第一章 电子显微技术一(最新设备介绍)
生物电子显微术第一章-PPT文档资料
河北农业大学生命学院
2019/3/8 1
生物电子显微术
§1 绪论 I. 基本概念 II. EM发展史 III.EM分类及特点 IV.电镜技术的应用 V. 各种显微镜性能与特点的比较 §2 电子显微镜的基本知识 I. TEM的结构和原理 II. SEM的结构和原理
2019/3/8 2
§3 超薄切片技术
2019/3/8
10
§1.2 电子显微镜的发展概况
I.光学显微镜的发展(LM:
1.光镜的诞生
light microscope)
人眼分辨率：人肉眼能分辨清楚的两点之间的最短距离．用“” 表示 ． 13世纪玻璃的发明 制造眼镜、放大镜 16世纪 欧洲放大镜=0.01 M=3~30倍 1590年 荷兰眼镜商Hans之子---Janssen装配具有划时代意义的 “显微镜” 1665年 英国物理学家Robert Hook(虎克) 第一台光学显微镜 1675年 荷兰Leeuwen.Hook(列文.贺克 M=270倍, 共研制247 台光镜 2.高倍率的光镜 18世纪到19世纪中叶 英、法、意相继研制消色差显微镜 M=1500~2000 人的视力提高了1000多倍 0.2 µm
I.
§8 电镜的应用(个案分析）
I.花粉表面形态的SEM观察 II.熏蒸固定真菌的SEM观察 III.样品包埋块的制作 IV.扫描电镜观察石蜡切片观察法
V.植物原生质体超薄切片的制作
VI.真菌菌丝及孢子的包埋
2019/3/8
4
§9 X-ray显微分析
I.X-ray微区分析的基本原理 II.X-ray显微分析仪工作的基本原理 III.X-ray显微分析的方法及应用
2019/3/8 11
3. 光镜的局限性
实用电子显微镜技术
• 应根据实验目的选择合适的实验材料 • 在实验时不仅要有正常组，还需设立与实验组相同条件的对
照组
第三节 取材与固定
一取材 取材是超薄切片制样的第一步，也是非常关键的一步。 • 定义：从动植物机体上或从细胞及微生物的培养物中
取得所需材料的操作过程。 • 所需溶液主要有缓冲液、戊二醛等。 • 所需器材有吸管、封口膜、称量瓶、烧杯、双面刀片
• 扫描隧道显微技术(STM) • 原子力显微技术(AFM) • 激光扫描共焦显微技术
利用共焦光路及激光扫 描，在观察较厚样品的 内部结构或直接观察细 胞时，可使所选定的不 同层面每一焦点面影象 清晰，从而得到细胞不 同切面上的一系列图象， 经计算机系统快速分析 处理，即可重组出样品 三维立体图象，展现细 胞瞬间变化的形态结构。
发明了放大20-30倍的复式光学显微镜
自制复式显微镜。观察软木薄片，第一 次描述植物细胞结构
利用小型高倍透镜制成简单显微镜，放大倍数 达300倍，观察动植物活细胞与原生动物，第 一次看到许多单细胞生物。
研制成功第一台透射电子显微镜
1938 1939
1965
Ardenne 德国Siemens公司 英国剑桥科学仪器有限公司
Gerber和Weible
中国科学院白春礼
主持研制成功首台原子力显微镜
电子显微镜之父 E.Ruska
世界上第一台电子显微镜
仪器名称：透射电子显微镜
生产厂家：荷兰Philips公司
仪器型号：Tecnai 12
主要附件：
Gatan பைடு நூலகம்92 CCD
性能指标：
最 大 放 大 倍 数 ： 65 万 倍
点分辨率：
和医用剪刀、镊子、牙签、解剖镜等.
