扫描电子显微镜在材料分析和研究中的应用
扫描电镜在材料分析中的应用
扫描电镜在材料分析中的应用3.1 试样制备技术试样制备技术在电子显微术中占有重要的地位，它直接关系到电子显微图像的观察效果和对图像的正确解释。
如果制备不出适合电镜特定观察条件的试样，即使仪器性能再好也不会得到好的观察效果。
和透射电镜相比，扫描电镜试样制备比较简单。
在保持材料原始形状情况下，直接观察和研究试样表面形貌及其它物理效应（特征），是扫描电镜的一个突出优点。
扫描电镜的有关制样技术是以透射电镜、光学显微镜及电子探针X 射线显微分析制样技术为基础发展起来的，有些方面还兼具透射电镜制样技术，所用设备也基本相同。
但因扫描电镜有其本身的特点和观察条件，只简单地引用已有的制样方法是不够的。
扫描电镜的特点是：①观察试样为不同大小的固体（块状、薄膜、颗粒），并可在真空中直接进行观察。
②试样应具有良好的导电性能，不导电的试样，其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜。
③试样表面一般起伏（凹凸）较大。
④观察方式不同，制样方法有明显区别。
⑤试样制备与加速电压、电子束流、扫描速度（方式）等观察条件的选择有密切关系。
上述项目中对试样导电性要求是最重要的条件。
在进行扫描电镜观察时，如试样表面不导电或导电性不好，将产生电荷积累和放电，使得入射电子束偏离正常路径，最终造成图像不清晰乃至无法观察和照相。
3.1.1 块状试样制备1．导电性材料导电性材料主要是指金属，一些矿物和半导体材料也具有一定的导电性。
这类材料的试样制备最为简单。
只要使试样大小不得超过仪器规定（如试样直径最大为φ25mm ，最厚不超过20mm 等），然后用双面胶带粘在载物盘，再用导电银浆连通试样与载物盘（以确保导电良好），等银浆干了（一般用台灯近距离照射10 分钟，如果银浆没干透的话，在蒸金抽真空时将会不断挥发出气体，使得抽真空过程变慢）之后就可放到扫描电镜中直接进行观察。
但在制备试样过程中，还应注意：①为减轻仪器污染和保持良好的真空，试样尺寸要尽可能小些。
②切取试样时，要避免因受热引起试样的塑性变形，或在观察面生成氧化层。
扫描电子显微镜在材料表征中的应用
扫描电子显微镜在材料表征中的应用材料科学是现代科技的重要基石，而材料表征则是研究材料性质和结构的关键手段之一。
在材料表征领域，扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）凭借其高分辨率、高放大倍数和强大的表征能力，成为了研究人员的得力工具。
本文将探讨SEM在材料表征中的应用。
首先，SEM在材料表征中的一项重要应用是表面形貌的观察。
传统的光学显微镜只能观察到微米级别的细节，而SEM能够将观察范围扩大到纳米级别。
通过SEM，研究人员可以清晰地观察到材料表面的微观形貌，如表面粗糙度、颗粒分布等。
这对于材料的制备和性能评估具有重要意义。
例如，在纳米材料的研究中，SEM可以帮助研究人员观察纳米颗粒的形貌和分布情况，从而了解材料的结构特征和形成机制。
其次，SEM还可以用于材料的成分分析。
通过能谱仪（EDS）的配合，SEM能够实现元素的定性和定量分析。
EDS能够测量材料中不同元素的能谱信号，并通过谱图分析得出元素的含量和分布情况。
这对于研究材料的成分和相互作用具有重要意义。
例如，在合金材料的研究中，SEM-EDS可以帮助研究人员确定不同元素的分布情况，进而了解合金的相互作用和性能。
此外，SEM还可以用于材料的结构分析。
通过电子背散射模式（EBSD）技术，SEM能够实现材料的晶体结构分析。
EBSD技术通过测量电子背散射的衍射图样，得出材料的晶体结构信息，如晶体方向、晶界分布等。
这对于研究材料的晶体学性质和晶界行为具有重要意义。
例如，在金属材料的研究中，SEM-EBSD可以帮助研究人员观察晶界的分布情况，进而了解材料的力学性能和变形行为。
此外，SEM还可以用于材料的电子学性质研究。
通过电子能谱仪（ESCA）的配合，SEM能够实现材料的电子能级分析。
ESCA技术通过测量材料表面电子的能谱信号，得出材料的电子结构信息，如能带结构、电子态密度等。
这对于研究材料的导电性和光电性具有重要意义。
扫描电子显微镜在纳米材料研究中的应用
二、纳米材料研究的意义
纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度（1-100nm）的材料。 由于纳米材料具有尺寸效应、量子效应和表面效应等特殊性质，使得它们在能源、 生物医学、环境等领域具有广泛的应用前景。研究纳米材料的制备、性质和应用， 对于推动科学技术进步和社会发展具有重要意义。
三、扫描电子显微镜在纳米材料 研究中的应用
参考内容
扫描电子显微镜（SEM）是一种高分辨率、高倍率的电子光学仪器，适用于 观察和研究各种材料表面的微观结构和形貌。在无机材料分析中，SEM发挥着重 要的作用，可以帮助研究者深入了解材料的组成、结构和性质。本次演示将介绍 SEM的基本原理和特点，详细讲解SEM在无机材料分析中的应用，并指出使用SEM 时需要注意的问题。
3、技术参数选择：SEM的成像质量和技术参数选择密切相关。在实验过程中， 应根据样品的特性和研究目的选择合适的加速电压、工作距离、扫描速率等参数。
4、数据处理与分析：SEM通常配备有计算机控制系统和图像处理软件，可以 对采集到的信号进行定量分析和数据处理。应注意选择合适的分析方法，并综合 考虑多种因素对实验结果进行准确的评估。
1、形貌观察：SEM可以提供纳米材料的形貌图像，帮助研究者了解材料的颗 粒大小、形状、表面粗糙度等信息。例如，通过观察催化剂颗粒的形貌，可以优 化催化剂的制备工艺，提高催化性能。
