半导体物理与器件总结的ppt
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半导体物理与器件总结的课件
P55
14
Si与Ge是间接带隙半导体,GaAs是直接带隙半导体
硅和砷化镓的k空间能带图
直接带隙半导体:价带能量最大
间接带隙半导体:价带能量最大值
值和导带能量最小值的k坐标一致。 和导带能量最小值的k坐标不一致。
2019/11/20
15
3.5 统计力学 3.5.1 统计规律
粒子在有效能态中的分布:三种分布法则
点缺陷(空位缺陷和填隙缺陷)
对于实际的晶体,某特定晶格格点的原子可能缺失,这 种缺陷称为空位。在其他位置,原子可能嵌于格点之间,这 种缺陷称为填隙。
2019/11/20
4
掺杂
为了改变导电性而向半导体材料中加入杂质的技术称为掺 杂。两种掺杂方式为填(间)隙杂质和替位杂质
通常有两种掺杂方法:杂质扩散和离子注入。 第V族元素和第Ⅲ族元素掺杂一般为替位式掺杂? 一般半导体为Si或Ge元素形成的半导体,而他们位于第Ⅳ 族,所以第V族元素和第Ⅲ族元素与第Ⅳ族元素的原子大 小接近,所以一般为替位式掺杂。
2019/11/20
16
费米能级
费米能级标志了电子填充能级的水平。
半导体中常见的是费米能级EF位于禁带之中,并且满足 Ec-EF>>kT或EF-Ev>>kT的条件。
因此对导带或价带中所有量子态来说,电子或空穴都可 以用波尔兹曼统计分布描述。
由于分布几率随能量呈指数衰减,因此导带绝大部分电 子分布在导带底附近,价带绝大部分空穴分布在价带顶 附近,即起作用的载流子都在能带极值附近。 简并半导体:服从费米狄拉克分布函数的半导体。 非简并半导体:服从波尔兹曼分布函数的半导体
粒子的能量是不连续的,其能量是各个分立的能量确定值,称为能级,其 值由主量子数n决定。 !!!
半导体物理与器件-课件-教学PPT-作者-裴素华-第1章-半导体材料的基本性质
简化为
J = pqv p
1.6.4 半导体的电阻率ρ
电阻率是半导体材料的一个重要参数,其值为电导率
的倒数。 1
1
ρ= =
σ nqμn + pqμ p
对于强P型和强N型半导体业有相应的简化。
从上面的公式可以看出,半导体电阻率的大小决定于 n, p, μn ,μp的具体数值,而这些参数又与温度有关, 所以电阻率灵敏的依赖于温度,这是半导体的重要 特点之一。
b) P型硅中电子和空穴 的迁移率
载流子的迁移率还要随温度而变化。
硅中载流子迁移率随温度变化的曲线 a) μn b) μp
1.6.3 半导体样品中的漂移电流密度
设一个晶体样品如图所示, 以单位面积为底,以平 均漂移速度v为长度的矩 形体积。先求出电子电 流密度,设电场E为x方 向,在电场的作用下, 电子应沿着-x方向运动。
不论半导体中的杂质激发还是本征激发,都是依靠吸收 晶格热振动能量而发生的。由于晶格的热振动能量是随 温度变化的,因而载流子的激发也要随温度而变化。
载流子激发随温度的变化 a)温度很低 b)室温临近 c)温度较高 d)温度很高
伴随着温度的升高,半导体的费米能级也相应地发 生变化
杂质半导体费米能级随温度的变化 a)N型半导体 b)P型半导体
a)随机热运动 b) 随机热运动和外加电场作用下的运动合成
随机热运动的结果是没有电荷迁移,不能形成电流。
引入两个概念:
1. 大量载流子碰撞间存在一个路程的平均值,称为平 均自由程,用λ表示,其典型值为10-5cm;
2. 两次碰撞间的平均时间称为平均自由时间,用τ表示, 约为1ps;
建立了上述随机热运动的图像后,就可以比较实际地去 分析载流子在外加电场作用下的运动了。
《半导体物理学》课件
重要性
半导体物理学是现代电子科技和信息 科技的基础,对微电子、光电子、电 力电子等领域的发展具有至关重要的 作用。
半导体物理学的发展历程
19世纪末期
半导体概念的形成,科学家开始认识到 某些物质具有导电性介于金属和绝缘体
之间。
20世纪中叶
晶体管的商业化应用,集成电路的发 明,推动了电子科技和信息科技的发
半导体中的热电效应
总结词
解释热电效应的原理及其在半导体中的应用。
详细描述
当半导体受到温度梯度作用时,会在两端产生电压差 ,这一现象被称为热电效应。热电效应的原理在于不 同温度下,半导体内部载流子的分布不同,导致出现 电势差。热电效应在温差发电等领域有应用价值,可 以通过优化半导体的材料和结构来提高热电转换效率 。
分析器件在长时间使用或恶劣环 境下的性能退化,以提高其可靠 性。
THANKS
THANK YOU FOR YOUR WATCHING
06
半导体材料与工艺
半导体材料的分类和特性
元素半导体
如硅、锗等,具有稳定的化学性质和良好的半导 体特性。
化合物半导体
如砷化镓、磷化铟等,具有较高的电子迁移率和 光学性能。
宽禁带半导体
如金刚石、氮化镓等,具有高热导率和禁带宽度 大等特点。
半导体材料的制备和加工
气相沉积
通过化学气相沉积或物理气相沉积方法制备 薄膜。
05
半导体器件的工作原理
二极管的工作原理
总结词
二极管是半导体器件中最简单的一种 ,其工作原理基于PN结的单向导电性 。
详细描述
二极管由一个P型半导体和一个N型半 导体结合而成,在交界处形成PN结。 当正向电压施加时,电子从N区流向P 区,空穴从P区流向N区,形成电流; 当反向电压施加时,电流极小或无电流 。
半导体物理学是现代电子科技和信息 科技的基础,对微电子、光电子、电 力电子等领域的发展具有至关重要的 作用。
半导体物理学的发展历程
19世纪末期