电子显微技术
电子衍射
电镜中的电子衍射,其衍射几何与X射线 完全相同,都遵循布拉格方程所规定的衍 射条件和几何关系. 衍射方向可以由厄瓦 尔德球(反射球)作图求出.因此,许多问题 可用与X射线衍射相类似的方法处理.即
2d sin
两种技术所得到的晶体衍射花样在几何特
征上也大致相似
电子衍射与X射线衍射相比的优点p299
短磁透镜p283
焦距f=ARV/(NI)2,式中V是加速电
压，NI是透镜线包的安匝数，R是线包的 半径，A是与透镜结构有关的常数（A>0） 由上式可见：1）f>0,表明磁透镜总是会 聚透镜， 2）f1/I2,表明当励磁电流稍 有变化时，就会引起透镜焦距大幅度的改 变，因此，可以用调节电流的办法来改变 磁透镜的焦距，3）焦距f与加速电压V有 关，加速电压不稳定将使图像不清晰。
对于无定形或非晶体试样，电子图象的衬度 是由于试样各部分的密度和厚度不同形成的，这 种衬度称为质（量）厚（度）衬度（散射衬度） 。 由于样品的不均匀性，即同一样品的相邻两 点，可能有不同的样品密度、不同的样品厚度或 不同的组成，因而对入射电子有不同的散射能 力。 散射角大的电子，由于光阑孔径的限制，只 有部分散射电子通过光阑参与成像，形成图象中 的暗点；相反，散射角小的电子，大部分甚至全 部通过物镜光阑参与成像，形成图象的亮点；这 两方面共同形成图象的明暗衬度，这种衬度反映 了样品各点在厚度、密度和组成上的差异。
散射：一束电子射到试样上，电子与物质 相互作用，当电子的运动方向被改变时。
两种类型的散射及产物 ①弹性散射
E0
改变轨道，能量不变
0 0 ~ 180
Ee E0
②非弹性散射 改变轨道，能量改变
E0
电子显微技术(1)
电子显微技术(1)
总述：
• 电子显微镜有很多类型，主要有透射电子 显微镜(简称透射电镜，TEM)和扫描电子显 微镜(简称扫描电镜，SEM)两大类。扫描透 射电子显微镜(简称扫描透射电镜，STEM)则 兼有两者的性能。
电子显微技术(1)
总述：
The comparison picture of scanning electron microscope and transmission electron microscope
电子显微技术(1)
主要内容：
• TEM——透射扫描电镜 • SEM——扫描电子显微镜 • STM——扫描遂道显微镜 • AFM——原子力显微镜 • ESEM——环境扫描电镜 • STEM——扫描透射电镜 • FESEM——场发射扫描电镜 • SEAM——扫描电声显微镜
电子显微技术(1)
TEM——照明系统
• 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。 • 电子枪是发射电子的照明光源。 • 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而
成的交叉点进一步会聚后照射到样品上。 • 照明系统的作用就是提供一束亮度高、照
明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明 源。
电子显微技术(1)
TEM——电子枪
电子显微技术(1)
TEM——透射电镜的结构
• 图5-11是透射电镜的 外观照片。
• 通常透射电镜由电子 光学系统、电源系统、 真空系统、循环冷却 系统和控制系统组成， 其中电子光学系统是 电镜的主要组成部分。
电子显微镜及设备的基本原理与用途
电子显微镜及设备的基本原理与用途电子显微镜的基本原理是利用电子的波动特性来成像样品。
当电子束照射在样品表面上时，会与样品中的原子和分子发生相互作用，产生散射、透射、吸收等现象。
显微镜通过探测电子束与样品的相互作用产生的信号来获取样品的图像，从而实现对样品微观结构的观察和分析。
电子显微镜与光学显微镜相比，具有更高的分辨率和成像能力，可以观察到更小尺度的结构和更细微的细节。
电子显微镜通常包括电子枪、减速器、磁透镜、样品台和成像系统等组成部分。
电子枪是产生高能电子束的装置，减速器用于减速电子束的速度，磁透镜则用于聚焦和控制电子束的路径，样品台用于支撑和调整待观察的样品位置，成像系统则用于探测和记录与样品相互作用产生的信号并转化为图像。
电子显微镜在生物学领域常用于观察细胞结构、蛋白质分子和细胞器等微观结构；在材料科学领域则用于观察金属、陶瓷、纳米材料等的晶体结构和表面形貌；在纳米技术领域用于观察纳米级别的结构和器件。