2、成分分析：SEM可以结合能谱仪（EDS）对纳米材料进行成分分析。通过 EDS获取的元素分布图，可以了解不同元素在材料中的分布情况，为研究材料的 合成机理和性能提供依据。
5、失效分析：在机械零件失效分析中，扫描电子显微镜可以帮助研究者观 察到微小的裂纹、磨损痕迹等，从而找出失效的原因，为改进材料的性能和延长 使用寿命提供指导。
材料分析中的扫描电子显微镜技术
材料分析中的扫描电子显微镜技术材料科学作为一门重要的研究领域，广泛应用于各个行业。
其基本原理是通过对材料的物理性质和结构进行研究，以提高材料的性能和功能。
在材料分析中，扫描电子显微镜（SEM）技术是一种非常重要的工具，能够提供高分辨率和大深度的观察和分析。
扫描电子显微镜是一种应用电子束技术的显微镜，其工作原理是通过聚焦的电子束扫描待观察的材料表面，然后通过探测器捕捉并记录反射的电子束信号。
与传统光学显微镜相比，SEM具有更高的分辨率和更大的深度。
它可以观察到材料的表面形貌、形状和大小，并提供其它有关材料结构和成分的信息。
SEM技术在材料科学中的应用非常广泛。
首先，它可以用来观察和分析材料的表面形貌和结构。
通过SEM观察材料的表面形貌，我们可以了解材料的纹理、孔隙结构和表面粗糙度等特征。
这对于研究材料的界面性质、材料的耐磨性和材料与环境的相互作用具有重要意义。
此外，SEM还可以提供材料的成分分析。
通过利用扫描电子显微镜上的能谱仪，我们可以获取X射线能谱信息，进而分析材料的元素组成和含量。
这对于材料的合成、纯度和混杂物含量的研究非常重要。
同时，SEM技术还可以通过电子束与材料的相互作用，提供对材料电荷分布、晶体结构和缺陷等性质的观察和分析。
扫描电子显微镜技术的应用不仅局限于材料科学领域。
在生物学、医学和环境科学等其他领域，SEM也发挥着重要作用。
在生物学中，SEM可以用来观察和分析生物细胞、组织和微生物的形态特征。
在医学中，SEM可以用于研究病毒、细菌和肿瘤细胞的形态、结构和成分。
在环境科学中，SEM可以用来观察和分析大气颗粒、水质颗粒和土壤颗粒等微观颗粒的形貌和成分，从而帮助我们研究环境中的污染物和微观生物。
尽管SEM技术在材料科学和其他领域中得到广泛应用，但它并非没有一些限制。
首先，SEM技术对样品的制备要求较高，样品需要进行表面处理和真空吸附，以确保电子束的穿透性和样品的稳定性。
此外，SEM分析所需的仪器和设备也相对昂贵，对于一些小型研究实验室来说可能存在一定的经济压力。
材料分析中的扫描电镜显微技术
材料分析中的扫描电镜显微技术材料分析是很重要的一项技术，扫描电镜显微技术作为其中的一种工具，可以帮助我们深入了解材料的微观结构和性能，并且进行有效的表征和调控。
在本文中，我们将讨论扫描电镜显微技术在材料分析中的应用和发展，以及其中的一些前沿研究。
一、扫描电镜显微技术的基本原理扫描电镜显微技术是一种通过电子束扫描样品表面来获取图像的分析技术。
它采用了电子显微镜中的原理，通过路径长度比光波长小的电子来扫描材料表面，并通过能量分散光谱仪等设备获取样品表面的成像信息及结构信息。
扫描电镜主要分为两种：透射电子显微镜和散射电子显微镜。
透射电子显微镜可以对材料内部的结构进行分析，可以获取更高分辨率的图像，但是也需要材料非常薄，并且针对某种具体结构进行分析。
而散射电子显微镜则更为普遍，可以对样品表面的形貌和成分进行分析，并且可以针对多种材料进行分析。
二、扫描电镜显微技术在材料分析中的应用扫描电镜显微技术在材料分析中应用广泛，可以对许多材料的结构和性质进行研究。
例如，在材料科学中，可以利用扫描电镜显微技术来观察材料颗粒的形貌、大小和分布，以及材料成分和结构的变化，这些都可以为材料的设计和制备提供重要参考和信息。
同时，扫描电镜也可用于病毒、细胞、纤维、集成电路等的观察和分析。
扫描电镜的高分辨率图像还可以用于人类或动物细胞的观察和分析，可以帮助科学家更好地理解细胞的构成和功能。
还可以在生物医学方面利用扫描电镜显微技术进行药物开发研究，评估药物对生物系统的影响。
三、扫描电镜显微技术的发展趋势随着科技的不断进步，扫描电镜显微技术也不断发展。
例如，几何光学的发明，使得扫描电镜成像技术可以在更广范围内应用。
同时，测量技术的进步也使得扫描电镜显微技术的精度更加高效，并能够处理越来越多的信息。
在不断提高扫描电镜显微技术精度的同时，新型高分辨率显微技术也在不断上升。
例如，融合热液显微镜和电子显微镜技术的“天才轮廓显微镜”，可以在高温状态下进行物质结构分析；纳米压痕显微镜可以观察物质在压缩状态下的完整信息，极大地提高了材料分析的可靠性。
SEM在材料分析中的应用
SEM 在材料分析中的应用扫描电子显微镜 (简称扫描电镜 ,英文缩写为SEM)是一种大型的分析仪器 ,广泛应用在材料科学、生命科学、物理学、化学等学科领域。
近年来在扫描电镜上相继安装了许多专用附件,如:能谱仪 (EDX) 、波谱仪 (WDX) 、电子衍射仪 (ED) 等,使扫描电镜成为一种多功能的、快速、直观、综合的表面分析仪器[1] 。
1扫描电镜的工作原理扫描电镜主要由电子枪、电磁透镜、物镜、扫描线圈、信号收集及显示装置等组成。
其工作原理为 :由电子枪发射电子 ,以交叉斑作为电子源 ,经二级透镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下 ,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。
试样在电子束作用下 ,激发出各种信号 ,信号强度取决于试样表面状况。
这些信号被探测器收集并经视频放大后输入显像管栅极 ,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度 ,得到反映试样表面形貌的电子图像[2]。
