现代真空获得设备
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4.2.1工作原理
旋片把转子、泵体、端盖形成的月牙形空间分
隔成A、B、C三部分。若转子按图中箭头方向
旋转时，A空间容积增加，压力降低，气体经
泵入口被吸入，此时处于吸气过程；B空间的
容积减小，压力增加，处于压缩过程；C空间
真 空 获 得 设
的容积进一步缩小，压力进一步增加，当压力 超过排气压力时，压缩气体推开泵油密封的排 气阀，处于向大气的排气过程。在泵的连续运 转过程中，不断进行吸气、压缩和排气过程， 从而达到连续抽气的目的。
获 缩气体中，使可凝性气体分压达到排气压力，
得 排气阀打开，将可凝性气体同永久气体一同排
设 出。油封式机械真空泵普遍装有气镇装置，因
备 此也叫气镇泵。
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程
气镇阀（掺气阀）是由节流阀和逆止阀两部分
组成，节流阀控制掺入气体量，逆止阀防止泵
腔内气体压力高于掺气压力时出现返流。气镇
真 空 获 得 设 备
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6.2罗茨泵的工作原理及其结构特点
罗茨泵是一种双
转子的容积式真
空泵。其抽气过
程如右图所示，
两个转子由传动
比为1的一对齿
真 空
轮带动作彼此反 向的同步旋转运 动 。转子彼此无
获
接触，其间存在
得
间隙。
设
备
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图6-2 罗茨泵的剖面示意图
备
旋片泵工作原理图
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程
旋片泵工作原理图
1－泵体；
2－旋片；
3－转子；
真
4－弹簧；
空
5－排气阀
获
得
设 备
BACK
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图4－2 2X型旋片泵结构简图
BACK
真
空
获
得
设 1－滤网；2－进气管；3－压板；4－排气阀；5－旋片；
备
6－弹簧；7－转子；8－放油螺塞；9－油标；10－排
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可靠性和维修方便等特点，因此它成为一种量
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的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的
完全平衡。做好滑阀泵的 质量平衡，减少泵的
振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。
滑阀泵的振动限制了泵的转速的提高，泵转速
一般在350～3600r/min，个别的也有达
1000r/min以上的。新型的三腔滑阀泵的出现，
真 空 获
1－泵盖；2－气镇量调节阀；3－导管；
4－逆止阀；5－油气分离器
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图5－3滑阀泵的三种结构形式
真
空 获
目前滑阀泵有三种结构形式：
得 （a）滑阀杆铰接在滑阀环上；
设 备
（b）滑阀杆与滑阀环成一体；
（c）行星式滑阀泵，如图5－3所示。
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图5－4 双缸滑阀泵结构
吸气终了时，小腔与吸气口隔绝，且应尽量 保证此时小腔容积为最大。
真 空
水从叶轮获得能量（动能），被加速。水甩 出后具有与叶片端点切线速度相近的速度；而且
获 在前半周，由于吸入的气体压力基本稳定，因此，
得 水环各点速度近似相等。
设 备
图2－1 液环泵工作原理图
能量转换2
后180°：小腔容积由大 → 小，压缩气体， 直到小腔与排气口相通，排气；
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 表1－1 各种真空 泵的工作压 力范围
真 空 获 得 设 备
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真空泵在真空系统中的作用
1 主泵
2 粗抽泵
3 前级泵
4 维持泵
真 空
5 增压泵
获
得 设
具体见抽气系统流程图
备
高真空抽气系统原理流程图
真空容器
增
压
储
泵
主
气
泵
罐
真 ➢ 转子形状对称，动平衡性能良好，运转平稳，
空
选择高精度的齿轮传动，运转时噪音低；
获 ➢ 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；
得 设 备
➢ 由于压缩比比较小，在抽气过程中消耗的功率 比较大。
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罗茨泵的种类:低真空罗茨泵，如直排大气 的干式单级罗茨泵（10000Pa）和湿式罗茨泵 (2000Pa)；中真空罗茨泵，如机械增压泵 （1×10-1 Pa）等；高真空罗茨泵，如多级干 式罗茨泵（直排大气1Pa）。
