《键合技能培训》课件](https://img.taocdn.com/s3/m/9a8ed97d86c24028915f804d2b160b4e767f8102.png)
优化工艺参数
通过不断试验和调整,找到最佳的工艺参数 组合,提高键合质量和效率。
建立质量管理体系
制定完善的质量管理体系和规章制度,确保 产品质量得到有效控制和管理。
05
CATALOGUE
键合技术的应用案例
集成电路封装中的键合应用
总结词
集成电路封装中,键合技术主要用于连接芯片与引线框架, 实现电气连接和机械固定。
或分子结合在一起。
键合的物理基础
总结词
键合的物理基础主要包括量子力学和分子运动论。
详细描述
量子力学是描述微观粒子运动和相互作用的科学,它解释了原子和分子的结构 和性质。分子运动论则从宏观角度解释了物质的热性质和分子运动。这些理论 为理解键合的物理基础提供了重要的理论基础。
键合的化学基础
总结词
键合的化学基础主要包括共价键、离子键和金属键等。
VS
详细描述
在传感器封装中,传感器芯片与基板之间 的连接是关键环节。键合技术通过将传感 器芯片与基板上的电极进行连接,实现信 号传输和机械固定。常用的键合技术包括 超声键合、热压键合和球状键合等。
06
CATALOGUE
总结与展望
键合技术的总结
键合技术的基本原理
详细介绍了键合技术的基本原理,包括键合的概念、键合的分类 以及键合的物理机制等。
键合技术广泛应用于电子封装 、微电子器件制造、光电子器 件制造等领域。
键合技术的应用领域
01芯片与基板连接在一 起,实现芯片与外部电路 的互连。
微电子器件制造
在微电子器件制造中,键 合技术用于将不同材料连 接在一起,形成复杂的电 路和结构。
光电子器件制造
无损检测
利用超声波、X射线等技术,在不破 坏产品的情况下进行内部结构和键合 质量的检测。
键合培训资料
![键合培训资料](https://img.taocdn.com/s3/m/6bab020cfad6195f312ba66b.png)
pad
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Formation of a loop
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焊线工艺标准
拉力测试的五个关键点
图一:第一焊点松脱, 晶片接垫上无金线
图二:第一焊点球颈断, 晶片接垫上有金线附着
图三:第二焊点松脱, 晶片接垫上无金线
图四:第二焊点球颈断, 第二焊点上有金线附着
图五:金线中间拉力不足
焊线检查项目图示
C B A D E
金线力测试在 C 点 金球推力测试在 A B点之间
金球与铝垫的焊接模式
振盪 (POWER)
氧化鋁
壓力 (FORCE) 水氣及雜質 玻璃層 金球
純鋁
二氧化矽層
矽層 溫度 溫度
鋁墊SEM側視圖
ASM 焊 线 机
控制系统屏幕
影像辨别系统屏幕
送线系统 推料装置 打火杆烧球焊接处
料盒升降台输出端 料盒升降台输入端 功能键盘
电源开关
轨迹球
控制电路板
急停按钮
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Formation of a second bond
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heat
lead
Formation of a second bond
键合机工艺指导
![键合机工艺指导](https://img.taocdn.com/s3/m/ebb4b1ea551810a6f52486be.png)
西安爱尔微电子有限公司西安市高新开发区新型工业园信息大道20号XIAN IR Micro-electronics Co., Ltd20 xinxi Road, New Industrial Park XianTel:(029) 88887000 Fax:(029) 88887200工程更改通知(ECN )ENGINEERING CHANGE NOTICE 编号NO: 856 工程更改建编号ECP NO: 907 签发人Sign & issue (文件控制):王晓英 生效日期 :2005/8/29通知 Notice以下更改已被批准分布,更改前后产品处置及相关的工艺和培训均已妥善安排。