2扫描电镜的特点（1）制样方法简单。
对表面清洁的导电材料可直接进行观察 ;表面清洁的非导电材料只要在表面蒸镀一层导电层即可观察。
（ 2）场深大，三百倍于光学显微镜。
适用于粗糙表面和断口，甚至孔洞缝隙中细微情况的观察。
图像富有立体感，易于识别和解释。
（3）放大倍数在 15-200000 倍范围内连续可调，分辨率高，能达到 3-6nm。
（4）可进行多功能分析。
采用双放大倍数装置或图像选择器，可在荧光屏上同时观察不同放大倍数或不同形式的图像。
可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态实验，观察各种环境条件下的相变及形态变化等[3]。
3影响扫描电镜成像的因素及控制3.1 加速电压在控制图像质量的调节过程中，首先要考虑的是电子照明源的加速电压的选择问题。
这是因为加速电压越大，电子束越容易聚焦得更细，束流也越大。
由此可见 ,采用高的加速电压，对提高图像的分辨率和信噪比是有利的。
但是，如果观察的对象是高低不平的表面或深孔，为了减小入射电子束的贯穿深度和散射体积，从而改善在不平表面上所获得图像的清晰度，采用较低的加速电压是适宜的，对于容易发生充电的非导体试样或容易烧伤的有机、生物试样，也宜采用低的加速电压 [4,5] 。
扫描电子显微镜技术在材料研究中的应用
扫描电子显微镜技术在材料研究中的应用随着科学技术的进步，越来越多的新材料被开发出来，同时也带来了更多的研究挑战。
传统的材料研究方法往往难以满足如此复杂的研究需求。
幸运的是，扫描电子显微镜技术的发展，使得研究人员能够更好地理解这些材料。
本文将介绍扫描电子显微镜技术在材料研究中的应用。
扫描电子显微镜技术是一种能够进行高分辨率成像的显微镜。
它的原理是通过扫描电子束在样品表面来获得高分辨率的图像。
扫描电子显微镜可以成像几乎所有的材料，包括金属、聚合物、半导体以及生物材料。
下面将介绍扫描电子显微镜技术在材料研究中的应用。
一、纳米材料成像扫描电子显微镜技术能够进行非常高分辨率的成像，因此在纳米材料的研究中得到了广泛应用。
纳米材料的尺寸非常小，一般在1到100纳米之间。
传统的显微镜无法获得如此高分辨率的图像。
使用扫描电子显微镜技术，可以观察纳米材料的表面形貌、材料的组成、原子结构以及电子结构。
这些信息有助于更好地理解微观结构和材料性质之间的关系。
二、能谱分析扫描电子显微镜技术不仅可以提供高分辨率的图像，还可以进行能谱分析。
该技术可以测量样品中元素的相对含量，并且检测到低浓度的元素。
这对于研究材料性质非常重要，因为元素的含量和组成对材料的性质有重要影响。
通过能谱分析，研究人员可以分析不同元素在材料中的分布情况，从而更好地了解材料构成和性质之间的关系。
三、材料结构分析扫描电子显微镜技术还可以用于分析材料的结构。
该技术可以观察材料的微观形貌，如颗粒大小和形状、孔隙分布以及晶体结构。
这些结构信息对于研究材料的物理和化学性质非常重要。
例如，孔隙和晶体缺陷可以影响材料的力学性质、光学性质以及化学反应性。
通过扫描电子显微镜技术，研究人员可以更好地理解这些微观结构，并且在材料设计和改进方面提供重要信息。
四、材料表面分析扫描电子显微镜技术还可以用于材料表面分析。
该技术可以观察材料表面的形貌、纹理和各种缺陷，如裂纹、疤痕和氧化物。
扫描电镜在金属材料检测中的应用
扫描电镜在金属材料检测中的应用
扫描电镜在金属材料检测中有广泛的应用。
它可以提供高分辨率的显
微镜图像和表面形貌分析，以及相关的元素分析和晶体结构分析。
以下是
扫描电镜在金属材料检测中的几个主要应用：
1.表面缺陷分析：扫描电镜可以检测金属材料表面的微小缺陷和裂纹，以帮助了解表面破坏的机制和处理方法。
2.颗粒分析：扫描电镜可以用于确定金属材料中粒子的形态、大小、
分布和成分，以评估其性能和质量。
3.材料组织分析：扫描电镜可以检测金属材料的晶粒尺寸、晶界、位
错和相分布，以帮助了解材料的性能和制备方法。
4.化学成分分析：扫描电镜可以用于确定金属材料中元素的分布和含量，提供有关材料组成的信息。
总之，扫描电镜在金属材料检测中是一种非常有用的工具，可以提供
有关材料性能和结构的详细信息，帮助制定改进和优化的制备和加工方法。
扫描电镜在材料中的应用
扫描电镜在材料中的应用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种广泛应用于材料科学领域的高分辨率显微镜。
它利用电子束与样品相互作用产生的信号来获取样品的形貌和成分信息，具有优越的分辨率和放大倍数，因此在材料研究中有着重要的应用。
在材料科学中，扫描电镜能够提供高分辨率的表面形貌观察。
与光学显微镜相比，扫描电镜具有更高的放大倍数和更好的分辨率，能够观察到更细微的表面细节。
对于材料的表面形貌分析，扫描电镜能够帮助科研人员更全面地了解材料的结构特征、表面纹理和形貌变化等。
例如，在金属材料研究中，通过扫描电镜观察到的晶粒大小、晶界分布和表面缺陷等信息，可以为材料的性能提供重要的参考。
扫描电镜在材料中的应用还包括成分分析。
通过能谱仪等附加设备的配合，扫描电镜可以获取样品的元素成分信息。
利用能谱仪的能量分析功能，可以准确地确定材料中各种元素的含量和分布情况。
这对于材料的组分分析、杂质检测和成分控制等方面都非常重要。
例如，在半导体材料研究中，扫描电镜能够提供有关材料中杂质元素的存在情况和分布特征，并为材料的纯度和质量评估提供可靠的依据。
扫描电镜还可以应用于材料的微观结构研究。
通过扫描电镜观察材料的断口面，可以获取材料的断裂形态和断口特征。
这对于研究材料的断裂机制、强度和韧性等性能具有重要意义。
例如，在材料的力学性能研究中，扫描电镜可以观察到材料的断裂面形貌，进而分析材料的断裂方式和断裂机制，为材料的强度和韧性提供深入理解。