真 如图4－6所示。辅助排气阀的作用是在入口 空 压力较高、经高真空压缩的气体已到排气压 获 力时，辅助排气阀打开，部分气体由辅助排 得 气阀排出，部分气体由低真空级抽走。随着 设 入口压力的降低，辅助排气阀逐渐减小，直 备 至最后关闭。
图4－6 双级泵结构示意图
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设置的。
真 空 获
可以单独使用，也可以作为其他高真空泵的前 级泵，用以抽除密封容器中的干燥气体。若附 有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝气体。
得
旋片泵不适于抽除含氧过高、有爆炸性的、
设 对金属有腐蚀性的、与泵油会发生化学发应的、
备 含有颗粒尘埃的气体。
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4.2旋片泵的工作原理与结构特点
油扩散泵属于射流真空泵的一种，但与水 蒸气喷射泵不同的是，油扩散泵工作在高真空 区域，以低压高速油蒸汽流作为工作介质。泵 的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而 被携带到泵出口排除的过程。
真 空 获 得 设 备
油扩散泵的工作压力范围为10－1~ 10－6Pa， 其极限压力可达10－8Pa。泵的抽气速率可从每 秒几升到每秒十几万升。此外与其他高真空或 超高真空获得设备相比，油扩散泵除效率低外， 它具有单位抽速所需成本较低，结构简单，没 有机械运动部件，操作方便，使用寿命长，高
1－溢流阀； 2－泵入口； 3－泵体； 4－转子； 5－泵出口
真 空 获 得 设 备来自百度文库
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图6-6 气冷式罗茨泵原理图
1－转子；
2－转子；
3－泵腔；
4－冷气入口；
真
5－抽气口；
空
获
6－泵出口；
得 设
7－冷却器
备
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七、油扩散泵
7.1 概述
设 （2）动量传输式真空泵（分子真空泵，喷射真
备
空泵，扩散泵）。
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2）气体捕集泵：吸附泵；低温泵。 真空泵的技术术语和适用范围术语：
启动压力；前级压力；最大前级压力； 最大工作压力；压缩比；何式系数；抽气系数；
返流率；水蒸气允许量；最大允许水蒸气入口 压力。
真 空 获 各种真空泵工作压力范围 得 设 备
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真空获得设备
主讲人：张以忱
真
空
获
得
东北大学
设
备
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一、引论
真空：在给定的空间内，气体分子密度低于一
个标准大气压的气体状态。
真空泵性能的表示方法：1）极限压力
2）抽气速率
3）流量
真空泵的分类：
真 空 获 得
1）气体输送泵
（1）变容积真空泵：液、油封式机械泵，干式 真空泵，罗茨真空泵；
气孔；11－皮带轮；12－轴端密封圈；13－气道
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旋片泵在结构上可分为油封式和油浸式两大类。
油封式结构是指油箱设置在泵体上，泵油起到
密封排气阀的作用，泵体靠水冷或风冷。一般
大泵多采用这种结构形式。油浸式结构是将整
个泵体浸在泵油中，泵油起到密封和冷却作用。
真
小泵和直联泵多采用这种结构。
水的速度下降，将动能转变成压力 能（势能），来抵抗由于小腔容积变小而导致 的气体压力增加。
图2－1 液环泵工作原理图
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2.2 液环泵的基本类型与结构
2.2 液环泵的基本类型与结构
2.2.1基本类型
1）单级单作用液环泵:单级叶轮每旋转一周，吸 气排气各进行一次。抽气效率较低。
滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大
得多，因此常常用在大型真空设备上。滑阀泵
真 空 获 得
有单级和双级两种形式。单级泵的极限压力对 小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa（均关气镇），双 级泵的极限压力≤0.06Pa（关气镇）。抽速大 于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。
设 备
由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如 果没有很好的质量平衡，在运转时会产生较大 的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂
通常，泵抽除的气体为永久性气体和可凝性气
体的混合物。在压缩和排气的过程中，当可凝
性气体的分压超过泵温时该气体饱和蒸汽压时，
可凝性气体会凝结并混于泵油中，随泵油循环，
并在返回高真空侧时重新蒸发成蒸汽。这将影