Bellows change has already approved, concerning product & process & training before and after change has already arrangement.涉及范围 产品 Prod: TO-247/TO-220 生产线 Line: TO-247/TO-220 Scope 设备 Equip: WB360,M20 其它 Others: 工艺 Process: TO-247/TO-220 文件 更改文件号 Changed document code : AWI 1040C 第27版 Document 更改文件名称: TO-247/TO-220压焊工序工艺说明 :Changed document titleChange time:更改内容 Change Contain更改前 Before change:更改后 After Change : 增加6.8、7.3.17节,更新7.3.7、7.4.1、7.4.2、8.2节内容。
受控文件Controlled非受控文件Uncontrolled发放部门 受控号 发放部门 受控号发放部门生产部 Issue 压焊工序Dept.第1页 共57页 Page1of 57文件名称:压焊工序工艺说明目录1.0 目的2.0 参考文件3.0 压焊工艺流程图4.0 设备、工具和材料5.0 安全操作说明6.0 简要操作程序7.0 M20 压焊台操作说明8.0 360 CHD 压焊台操作说明9.0 焊点形状优劣图示10.0 工艺失控修正措施流程图11.0 附录1. 压焊工艺中出现凹坑2. 压焊工艺中出现劈刀划痕3. M20 压焊工艺焊线高一致性问题4. 360CHD压焊程序编制方法5. 360CHD 毛细管的安装调节6. 360CHD更换劈刀操作7. 360CHD更换切刀操作程序8. 压焊引线夹子维护说明9. 压焊设备停产流程图10.压焊设备恢复生产流程图11.WB360压焊铝丝更换程序12.拉力剪力测试OCAP13.拉力剪力异常点OCAP14.劈刀、切刀、毛细管外观检验标准12.0 版本更改记录文件名称:压焊工序工艺说明1.0 目的运用超声压焊技术,将管芯与引线管脚连接。
金丝键合工艺培训
![金丝键合工艺培训](https://img.taocdn.com/s3/m/d01b0a3d43323968011c92ff.png)
2. 二焊异常&问题:
二焊焊不上&二焊翘起 二焊焊偏 锁球&植球不良 有尾丝&尾丝过长
3. 线弧异常&问题:
金丝坍塌 金丝短路(碰线) 金丝倒伏
4. 其它:
断线 颈部受损 金线受损
武汉昱升光器件有限公司
WuhanYushengOpticalDevicesCo.,Ltd
依照焊线图将已经黏附在导线架(Leadfream) 上的晶粒(Die)焊垫(Bond Pad)焊上金线以 便导线架外脚与内脚能够连接,使晶粒所设计的 功能能够正常的输出。
金丝(gold wire)
一焊 (Pad)
二焊 (Lead)
武汉昱升光器件有限公司
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WuhanYushengOpticalDevicesCo.,Ltd
Chamfer径的影响
武汉昱升光器件有限公司
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Chamfer Angle的影响
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线弧的形成
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lead
武汉昱升光器件有限公司
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线弧的形成
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武汉昱升光器件有限公司
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线弧的形成
pad
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武汉昱升光器件有限公司
引线键合详解PPT学习教案
![引线键合详解PPT学习教案](https://img.taocdn.com/s3/m/001f20c5cfc789eb162dc80a.png)
会计学
1
第一章 概论
1.1 简介 1.2 工艺方法
1.2.1 超声焊接 1.2.2 热压焊接 1.2.3 热声焊接 1.3 特点
第二章 线材
2.1 纯金属 2.1.1 金丝 2.1.2 铝丝 2.1.3 铜丝
2.2 金属冶金系 2.2.1 Au-Au系 2.2.2 Au-Al 系 2.2.3 Au-Cu系 2.2.4 Au-Ag 系 2.2.5 Al-Al 系 2.2.6 Al-Ag 系 2.2.7 Al-Ni 系 2.2.8 Cu-Al 系