半导体概念的形成,科学家开始认识到 某些物质具有导电性介于金属和绝缘体
之间。
20世纪中叶
晶体管的商业化应用,集成电路的发 明,推动了电子科技和信息科技的发
半导体中的热电效应
总结词
解释热电效应的原理及其在半导体中的应用。
详细描述
当半导体受到温度梯度作用时,会在两端产生电压差 ,这一现象被称为热电效应。热电效应的原理在于不 同温度下,半导体内部载流子的分布不同,导致出现 电势差。热电效应在温差发电等领域有应用价值,可 以通过优化半导体的材料和结构来提高热电转换效率 。
分析器件在长时间使用或恶劣环 境下的性能退化,以提高其可靠 性。
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06
半导体材料与工艺
半导体材料的分类和特性
元素半导体
如硅、锗等,具有稳定的化学性质和良好的半导 体特性。
化合物半导体
如砷化镓、磷化铟等,具有较高的电子迁移率和 光学性能。
宽禁带半导体
如金刚石、氮化镓等,具有高热导率和禁带宽度 大等特点。
半导体材料的制备和加工
气相沉积
通过化学气相沉积或物理气相沉积方法制备 薄膜。
05
半导体器件的工作原理
二极管的工作原理
总结词
二极管是半导体器件中最简单的一种 ,其工作原理基于PN结的单向导电性 。
详细描述
二极管由一个P型半导体和一个N型半 导体结合而成,在交界处形成PN结。 当正向电压施加时,电子从N区流向P 区,空穴从P区流向N区,形成电流; 当反向电压施加时,电流极小或无电流 。
半导体器件物理PPT课件
解
11
练习 假使面心结构的原子是刚性的小球,且面中心原子与 面顶点四个角落的原子紧密接触,试算出这些原子占此面 心立方单胞的空间比率。
解
12
例1-2 硅(Si)在300K时的晶格常数为5.43Å。请计算出每立方厘米体 积中硅原子数及常温下的硅原子密度。(硅的摩尔质量为 28.09g/mol)
解
13
29
●允带
允许电子存在的一系列准 连续的能量状态
● 禁带
禁止电子存在的一系列能 量状态
● 满带
被电子填充满的一系列准 连续的能量状态 满带不导电
● 空带
没有电子填充的一系列准 连续的能量状态 空带也不导电
图1-5 金刚石结构价电子能带图(绝对零度)
30
●导带
有电子能够参与导电的能带, 但半导体材料价电子形成的高 能级能带通常称为导带。
电子不仅可以围绕自身原子核旋转,而且可以转到另一个原子周围,即 同一个电子可以被多个原子共有,电子不再完全局限在某一个原子上, 可以由一个原子转到相邻原子,将可以在整个晶体中运动。
27
共有化运动
由于晶体中原子的周期性 排列而使电子不再为单个 原子所有的现象,称为电 子共有化。
在晶体中,不但外层价电 子的轨道有交叠,内层电 子的轨道也可能有交叠, 它们都会形成共有化运动;
杂质来源
一)制备半导体的原材料纯度不够高; 二)半导体单晶制备过程中及器件制造过程中的沾污; 三)为了半导体的性质而人为地掺入某种化学元素的原子。
40
金刚石结构的特点
原子只占晶胞体积的34%,还有66%是空隙, 这些空隙通常称为间隙位置。
杂质的填充方式
一)杂质原子位于晶格 间隙式杂质 原子间的间隙位置, 间隙式杂质/填充;
11
练习 假使面心结构的原子是刚性的小球,且面中心原子与 面顶点四个角落的原子紧密接触,试算出这些原子占此面 心立方单胞的空间比率。
解
12
例1-2 硅(Si)在300K时的晶格常数为5.43Å。请计算出每立方厘米体 积中硅原子数及常温下的硅原子密度。(硅的摩尔质量为 28.09g/mol)
解
13
29
●允带
允许电子存在的一系列准 连续的能量状态
● 禁带
禁止电子存在的一系列能 量状态
● 满带
被电子填充满的一系列准 连续的能量状态 满带不导电
● 空带
没有电子填充的一系列准 连续的能量状态 空带也不导电
图1-5 金刚石结构价电子能带图(绝对零度)
30
●导带
有电子能够参与导电的能带, 但半导体材料价电子形成的高 能级能带通常称为导带。
电子不仅可以围绕自身原子核旋转,而且可以转到另一个原子周围,即 同一个电子可以被多个原子共有,电子不再完全局限在某一个原子上, 可以由一个原子转到相邻原子,将可以在整个晶体中运动。
27
共有化运动
由于晶体中原子的周期性 排列而使电子不再为单个 原子所有的现象,称为电 子共有化。
在晶体中,不但外层价电 子的轨道有交叠,内层电 子的轨道也可能有交叠, 它们都会形成共有化运动;
杂质来源
一)制备半导体的原材料纯度不够高; 二)半导体单晶制备过程中及器件制造过程中的沾污; 三)为了半导体的性质而人为地掺入某种化学元素的原子。
40
金刚石结构的特点
原子只占晶胞体积的34%,还有66%是空隙, 这些空隙通常称为间隙位置。
杂质的填充方式
一)杂质原子位于晶格 间隙式杂质 原子间的间隙位置, 间隙式杂质/填充;
《半导体器件物理》课件
《半导体器件物理》PPT课件
目录 Contents
• 半导体器件物理概述 • 半导体材料的基本性质 • 半导体器件的基本结构与工作原理 • 半导体器件的特性分析 • 半导体器件的制造工艺 • 半导体器件的发展趋势与展望
01
半导体器件物理概述
半导体器件物理的定义
半导体器件物理是研究半导体材料和器件中电子和空穴的行为,以及它们与外部因 素相互作用的一门学科。
可以分为隧道器件、热电子器件、异质结器 件等。
半导体器件的应用
01
通信领域
用于制造手机、卫星通信、光纤通 信等设备中的关键元件。
能源领域
用于制造太阳能电池、风力发电系 统中的传感器和控制器等。