扫描电镜还可以应用于材料的表面形貌工程。
通过在材料表面进行局部处理，如蚀刻、涂覆等，可以改变材料的表面形貌和结构，从而调控材料的性能。
通过扫描电镜观察处理后的材料表面，可以评估处理效果，并优化处理参数。
例如，在涂层材料研究中，扫描电镜可以观察到涂层的厚度、均匀性和结构特征，为涂层材料的性能优化提供依据。
扫描电镜在材料科学中有着广泛的应用。
它可以提供高分辨率的表面形貌观察、成分分析、微观结构研究和表面形貌工程等方面的信息，为材料的研究和应用提供了重要的支持。
扫描电镜技术在材料科学中的应用
扫描电镜技术在材料科学中的应用材料科学是一门应用学科，它研究各种物质的性质、结构、制备和应用等方面的科学问题。
在材料科学中，有很多研究方法和分析技术，其中扫描电镜技术是一种非常重要的方法。
本文将从扫描电镜技术的概念、优点以及在材料科学中的应用，探讨该技术在材料科学领域中的价值和发展前景。
一、扫描电镜技术的概念扫描电镜技术（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的材料表征、分析、观察的技术。
该技术利用高能电子束照射样品，观察样品在电场作用下发生的不同电子过程，通过收集样品表面反射、吸收、透射等电子的各种信号，进而获得样品表面形态、表面元素分布、晶体结构等信息。
扫描电镜技术主要分为三个步骤，包括样品制备、电子显微镜成像和信号检测等。
首先，样品需要进行处理和制备，以便于观察和分析，比如需要进行切片、抛光等处理。
然后，采用电子显微镜照射样品，通过收集样品表面反射、背散射等电子信号，来获得样品的形貌和结构等信息。
最后，通过图像的处理和分析，以及各种数据的比对和分析，来进一步分析样品的性质和结构等。
二、扫描电镜技术的优点扫描电镜技术的优点主要包括以下几个方面：1.分辨率高：扫描电镜技术的分辨率非常高，能够观察到极小的表面形貌和微观结构，甚至能够研究到纳米级别的材料结构。
2.实时性好：扫描电镜技术能够实时进行样品观察和分析，并且可以通过调整各种参数来达到最佳的显影效果和分析结果，具有成像速度快、操作简便等特点。
3.多功能性强：扫描电镜技术可以观察样品的形貌、成分分布、晶体结构等多方面信息，而且可以进行高分辨率的成像、分析、比对等操作，多功能性非常强。
4.适用范围广：扫描电镜技术适用于多种材料和样品，比如金属材料、半导体材料、生物医学材料等，在材料科学、生物医学等多领域有着广泛应用。
三、扫描电镜技术在材料科学领域中的应用非常广泛，主要应用于材料结构、形貌、成分、性能、缺陷等方面的研究。
扫描电镜在材料科学中的应用
扫描电镜在材料科学中的应用材料科学作为一门重要的基础学科，在工业、制造、医学等领域都有重要的应用，而扫描电镜则是材料科学领域中的一种关键仪器。
其应用范围广泛，包括材料形貌分析、显微组织观察、纳米科学等。
下面将从应用领域、分析原理和技术发展角度探讨扫描电镜在材料科学中的应用。
应用领域扫描电镜的应用非常广泛，例如在金属材料、高分子材料、陶瓷材料、半导体材料、生物材料等领域，都有广泛的应用。
在金属材料领域，扫描电镜可用于表面形态特征的研究和材料的腐蚀破坏分析。
在高分子材料领域，扫描电镜可用于研究聚合物的性质、晶体结构，以及材料的来源和成分。
在陶瓷材料领域，扫描电镜可以用于表面质量控制、断口形貌分析、气孔形成和等离子体喷涂。
在半导体材料领域，扫描电镜可用于制备工艺研究和材料表面特征分析。
在生物材料领域，扫描电镜主要用于细胞和器官结构的观察、组织学分析以及病原体形态学研究等。
分析原理扫描电镜利用电子束扫描样品表面，并采集所反射、所散射和所发射的电子信号来获得材料表面的形貌图像，并可以进行成分分析。
扫描电镜的原理可以分为两种模式：二次电子显像和反射电子显像。
其中，二次电子显像是在材料表面上，由于电子束的能量和角度，会产生二次电子信号，然后通过搜集这些二次电子信号的图像来反映样品表面的微观形貌信息。
反射电子显像是在场发射电子显像下，利用电子束入射或反射在样品界面处的反射电子，获得高表面灵敏度的信号。
技术发展扫描电镜技术在过去几十年里得到了快速的发展。
在器件制造、材料科学、生物医学等多个领域都有广泛的应用。
虽然传统的扫描电镜技术对成像的要求很高，像分辨率固定、深度范围小、必须提前确定成像模式等问题相当严重。
但随着新技术的不断出现，这些限制也在不断减少。
现如今出现了更多的高分辨率扫描电镜技术，如扫描透射电子显微镜、高角度向侧扫描电子显微镜、扫描局部震荡透射电镜和精密离子束切割等技术，使得扫描电镜具有了更广泛和更精确的应用空间。
扫描电子显微镜技术在纳米材料研究中的应用
扫描电子显微镜技术在纳米材料研究中的应用扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope, SEM）是一种能够观察物质微观结构的重要工具，被广泛应用于纳米材料研究领域。
本文就探讨一下扫描电子显微镜技术在纳米材料研究中的应用。
一、纳米材料的定义和特点纳米材料是指至少在一个尺度（一维、二维或三维）上具有几何尺度小于100纳米的结构的材料。
纳米材料具有与宏观物质不同的特点，包括巨大的比表面积、体积与表面特性之间的尺度效应、量子尺寸效应和表面能的影响等。
二、扫描电子显微镜的基本原理扫描电子显微镜是一种利用扫描电子束照射样品，在样品的表面上扫描图案而产生图像的显微镜。
它基于电磁透镜原理，在聚焦电子束的同时，控制其强度和束斑大小。
扫描电子束与样品相互作用时，会产生再散射电子，这些电子可被探测器捕获形成图像。
三、扫描电子显微镜在纳米材料研究中的应用1. 纳米材料形貌表征扫描电子显微镜可以对材料形貌进行高分辨率表征，分析材料表面的微观结构、晶 grain 或结晶面与基质之间的界面特性，探测材料的纳米结构等。