第10页/共26页
第三章
3.1键合方式
球形键合 ➢一般弧度高度是150 um 。 ➢弧度长度要小于100倍的丝线直径。 ➢键合头尺寸不要超过焊盘尺寸的3/4。 一般是 丝线直 径的2.5到5倍,取决于 劈刀几 何现状 和运动 方向。 ➢球尺寸一般是丝线直径的2到3倍,细间 距约1.5倍,大 间距为3 到4倍。 楔形键合 ➢即使键合点只大于丝线2-3 mm 也可形成牢固的键合。 ➢焊盘尺寸必须支持长的键合点和尾端 。 ➢焊盘长轴必须在丝线的走向方向。 ➢焊盘间距因该适合于固定的键合间距 。
第一章概论11简介12工艺方法121超声焊接122热压焊接123热声焊接13特点第二章线材21纯金属211金丝212铝丝213铜丝22金属冶金系221auau系222aual223aucu系224auag225alal226alag227alni228cual23材料选择231引线232焊盘材料24选材要求33键合工具331楔形劈刀332毛细管劈刀34键合点设计341输入因素35键合参数36键合评价37细间距能力比较38弧度走线方向第三章键合31键合方式311球形键合312楔形键合313比较32键合设备第四章失效41键合失效411焊盘清洁度4111卤化物4112镀层涂覆时的污染41134114多种有机物污染4115其他导致腐蚀或者破4117人为因素412焊盘产生弹坑413键合点开裂和翘起4131开裂原因414键合点尾部不一致415键合点剥离416引线框架腐蚀42可靠性失效421imc的形成4211原因4212空洞形422丝线弯曲疲劳423键合点翘起424键合点腐蚀425金属迁移426振动疲劳第五章清洗51概述52清洗方法521等离子体清洗522紫外臭氧清洗第六章应用61范围62实例第七章未来发展第一章11简介用金属丝将芯片的io端与对应的封装引脚或者基板上布线焊区互连固相焊接过程采用加热加压和超声能破坏表面氧化层和污染产生塑性变形界面亲密接触产生电子共享和原子扩散形成焊点键合区的焊盘金属一般为al或者au等金属细丝是直径为几十到几百微米的aual或者sial丝
铝线键合工艺员培训课件
![铝线键合工艺员培训课件](https://img.taocdn.com/s3/m/eb5379257e21af45b307a864.png)
裸铜
• 裸铜框架常用于 粗铝线键合,在 没有严重氧化发 生的情况下,其 键合能力和镀镍 层键合相差无几。 但即使是很小的 氧化,Al-Cu结 合都要比 Al-Ni 结合弱得多。
9
铝线材质介绍
高纯铝丝导电性好,耐蚀性优,同金丝相比,Al 丝价格便宜、与铝膜不产生金属间化合物,铝丝 引线键合是晶体管、集成电路和超大规模电路组装中广泛使用的连接方法之一。 为了提高铝线的可靠性和信赖性,一般加入0.5%-1%的镁、镍;
于超声焊;无走线方向限制;自动焊时速 对界面污染较敏感;芯片碎裂的可能性 度很快: Au-Au 键合可靠性好;芯片碎裂 大于热压焊;需要设置的参 数最多
的可能性小于超声焊
超声波键合
对污染敏感度最低:室温键合,可靠性高: 自动键合时速度慢于热声焊,两键合
Al、Au、 Cu
焊点间距小(可小于50um);铝铝键合点 非常牢固:产率最高,废品率可小于 20ppm;可进行粗铝丝键合:弧高可小于
晶圆
磨划
装片
焊线
包封
电镀
切筋
测试
成品
半导体封装内部芯片和外部管脚连接,起 着确立芯片和外部的电气连接作用,是整 个封装过程中的关键所在。
引线键合以工艺实现简单、成本低廉、适用多种封装形 式而在连接方式中占主导地位, 目前所有封装管脚的 90%以上采用引线键合连接
3
半导体封装介绍
键合方法 键合材料
优点
点方向要一致:芯片碎裂可能性最大: 室温下Au、Cu 键合需特殊劈刀;键合 参数较多(3 个); Al-Ag 键合可靠性低:
75um
室温下金丝键合性能差
4
铝线键合介绍
铝线键合简介 铅锡装片介绍 铝线材质介绍 键合设备介绍 主要辅助夹具
激光键合的有限元仿真及工艺参数优化
![激光键合的有限元仿真及工艺参数优化](https://img.taocdn.com/s3/m/acb29a0016fc700abb68fc8e.png)
璃 的 外 表 面 !空 气 对 流 .键 合 片 表 面 的 热 辐 射 和 键 合
设备的热传导都会 使 键 合 片 散 发 一 部 分 热 量!但 由
于热辐射 的 热 量 比 键 合 片 吸 收 的 热 量 小 几 个 数 量
级'K#(!因此可 忽 略 热 辐 射 对 键 合 片 温 度 场 的 影 响9