03
02
计算机领域
用于制造计算机处理器、存储器、 集成电路等。
医疗领域
用于制造医疗设备中的检测器和治 疗仪器等。
04
02
半导体材料的基本性质
半导体材料的能带结构
总结词
能带结构是描述固体中电子状态的模 型,它决定了半导体的导电性能。
详细描述
半导体的能带结构由价带和导带组成 ,它们之间存在一个禁带。当电子从 价带跃迁到导带时,需要吸收或释放 能量,这决定了半导体的光电性能。
载流子的输运过程
总结词
载流子输运过程描述了电子和空穴在 半导体中的运动和相互作用。
•·
场效应晶体管分为N沟道 和P沟道两种类型,其结 构包括源极、漏极和栅极 。
场效应晶体管在放大、开 关、模拟电路等中应用广 泛,具有功耗低、稳定性 高等优点。
当栅极电压变化时,导电 沟道的开闭状态会相应改 变,从而控制漏极电流的 大小。
04
半导体器件的特性分析
半导体器件的I-V特性
目录 Contents
• 半导体器件物理概述 • 半导体材料的基本性质 • 半导体器件的基本结构与工作原理 • 半导体器件的特性分析 • 半导体器件的制造工艺 • 半导体器件的发展趋势与展望
01
半导体器件物理概述
半导体器件物理的定义
半导体器件物理是研究半导体材料和器件中电子和空穴的行为,以及它们与外部因 素相互作用的一门学科。
可以分为隧道器件、热电子器件、异质结器 件等。
半导体器件的应用
01
通信领域
用于制造手机、卫星通信、光纤通 信等设备中的关键元件。
能源领域
用于制造太阳能电池、风力发电系 统中的传感器和控制器等。
03
02
计算机领域
用于制造计算机处理器、存储器、 集成电路等。
医疗领域
用于制造医疗设备中的检测器和治 疗仪器等。
04
02
半导体材料的基本性质
半导体材料的能带结构
总结词
能带结构是描述固体中电子状态的模 型,它决定了半导体的导电性能。
详细描述
半导体的能带结构由价带和导带组成 ,它们之间存在一个禁带。当电子从 价带跃迁到导带时,需要吸收或释放 能量,这决定了半导体的光电性能。
载流子的输运过程
总结词
载流子输运过程描述了电子和空穴在 半导体中的运动和相互作用。
•·
场效应晶体管分为N沟道 和P沟道两种类型,其结 构包括源极、漏极和栅极 。
场效应晶体管在放大、开 关、模拟电路等中应用广 泛,具有功耗低、稳定性 高等优点。
当栅极电压变化时,导电 沟道的开闭状态会相应改 变,从而控制漏极电流的 大小。
04
半导体器件的特性分析
半导体器件的I-V特性
半导体物理与器件ppt第四版
着掺杂浓度的提高,载流子的迁移率发生明显的下降。
半导体物理与器件
下图所示为室温(300K)条件下锗单晶材料中电子和空穴
的迁移率随总的掺杂浓度的变化关系曲线。从图中可见,随
着掺杂浓度的提高,锗材料中载流子的迁移率也发生所示为室温(300K)条件下砷化镓单晶材料中电子和空
I eNAvt
Nev v
A
At
E
A
v
eN
V
载流子浓度
单位电量
半导体物理与器件
J drf eNv E
一般说来,在弱场情况下,载流子的定向漂移速度与外
加电场成正比,即:
v E
J drf eNv eN E
其中μ称作载流子的迁移率。
因而有电导率和迁移率的关系: 迁移率的定义表明:载
半导体物理与器件
第五章
载流子输运现象
本章学习要点:
了解载流子漂移运动的机理以及在外电场作用下的漂移电
流;
了解载流子扩散运动的机理以及由于载流子浓度梯度而引
起的扩散电流;
掌握半导体材料中非均匀掺杂浓度带来的影响;
了解并掌握半导体材料中霍尔效应的基本原理及其分析方
法;
半导体物理与器件
输运:载流子的净流动过程称为输运。
获得定向运动动量的速率与通过碰撞失去定向运动动量的
速度保持平衡。
此时晶体中的载流子将在无规则热运动的基础上叠加
一定的定向运动。
半导体物理与器件
我们用有效质量来描述空穴的加速度与外力(电场力)
之间的关系
dv
F m
eE
dt
*
p
v表示电场作用下的粒子速度(漂移速度,不包括热运
半导体物理与器件
下图所示为室温(300K)条件下锗单晶材料中电子和空穴
的迁移率随总的掺杂浓度的变化关系曲线。从图中可见,随
着掺杂浓度的提高,锗材料中载流子的迁移率也发生所示为室温(300K)条件下砷化镓单晶材料中电子和空
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V
载流子浓度
单位电量
半导体物理与器件
J drf eNv E
一般说来,在弱场情况下,载流子的定向漂移速度与外
加电场成正比,即:
v E
J drf eNv eN E
其中μ称作载流子的迁移率。
因而有电导率和迁移率的关系: 迁移率的定义表明:载
半导体物理与器件
第五章
载流子输运现象
本章学习要点:
了解载流子漂移运动的机理以及在外电场作用下的漂移电
流;
了解载流子扩散运动的机理以及由于载流子浓度梯度而引
起的扩散电流;
掌握半导体材料中非均匀掺杂浓度带来的影响;
了解并掌握半导体材料中霍尔效应的基本原理及其分析方
法;
半导体物理与器件
输运:载流子的净流动过程称为输运。
获得定向运动动量的速率与通过碰撞失去定向运动动量的
速度保持平衡。
此时晶体中的载流子将在无规则热运动的基础上叠加
一定的定向运动。
半导体物理与器件
我们用有效质量来描述空穴的加速度与外力(电场力)
之间的关系
dv
F m
eE
dt
*
p
v表示电场作用下的粒子速度(漂移速度,不包括热运
《半导体物理基础》课件