2. 纳米材料成分分析扫描电子显微镜可以通过分析激发的荧光光谱和散射光谱，获得材料的成分信息。
利用 X 射线荧光谱技术，可以对纳米材料的特定成分进行分析。
3. 纳米材料结晶学分析扫描电子显微镜可以提供高分辨率的结构成像，对纳米材料的不同晶相进行分辨。
4. 纳米材料电学性能分析利用扫描电子显微镜中的场发射机制，可以在超细导线、纳米颗粒等纳米材料上形成极细的电极，从而进行电学性质的分析。
5. 纳米材料表面分析扫描电子显微镜可以利用高分辨率成像能力和多种探测技术来表征和探测材料表面的物理和化学性质。
可通过扫描电子显微镜的扫描隧道显像技术，观察纳米材料表面的原子排列情况和拓扑特征，甚至观察到单个分子。
四、总结扫描电子显微镜技术在纳米材料研究中具有极其重要的应用价值，不仅可以对纳米材料的形貌、结晶学、成分以及电学性能等方面进行表征和分析，还可以通过对样品表面的原子排列情况和拓扑特征的观察，深入理解纳米材料的特殊性质和干涉机制，为纳米材料的设计制备和应用打下坚实的基础。
扫描电子显微镜的原理及应用
扫描电子显微镜的原理及应用扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种使用电子束而不是光束的显微镜，它通过对被测样品表面进行扫描和检测，以获取高分辨率的图像。
SEM具有优秀的分辨率和放大倍数，被广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术、地质学等领域。
SEM的工作原理如下：1. 产生电子束：通过电子枪产生高能电子束，电子枪包括一个热阴极和一根聚焦的阳极。
电子束可以通过区域限制器（aperture）来控制束流的大小。
2.加速电子束：电子束通过电子镜来加速，这是一个由透镜组成的系统。
电子束在电子镜中得到聚焦，束流变窄，成为高能、高分辨率的束流。
3.扫描样品：样品被放置在SEM的样品台上，电子束通过磁场的作用进行X、Y方向扫描。
扫描电子镜的样品台通常也可以进行上下方向的运动，以获得不同深度的图像。
4.接收和检测：当电子束照射在样品表面上时，样品中发生的相互作用将会发射出各种信号，包括二次电子、透射电子、X射线以及退火融合过程产生的光谱信号等。
SEM通过收集并检测这些信号，并将其转化为电信号。
5.构建显像：电信号被转化为亮度信号，并用于构建图像。
SEM可以生成大量的图像类型，包括二次电子图像（SE图像）、透射电子图像（BSE图像）、X射线能谱图（EDS图像）等。
6.分析和测量：SEM可以提供非常详细的样品表面形貌信息，包括形貌、尺寸、形状、纹理等。
还可以使用EDS技术分析样品的化学元素组成。
SEM的应用范围十分广泛：1.材料科学：SEM可以研究材料的微观结构、相变过程、表面形貌以及晶格结构等。
它可以用于分析金属、陶瓷、纤维、塑料等材料的微观结构，从而改进材料的性能和开发新材料。
2.生命科学：SEM非常适合观察生物样品的微观结构，如昆虫、细胞、细菌等。
它可以研究生物样品的组织结构、表面形貌，以及细胞壁、细胞器等微观结构。
3.纳米技术：SEM可以观察和测量纳米级别的颗粒、膜、纳米线、纳米管等纳米材料。
电子显微镜在材料微观结构分析中的应用
电子显微镜在材料微观结构分析中的应用近年来，材料科学领域取得了许多重要的突破，其中电子显微镜作为一种重要的工具，在材料微观结构分析中发挥着关键的作用。
本文将探讨电子显微镜的原理和应用，并举例说明其在材料科学研究中的重要性。
电子显微镜利用电子束取代了光束，能够通过对样品表面的扫描来获取高分辨率的图像。
与传统光学显微镜相比，电子显微镜具有更高的分辨率和放大倍数，能够观察到更细微的细节和结构。
这使得它成为研究材料微观结构的理想工具之一。
首先，电子显微镜在纳米材料研究中发挥了重要作用。
纳米材料具有特殊的物理和化学特性，因此对其进行研究和分析显得非常重要。
通过电子显微镜，研究人员可以观察到纳米颗粒的形状、尺寸、晶体结构等微观特征，从而了解其性质和行为。
例如，通过扫描透射电子显微镜（STEM）可以实现纳米颗粒的原子级分辨，这对于纳米材料的制备和改性具有重要的意义。
其次，电子显微镜在材料缺陷分析中也发挥着重要的作用。
材料中的缺陷对其性能和稳定性具有很大的影响，因此对缺陷的分析非常重要。
电子显微镜能够观察到材料中微观缺陷的形态和位置，并通过能谱技术可以分析出缺陷的化学成分。
这为材料工程师提供了宝贵的信息，帮助他们改进材料的设计和制备工艺。
此外，电子显微镜在材料界面和结晶行为的研究中也发挥着重要作用。
材料界面对于材料性能和功能具有重要影响，因此对其进行研究能够帮助我们深入理解材料的行为。
电子显微镜可以观察到材料界面的结构和形貌，通过分析其表面能量和化学成分，还可以研究材料间的相互作用。
此外，电子显微镜还可以观察到材料的结晶行为，帮助我们理解晶体生长的机理和动力学过程。
最后，电子显微镜在材料失效分析中的应用也非常重要。
当材料发生失效时，电子显微镜可以通过观察微观结构的变化来分析失效的原因。
通过观察材料中的微裂纹、晶界变形等细节，还可以研究失效的机理和过程，并为进一步改进材料的设计和制备提供参考。
综上所述，电子显微镜在材料微观结构分析中具有重要的应用价值。
扫描电子显微镜SEM应用案例介绍
扫描电子显微镜SEM应用案例介绍扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种非常重要的科学仪器，在物理学、材料科学、地质学、生物学等领域有着广泛的应用。
SEM通过扫描物样表面并检测从样品表面反射回来的电子来获取样品的形貌信息，并利用其高分辨率和高放大倍数能够提供关于样品的详细结构的信息。