响到泵的抽气性能，加重泵油的污染程度。气
真 空
镇法或称掺气法可以有效地防止可凝性气体的 凝结，即在压缩过程中将经过控制的永久性气 体 （通常为室温干燥空气）由气镇孔掺入被压
真
空
获
得
设
备
BACK
内部进气口和排气口的改进( * 最重要的改进)
锥体泵：采用上部进气和下部排气的结构
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四、旋片式真空泵
4.1 概述
旋片式油封机械泵（旋片泵）为一种变容式气 体传输真空泵，是真空技术中最基本的真空获 得设备之一。其工作压力范围为101325～ 1.33×10－2 Pa，属于低真空泵。
较好地解决了滑阀泵地质量平衡，使泵的振动 得到了有效的控制，泵转速也可相应得到提高。
得
设
备
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5.2 滑阀泵的工作原理和结构特点
5.2.1工作原理
真 空 获 得 设 备
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 5.2.2 结构特点
图5－2 滑阀泵结构图
真
空
获
得
设
备
孔的位置设置一般有两种：一种是在泵排气口
附近，当压缩腔与排气口相通时，开始掺气；
另一种是设置于端盖上，当吸气终了以后，转
子再转过一个角度（10°～ 15°）时，露出气镇
真 空 获 得
孔，开始掺气。再掺气过程中，泵的极限压力 上升和抽气速率下降。在低压时，适当打开气 镇阀，掺如少量气体，可以减少泵油冲击排气 阀引起的噪声。高速直联泵温度（90°～ 100°）
真 空 获 得 设 备
图5－5双缸滑阀泵的平衡
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六、罗茨式真空泵
6.1 概述
罗茨式真空泵（简称罗茨泵）是一种无内 压缩的旋转变容式真空泵。主要特点有：
➢ 在较宽的压力范围内有较大的抽速 ；
➢ 转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵腔内
运动件无摩擦，不必润滑，泵腔内无油；
真
空
获
得
设
1－前端端盖；2－油标；3－压力传感器；4－注油塞；5－放油塞；
备
6－齿轮侧轴承端盖；7－泵体；8－入口法兰；9－出口法兰；10－ 转子；11－马达侧轴承盖；12－中间法兰；13－油封处注油塞；14
－油封处放油塞；15－笼形支架；16－电动机；17－泵底座
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图6-3 罗茨泵的旁路溢流阀结构示意图
设 下运行，有利于可凝性气体的抽出。
备
图4－7 气镇阀结构
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图4－7 气镇阀结构
1－调节阀；
2气镇阀座；
3－密封垫；
4－挡块；
真 空
5－钢球；
获
6－弹簧
得
设
备
BACK
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五、滑阀式油封机械泵
5.1 概述
滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片 泵一样，也是一种变容式气体传输泵。其应用 范围和使用条件与旋片泵基本相同。
空
旋片泵结构简图
获
得
设
备
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图4－6 双级泵结构示意图
BACK
真
空
获
得
设 备
Ⅰ－高真空级；Ⅱ－低真空级；
1－中间辅助排气阀；2－通道； 3－低真空级排气阀；
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排气阀是旋片泵主要易损件之一，将影响泵 的抽气性能并产生噪音。排气阀有两种形式： 一种使用相交垫片做阀片；另一种是用布质 酚醛层压板或弹簧钢片做阀片。排气阀必须 浸在泵油中。在排气过程中，压缩气体推开 排气阀片，穿过泵油排出。泵油起到密封作 用。在双级泵中，当高真空级与低真空级为 不等腔时，需要在两级之间设置中间排气阀，
2）单级双作用液环泵：单级叶轮每旋转一周，
真 吸气、排气各进行两次。抽气效率较高。 空 3）双级液环泵：由单级单作用泵串联而成。
获 4）气体喷射泵＋液环泵机组：可以提高低压下
得 的抽速，扩大了液环泵的使用范围。
设 备
图2－3 水环泵的结构图
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2.2.2液环泵的基本结构
维持泵
前级泵（粗抽泵）
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二、液环式真空泵
2.1液环泵的工作原理及特点
真
空
获
得
设 备
（a）单作用式液环泵 （b）双作用式液环泵 A－吸气口；B－排气口；C－间隙；
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单作用液环泵抽气（能量转换）过程：
前180°：小腔容积由小 → 大，压力降低，与 吸气口相通，吸气；
旋片把转子、泵体、端盖形成的月牙形空间分
隔成A、B、C三部分。若转子按图中箭头方向