当电子从导带回到价带时,会释 放能量并发出光子,这就是发光 效应。发光效应是半导体的一个 重要应用,如发光二极管和激光 器等。
04 半导体中的载流子输运
CHAPTER
载流子的产生与复合
载流子的产生
当半导体受到外界能量(如光、热、电场等)的作用时,其 内部的电子和空穴的分布状态会发生改变,导致电子和空穴 从价带跃迁到导带,产生电子-空穴对。
06 半导体物理的应用与发展趋势
CHAPTER
半导体物理在电子器件中的应用
01
02
03
晶体管
利用半导体材料制成的晶 体管是现代电子设备中的 基本元件,用于放大、开 关和整流信号。
集成电路
集成电路是将多个晶体管 和其他元件集成在一块芯 片上,实现特定的电路功 能。
太阳能电池
利用半导体的光电效应将 光能转化为电能,太阳Hale Waihona Puke 电池是可再生能源的重要 应用之一。
半导体物理在光电子器件中的应用
LED
发光二极管,利用半导体的光电效应发出可见光 ,广泛应用于照明和显示领域。
激光器
利用半导体的光放大效应产生激光,用于数据存 储、通信和医疗等领域。
光探测器
利用半导体的光电效应探测光信号,用于光纤通 信、环境监测等领域。
半导体物理的发展趋势与展望
新材料和新型器件
随着科技的发展,人们不断探索新的半导体材料和新型器件,以 提高性能、降低成本并满足不断变化的应用需求。
闪锌矿结构
如铬、钨等金属的晶体结构。
如锗、硅等半导体的晶体结构。
面心立方结构(fcc)
如铜、铝等金属的晶体结构。
纤锌矿结构
如氮化镓、磷化镓等半导体的晶 体结构。
晶体结构对半导体性质的影响
04 半导体中的载流子输运
CHAPTER
载流子的产生与复合
载流子的产生
当半导体受到外界能量(如光、热、电场等)的作用时,其 内部的电子和空穴的分布状态会发生改变,导致电子和空穴 从价带跃迁到导带,产生电子-空穴对。
06 半导体物理的应用与发展趋势
CHAPTER
半导体物理在电子器件中的应用
01
02
03
晶体管
利用半导体材料制成的晶 体管是现代电子设备中的 基本元件,用于放大、开 关和整流信号。
集成电路
集成电路是将多个晶体管 和其他元件集成在一块芯 片上,实现特定的电路功 能。
太阳能电池
利用半导体的光电效应将 光能转化为电能,太阳Hale Waihona Puke 电池是可再生能源的重要 应用之一。
半导体物理在光电子器件中的应用
LED
发光二极管,利用半导体的光电效应发出可见光 ,广泛应用于照明和显示领域。
激光器
利用半导体的光放大效应产生激光,用于数据存 储、通信和医疗等领域。
光探测器
利用半导体的光电效应探测光信号,用于光纤通 信、环境监测等领域。
半导体物理的发展趋势与展望
新材料和新型器件
随着科技的发展,人们不断探索新的半导体材料和新型器件,以 提高性能、降低成本并满足不断变化的应用需求。
闪锌矿结构
如铬、钨等金属的晶体结构。
如锗、硅等半导体的晶体结构。
面心立方结构(fcc)
如铜、铝等金属的晶体结构。
纤锌矿结构
如氮化镓、磷化镓等半导体的晶 体结构。
晶体结构对半导体性质的影响
半导体物理与器件第四版ppt
间接复合:电子通过禁带中的各种复合中 心能级(杂质和缺陷形成)分两步进行的 电子和空穴的复合。
非平衡载流子的净复合率: 甲:俘获电子过程; 乙:发射电子过程; 丙:俘获空穴过程; 丁:发射空穴过程。 净复合率 = 甲 - 乙 = 丙 - 丁
半导体的界面态和表面态
半导体界面: 半导体晶体和别的物质的交界面。 比如硅表面和SIO2的交界面。
复合中心能级的范畴。从而使晶体表面载 流子复合加剧,这样就使表面附近载流子 寿命减小。
非平衡载流子的扩散运动
非平衡载流子的扩散运 动:自然界任何物质都 有从浓度高处向浓度低 处运动的趋势。
非平衡载流子的扩散
扩散流与浓度差的关系:等式右边的 D表示扩散系数。 dn/dx表示浓度梯 度,即浓度差的大小。
非平衡载流子的复合
载流子寿命的概念
非平衡载流子的寿命:在外界作用 因素停止后,其随时间逐渐减少 以至消失的过程称为衰减。其平 均存在时间称为非平衡载流子的 寿命。
非平衡少数载流子寿命的意义: 其浓度降低到原来的37%(1/e) 的时间。
非平衡载流子的复合机理:
直接复合:电子在导带和价带之间的直接 跃迁造成的电子和空穴的复合。
正极 引线
P型 硅
铝合 金小球 N型 硅
底座 负极 引线
(3) 平面型二极管
PN结面积大,用 于工频大电流整流电路。
用于集成电路制造工艺中。 PN 结面积可大可小,用 于高频整流和开关电路中。
正极 引线
SiO 2
P型 硅 N型 硅
负极 引线
PN结的形成: 合金法; 扩散法; 注入法
两种不同杂质分布的PN结
u 为PN结两端的电压降
当 u>0
u>>UT时
非平衡载流子的净复合率: 甲:俘获电子过程; 乙:发射电子过程; 丙:俘获空穴过程; 丁:发射空穴过程。 净复合率 = 甲 - 乙 = 丙 - 丁
半导体的界面态和表面态
半导体界面: 半导体晶体和别的物质的交界面。 比如硅表面和SIO2的交界面。
复合中心能级的范畴。从而使晶体表面载 流子复合加剧,这样就使表面附近载流子 寿命减小。
非平衡载流子的扩散运动
非平衡载流子的扩散运 动:自然界任何物质都 有从浓度高处向浓度低 处运动的趋势。
非平衡载流子的扩散
扩散流与浓度差的关系:等式右边的 D表示扩散系数。 dn/dx表示浓度梯 度,即浓度差的大小。
非平衡载流子的复合
载流子寿命的概念
非平衡载流子的寿命:在外界作用 因素停止后,其随时间逐渐减少 以至消失的过程称为衰减。其平 均存在时间称为非平衡载流子的 寿命。
