光学元件质量检验美军标

光学元件质量检验美军标

1、目的：

规范光学元件表面质量的检测标准

2、适用范围：

光学元件表面质量的检测

3、技术要求：

总则：所有元件，除具体仪器技术条件或合同所附有关图纸另有规定外，均须符合本标准的各项要求

4、定义：

表面缺陷：有效通光面积内表面缺陷的最大允许尺寸和数量的定量（数值）的描述，数值表示“道子/点子”，“S/D”

5、检测内容：

如加工单要求的20/10即：道子20#，点子10#，具体对应如下：

道子：

道子号数道子宽度

10# 0.001mm

20# 0.002mm

40# 0.004mm

60# 0.006mm

80# 0.008mm

点子：

点子号数点子直径

1# 0.001mm

5# 0.005mm

10# 0.01mm

20# 0.02mm

30# 0.03mm

40# 0.04mm

50# 0.05mm

60# 0.06mm

6、等效直径折算法

6.1当φ2mm＜元件≤φ20mm时，按等效直径折算最大道子（Ｓ）和最大点子（Ｄ），

Ｓ（Ｄ）=S（D）X/2（X为元件等效面积的直径，S为指标中要求的最

大道子，D为指标中要求的最大点子）

例：φ10元件，要求40/20，允许的最大道子宽度S=40*10/2=200#，即最大道子宽度为0.02mm；允许的最大点子D=20*10/2=100#，即最

大点子为0.1mm

6.1.1当元件≥φ10mm时，检测方法：通过肉眼观察元件抛光、膜层表

面质量

6.1.2当φ2mm＜元件＜φ10mm时或元件＜φ10mm且该元件通光尺寸

＞3mm时，

检测方法：用8倍放大镜透过观察元件抛光、膜层表面质量

6.2当元件＞φ20mm 时，要求40/20，有效孔径内任意一个φ20mm 区域都

得满足S/D(0.04mm/0.2mm)要求，否则该元件不合格。 6.3当元件≤φ2mm 时，按质量指标要求的最大标准值

6.3.1检测方法：擦拭干净后的产品统一在放大倍率为40倍的体视显微

镜下进行检测（在放大倍率为38倍下分化板上每格约为0.025mm ，而分化板上的黑线宽度约为0.006mm ），通过体视显微镜观察元件抛光、膜层表面质量（此检测方法仅限通光尺寸≤3mm 的产品） 6.3.2判定方法┅道子

道子的定义：道子是指长与宽比例大于4：1的缺陷（单位：0.0001mm ） 最大道子的定义：道子宽度等于质量指标要求的最大值

例：质量指标要求为40/20元件，最大道子宽度：40# =0.004mm ，

在有效通光孔径内不允许有大于40#的道子，只允许40#道子的长度累加不超过有效通光孔径直径的1/4且所有道子的长度之和不超过有效通光孔径直径的1/2

（1）通光孔径内存在一条道子，宽度大于最大允许道子的宽度

拒收

（2）通光孔径内存在多条道子，如这些道子宽度小于最大允许道子

的宽度；且这些道子的长度累加不超过有效通光孔径1/2 允收

（3）通光孔径内存在多条道子，这些道子宽度等于最大允许道子的

宽度， 同时这些道子的长度累加不超过有效通光孔径直径1/4 允收

60# 道子 道子

L1

（4）通光孔径内存在多条道子，这些道子中既有道子宽度等于最大允许

道子的宽度也

有道子宽度小于最大允许道子的宽度时，累加最大道子的长度不超过有效通光孔径直径1/4，同时累加所有道子的长度不超过有效通光孔径直径1/2 允收

L2+L3不大于1/4

6.3.3判定方法┅点子

点子的定义：点子是指长与宽比例小于4：1的缺陷（单位：0.001mm ） 最大点子的定义：即点子的实际直径尺寸等于质量指标要求的最大标准值,不规则点子取最大长度和宽度的平均值（以下举例用规则点子表示） 例：质量指标要求为40/20元件，最大点子为：20# =0.020mm ，在有效通光孔径内不能有一个大于20#的点子，只允许有2个20#的点子且直径之和不超过20#点子的2倍。

（1）通光孔径内存在一个点子，直径大于最大允许点子的直径 拒

收

L1+L2+L3不大于有效通光孔径直径的1/4

道子点子40# 道子

（2）通光孔径内同时存在2个或者少于2个最大点子 允收

（3）通光孔径内存在多个点子，最大点子的直径不超过最大允许点子的直径。

且各点子

直径之和不超过最大允许点子的直径的2倍

允收

备注：

1、除客户合同所附有关图纸另有规定外，可根据等效直径折算法换算

成具体指标

2、本表面质量检测标准与以前有较大差异，请认真阅读。

要求最大点子为20# 点子 #10 #20 通光孔径