等离子清洗机工作原理

等离子清洗机工作原理

等离子清洗机是一种采用等离子技术进行清洗的设备，主要用于去除各种物体表面的污垢、氧化物和有机物等杂质。其工作原理可以分为四个步骤：等离子产生、等离子注入、物体表面清洗和等离子去活。

首先，等离子清洗机通过电场产生等离子。设备中的电源提供高电压，通过放电装置产生高频高压电流。这个高压电流通过电极系统，如磁控溅射电极或干法蒸发电极，在设备内部形成了强电场。当电场达到一定强度时，气体原子或分子中的电子会被强电场轰击而脱离，形成正离子和自由电子混合的等离子体。

其次，产生的等离子通过注入物体表面进行清洗。等离子会通过设备中的管道和喷嘴被导入到处理室中，然后喷洒在待清洗物体的表面。等离子在喷嘴处受到高速气体的冲击，加速并且流经物体表面，使得等离子能够更好地与物体表面接触并附着。

然后，等离子清洗机利用等离子对物体表面进行清洗。在接触物体表面时，等离子会与表面的污垢、氧化物和有机物等杂质发生作用，如碰撞、吸附和解离等。碰撞作用会通过撞击力将污垢带入物体表面的溶液中，使其分散；吸附作用会通过等离子的静电作用将离子吸附在物体表面，形成吸附层，保护物体表面不被流失；解离作用会通过等离子对有机物分子进行解离，使其分解。

最后，等离子清洗机通过等离子去活来结束清洗过程。将清洗好的物体从处理室

中取出，等离子清洗机会通过减小电场强度，使得等离子重新组合成普通的气体状态，即去活。这样可以保持物体表面的洁净，并且避免等离子对物体产生不良的影响。

综上所述，等离子清洗机通过等离子产生、等离子注入、物体表面清洗和等离子去活等步骤，实现了对物体表面的清洗。其工作原理是利用高压电场产生等离子，并且通过气体流动将等离子导入到处理室中，接触物体表面进行清洗，最后通过去活使得等离子重新组合成普通的气体状态。这种清洗方式具有高效、无污染和全面覆盖等优点，广泛应用于半导体、显示器、光学器件等行业。