非平衡少数载流子寿命的意义: 其浓度降低到原来的37%(1/e) 的时间。
非平衡载流子的复合机理:
直接复合:电子在导带和价带之间的直接 跃迁造成的电子和空穴的复合。
正极 引线
P型 硅
铝合 金小球 N型 硅
底座 负极 引线
(3) 平面型二极管
PN结面积大,用 于工频大电流整流电路。
用于集成电路制造工艺中。 PN 结面积可大可小,用 于高频整流和开关电路中。
正极 引线
SiO 2
P型 硅 N型 硅
负极 引线
PN结的形成: 合金法; 扩散法; 注入法
两种不同杂质分布的PN结
u 为PN结两端的电压降
当 u>0
u>>UT时
物理半导体器件物理PPT课件
部分 插图为串联的电容器
C / Co
1.0
10Hz
0.8
102 Hz
Si SiO2
0.6
NA d
1.451016 200nm
cm3103
Hz
104 Hz 105 Hz
20 10
0
10
20
V /V
(b) C V图的频率效应
图 5.7
第15页/共71页
MOS二极管
例2:一理想MOS二极管的NA=1017cm-3且d=5nm,试计算其C-V曲线中的 最小电容值.SiO2的相对介电常数为3.9。
Co V
Co d Cj
VT
Cmin
0
V /V
(a) 高频MOS C-V图,虚线显示其近似
部分 插图为串联的电容器
对于n型衬底,只需变更相对应符号与标志后(如将Qp换成Qn),得图到5.7 类似的表达式.与p型衬底相比:
(1)电容-电压特性具有相同的外观,彼此成镜面对称, (2) p型衬底的 VT > 0, n型衬底的VT < 0 .
当 np = NA 时,开始产生强反型; 当 np > NA 时,处于强反型。
EC Ei
Qm
EF
发生强反型后:
V 0 EF
EV
0
V 0
(1) 反型层的宽度 xi ≈ 1nm ~ 10nm,且xi<<W(;b) 耗尽时EF
(2) 随V的增加,能带稍微增加弯曲程度,np急剧
增大,而W不再增大,达到最大值;
(a) M(aO)SM二O极S二管极的管透的视透图视图
(b)) MMOOSS二二极极管管的的剖剖面图面图
当金属板相对于欧姆接图图触55. .为11 正偏压时,V>0; 当金属板相对于欧姆接触为负偏压时,V<0.
第二讲-半导体物理及器件基础总结PPT课件
If, in discussing a semiconductor problem, you cannot draw an Energy Band Diagram, this shows that you don't know what you are talking about.
If you can draw one, but don't, then your audience won't know what you are talking about.
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If you can draw one, but don't, then your audience won't know what you are talking about.
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(1)主量子数n:决定体系能量E或电子离核远近距离r。 (2)角量子数l:确定原子轨道的形状并在多电子原子中和主量子数 一起决定电子的能级。 (3)磁量子数m:决定原子轨道在空间的取向的个数。 (4)自旋量子数:只决定电子运动状态与薛定谔方程无关。
2015/12/29
8
3.2 固体中电的传导 3.2.1 能带和键模型
对确定的半导体材料,受式中Nc和Nv、尤其是指数项exp(-Eg/kT)的影响, 本征载流子浓度ni随温度的升高显著上升。
平衡态半导体n0p0积与EF无关; 对确定半导体,mn*、mp*和Eg确定,n0p0积只与温度有关,与是否掺杂 及杂质多少无关; 一定温度下,材料不同则 mn*、 mp*和 Eg各不相同,其 n0p0积也不相同。
粒子在有效能态中的分布:三种分布法则
麦克斯韦-玻尔兹曼分布函数
认为分布中的粒子可以被一一区分,且对每个能态所容 纳的粒子数没有限制。
玻色-爱因斯坦分布函数
认为分布中的粒子不可区分,但每个能态所容纳的粒子 数没有限制。
费米-狄拉克分布函数
认为分布中的粒子不可区分,且每个量子态只允许一个 粒子存在。
半导体的能带
2015/12/29
(a) T=0K
(b) T>0K
(c) 简化能带图
11
3.2 固体中电的传导 3.2.3 电子的有效质量
粒子所受作用力
Ftotal Fext Fint ma
粒子所受外 力 内力
(3.36)
加速度 粒子静止质量
Fext m a
*
(3.36)
加速度
粒子有效质量,包括了粒子 的质量以及内力作用的效果。
一般半导体为Si或Ge元素形成的半导体,而他们位于第Ⅳ 族,所以第 V 族元素和第Ⅲ族元素与第Ⅳ族元素的原子大 小接近,所以一般为替位式掺杂。
如果Si、Ge中的Ⅲ、Ⅴ族杂质浓度不太高,在包括室温的相当 宽的温度范围内,杂质几乎全部离化,此情况为轻掺杂
2015/12/29
5
4.2 掺杂原子与能级 4.2.1 定性描述
导带底部的电子与价带顶部的空穴有效质量都为正值,价带顶部的电子 和导带底部的空穴有效质量都为负值
2015/12/29 13
3.2 固体中电的传导 3.2.4 空穴的概念