电子显微镜能够提供高分辨率的图像和丰富的结构信息，为科学研究和工程应用提供了重要的技术支持。
除了基本的成像功能，现代电子显微镜还可以配备能量散射谱仪（EDS）和电子衍射仪（EBSD）等附属设备，这些设备可以进一步提供样品成分分析、结晶结构分析等更加详细的信息。
通过这些功能，电子显微镜可以广泛应用于材料科学、地球科学、生命科学等众多领域。
在材料科学中，电子显微镜被广泛应用于观察金属、合金、陶瓷、聚合物等材料的微观结构和表面形貌。
通过电子显微镜的高分辨率成像，科学家可以研究材料的晶体结构、物相组成、晶粒大小和分布等关键参数，从而理解材料的性能、加工过程和应用潜力。
此外，配备EDS的电子显微镜能够实现样品成分分析，帮助研究人员识别材料中的元素组成和分布，为新材料的设计和性能优化提供重要参考。
在生命科学领域，电子显微镜被用于观察细胞、细胞器、细胞膜、蛋白质等生物大分子的结构和组织形态。
相比光学显微镜，电子显微镜具有更高的分辨率，可以观察到更小尺度的细胞器和分子结构。
《电子显微术》课件
操作电子显微镜时，要佩戴专业眼镜和手套等防 护用品，避免对人体造成伤害。
04
电子显微镜的优缺点
优点
01
高分辨率
电子显微镜的分辨率远高于光 学显微镜，能够观察更细微的 结构。
02观Leabharlann 厚样品电子显微镜可以观察较厚的样 品，而光学显微镜则受限于光 的穿透深度。
03
多种观察模式
电子显微镜有多种观察模式， 如透射、扫描、背散射等，可 以提供更多样化的信息。
《电子显微术》ppt课件
目录
• 电子显微术简介 • 电子显微镜的基本结构 • 电子显微镜的操作与样品制备 • 电子显微镜的优缺点 • 电子显微术的应用实例
01
电子显微术简介
定义与原理
定义
电子显微术是一种使用电子显微镜观 察样品的微观结构和形貌的现代分析 技术。
原理
电子显微镜利用电子替代传统光学显 微镜的光源，通过电子束与样品相互 作用产生信号，再利用图像处理技术 将信号转换成图像。
发展历程
1925年
德国物理学家Max Knoll和Ernst Ruska发 明第一台电子显微镜。
1931年
1940年代
第一台商用电子显微镜 问世。
透射电子显微镜（TEM ）和扫描电子显微镜（
SEM）的发展。
1980年代
引入计算机图像处理技 术，提高了成像质量。
种类与应用领域
种类
透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描透射电子显微镜（STEM）、环境电子显 微镜（ESEM）等。
控制系统
控制系统是电子显微镜的指挥中心， 负责控制和协调各个系统的正常工作 和操作。
它通常包括各种控制按钮、开关、调 节器和显示器等，操作者可以通过控 制系统来调整电子显微镜的工作状态 和参数，以满足不同的观察需求。
材料科学中电子显微分析技术概述
材料科学中电子显微分析技术概述摘要材料的力学、物理和化学性能与显微组织有着密切的关系，往往显微组织的研究能从本质上揭示材料宏观性能变化的原因，因此显微组织研究越来越受人们的重视，从而促进显微分析仪器迅速发展。
现今显微分析仪器已能完成微观形貌、微观晶体结构和微区化学成分的分析研究工作。
这类仪器主要有透射电子显微镜、扫描电子显微镜、电子探针、离子探针、俄歇电子能谱仪、光电子能谱仪以及激光探针、原子探针、表层探针等。
本文简单介绍了电子探针、扫描电子显微镜、透射电子显微镜等电子显微分析技术各自的原理、特点及其应用。
关键词：电子显微分析技术；EPMA；SEM；TEM引言材料研究可分为三个层次。
其一为基于人的肉眼或借助于放大镜所能做的研究，分析的空间线度为大于10-6m，对这种物体的分析称之为宏观分析;其二为介观分析，分析的空间线度介于10-6~10-8m，可以借助于光学显微镜进行分析;其三为微观分析，分析的空间线度为小于10-9~10-8m的微观粒子。
实际上，人们常说的显微分析是介观分析和微观分析的总称，是指利用光学显微镜或先进设备仪器所做的形貌观察、结构分析以及成分检验等。
显微分析常常以宏观分析为基础。
可以说，显微分析是打开宏观世界奥秘之门的钥匙。
电子束具有波粒二象性。
电子显微分析一方面利用电子束的波动性对被研究物体成像的形貌分析，另一方面利用其粒子性产生的信息进行结构和成分分析。
当聚集电子束人射样品待分析区域时，在电子束作用下产生特征X射线、二次电子、背反散电子、背散射电子衍射等各种信息，通过对这些特征信息进行分析后，用以表征材料显微特性。