5HE8<K! 3HA<>IH8AG<>RH8C>7C<>AI<B7JBI8I@7;H;D=FY
><T%%O$Q8HBB
参数
硅
=F><T%%O$ 玻 璃
热 导 率*"W*"R)f##
"$!^MM]K$!7[K^!!'K$(
K^$N![M^OLM]K$[K%7g L^##L]K$[#'KK(
比 热 容*",*"XQ)f## #OKg!O%L]K$[O7'K$(
第 !" 卷 ! 第 # 期 !$$% 年 # 月
半!导!体!学!报
&'()*+*,-./)01 -2+*3(&-)4.&5-/+
6789!"!)79# ,:;<!!$$%
激光键合的有限元仿真及工艺参数优化"
马子文!汤自荣!廖广兰P!史铁林!聂!磊!周!平
"华中科技大学机械科学与工程学院 武汉光电国家实验室!武汉!OL$$%O#
摘要在硅*玻璃激光键合中!温度场的分布是影响晶片能否键合的关键因素9本 文 利 用 有 限 元 法 建 立 了 移 动 高 斯 热源作用下硅*玻璃激光键合的三维温度场数值分析模型9运用该模型计算了 不 同 的 工 艺 参 数 条 件 下 硅*玻 璃 的 温 度场分布!并由此得出键合线宽9然后通过漏选试验确定影响激光键合的主要工 艺 参 数 有 激 光 功 率.激 光 扫 描 速 度 及键合初始温度9最后通过对仿真结果进行回归分析!得到激光键合工艺的最优 参 数!为 进 一 步 研 究 激 光 键 合 工 艺 提供了理论依据9
【资料】金丝键合工艺培训汇编
![【资料】金丝键合工艺培训汇编](https://img.taocdn.com/s3/m/e792beceb84ae45c3a358c23.png)
金丝(gold wire)
一焊 (Pad)
二焊 (Lead)
武汉昱升光器件有限公司
WuhanYushengOpticalDevicesCo.,Ltd
3 键合耗材
1. 金丝 (gold wire)
1)金丝按直径分类:
30um&25um&18um 2)金丝按供应商分类:
国产金丝&进口金丝 3)金丝主要特性:
a . 纯度 b . 拉断力 (BL) c . 延展率(EL)
2.劈刀(capillary)
1)劈刀是根据产品的实际情况而选取 2)劈刀选取的好坏直接决定焊线(一 焊&二焊)的外观和产品性能 3)劈刀都是有使用寿命(500k) 4)劈刀的主要尺寸
一焊的形成
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lead
武汉昱升光器件有限公司
WuhanYushengOpticalDevicesCo.,Ltd
PRESSURE
一焊的形成
Ultra Sonic Vibration
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heat
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武汉昱升光器件有限公司
WuhanYushengOpticalDevicesCo.,Ltd
PRESSURE
线弧的形成
反向高度形成
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武汉昱升光器件有限公司
WuhanYushengOpticalDevicesCo.,Ltd
线弧的形成
pad
lead
武汉昱升光器件有限公司
WuhanYushengOpticalDevicesCo.,Ltd
键合工艺参数培训
![键合工艺参数培训](https://img.taocdn.com/s3/m/cebcf0832dc58bd63186bceb19e8b8f67d1cef4d.png)
键合工艺参数培训什么是键合工艺参数键合工艺参数是表征联接工艺稳定性和质量可控性的一组指标,对于保证键合过程的稳定性和可靠性非常重要。
合适的键合工艺参数能够保证组件的联接质量,提高产品的可靠性和性能。
常见的键合工艺参数包括:•温度•压力•时间•光照强度(对于光学键合)键合工艺参数的影响因素键合工艺参数的选择需要考虑多种因素,包括材料特性、键合设备的性能、产品的要求等。
材料特性不同材料的键合温度和压力要求有所不同。
材料的熔点是确定键合温度的最重要指标之一。
在键合过程中,如果温度过高,可能会引起材料烧毁或变形;如果温度过低,则无法实现材料的熔合。
设备性能键合设备的性能对工艺参数的选择也有一定影响。
低性能的设备可能无法提供足够的温度和压力,从而导致键合质量下降。
因此,在选择键合设备时,需要考虑设备的温度和压力范围,以及稳定性和精确度等指标。
产品要求不同产品对键合质量的要求也有所不同。
一些产品对键合强度和电气性能有较高的要求,而另一些产品则对键合温度要求较高。