一定温度下,价带顶附近的电子受激跃迁到导带底附近,此 时导带底电子和价带中剩余的大量电子都处于半满带当中, 在外电场的作用下,它们都要参与导电。 对于价带中电子跃迁出现空态后所剩余的大量电子的导电作 用,可以等效为少量空穴的导电作用。 空穴具有以下的特点:(1)带有与电子电荷量相等但符号相反 的 +q 电荷; (2) 空穴的浓度就是价带顶附近空态的浓度; (3) 空穴的共有化运动速度就是价带顶附近空态中电子的共有化 运动速度;(4)空穴的有效质量是一个正常数mp* 。 半导体的导带底部的电子以及价带顶部的空穴统称为载流子。
满带 =价带
半满带 =导带
满带与半满带
10
3.2 固体中电的传导 3.2.1 能带和键模型
T=0K的半导体能带见图 (a),这时半导体的价带是满带,而 导带是空带,故半导体不导电。 当温度升高或在其它外界因素作用下,原先空着的导带变为 半满带,而价带顶附近同时出现了一些空的量子态也成为半 满带,这时导带和价带中的电子都可以参与导电,见图 (b)。 常温下半导体价带中已有不少电子被激发到导带中,因而具 备一定的导电能力。图 (c)是最常用的简化能带图。
本征激发:导带电子唯一来源于成对地产生电子-空穴对因此导带电 子浓度就等于价带空穴浓度。 本征激发的特点:成对的产生导带电子和价带空穴。 允带(允许电子存在的能带)是准连续的 禁带宽度:价带顶和导带底之间的带隙能量Eg即为禁带宽度。 激发过程受电子跃迁过程和能量最低原理制约,半导体中真正对导 电有贡献的是那些导带底部附近的电子和价带顶部附近电子跃迁后 留下的空态(等效为空穴)。
禁带中央
* m* =m p n * m* >m p n * m* <m p n
2015/12/29
本征费米能级精确位于禁带中央; 本征费米能级会稍高于禁带中央; 本征费米能级会稍低于禁带中央;
21
施主杂质,施主电离,施主电离前后的区别?请举例 说明
能够在Si或Ge中能够施放导电电子的元素,称为施主杂质或n 型杂质,用Nd表示。 电子脱离施主杂质的束缚成为导电电子的过程称为施主电离,
粒子的能量是不连续的,其能量是各个分立的能量确定值,称为能级,其 值由主量子数n决定。 !!!
2015/12/29 7
三个对半导体材料分析有用的结论
第一个结论是对应简单势函数的薛定谔波动方程解引出的 电子概率函数; 第二个结论是束缚态电子能级的量子化; 第三个结论是由分离变量引出的量子数和量子态的概念。 n l m s 四个量子数
2015/12/29 12
3.2 固体中电的传导 3.2.3 电子的有效质量
有效质量的意义
上述半导体中电子的运动规律公式都出现了有效质量 mn*,原因在 于F=mn*a中的F并不是电子所受力的总和。 即使没有外力作用,半导体中电子也要受到格点原子和其它电子 的作用。当存在外力时,电子所受合力等于外力再加上原子核势 场和其它电子势场力。 由于找出原子势场和其他电子势场力的具体形式非常困难,这部 分势场的作用就由有效质量mn*加以概括,mn*有正有负正是反映 了晶体内部势场的作用。 既然mn*概括了半导体内部势场作用,外力F与晶体中电子的加速 度就通过mn*联系了起来而不必再涉及内部势场。
点缺陷(空位缺陷和填隙缺陷)
对于实际的晶体,某特定晶格格点的原子可能缺失,这 种缺陷称为空位。在其他位臵,原子可能嵌于格点之间,这 种缺陷称为填隙。
2015/12/29
4
掺杂
为了改变导电性而向半导体材料中加入杂质的技术称为掺 杂。两种掺杂方式为填(间)隙杂质和替位杂质 通常有两种掺杂方法:杂质扩散和离子注入。 第V族元素和第Ⅲ族元素掺杂一般为替位式掺杂?
平衡半导体的判据是n0p0=ni2 n0表示导带中平衡电子浓度
p0表示价带中平衡空穴浓度
本征半导体中有:
n0=p0 =niБайду номын сангаас
ni为本征载流子浓度
影响本征载流子浓度的有温度T 与禁带宽度Eg,即随温度的升高 ,浓度越大;随进带宽度越窄, 浓度越大
2015/12/29 19
4.1 半导体中载流子 4.1.3 本征载流子浓度
区别:施主杂质未电离时是中性的,施主杂质电离后,它是 显电正性。
Si中掺入施主杂质后,通过杂质电离增加了导电电子数量从而 增强了半导体的导电能力。 把主要依靠电子导电的半导体称为n型半导体。n型半导体中 电子称为多数载流子,简称多子;而空穴称为少数载流子, 简称少子。
2015/12/29
22
2015/12/29
P55
14
Si与Ge是间接带隙半导体,GaAs是直接带隙半导体
硅和砷化镓的k空间能带图
直接带隙半导体:价带能量最大 间接带隙半导体:价带能量最大值 值和导带能量最小值的k坐标一致。 和导带能量最小值的k坐标不一致。
2015/12/29 15
3.5 统计力学
3.5.1 统计规律
的杂质原子数,也就是杂质浓度来 定量描述杂质含量多少,杂质浓度 的单位为1/cm3 。
6
2015/12/29
2.1 量子力学的基本原理
三个基本原理 能量量子化原理(普朗克提出) 波粒二相性原理(德布罗意提出) 不确定原理(测不准原理)(海森堡提出)
概率密度函数是一个与坐标无关的常量。具有明确动量 意义的自由粒子在空间任意位臵出现的概率相等,这个 结论与海森堡的不确定原理是一致的,即准确的动量对 应不确定的位臵。
II. 晶体缺陷的分类
几何形态:点缺陷、线缺陷、面缺陷、体缺陷。 形成原因:热缺陷、杂质缺陷、非化学计量缺陷等。 硅(Si)和锗(Ge)都具有金刚石结构。 GaAs是闪(铅)锌矿结构
2015/12/29 3
1.5.1 固体中的缺陷
