第5章 真空获得-机械真空泵PPT课件

极限压强pu
经过足够长时间的抽气后，所能达到的最低平衡压强
最大工作压强
泵能正常工作的最高压强
使用范围
具有抽气能力的压强范围
排气压强
这一压强下,泵可以可以工作排气
超高真空泵参数
抽气选择性、残余气体组分
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抽速曲线
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典型泵组
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降低空间气体分子浓度（钛泵、低温泵）
排出气体：旋片泵
定向运动：扩散泵、分子泵、罗茨泵
“气体二极管”
前进 反向 压力差 返流 （back through-put) 反扩散、脱附
真空泵：能够维持压力差的设备
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按照抽气方式分类
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粗真空泵:
大气压-10 - 3 torr 旋片泵 旋转柱塞泵 滑片泵 吸附泵 罗茨泵
高真空泵
10 - 3 to 10 - n torr 扩散泵 低温泵 分子泵 离子泵
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按照排气压强分类
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抽速S一般不是常数，随压强变化而变化
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•工作压强范围 •抽速 •极限压强 •抽速与气体种类的关系
பைடு நூலகம்
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抽速范围
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1. 单级旋片泵(无气镇) 2. 单级气镇泵 3.罗茨泵
4. 喷射泵
5.扩散泵 6.分子泵
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真空泵的压强范围
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排气压强：泵在此压强下可以排气
往大气排气的泵
前级泵 前级压强 旋片式机械泵
只往低于大气压的环境排气
系统粗抽 需要前级泵（串联） 扩散泵、分子泵、罗茨泵
束缚泵
不需要出气口
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压缩性真空泵：将气体由一方压缩到另一方
利用膨胀-压缩-排出原理：旋片泵
利用气体束流牵引作用：蒸汽流喷射泵
利用高速表面牵引分子作用：分子泵
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This is not a trivial question!
能对空间排气（减少气相分子数,产生低压空间）的设备 通过容积压缩排气 ( Bulk action) 机械压缩
动量传输( molecular action ) 分子直接碰撞 夹带：和其他分子碰撞
降低空间气体分子浓度: 气体分子储存在表面时间 >>> 实验时间 所有的真空泵都有一定的工作范围:
压强
气体种类
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抽气原理
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吸附型真空泵：利用各种吸附作用将气体吸掉
利用电离吸气作用：离子泵
利用物理、化学吸附作用：吸附泵、低温泵、吸附剂泵
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按照压强范围分类
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真空泵概述
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什么是真空泵？
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真空泵概述
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机械式真空泵
旋片泵 分子泵 罗茨泵
气流泵
扩散泵
俘获泵
吸附泵 低温泵 升华泵 离子泵
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真空物理与技术
第5章 真空获得（机械真空泵）
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第5章 真空获得
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粗抽:机械泵 主泵:扩散泵 前级:机械泵
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真空泵性能的基本参数
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抽气速率S(抽速)
dV S dt |pp1
单位时间流入泵内的气体量Q=S.P S=Q/P