微波MEMS滤波器的研究进展

作者：李文明;李骁骅;杨月寒;刘海文;杨谟华;于奇

作者机构：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054

来源：空间电子技术

ISSN：1674-7135

年：2010

卷：007

期：001

页码：90-95

页数：6

正文语种：chi

关键词：微机电系统;微波滤波器;单片微波集成电路

摘要：文章介绍了应用于射频微波系统的MEMS滤波器,结合最近几年国内外的MEMS滤波器研究成果,从MEMS滤波器的设计方法和滤波器性能等方面阐述了各种MEMS滤波器的技术发展状态.