热缺陷(晶格振动缺陷)
热缺陷是指由热起伏的原因所产生的空位或间隙质点 (原子或离子),是所有晶体都有的一类缺陷。随温度升 高,热缺陷浓度指数增加。
非本征半导体:掺杂半导体
间隙式杂质,替位式杂质
杂质进入半导体后可以存在于晶格 原子之间的间隙位臵上,称为间隙 式杂质,间隙式杂质原子一般较小。 也可以取代晶格原子而位于格点上, 图 替位式杂质和间隙式杂质 称为替(代)位式杂质,替位式杂 Ⅲ、Ⅴ族元素掺入Ⅳ族的Si或Ge 质通常与被取代的晶格原子大小比 中形成替位式杂质,用单位体积中 较接近而且电子壳层结构也相似。
载流子是服从费米-狄拉克分布函数的,但是当E-EF>>kT时,可以简化为波尔 兹曼函数。简并半导体的载流子不能简化为波尔兹曼分布函数。
2015/12/29 16
费米能级
费米能级标志了电子填充能级的水平。 半导体中常见的是费米能级EF位于禁带之中,并且满足 Ec-EF>>kT或EF-Ev>>kT的条件。 因此对导带或价带中所有量子态来说,电子或空穴都可 以用波尔兹曼统计分布描述。 由于分布几率随能量呈指数衰减,因此导带绝大部分电 子分布在导带底附近,价带绝大部分空穴分布在价带顶 附近,即起作用的载流子都在能带极值附近。 简并半导体:服从费米狄拉克分布函数的半导体。 非简并半导体:服从波尔兹曼分布函数的半导体
Si和锗是元素半导体,GaAs是化合物半导体
求晶体中的原子体密 度
体密度=(等效原子个数)/(晶胞体积)
2015/12/29
8
3.2 固体中电的传导 3.2.1 能带和键模型
对确定的半导体材料,受式中Nc和Nv、尤其是指数项exp(-Eg/kT)的影响, 本征载流子浓度ni随温度的升高显著上升。
平衡态半导体n0p0积与EF无关; 对确定半导体,mn*、mp*和Eg确定,n0p0积只与温度有关,与是否掺杂 及杂质多少无关; 一定温度下,材料不同则 mn*、 mp*和 Eg各不相同,其 n0p0积也不相同。
粒子在有效能态中的分布:三种分布法则
麦克斯韦-玻尔兹曼分布函数
认为分布中的粒子可以被一一区分,且对每个能态所容 纳的粒子数没有限制。
玻色-爱因斯坦分布函数
认为分布中的粒子不可区分,但每个能态所容纳的粒子 数没有限制。
费米-狄拉克分布函数
认为分布中的粒子不可区分,且每个量子态只允许一个 粒子存在。
半导体的能带
2015/12/29
(a) T=0K
(b) T>0K
(c) 简化能带图
11
3.2 固体中电的传导 3.2.3 电子的有效质量
粒子所受作用力
Ftotal Fext Fint ma
粒子所受外 力 内力
(3.36)
加速度 粒子静止质量
Fext m a
*
(3.36)
加速度
粒子有效质量,包括了粒子 的质量以及内力作用的效果。
一般半导体为Si或Ge元素形成的半导体,而他们位于第Ⅳ 族,所以第 V 族元素和第Ⅲ族元素与第Ⅳ族元素的原子大 小接近,所以一般为替位式掺杂。
如果Si、Ge中的Ⅲ、Ⅴ族杂质浓度不太高,在包括室温的相当 宽的温度范围内,杂质几乎全部离化,此情况为轻掺杂
2015/12/29
5
4.2 掺杂原子与能级 4.2.1 定性描述
导带底部的电子与价带顶部的空穴有效质量都为正值,价带顶部的电子 和导带底部的空穴有效质量都为负值
2015/12/29 13
3.2 固体中电的传导 3.2.4 空穴的概念
一定温度下,价带顶附近的电子受激跃迁到导带底附近,此 时导带底电子和价带中剩余的大量电子都处于半满带当中, 在外电场的作用下,它们都要参与导电。 对于价带中电子跃迁出现空态后所剩余的大量电子的导电作 用,可以等效为少量空穴的导电作用。 空穴具有以下的特点:(1)带有与电子电荷量相等但符号相反 的 +q 电荷; (2) 空穴的浓度就是价带顶附近空态的浓度; (3) 空穴的共有化运动速度就是价带顶附近空态中电子的共有化 运动速度;(4)空穴的有效质量是一个正常数mp* 。 半导体的导带底部的电子以及价带顶部的空穴统称为载流子。
满带 =价带
半满带 =导带
满带与半满带
10
3.2 固体中电的传导 3.2.1 能带和键模型
T=0K的半导体能带见图 (a),这时半导体的价带是满带,而 导带是空带,故半导体不导电。 当温度升高或在其它外界因素作用下,原先空着的导带变为 半满带,而价带顶附近同时出现了一些空的量子态也成为半 满带,这时导带和价带中的电子都可以参与导电,见图 (b)。 常温下半导体价带中已有不少电子被激发到导带中,因而具 备一定的导电能力。图 (c)是最常用的简化能带图。
本征激发:导带电子唯一来源于成对地产生电子-空穴对因此导带电 子浓度就等于价带空穴浓度。 本征激发的特点:成对的产生导带电子和价带空穴。 允带(允许电子存在的能带)是准连续的 禁带宽度:价带顶和导带底之间的带隙能量Eg即为禁带宽度。 激发过程受电子跃迁过程和能量最低原理制约,半导体中真正对导 电有贡献的是那些导带底部附近的电子和价带顶部附近电子跃迁后 留下的空态(等效为空穴)。
禁带中央
* m* =m p n * m* >m p n * m* <m p n
2015/12/29
本征费米能级精确位于禁带中央; 本征费米能级会稍高于禁带中央; 本征费米能级会稍低于禁带中央;
21
施主杂质,施主电离,施主电离前后的区别?请举例 说明
能够在Si或Ge中能够施放导电电子的元素,称为施主杂质或n 型杂质,用Nd表示。 电子脱离施主杂质的束缚成为导电电子的过程称为施主电离,
粒子的能量是不连续的,其能量是各个分立的能量确定值,称为能级,其 值由主量子数n决定。 !!!