因此,在确定键合工艺参数时,需要根据产品的特性和要求进行综合考虑。
键合工艺参数的调试方法初始参数选择在键合过程中,初始参数的选择非常关键。
通常可以通过以下几种方法进行初始参数的选择:•参考类似产品的参数:如果已经有类似产品的键合工艺参数数据,可以作为参考进行选择。
然而,由于不同产品的特性和要求不同,此方法仅作为初步参考,需要结合实际情况进行调整。
•试验参数法:通过试验的方式来确定初始参数。
首先,选择一个较小的参数范围进行试验,然后逐步调整参数,观察键合质量和性能指标的变化,最终确定最佳参数。
•基于经验的方法:根据工艺师的经验和实际生产情况,选择初始参数。
这种方法适用于工艺师有丰富经验的情况,但需要注意经验的可复制性和对实际产品特点的充分了解。
参数调优在确定初始参数之后,需要进行参数调优,以获得最佳的键合质量和性能。
调优的方法包括:•单因素实验法:保持其他参数不变,逐步调整一个参数,观察键合质量和性能指标的变化。
金丝键合工艺培训
![金丝键合工艺培训](https://img.taocdn.com/s3/m/29d9b5b6c9d376eeaeaad1f34693daef5ff71366.png)
06
金丝键合工艺发展趋势 与展望
新型金丝材料的研究与应用
总结词
新型金丝材料具有更高的强度、耐腐蚀性和导电性,能够满足高精度、高性能电子产品的需求。
详细描述
随着科技的不断发展,新型金丝材料的研究和应用成为金丝键合工艺的重要发展方向。新型金丝材料 具有更高的强度、耐腐蚀性和导电性,能够满足高精度、高性能电子产品的需求。这些新材料的应用 将有助于提高焊接质量和可靠性,延长产品的使用寿命。
详细描述
基板材料应具备较好的导热性、导电性和耐腐蚀性,常用的基板材料有陶瓷、玻璃、硅和金属等。选 择合适的基板材料能够提高键合点的机械强度、电气性能和热稳定性,降低生产成本和维护成本。
焊接工具的选择
总结词
焊接工具的选择对于金丝键合工艺的实 施效果具有重要影响。
VS
详细描述
焊接工具应具备高效、稳定和可靠的特点 ,常用的焊接工具包括焊台、焊嘴、助焊 剂等。选择合适的焊接工具能够提高焊接 效率、降低能耗和减少不良率,同时保证 焊接质量的一致性和稳定性。
金丝键合工艺培训
目录
• 金丝键合工艺简介 • 金丝键合工艺流程 • 金丝键合材料与工具 • 金丝键合技术要点 • 金丝键合常见问题与解决方案 • 金丝键合工艺发展趋势与展望
01
金丝键合工艺简介
金丝键合的定义
总结词
金丝键合是一种利用金属丝进行连接的微电子封装技术。
详细描述
金丝键合是一种在微电子封装中广泛应用的连接技术,主要利用金属丝(通常 是金丝)进行连接,实现芯片与芯片、芯片与线路板之间的电气连接。
05
金丝键合常见问题与解 决方案
焊接不牢问题
总结词
焊接不牢是金丝键合过程中常见的问题,可能导致连接 失效。
(整理)键合工艺参数培训-基础篇
![(整理)键合工艺参数培训-基础篇](https://img.taocdn.com/s3/m/e566266777232f60ddcca143.png)
Default = 125 % Min = 100 % Max = 200 %
设定劈刀检测接触表面的方式 VMode 是以 Z 轴的下降速度来检测的 PMode 是以 Z 轴下降的位置来检测的
精品文档
精品文档
Parameter
Contact Threshold 1
Force Profiling 1
通过调整电流值改变超声大小,建议使用。
精品文档
精品文档
Parameter
USG Bond Time 1
Force
USG
g
6
Die
Force 1
g
Bond Force1
Die
Default / Allowable Range Default = 7 ms
Min = 0 ms
1ST 压焊时间
Max = 3980 ms
精品文档
精品文档 Parameter
Initial Force 1
Default / Allowable Range Default = 65 grams
Min = 0 grams
Function
第一点压力应用前,在检测到劈刀碰到表面时就开始应 用
Max = 350 grams
精品文档
精品文档
Initial Force Time 1
Function
精品文档
精品文档 Parameter
USG Current 2
USG Bond Time 2
USG
Force 2
Force
12
Lead
Default / Allowable Range Default = 100 mA Min = 0 mA Max = 250 mA Default = 7 ms Min = 0 ms Max = 3980 ms