一般而言，电子显微分析要与常规的化学、金相及力学等分析手段结合。
材料及产品性能和质量的检测是检验和评价制造装备以及产品能否合格有效的重要关口。
所有零部件在运转过程或产品在使用过程,都在某种程度上承受着力或能量以及温度和接触介质等的作用,因此,在一定使用条件下和使用时间后会使零部件材料发生过量变形、断裂、表面麻点剥落、磨损或腐蚀等现象,从而导致部件失效。
电子显微技术
电子显微分析摘要：本文概述了电子显微技术在纳米材料研究中的应用特点和适用范围,介绍了扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)等电子显微技术在纳米材料中的新应用和新方法。
关键词：纳米材料；SEM；TEM；STM；AFM引言：纳米材料被誉为二十一世纪最有前途的材料, 其粒子尺寸在1—100 nm 之间，处于原子簇和宏观物体交界的过渡区域, 是一种典型的介观系统。
它所具有的体积效应、表面效应、量子尺寸效应和宏观量子隧道效应使得纳米固体材料在力学、电学、磁学、热学、光学和化学活性等方面具有奇特的性能, 因而在许多方面有着广阔的应用前景，目前已广泛应用于冶金、化工、食品储存、涂料、能源以及日用品等科学领域。
纳米颗粒因具有量子尺寸效应、表面效应和宏观量子隧道效应等不同于晶态体材料和单个分子的固有特性，显示出体材料不具备的导电特性、光电特性、光催化能力及随粒径变化的吸收或发射光谱，已被用于各种发光与显示装置。
（1）纳米科学和技术是在纳米尺度上研究物质的特性及其相互作用,并且对这些特性加以利用的多学科的高科技。
纳米科技是未来高科技的基础,适合纳米科技研究的仪器分析方法是纳米科技中必不可少的实验手段。
研究纳米材料的方法很多,如电子显微技术、衍射技术、光谱学技术、热分析技术以及各种磁谱、表面分析谱和动态结构谱等。
在这些分析方法中,电子显微技术是应用最早、范围最广也是最常见的一种纳米材料表征手段。
电子显微技术是以电子束为光源,用一定形状的静电场或磁场聚焦成像的分析技术,比普通光学显微镜具有更高的分辨率。
根据其所检测信号的不同,电子显微技术主要包括透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)、扫描透射电镜(STEM)、扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、电子探针(EPM)、俄歇电子能谱(AES)、场发射显微镜(FEM)和场离子显微镜(FIM)等。
实际上，人们常说的显微技术是介观分析和微观分析的总称，是指利用光学显微镜或先进设备仪器所做的形貌观察、结构分析以及成分检验等。
电镜简介
第一章电子显微镜的类型、结构及其原理第一节引言电子显微镜（electron microscope，EM）隶属于电子显微术（electron microscopy）。
电镜学科可以说是数门学科完美结合的典范，电镜学科又是一门边缘学科，即各门学科互相交叉，互相渗透，是沟通不同学科的桥梁。
电镜是目前应用最广泛的科学研究工具之一，是材料、半导体、地质、考古、应用物理及生物医学等几十门学科的研究利器。
作为形态观察研究的工具之一，电镜具有极高的分辨率、原子级的观察尺度，是科学研究者遨游微观世界最得心应手的工具之一。
特别是20世纪90年代之后的电镜，已不仅用于形态分析，而是结合了各种元素分析、离子定位、元素浓度定量分析附件的多功能型仪器，有的与计算机联机，已能进行图像分析、图像处理及远程图像传输与分析。
这一系列高新技术的发展，为科学研究特别是生物医学科学研究开创了许多新的研究天地。
在生物医学科学研究中，功能变化与超微结构形态变化的统一研究，即功能形态的实时研究，一直是困惑生物界的难题。
因为许多生物体的功能变化多为生物体内元素、离子的浓度与位点变化所引起，要了解其功能变化，就必须知道与功能变化有关的元素、离子的浓度及位点变化。
目前惟有结合了各种定位、定量分析附件的电镜（称为分析电镜），才能完成这种独特的研究。
下面介绍电镜中常提到的几个名词概念:分辨率:指能分辨相邻两点的最小间距.人眼的分辨本领为0.2 mm; 光学显微镜的分辨本领为0.2UM;透射电子显微镜的分辨本领为0.2nm超微结构:指用光学显微镜所不能分辨的细微形态结构以及生物大分子的结构.超微结构的长度计量单位用纳米（nm）表示：1mm=1000um; 1um=1000nm; 1nm=10 .1什么叫电镜:电镜是以电子束为光源,利用电磁透镜成像,并结合特定的机械装置和高真空技术而构成的一种精密的电子光学仪器。