以下将介绍几个SEM应用案例。
1.材料科学中的SEM应用在材料科学领域，SEM被广泛用于研究材料的微观形貌和结构。
例如，在金属材料方面，SEM可以用于分析金属的晶体形貌、结构和尺寸分布，从而帮助优化材料的性能。
另外，SEM还可以用于研究陶瓷材料、聚合物材料以及复合材料等其他材料的形貌和结构。
2.生物学中的SEM应用在生物学研究中，SEM可以用于观察生物样品的微观形貌，例如细胞、细胞器、细菌、病毒等。
利用SEM的高分辨率和快速成像功能，研究者可以获得样品的真实形貌，并进一步了解生物系统的结构和功能。
例如，可以利用SEM观察细胞表面微结构的变化、细胞分裂过程中的细胞形态变化等。
3.地质学中的SEM应用在地质学领域，SEM可广泛用于矿物学、岩石学和沉积学等方面的研究。
例如，SEM可以用于分析岩石和矿物的形貌、组成以及微观结构，从而帮助研究者了解地质样品的成因和演化历史。
此外，SEM还可以用于进行环境和污染监测，例如观察和分析大气颗粒物、土壤微观结构以及水样中的微生物等。
4.纳米科学中的SEM应用在纳米科学和纳米技术研究中，SEM被广泛用于观察和研究纳米材料的表面形貌、尺寸分布以及形貌与性能之间的关系。
通过SEM的成像功能，可以观察到纳米材料的纳米颗粒、纳米管、纳米片等纳米结构的形态和尺寸，并进一步了解纳米材料的特殊性能。
综上所述，SEM作为一种重要的科学仪器，在多个领域都有广泛的应用。
它可以提供高分辨率、高放大倍数的图像，并利用这些图像帮助科研人员了解样品的微观形貌、结构和性质，进而推动科学研究和技术应用的发展。
sem在电池材料中的应用
sem在电池材料中的应用SEM（扫描电子显微镜）在电池材料研究中有着广泛的应用。
SEM利用电子束与样品的相互作用，通过扫描样品表面并检测反射或散射的电子信号，可以提供高分辨率的表面形貌、表面成分和结构信息。
以下是SEM在电池材料研究中的一些重要应用：1. 表面形貌观察：SEM可以提供电池材料的表面形貌信息。
通过观察材料表面的颗粒分布、颗粒形貌和表面粗糙度等特征，可以评估电池材料的微观结构和表面质量。
这对于评估电池材料的活性物质分布、电极材料的制备方法和表面涂层等方面的优化具有重要意义。
2. 成分和组成分析：SEM配合能谱仪（EDS或EDX）可以实现材料的成分和组成分析。
通过分析样品不同区域的元素分布，可以研究电池材料的化学成分、杂质分布和界面反应等问题。
例如，可以评估电极材料中活性物质的分布情况、锂离子电池中电解质与电极的界面反应等。
3. 结构和晶体学研究：SEM结合电子背散射模式（EBSD），可以获取电池材料的结晶信息。
EBSD通过分析电子背散射图样（Kikuchi 图）来确定晶格方向和结晶取向，从而研究电池材料的晶体学性质、晶粒生长和晶体取向控制等问题。
4. 电子输运研究：SEM可以用来观察电子输运和电子行为。
通过观察电极材料的导电路径、电子扩散和电子输运等信息，可以了解电极材料的电子导电机制以及电子行为对电池性能的影响。
这对于设计和开发高性能电极材料和电极结构具有重要作用。
5. 界面分析：SEM可以观察电池材料的界面结构和界面特征。
例如，在锂离子电池中，SEM可以用来研究电解质和电极材料的界面、电极表面的保护膜以及界面反应等。
这对于理解电池材料的界面性质、解决界面问题以及提高电池的界面稳定性具有重要意义。
6. 磨损和失活分析：SEM可以用来研究电池材料的磨损和失活机制。
例如，在锂离子电池中，可以通过观察电极材料的表面形貌变化和微观损伤，来研究电极材料的界面失活、电池的寿命限制因素和磨损机制等。
扫描电子显微镜在材料分析中的应用
扫描电子显微镜在材料分析中的应用随着科技的迅速发展，扫描电子显微镜已成为现代科技领域不可或缺的一种工具。
扫描电子显微镜具有高分辨率、高放大率、高灵敏度等优越的特性，成为了材料分析领域中必不可少的仪器之一。
一、扫描电子显微镜的原理扫描电子显微镜是一种利用高速电子束扫描物体，利用电子与物样的相互作用所产生的特殊信号进行成像的显微镜。
它通过调节聚焦、加速电压等参数，控制电子束扫描样品表面，激发出由样品反射回来的电子，从而形成一幅图像。
二、扫描电子显微镜在材料分析中的应用1.显微结构分析扫描电子显微镜能够提供高分辨率成像功能，因此常被用来研究材料的微观结构和表面形貌。
例如，扫描电子显微镜可以获取金属材料的晶界、晶粒等结构信息，及其表面形貌的特征，可以帮助我们更清晰地了解材料的内部结构，为研究材料的物理、化学性质奠定基础。
2.元素显微分析扫描电子显微镜不仅可以获取材料的显微结构和表面形貌，还能够实现元素分析。
扫描电子显微镜设置特殊的X射线光谱分析技术，可以用于检测物体表面的化学性质，实现元素定性分析和元素定量分析。
例如，在电子束扫描金属表面时，会激发出不同能量的X射线，根据特征能谱进行光谱分析，可以判断不同元素的存在及含量。
3.表面缺陷检测材料表面缺陷是制造过程中常见的一种问题。
扫描电子显微镜具有高分辨率、高灵敏度的检测能力，可利用电子微观镜的成像及非常便利的样品制备方法，检查材料表面缺陷。
例如，通过扫描电子显微镜检测整块半导体晶圆表面的缺陷，如裂纹、划痕和晶界等，可以帮助生产部门查找产品性能不良的原因，便于进行重加工或者换料。
4.分析特殊材料扫描电子显微镜在分析材料领域的其他特殊材料也起到很大的作用。
例如，碳纳米管是一种常见的特殊材料，这种材料的特殊的颗粒结构非常小，扫描电子显微镜能够清晰地观察到其材料表面形貌和微观结构，帮助研究人员更好地理解碳纳米管的物理、化学性质。
总之，扫描电子显微镜是一种非常重要的材料分析工具，其应用广泛，能够通过高分辨率、高灵敏度的检测能力，帮助我们更深入地了解材料的微观结构和表面形貌、元素情况以及表面缺陷等信息，为我们更好地研究材料的各种性质奠定了基础。