键合工艺参数培训
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第一点初始压力的作用时间, bondtime 为基准的比值
Table 的高频震动,正常的超声 输出,一般不建议使用
一个 micron 相当与 2.4ms
Functi
焊头脱离挤压金球开始往上升 inkheight)起动速度的大小。 安置超声波,在劈刀下降过程 出,目的是协助金球落在劈刀 100mA
仅供个人学习参考
0(VAY)使用设定相位来调整 1(CIRCLE)对所有的金线都 2(INLINE)延线的方向研磨 WithUSG 研磨是与超声输出同 PreUSG 研磨是在超声输出前已 第二点是以微米为单位的平台
研磨的次数
0degrees 与所有的线弧成垂直 90degrees 对正交的垂直研磨 180degrees 对正交的垂直研磨 磨
尾丝是以微米为单位的平台研
0 与线的方向一致 1 与线的方向正交垂直 2 圆形的 研磨次数
研磨频率
0 研磨并没有接触焊点表面 Ta 1 研磨时接触焊点表面 根据送线方向的一个补偿距离
仅供个人学习参考
TAILSCRUBUSG TAILSCRUBFORCE TAILSCRUBHEIGHT
1.2LoopingParameters
Default/ AllowableRange Default=70% Min=10% Max=90%
Default=off Min=off Max=on
Default/ AllowableRange Default=65grams Min=0grams Max=350grams
超声波前置输出比例,此超声
一、键合过程参数
1.1.1FirstBondParameters
Parameter
Tip1
CV1 USGMode1
BJ820自动金丝键合工艺参数优化
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BJ820自动金丝键合工艺参数优化作者:***来源:《科学与财富》2020年第19期摘要:本文介绍了BJ820自動金丝键合机的特点,阐述了影响自动键合金丝质量和可靠性的主要工艺参数,包含金丝形变量、超声能量、焊接压力、焊接时间等,分析了每个工艺参数对键合的影响规律,得出了自动键合工艺参数的参考范围,通过正交试验的方法优化了工艺参数,提高了自动键合焊接的可靠性和质量,对自动键合实际生产具有一定指导意义。
关键词:自动键合;工艺参数;可靠性;正交试验1.; 概述在微电子行业中,导电连接主要以焊接连线来完成,超声波焊接利用高于听得见的限度的频率的摩擦来制造连线,这就是BONDJET820自动键合机的工作方法。
随着半导体电子封装技术的不断发展,我所微组装产品越来越多,微波组件不断向小型化、高密度、高可靠性、高性能、高效率和大批量方向发展。
自动化生产已成为一种未来趋势,为顺应发展,我所采购了BJ820全自动键合机来满足生产需求,自动化生产可满足高一致性、高可靠性和高效率的金丝焊接,因此对自动键合工艺参数的研究和优化是非常必要的。
2.; BJ820自动金丝键合的特点自动键合技术主要采用编程来执行相应的程序动作。
自动键合工艺过程包含图像识别和键合。
BJ820程序编程主要涉及参照系PR及Point设置、Teachwire连线设置、Teachboard/Chip 多腔或多芯片设置、焊接工艺参数设置等。
它具备以下特点:(1)它是一个有4个精确的快速运动轴线的灵活系统。
它具有X和Y轴线可在305mm×410mm(12”×16”)工作范围内移动焊头,Z轴线的工作量程为30mm,P轴线可在420°范围内旋转。
(2)能处理12.5um~85um线径焊线和6um×35um至25um×250um线带。
(3)图像识别系统配有一个CCD相机,识别精度可达正负1微米。
基板和芯片上的对位点和参照图像可教定和自动识别,保证高质量的效果和自动化生产,芯片位子和型号错误可被识别到。
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键合人员工艺参数培训――基础篇(软件版本9-28-2-32b)一、键合过程控制参数1.1、1st Bond和2nd bond参数1.2、Loop 参数1.3、Ball 参数1.4、Bits 参数二、走带控制参数2.1、W/H参数2.2、ELEV参数图一一、键合过程参数1.1.1 First Bond ParametersParameterDefault / Allowable Range FunctionTip 1DieTIP1123Default = 5 milsMin = 0 milMax = 25 mils劈刀从高速运行到芯片表面一段高度后会由高速变为低速,TIP 就是这个高度。