2 电镜的特点:a.分辨本领高: 分辨本领（resolution，简称分辨率）是电子显微镜最重要的参数之一，分辨本领的高低决定一台电镜的优劣。
电子显微分析001[可修改版ppt]
![电子显微分析001[可修改版ppt]](https://img.taocdn.com/s3/m/44fb060aa58da0116d1749a1.png)
TEM
点光源通过透镜产生的Airy斑半径R0的表达式为
R0
0.61 M nsin
其中：λ—光波长；n—透镜折射率；α—透镜孔 径角；M—放大倍数
假设有两物点通过透镜成像后，在像平面上得到 两个Airy斑。当两个物点由远而近相互靠近时， 其相应Airy斑也相互靠近直至发生重叠。
Airy斑
TEM
即透镜分辨率。
r0
R0 0.61 M nsin
λ—照明源波长；n—透镜折射率；α—透镜孔径半角
当nsinα做到最大（n=1.5,α=70~75°）时，
。
说明光学显微镜分辨本领主要决定于照明源波r长0 。2半
波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光最短波
长为390nm，因此光学显微镜最高分辨率为200nm左
德国蔡司研究级金相倒置显 微镜Axiovert40 MAT
TEM
1934年Ruska和Knoll在实验室制作第一部穿透式电子显微 （TEM)。1938年，第一部商售电子显微镜问世。在1940 年代，常用的50至100keV之TEM 其分辨率约在l0nm左右， 而最佳分辨率则在2至3nm之间。当时由于研磨试片的困 难及缺乏应用的动机，所以鲜为物理科学研究者使用。一 直到1950年代中期，由于成功地以TEM观察到不锈钢中的 位错及铝合金中的小G.P.区，再加上各种研究方法的改进 （制样技术、分辨率提高、晶体电子衍射理论等），TEM 学因此才一日千里，为自然科学研究者所广泛使用。
圆筒内受电场力作用在等电位面处发生折射并会聚
成一点。 TEM中的电子枪
-
+
就是一个静电透镜。
TEM
3.2 电磁透镜 ⒈电磁透镜聚焦成像原理 电磁透镜是采用电磁线圈激励产生磁场的装置。
07-1-电子显微技术
4.实际辨别率:
当加速电压为100时，λ=0.037Å，
要求α0=1.1x10-2rad
δ=0.61λ/α0 则：δ=2.05Å=0.2nm
前提条件：
1）仪器在最佳状态； 2）样品最佳； 3）操作最佳。
六、放大率（放大倍数）
1.放大倍数：指线性放大，即在显微镜下观察到旳物体 旳长度与其实际长度旳比值。
2.焦深：指透镜像方与场深等效旳距离。在这一范围内 可任意移动像平面，而成像清楚。
Df=M²δ`/α
设 δ‘=5Å，α=10-3rad: 当M=100, Df=5mm 当M=1000, Df=500mm 当M=10,000, Df=50m
7.阴极X射线：样品原子被入射电子电离后，可发出特征X 射线， X射线旳强度与激发区域内相应旳元素旳含量有关。
八、场深、焦深：
1.场深：指轴上物方旳一
段距离。在这一范围内
移动样品到任何位置，
都能聚焦清楚。
D0
Df
D0=δ/α0
场深与焦深
当电压为100KV， α0=5x10³时，要求δ=10Å，D0=2023Å; 若 要求δ=2Å，则D0=400Å
1μm=10-6m 电镜观察（nm) 1nm=10Å=10-9m
1cm 1mm 100μm 10μm 1μm 100nm 10nm 1nm 0.1nm
细胞 动、植物器官
细胞器 细菌
原子和分子
病毒
核酸和 蛋白分子
二、电子显微镜旳照明源—电子束 1.电子枪旳构造：
阴极：钨灯丝，产生电子
阴极
栅极：控制电子束 阳极：加速电子运动
2.有效放大倍数：指裸眼辨别率与显微镜辨别率旳比值。 即：M有效=δ人/δ仪
裸眼旳辨别率为：0.2mm 光镜辨别率：δ=0.621λ/n·sinα=200nm=0.2µm
电子显微分析技术实验指导书最新
电子显微分析技术实验目录实验一 H-600透射电镜结构原理实验二透射电子显微镜薄膜样品的制备实验三选区电子衍射和明暗场成像实验四透射电镜相机常数和磁转角标定实验一 H-600透射电镜结构原理一、实验内容与目的1. 结合透射电镜实物介绍其基本结构及工作原理，以加深对透射电镜结构的整体印象以及对透射电镜工作原理的了解。
2. 掌握电子显微镜的合轴调整。
二、实验设备H-600扫描透射电子显微镜。