旋转时，A空间容积增加，压力降低，气体经
泵入口被吸入，此时处于吸气过程；B空间的
容积减小，压力增加，处于压缩过程；C空间
真 空 获 得 设
的容积进一步缩小，压力进一步增加，当压力 超过排气压力时，压缩气体推开泵油密封的排 气阀，处于向大气的排气过程。在泵的连续运 转过程中，不断进行吸气、压缩和排气过程， 从而达到连续抽气的目的。
获 缩气体中，使可凝性气体分压达到排气压力，
得 排气阀打开，将可凝性气体同永久气体一同排
设 出。油封式机械真空泵普遍装有气镇装置，因
备 此也叫气镇泵。
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气镇阀（掺气阀）是由节流阀和逆止阀两部分
组成，节流阀控制掺入气体量，逆止阀防止泵
腔内气体压力高于掺气压力时出现返流。气镇
真 空 获 得 设 备
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6.2罗茨泵的工作原理及其结构特点
罗茨泵是一种双
转子的容积式真
空泵。其抽气过
程如右图所示，
两个转子由传动
比为1的一对齿
真 空
轮带动作彼此反 向的同步旋转运 动 。转子彼此无
获
接触，其间存在
得
间隙。
设
备
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图6-2 罗茨泵的剖面示意图
备
旋片泵工作原理图
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旋片泵工作原理图
1－泵体；
2－旋片；
3－转子；
真
4－弹簧；
空
5－排气阀
获
得
设 备
BACK
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图4－2 2X型旋片泵结构简图
BACK
真
空
获
得
设 1－滤网；2－进气管；3－压板；4－排气阀；5－旋片；
备
6－弹簧；7－转子；8－放油螺塞；9－油标；10－排
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可靠性和维修方便等特点，因此它成为一种量
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的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的
完全平衡。做好滑阀泵的 质量平衡，减少泵的
振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。
滑阀泵的振动限制了泵的转速的提高，泵转速
一般在350～3600r/min，个别的也有达
1000r/min以上的。新型的三腔滑阀泵的出现，
真 空 获
1－泵盖；2－气镇量调节阀；3－导管；
4－逆止阀；5－油气分离器
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图5－3滑阀泵的三种结构形式
真
空 获
目前滑阀泵有三种结构形式：
得 （a）滑阀杆铰接在滑阀环上；
设 备
（b）滑阀杆与滑阀环成一体；
（c）行星式滑阀泵，如图5－3所示。
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图5－4 双缸滑阀泵结构
吸气终了时，小腔与吸气口隔绝，且应尽量 保证此时小腔容积为最大。
真 空
水从叶轮获得能量（动能），被加速。水甩 出后具有与叶片端点切线速度相近的速度；而且
获 在前半周，由于吸入的气体压力基本稳定，因此，
得 水环各点速度近似相等。
设 备
图2－1 液环泵工作原理图
能量转换2
后180°：小腔容积由大 → 小，压缩气体， 直到小腔与排气口相通，排气；
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 表1－1 各种真空 泵的工作压 力范围
真 空 获 得 设 备
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真空泵在真空系统中的作用
1 主泵
2 粗抽泵
3 前级泵
4 维持泵
真 空
5 增压泵
获
得 设
具体见抽气系统流程图
备
高真空抽气系统原理流程图
真空容器
增
压
储
泵
主
气
泵
罐
真 ➢ 转子形状对称，动平衡性能良好，运转平稳，
空
选择高精度的齿轮传动，运转时噪音低；
获 ➢ 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；
得 设 备
➢ 由于压缩比比较小，在抽气过程中消耗的功率 比较大。
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罗茨泵的种类:低真空罗茨泵，如直排大气 的干式单级罗茨泵（10000Pa）和湿式罗茨泵 (2000Pa)；中真空罗茨泵，如机械增压泵 （1×10-1 Pa）等；高真空罗茨泵，如多级干 式罗茨泵（直排大气1Pa）。
真 如图4－6所示。辅助排气阀的作用是在入口 空 压力较高、经高真空压缩的气体已到排气压 获 力时，辅助排气阀打开，部分气体由辅助排 得 气阀排出，部分气体由低真空级抽走。随着 设 入口压力的降低，辅助排气阀逐渐减小，直 备 至最后关闭。
图4－6 双级泵结构示意图