TIP OFFSET/TIP HEIGHTCV 1Die5DieTIP14CV 1Default = 0.5 mils/msMin = 0.2 mils/msMax = 3.0 mils/ms- 在TIP 范围内的速度。
-USG Bond Time 1Die6gUSGForceDefault = 7 msMin = 0 msMax = 3980 ms1ST 压焊时间Force 1DiegBond Force1Default = 35 gramsMin = 0 gramsMax = 350 grams1ST 的压力USG Pre-Delay 1 Default = 0 msMin = 0 msMax = 10 ms 压力开始到超声开始的延时时间,主要针对压得不十分理想的。
Lift USG RatioDiegLift USGDefault = 0 %Min = 0 %Max = 100 %劈刀离开金球时的超声,这是一个比例值,有助于金球焊接的稳定和牢固。
本功能主要对fine pitch类20%-40%USG Pre-Bleed RatioDieTIP1CV 1USG Pre-BleedingDefault = 0 %Min = 0 %Max = 100 %超声波前置输出比例,此超声在TIP 高度范围内起作用Equalization FactorDefault = 100 %Min = 0 %Max = 200 %USG Profile 1Default = RampMin = RampMax = Burst超声输出模式共有三种1、 梯形波形Ramp up/down2、 方波Square3、 凸形BurstRamp Up Time 1USG Bond TimeRamp Down TimeRamp DownTimeDefault = 10 %Min = 0 %Max = 75 %Ramp Down Time 1Default = 0 % Min = 0 %Max = 25 %Burst Time 1USG Bond TimeBurst LevelBurstTime USG CurrentDefault = 1.5 msMin = 1.5 msMax = 3.0 msBurst Level 1 Default = 125 %Min = 100 %Max = 200 %CONTACT DETECT MODE 设定劈刀检测接触表面的方式VMode 是以Z轴的下降速度来检测的PMode是以Z轴下降的位置来检测的Parameter Default /Allowable RangeFunctionInitial Force 1 Default = 65 gramsMin = 0 gramsMax = 350 grams 第一点压力应用前,在检测到劈刀碰到表面时就开始应用Parameter Default /Allowable RangeFunction Scrub Phase Default = 90 degMin = 0 degMax = 180 degLife Throttle Default = 100%Min = 1%Max = 100% 焊头脱离挤压金球开始往上升到第一个转折点(kink height)起动速度的大小。
Seating USG 安置超声波,在劈刀下降过程中的一个超声的能量输出,目的是协助金球落在劈刀中心,参考值为:50-100mA1.1.2 Second Bond ParametersTAIL MODE(OFF,Z-XY or XYZ) 减弱第二点的鱼尾线撕裂,线弧飘或者发生,在其它参数调整最佳之后的调整项会影响UPH OFF 正常只有z 轴上升的动作Z-XY 指z轴先上升到达线尾高度时xy轴再移动XYZ 指XYZ轴同时移动与上升XY DISTANCE(milS) 指沿着线的方向扯线的移动距离,正是往第一点方向靠近,负是远离第点方向SCRUB PHASE MODE 研磨生物相位的模式,决定研磨的方向0(VAY) 使用设定相位来调整1(CIRCLE)对所有的金线都呈现圆形化的研磨2(IN LINE)延线的方向研磨2nd scrub mode 第二点研磨开始的时机With USG 研磨是与超声输出同时开始的Pre USG 研磨是在超声输出前已经开始2nd XY SCRUB(micron)第二点是以微米为单位的平台研磨幅度2nd SCRUB CYCLES 研磨的次数2nd SCRUB PHASE 0 degrees与所有的线弧成垂直研磨90degrees对正交的垂直研磨,其它的圆形研磨180degrees对正交的垂直研磨,其它的沿线的方向研磨TAIL