2015/12/29 7
三个对半导体材料分析有用的结论
第一个结论是对应简单势函数的薛定谔波动方程解引出的 电子概率函数; 第二个结论是束缚态电子能级的量子化; 第三个结论是由分离变量引出的量子数和量子态的概念。 n l m s 四个量子数
2015/12/29 12
3.2 固体中电的传导 3.2.3 电子的有效质量
有效质量的意义
上述半导体中电子的运动规律公式都出现了有效质量 mn*,原因在 于F=mn*a中的F并不是电子所受力的总和。 即使没有外力作用,半导体中电子也要受到格点原子和其它电子 的作用。当存在外力时,电子所受合力等于外力再加上原子核势 场和其它电子势场力。 由于找出原子势场和其他电子势场力的具体形式非常困难,这部 分势场的作用就由有效质量mn*加以概括,mn*有正有负正是反映 了晶体内部势场的作用。 既然mn*概括了半导体内部势场作用,外力F与晶体中电子的加速 度就通过mn*联系了起来而不必再涉及内部势场。
点缺陷(空位缺陷和填隙缺陷)
对于实际的晶体,某特定晶格格点的原子可能缺失,这 种缺陷称为空位。在其他位臵,原子可能嵌于格点之间,这 种缺陷称为填隙。
2015/12/29
4
掺杂
为了改变导电性而向半导体材料中加入杂质的技术称为掺 杂。两种掺杂方式为填(间)隙杂质和替位杂质 通常有两种掺杂方法:杂质扩散和离子注入。 第V族元素和第Ⅲ族元素掺杂一般为替位式掺杂?
平衡半导体的判据是n0p0=ni2 n0表示导带中平衡电子浓度
p0表示价带中平衡空穴浓度
本征半导体中有:
n0=p0 =niБайду номын сангаас
ni为本征载流子浓度
影响本征载流子浓度的有温度T 与禁带宽度Eg,即随温度的升高 ,浓度越大;随进带宽度越窄, 浓度越大
2015/12/29 19
4.1 半导体中载流子 4.1.3 本征载流子浓度
区别:施主杂质未电离时是中性的,施主杂质电离后,它是 显电正性。
Si中掺入施主杂质后,通过杂质电离增加了导电电子数量从而 增强了半导体的导电能力。 把主要依靠电子导电的半导体称为n型半导体。n型半导体中 电子称为多数载流子,简称多子;而空穴称为少数载流子, 简称少子。
2015/12/29
22
2015/12/29
P55
14
Si与Ge是间接带隙半导体,GaAs是直接带隙半导体
硅和砷化镓的k空间能带图
直接带隙半导体:价带能量最大 间接带隙半导体:价带能量最大值 值和导带能量最小值的k坐标一致。 和导带能量最小值的k坐标不一致。
2015/12/29 15
3.5 统计力学
3.5.1 统计规律
的杂质原子数,也就是杂质浓度来 定量描述杂质含量多少,杂质浓度 的单位为1/cm3 。
6
2015/12/29
2.1 量子力学的基本原理
三个基本原理 能量量子化原理(普朗克提出) 波粒二相性原理(德布罗意提出) 不确定原理(测不准原理)(海森堡提出)
概率密度函数是一个与坐标无关的常量。具有明确动量 意义的自由粒子在空间任意位臵出现的概率相等,这个 结论与海森堡的不确定原理是一致的,即准确的动量对 应不确定的位臵。
II. 晶体缺陷的分类
几何形态:点缺陷、线缺陷、面缺陷、体缺陷。 形成原因:热缺陷、杂质缺陷、非化学计量缺陷等。 硅(Si)和锗(Ge)都具有金刚石结构。 GaAs是闪(铅)锌矿结构
2015/12/29 3
1.5.1 固体中的缺陷
热缺陷(晶格振动缺陷)
热缺陷是指由热起伏的原因所产生的空位或间隙质点 (原子或离子),是所有晶体都有的一类缺陷。随温度升 高,热缺陷浓度指数增加。
非本征半导体:掺杂半导体
间隙式杂质,替位式杂质
杂质进入半导体后可以存在于晶格 原子之间的间隙位臵上,称为间隙 式杂质,间隙式杂质原子一般较小。 也可以取代晶格原子而位于格点上, 图 替位式杂质和间隙式杂质 称为替(代)位式杂质,替位式杂 Ⅲ、Ⅴ族元素掺入Ⅳ族的Si或Ge 质通常与被取代的晶格原子大小比 中形成替位式杂质,用单位体积中 较接近而且电子壳层结构也相似。
载流子是服从费米-狄拉克分布函数的,但是当E-EF>>kT时,可以简化为波尔 兹曼函数。简并半导体的载流子不能简化为波尔兹曼分布函数。
2015/12/29 16
费米能级
费米能级标志了电子填充能级的水平。 半导体中常见的是费米能级EF位于禁带之中,并且满足 Ec-EF>>kT或EF-Ev>>kT的条件。 因此对导带或价带中所有量子态来说,电子或空穴都可 以用波尔兹曼统计分布描述。 由于分布几率随能量呈指数衰减,因此导带绝大部分电 子分布在导带底附近,价带绝大部分空穴分布在价带顶 附近,即起作用的载流子都在能带极值附近。 简并半导体:服从费米狄拉克分布函数的半导体。 非简并半导体:服从波尔兹曼分布函数的半导体
Si和锗是元素半导体,GaAs是化合物半导体
求晶体中的原子体密 度
体密度=(等效原子个数)/(晶胞体积)