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设置的。
真 空 获
可以单独使用，也可以作为其他高真空泵的前 级泵，用以抽除密封容器中的干燥气体。若附 有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝气体。
得
旋片泵不适于抽除含氧过高、有爆炸性的、
设 对金属有腐蚀性的、与泵油会发生化学发应的、
备 含有颗粒尘埃的气体。
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4.2旋片泵的工作原理与结构特点
油扩散泵属于射流真空泵的一种，但与水 蒸气喷射泵不同的是，油扩散泵工作在高真空 区域，以低压高速油蒸汽流作为工作介质。泵 的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而 被携带到泵出口排除的过程。
真 空 获 得 设 备
油扩散泵的工作压力范围为10－1~ 10－6Pa， 其极限压力可达10－8Pa。泵的抽气速率可从每 秒几升到每秒十几万升。此外与其他高真空或 超高真空获得设备相比，油扩散泵除效率低外， 它具有单位抽速所需成本较低，结构简单，没 有机械运动部件，操作方便，使用寿命长，高
1－溢流阀； 2－泵入口； 3－泵体； 4－转子； 5－泵出口
真 空 获 得 设 备来自百度文库
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图6-6 气冷式罗茨泵原理图
1－转子；
2－转子；
3－泵腔；
4－冷气入口；
真
5－抽气口；
空
获
6－泵出口；
得 设
7－冷却器
备
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七、油扩散泵
7.1 概述
设 （2）动量传输式真空泵（分子真空泵，喷射真
备
空泵，扩散泵）。
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2）气体捕集泵：吸附泵；低温泵。 真空泵的技术术语和适用范围术语：
启动压力；前级压力；最大前级压力； 最大工作压力；压缩比；何式系数；抽气系数；
返流率；水蒸气允许量；最大允许水蒸气入口 压力。
真 空 获 各种真空泵工作压力范围 得 设 备
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真空获得设备
主讲人：张以忱
真
空
获
得
东北大学
设
备
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一、引论
真空：在给定的空间内，气体分子密度低于一
个标准大气压的气体状态。
真空泵性能的表示方法：1）极限压力
2）抽气速率
3）流量
真空泵的分类：
真 空 获 得
1）气体输送泵
（1）变容积真空泵：液、油封式机械泵，干式 真空泵，罗茨真空泵；
气孔；11－皮带轮；12－轴端密封圈；13－气道
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旋片泵在结构上可分为油封式和油浸式两大类。
油封式结构是指油箱设置在泵体上，泵油起到
密封排气阀的作用，泵体靠水冷或风冷。一般
大泵多采用这种结构形式。油浸式结构是将整
个泵体浸在泵油中，泵油起到密封和冷却作用。
真
小泵和直联泵多采用这种结构。
水的速度下降，将动能转变成压力 能（势能），来抵抗由于小腔容积变小而导致 的气体压力增加。
图2－1 液环泵工作原理图
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2.2 液环泵的基本类型与结构
2.2 液环泵的基本类型与结构
2.2.1基本类型
1）单级单作用液环泵:单级叶轮每旋转一周，吸 气排气各进行一次。抽气效率较低。
滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大
得多，因此常常用在大型真空设备上。滑阀泵
真 空 获 得
有单级和双级两种形式。单级泵的极限压力对 小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa（均关气镇），双 级泵的极限压力≤0.06Pa（关气镇）。抽速大 于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。
设 备
由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如 果没有很好的质量平衡，在运转时会产生较大 的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂
通常，泵抽除的气体为永久性气体和可凝性气
体的混合物。在压缩和排气的过程中，当可凝
性气体的分压超过泵温时该气体饱和蒸汽压时，
可凝性气体会凝结并混于泵油中，随泵油循环，
并在返回高真空侧时重新蒸发成蒸汽。这将影
响到泵的抽气性能，加重泵油的污染程度。气
真 空
镇法或称掺气法可以有效地防止可凝性气体的 凝结，即在压缩过程中将经过控制的永久性气 体 （通常为室温干燥空气）由气镇孔掺入被压
真
空
获
得
设
备
BACK
内部进气口和排气口的改进( * 最重要的改进)