扫描电镜-能谱仪实验技术在《材料分析方法》课程教学中的应用
扫描电镜-能谱仪实验技术在《材料分析方法》课程教学中的应用引言材料分析方法是材料科学与工程中的一个重要分支，通过对材料组成、结构以及性能的全面分析，可以为材料的设计、制备和应用提供重要的依据。
在材料分析方法的教学中，实验技术一直都是一个重要的环节，可以通过实验来锻炼学生的动手能力和分析思维，使他们更好地掌握材料分析方法的理论知识。
扫描电镜-能谱仪实验技术作为材料分析方法中的一种重要实验手段，在教学中发挥着重要作用。
扫描电镜-能谱仪实验技术简介扫描电镜（SEM）和能谱仪（EDS）是用于材料表面分析的重要设备。
扫描电子显微镜是一种具有优秀放大倍数和高分辨率的显微镜，可以对材料表面进行直接观察和成像，显微镜的分辨率一般为10-50nm。
而能谱仪则是一种用来分析材料成分的仪器，其通过测量材料中元素的特征X射线来确定材料的成分。
扫描电镜-能谱仪实验技术结合了两者的优点，既可以对材料表面进行高分辨率的成像，又可以进行元素成分的分析。
1. 提供直观的材料表面形貌在材料分析方法的教学中，学生通常只是通过图书和PPT来了解材料的表面形貌，很难对实际的样品有一个直观的认识。
而通过扫描电镜-能谱仪实验技术，可以将真实的材料样品放到显微镜下观察并拍摄照片，让学生对材料的表面形貌有一个直观的认识，从而更好地理解材料的表面特征。
2. 深入分析材料的成分和结构扫描电镜-能谱仪实验技术可以不仅可以对材料的表面形貌进行观察，还可以通过能谱仪来进行化学成分的分析。
通过X射线分析来确定材料的元素组成及分布情况，从而深入了解材料的内部结构和成分组成。
这样，学生能够更好地理解材料的特性及其应用领域，并通过实验操作来掌握材料成分的分析方法。
3. 培养实验操作和数据分析能力扫描电镜-能谱仪实验技术需要学生进行实际的样品制备和操作，需要对显微镜和能谱仪进行调试和使用，还需要对分析结果进行数据处理和分析。
这样的实验操作能够培养学生的动手能力和数据分析能力，提高他们的实验水平和科研素养。
扫描电子显微镜在金属材料领域的应用
扫描电子显微镜在金属材料领域的应用
（1）金属材料断裂失效分析。
常见以磨损、腐蚀、断裂、变形等失效形式存在。
通过对断口微观形貌的观察，根据脆性断裂及韧性断裂机理，结合材料受力状态分析，找出失效根源。
（2）金属材料的表面缺陷分析。
常见缺陷以起泡、翘皮、裂纹等形式存在。
利用扫描电子显微镜对金属表面或界面的薄层进行组分、结构和能态等分析，揭示金属材料及其制品的表面形貌、成分、结构或状态。
（3）金属材料的微区化学成分分析。
分析表面形貌及微区成分，为失效机理推断提供定性定量依据。
判定合金中析出相或固溶体的组成、测定金属及合金中各种元素的偏析、研究电镀等工艺过程形成的异种金属的结合状态、研究摩擦和磨损过程中的金属转移现象以及失效件表面的析出物或腐蚀产物的鉴别等。
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南京工程学院学报（自然科学版）２００３年１２月２材料的组织形貌观察
２．１断口分析
现代工业产品零件虽然经过精心设计、慎重选材、精确制造，但由于实际生产和使用中的种种复杂原因，零件断裂损坏的现象仍然不断发生，极大地影响了生产的顺利进行和使用的安全，甚至造成灾难性事故。
为了提高产品质量、保证使用安全，避免灾难性事故重演，人们常常借助扫描电镜分析断口的破坏特征、零件内部的结构及缺陷，从而判断零件损坏的原因。
众所周知，反射式的光学显微镜直接观察大块试样很方便，但其分辨率、放大倍数和景深都比较低。
因此在一定程度上限制了它们的适用范围。
扫描电子显微镜的样品制备简单，可以实现试样从低倍到高倍的定位分析；在样品室中的断口试样不仅可以沿三维空间移动，还能够根据观察需要进行空间转动，以利于使用者对感兴趣的断裂部位进行连续、系统的观察分析；扫描电子显微断口图像因真实、清晰，并富有立体感，在金属断口和显微组织三维形态的观察研究方面获得了广泛地应用心Ｊ。
工程中使用损坏的零件断口清洗后，导电样品可直接进行观察；不导电样品（塑料、陶瓷等）在真空喷涂仪中沉积碳、金、银等抗腐蚀和二次电子丰富的元素，保证样品具有较好的导电性，以防图像畸变。
例如，汽车车门螺栓在装配时发生断裂，其电镜断口形貌见图１。
根据断口的沿晶断裂特征，并结合生产工艺综合分析，可断定车门螺栓脆性断裂的原因是由于表面磷化防护处理后，去氢处理工艺不当造成的氢脆断裂。
通过ＳＥＭ对宇航复合材料的疲劳断口观察（见图２），发现断面上有过载断裂的针排撕裂特征，由此可以分析过载是造成材料损坏主因。
………～””…～
图１合金钢沿晶断裂特征图２于差要耋：耋鎏堂脂图３锰磷化表面形貌
复合材料过载断口
２．２镀层表面形貌分析和深度检测
金属材料零件在使用过程中不可避免地会遭受环境的侵蚀，容易发生腐蚀现象。
为保护母材，成品件常常需要进行诸如磷化、达克罗等表面防腐处理。
有时，为利于机加工，在工序之间也进行镀膜处理。
由于镀膜的表面形貌和深度对使用性能具有重要影响，所以常常被作为研究的技术指标。
镀膜的深度很薄，由于光学显微镜放大倍数的局限性，使用金相方法检测镀膜的深度和镀层与母材的结合情况比较困难，而扫描电镜却可以很容易完成。
使用扫描电镜观察分析镀层表面形貌是方便、易行的最有效的方法，样品无需制备，只需直接放入样品室内即可放大观察。
图３所示是螺栓经锰磷化表面处理后的表面形貌。
“松针状”的磷化膜结构具有良好的储油功能，使暴露于外界工作的螺栓耐腐蚀性得到改善。
第１卷第４期蔡璐：扫描电子显微镜在材料分析和研究中的应用４ｌ
３微区化学成分分析
