第一章 电子显微技术一(最新设备介绍)

日本电子JSM-6380LV 扫描电子显微镜

主要特点

1.既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高

质量的图像。

2.全自动电子枪

3.高灵敏度半导体背散射探头

4.超级圆锥形物镜，高精度的变焦聚光镜系统

5.大样品室，全对中的样品台，大视野观察范围可观

测到2厘米见方的样品

仪器介绍

JSM-6380LV钨灯丝扫描电镜，是日本电子株式会社在2004年推出的新型号数字化扫描电镜。是在JSM-6360LV\JSM-5610LV的基础上，将电子光学系统进行技术革新，并保留了JSM-5610LV良好的操作界面和出色稳定的控制系统，堪称世界上最先进的扫描电子显微镜。主要特点为全数字化控制系统，高分辨率、高精度的变焦聚光镜系统、全对中样品台及高灵敏度半导体背散射探头；用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。

技术参数

1.分辨率：高真空模式：3.0nm 低真空模式：4.0nm

2.低真空度1 to 270Pa，高、低真空切换

3.样品台X:80mm Y:40mm T:-10 to +90°R:360°

4.加速电压0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA

5.真空系统马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱

日本电子JEM-2100F 场发射透射电子显微镜

主要特点

1.高亮度场发射电子枪。

2.束斑尺寸小于0.5nm。

3.新式侧插测角台，更容易倾转、旋转、加热和冷冻，无机

械飘移。

4.稳定性好、操作简便。

5.微处理器和PC两套系统控制，防止死机。

仪器介绍

JEM-2100F应用广泛，从材料科学、生命科学、医疗、制药、半导体到纳米技术。利用200kV场发射

透射电镜JEM-2100F，不仅可实现超高分辨率图像的观察，同时，还可以得到纳米尺度的结构、成分

等信息。高亮度的场发射电子枪，轻松实现各种分析功能。JEM-2100F最新设计的侧插式侧角台，在

倾斜、旋转、加热、制冷时都不会造成机械飘移。SJEM-2100F可与TEM,MDS,EDS,EELS,and CCD-camer 实现一体化控制。

技术参数

1.点分辨率：0.19nm

2.线分辨率：0.14nm

3.加速电压：80, 100, 120, 160, 200kV

4.倾斜角：25

5.STEM分辨率：0.20nm

日本日立7650 透射电子显微镜

主要特点

1.使用日立独有的双狭缝物镜，可以得到独有的低倍大视野、

高对比度成像的特点

2.标配有高灵敏度CCD相机，具有低剂量电子束成像的功能。

CCD相机的灵敏度约比通常的光学相机高40倍。

D相机与显微镜是一个完整的整体，这样可以有友好的操

作环境。

4.具有更多的自动化功能，如自动聚焦、自动消像散、自动拍

照等

5.标准就具有图像数据库功能，测长、图像过滤功能等

6.具有较强的扩展功能，如三维重构等。

仪器介绍

H-7650是专为生物领域及制药、材料领域而开发的最先进的透射电子显微镜。标准配有高灵敏度的CCD相机，在低剂量电子束时可以得到最佳对比度的图像。由于CCD相机是和电镜是一体，因此可以通过手动控制板或PC机来控制CCD相机。在显示器上显示的图像可以以数字格式存储下来。内置的自动聚焦及其他自动的功能，以及数据库功能可以让操作者在电镜观察的过程中也能享受到友好的操作环境。技术参数

分辨率：0.2nm (晶格像) 加速电压：40kV ~ 120kV

放大倍率：连续放大模式：x200~x600,000 低倍模式：x50 ~ x1,000

图像旋转：倍率范围：x1,000 ~ x40,000 旋转角度：±90º(15º每步)

数字相机：1,024 x 1,024象素样品台移动：X/Y：±1mm Z：±0.3mm

倾斜角度：±20º(±60º可选) 功能：图像导航功能和样品位置记忆功能

FEI Quanta 600场发射环境扫描电镜

主要特点

1.完全数字化系统控制，Windows 2000操作系统

2.场发射环境扫描系统兼顾高分辨和样品多样性

3.数字电影功能可将观察过程记录为avi视频文件

4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统

5.可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品动态观察和分析仪器介绍

Quanta FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的最新产品之一。Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。Quanta FEG和Quanta一样具有优异的系统扩展性能，可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。

技术参数

1.分辨率：<2nm @ 30kV @ 高真空模式、环境真空模式

3.5nm @ 3kV @ 低真空模式

<1.5nm @ 30kV STEM(扫描电子探测器)

2.加速电压200V ～30kV,连续可调

3.高稳定性Schottky场发射电子枪

4.最大束流>100nA

5.样品室压力最高达4000Pa

日本岛津SX-550 分析扫描电子显微镜

仪器介绍

SS-550的观察功能增加了元素分析。技术参数

1.二次电子图像分辩率:3.5nm(30kV)

2.倍率:×20~300,00

3.可检测元素:5B~92U(SSX-550)

4.最大样品尺寸:280mmФ

5.分辨率:138eV(SSX-550)主要特点

从SEM观察到EDX分析都可轻松操作的SEM-EDX一体化系统。从样品表面观察到元素分析，在一个监视器上简便地操作。