锥体泵：采用上部进气和下部排气的结构
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四、旋片式真空泵
4.1 概述
旋片式油封机械泵（旋片泵）为一种变容式气 体传输真空泵，是真空技术中最基本的真空获 得设备之一。其工作压力范围为101325～ 1.33×10－2 Pa，属于低真空泵。
较好地解决了滑阀泵地质量平衡，使泵的振动 得到了有效的控制，泵转速也可相应得到提高。
得
设
备
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5.2 滑阀泵的工作原理和结构特点
5.2.1工作原理
真 空 获 得 设 备
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 5.2.2 结构特点
图5－2 滑阀泵结构图
真
空
获
得
设
备
孔的位置设置一般有两种：一种是在泵排气口
附近，当压缩腔与排气口相通时，开始掺气；
另一种是设置于端盖上，当吸气终了以后，转
子再转过一个角度（10°～ 15°）时，露出气镇
真 空 获 得
孔，开始掺气。再掺气过程中，泵的极限压力 上升和抽气速率下降。在低压时，适当打开气 镇阀，掺如少量气体，可以减少泵油冲击排气 阀引起的噪声。高速直联泵温度（90°～ 100°）
真 空 获 得 设 备
图5－5双缸滑阀泵的平衡
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六、罗茨式真空泵
6.1 概述
罗茨式真空泵（简称罗茨泵）是一种无内 压缩的旋转变容式真空泵。主要特点有：
➢ 在较宽的压力范围内有较大的抽速 ；
➢ 转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵腔内
运动件无摩擦，不必润滑，泵腔内无油；
真
空
获
得
设
1－前端端盖；2－油标；3－压力传感器；4－注油塞；5－放油塞；
备
6－齿轮侧轴承端盖；7－泵体；8－入口法兰；9－出口法兰；10－ 转子；11－马达侧轴承盖；12－中间法兰；13－油封处注油塞；14
－油封处放油塞；15－笼形支架；16－电动机；17－泵底座
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图6-3 罗茨泵的旁路溢流阀结构示意图
设 下运行，有利于可凝性气体的抽出。
备
图4－7 气镇阀结构
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程 图4－7 气镇阀结构
1－调节阀；
2气镇阀座；
3－密封垫；
4－挡块；
真 空
5－钢球；
获
6－弹簧
得
设
备
BACK
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五、滑阀式油封机械泵
5.1 概述
滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片 泵一样，也是一种变容式气体传输泵。其应用 范围和使用条件与旋片泵基本相同。
空
旋片泵结构简图
获
得
设
备
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图4－6 双级泵结构示意图
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真
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获
得
设 备
Ⅰ－高真空级；Ⅱ－低真空级；
1－中间辅助排气阀；2－通道； 3－低真空级排气阀；
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排气阀是旋片泵主要易损件之一，将影响泵 的抽气性能并产生噪音。排气阀有两种形式： 一种使用相交垫片做阀片；另一种是用布质 酚醛层压板或弹簧钢片做阀片。排气阀必须 浸在泵油中。在排气过程中，压缩气体推开 排气阀片，穿过泵油排出。泵油起到密封作 用。在双级泵中，当高真空级与低真空级为 不等腔时，需要在两级之间设置中间排气阀，
2）单级双作用液环泵：单级叶轮每旋转一周，
真 吸气、排气各进行两次。抽气效率较高。 空 3）双级液环泵：由单级单作用泵串联而成。
获 4）气体喷射泵＋液环泵机组：可以提高低压下
得 的抽速，扩大了液环泵的使用范围。
设 备
图2－3 水环泵的结构图
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2.2.2液环泵的基本结构
维持泵
前级泵（粗抽泵）
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二、液环式真空泵
2.1液环泵的工作原理及特点
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获
得
设 备
（a）单作用式液环泵 （b）双作用式液环泵 A－吸气口；B－排气口；C－间隙；
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单作用液环泵抽气（能量转换）过程：
前180°：小腔容积由小 → 大，压力降低，与 吸气口相通，吸气；