XY SCRUB 尾丝是以微米为单位的平台研磨幅度TAIL SCRUB PHASE 0 与线的方向一致1 与线的方向正交垂直2 圆形的TAIL SCRUB CYCLES 研磨次数TAIL SCRUB FREQUENCY(Hz) 研磨频率TAIL SCRUB MODE(0 OR 1 ) 0 研磨并没有接触焊点表面Tail Scrub height定义高度1 研磨时接触焊点表面TAIL SCRUB OFFSET 根据送线方向的一个补偿距离,新的位置是研磨的新坐标点TAIL SCRUB USG 研磨时的次数输出量,以第二点的%来计算TAIL SCRUB FORCE 当研磨与表面接触时,与研磨同时作用的压力的大小TAIL SCRUB HEIGHT 非接触研磨时的的研磨高度1.2 Looping ParametersContact AngleLeadContact Angle = 10(at 45 deg with vertical)Contact Angle = 0(at 0 deg with vertical)Tip2Default = 0Min = 0Max = 10- 接触角度- 主要控制劈刀头接近第二焊点的路径- 0表示到第二点的正上方垂直下降接触到第二点Contact OffsetDefault = 0 milsMin = 0 milsMax = 5 mils压在第二点的平移值,要谨慎使用次参数LF4Default = 100 % Min = 1 %Max = 100 %- 拉弧速度Bleed VoltageDefault = 1000 mVMin = 0 mVMax = 5000 mV- 当焊头在完成反向移动后的上升阶段的输出超声,目的是为了更好的保证金线从劈刀中穿过时的平稳。
- 单位是电压,其实体现的效果是超声。
问题请各位描绘出下列15处各自代表的意义?A Typical Wire Cycle Timing Waveform1.3 Ball Formation ParametersParameter Default /FunctionAllowable RangeWire Diameter 线径球径Ball Size Default = 2.4 milsMin = 1.1 milsMax = 4.0 mils打火电流EFO Current Default = 30 mAMin = 20 mAMax = 128 mA打火烧球的距离EFO Gap Default = 30 milsMin = 0 milMax = 50 mils尾丝的长度,太长后容易引起金丝飘Tail Extension Default = 0 milMin = 0 milMax = 100 milsEFO FIRE STANDARD 焊线后烧球Before 焊线前烧球1.4BITS ParametersParameter Default /FunctionAllowable RangeBITS Default = ON 检测开关二、走带控制参数2.1工作台部分2.1.1夹具部分的参数Parameter Default /FunctionAllowable RangeStandards Leadframe 框架的类型,目前我们都是用规则的标准类型Bondplane Moveup Default = 0mils 对与厚度很大的产品,参数的设定显示在焊头Z方向的一个移动,对于厚度在20mil以下的设定为零。
Heat Block Thickness Default = 250mils 标准的为250milsCl(Clamp) shoulder Depth Default = 201mils 标准的为201milsCl(Clamp) Extension Width 夹具凸在前面的横向距离比较典型的例子是DIP8h的夹具 2.1.2框架参数Parameter Function Index pitch 每个步距的长度Leadframe With 框架的宽度Indexs Per Leadframe 每条框架的单元数X Right center Offset 框架最右边界到右边第一只送带单元中心的距离X Left center Offset 框架最左边界到左边第一只送带单元中心的距离Y Front center OffsetLeadframe Thickness 框架厚度Indexing clearance 框架在移动时加热块最少下降的距离Bondplane offset 压焊高度的补偿Clamp Force Offset 夹具夹紧力的补偿2.1.3爪子参数2.1.4选择项2.2升降台部分实用文档文案大全。