在实际断口分析工作中，往往在获得断口形貌放大像后，希望能在同一台仪器上进行原位化学成分或晶体结构分析，提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料，以便能够更全面、客观地进行判断分析。
为此，相继出现了扫描电子显微镜一电子探针多种分析功能的组合型仪器。
扫描电子显微镜如配有ｘ射线能谱（ＥＤＳ）和Ｘ射线波谱成分分析等电子探针附件，可分析样品微区的化学成分等信息。
材料内部的夹杂物往往是裂纹的发源地，由于它们的体积细小，因此，无法采用常规的化学方法进行定位鉴定。
扫描电镜配备电子探针后，不仅可以为夹杂物定性，还可以检测断面上的腐蚀物、磨屑等微量物质。
微区成分分析的结果往往为断裂失效分析的提供重要的线索和数据。
目前，工程材料失效分析常用的电子探针的基本工作方式为：
（１）对样品表面选定微区作定点的全谱扫描定性或半定量分析，以及对其中所含元素浓度的定量分析。
（２）电子束沿样品表面选定的直线轨迹作所含元素浓度的线扫描分析。
（３）电子束在样品表面作面扫描，以特定元素的ｘ射线讯号调制阴极射线管荧光屏亮度，给出该元素浓度分布的扫描图像。
一般而言，常用的ｘ射线能谱仪能检测到的成分含量下限为０．１％（质量分数）。
可以应用在判定合金中析出相或固溶体的组成、测定金属及合金中各种元素的偏析、研究电镀等工艺过程形成的异种金属的结合状态、研究摩擦和磨损过程中的金属转移现象以及失效件表面的析出物或腐蚀产物的鉴别等方面。
图４所示是使用后断裂的连杆裂纹萌生区的断口，断口形貌在电镜下观察１、２标记区断裂特征有明显差异。
能谱微区分析结果表明，标记１区含有氧元素，如图５所示；而标记２区则无氧化现象。
由此推断裂纹先在标记ｌ区形成，在此区沿裂纹扩展方向追寻发现，热加工“飞边”缺陷是引起连杆早期损坏的直接原因。
图４斜向裂纹处断口特征１６．５×图５标记ｌ区成分谱线
４显微组织及超微尺寸材料的研究
钢铁材料中诸如回火托氏体、下贝氏体等显微组织非常细密，用光学显微镜难以观察组织的细节和特征。
在进行材料、工艺试验时，如果出现这类组织，可以将制备好的金相试样深腐蚀后，在扫描电镜中鉴别。
下贝氏体与高碳马氏体组织在光学显微镜下的形态均呈针状，且前者的性能优于后者。
但由于光学显微镜的分辨率较低，无法显示其组织细节，故不能区分。
电子显微镜却可以通过对针状组织细节的观
４２南京工程学院学报（自然科学版）２００３年１２月
察实现对这种相似组织的鉴别。
图６所示是光学显微镜（ＬＭ）下的针状下贝氏体，图７所示是与之对应的电镜形貌。
在电子显微镜下（ｓＥＭ），可清楚地观察到针叶下贝氏体是有铁素体和其内呈方向分布的碳化物组成Ｌ４｜。
纳米材料是纳米科学技术最基本的组成部分。
现在可以用物理、化学及生物学的方法制备出只有几个纳米的“颗粒”。
由于纳米材料表面上的原子只受到来自内部一侧的原子的作用，十分活泼，所以使用纳米金属颗粒粉作催化剂，可加快化学反应过程。
纳米材料的应用非常广泛，比如通常陶瓷材料具有高硬度、耐磨、抗腐蚀等优点，但又具有脆性和难以加工等缺点，纳米陶瓷在一定的程度上却可增加韧性，改善脆性。
复合纳米固体材料亦是一个重要的应用领域。
例如含有２０％超微钴颗粒的金属陶瓷是火箭喷气口的耐高温材料；金属铝中含进少量的陶瓷超微颗粒，可制成重量轻、强度高、韧性好、耐热性强的新型结构材料∞’６ｊ。
纳米材料的一切独特性能主要源于它的超微尺寸，因此必须首先切确地知道其尺寸，否则对纳米材料的研究及应用便失去了基础。
目前该领域的检测手段和表征方法可以使用透射电子显微镜、扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）等技术№Ｊ，但高分辨率的扫描电镜（ＳＥＭ）在纳米级别材料的形貌观察和尺寸检测方面因具有简便、可操作性强的优势，也被大量采用。
图８所示是扫描电镜拍摄的纳米尺寸的金蒸着粒子形貌。
图６ＬＭ的组织形貌５００×图７ＳＥＭ的组织形貌１０，０００×图８金蒸着粒子５０，０００×
５结束语
扫描电镜在工程材料的分析和研究方面应用十分广泛，主要的应用有工程材料断口分析及微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析及层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。
随着材料科学和高科技的迅速发展，各种行业对检测技术水平的要求日异提高，可以预测扫描电镜将以其拥有的优势进一步发挥它的作用。
参考文献：
［１］陈世朴．金属电子显微分析［Ｍ］．北京：机械工业出版社，１９８２．
［２］Ｂｒ００ｋ，ｃ．Ｒ，ｃｈｏｕｄｈｕｒｙ，Ａ．Ｆａｉｌｕｒｅ加“ｙｓｉｓｏｆＥＩｌｇｉｎｅｅｒｉｌｌｇＭａｔｅｒｉａｌｓ［Ｍ］．谢斐娟译．北京：机械工业出版社，２００３．
［３］ｃ．Ｒ．Ｂ。
０ｋＳａｎｄＢ．ＬＭ哂１１．ＴｈｅＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｓｃａｎｎｉｎｇＥｌｅｃｔｍｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙｔｏＦｒａｃ魄ｒａｐｈｙ［Ｊ］ＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒａｌＣｈａｍｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ，１９９４，（３３）：１９５—２４３．
［４］石德珂．材料科学基础［Ｍ］．北京：机械工业出版社，１９９９．
［５］张立德，牟季美．纳米材料学［Ｍ］．沈阳：辽宁科学技术出版社，１９９４．
［６］张志琨，崔作林．纳米技术与纳米材料［Ｍ］．北京：国防工业出版社，２０００．
［责任编校：屈华昌］。