三、透射电镜的基本结构及工作原理透射电子显微镜是一种具有高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器，被广泛应用于材料科学等研究领域。
透射电镜以波长极短的电子束作为光源，电子束经由聚光镜系统的电磁透镜将其聚焦成一束近似平行的光线穿透样品，再经成像系统的电磁透镜成像和放大，然后电子束投射到主镜简最下方的荧光屏上而形成所观察的图像。
在材料科学研究领域，透射电镜主要可用于材料微区的组织形貌观察、晶体缺陷分析和晶体结构测定。
透射电子显微镜按加速电压分类，通常可分为常规电镜(100kV)、高压电镜(300kV)和超高压电镜(500kV以上)。
提高加速电压，可缩短入射电子的波长。
一方面有利于提高电镜的分辨率；同时又可以提高对试样的穿透能力，这不仅可以放宽对试样减薄的要求，而且厚试样与近二维状态的薄试样相比，更接近三维的实际情况。
就当前各研究领域使用的透射电镜来看，其主要三个性能指标大致如下：加速电压：80～3000kV分辨率：点分辨率为0.17～0.35nm、线分辨率为0.1～0.2nm最高放大倍数：30～100万倍尽管近年来商品电镜的型号繁多，高性能多用途的透射电镜不断出现，但总体说来，透射电镜一般由电子光学系统、真空系统、电源及控制系统三大部分组成。
此外，还包括一些附加的仪器和部件、软件等。
本实验结合实验室的透射扫描电镜H-600介绍透射电镜的工作原理。
1．电子光学系统电子光学系统通常又称为镜筒，是电镜的最基本组成部分，是用于提供照明、成像、显像和记录的装置。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
日本电子JSM-6380LV 扫描电子显微镜主要特点1.既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像。
2.全自动电子枪3.高灵敏度半导体背散射探头4.超级圆锥形物镜，高精度的变焦聚光镜系统5.大样品室，全对中的样品台，大视野观察范围可观测到2厘米见方的样品仪器介绍JSM-6380LV钨灯丝扫描电镜，是日本电子株式会社在2004年推出的新型号数字化扫描电镜。
是在JSM-6360LV\JSM-5610LV的基础上，将电子光学系统进行技术革新，并保留了JSM-5610LV良好的操作界面和出色稳定的控制系统，堪称世界上最先进的扫描电子显微镜。
主要特点为全数字化控制系统，高分辨率、高精度的变焦聚光镜系统、全对中样品台及高灵敏度半导体背散射探头；用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。
技术参数1.分辨率：高真空模式：3.0nm 低真空模式：4.0nm2.低真空度1 to 270Pa，高、低真空切换3.样品台X:80mm Y:40mm T:-10 to +90°R:360°4.加速电压0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA5.真空系统马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱日本电子JEM-2100F 场发射透射电子显微镜主要特点1.高亮度场发射电子枪。
2.束斑尺寸小于0.5nm。
3.新式侧插测角台，更容易倾转、旋转、加热和冷冻，无机械飘移。
4.稳定性好、操作简便。
5.微处理器和PC两套系统控制，防止死机。
仪器介绍JEM-2100F应用广泛，从材料科学、生命科学、医疗、制药、半导体到纳米技术。
利用200kV场发射透射电镜JEM-2100F，不仅可实现超高分辨率图像的观察，同时，还可以得到纳米尺度的结构、成分等信息。
高亮度的场发射电子枪，轻松实现各种分析功能。
JEM-2100F最新设计的侧插式侧角台，在倾斜、旋转、加热、制冷时都不会造成机械飘移。
SJEM-2100F可与TEM,MDS,EDS,EELS,and CCD-camer 实现一体化控制。
技术参数1.点分辨率：0.19nm2.线分辨率：0.14nm3.加速电压：80, 100, 120, 160, 200kV4.倾斜角：255.STEM分辨率：0.20nm日本日立7650 透射电子显微镜主要特点1.使用日立独有的双狭缝物镜，可以得到独有的低倍大视野、高对比度成像的特点2.标配有高灵敏度CCD相机，具有低剂量电子束成像的功能。
CCD相机的灵敏度约比通常的光学相机高40倍。
D相机与显微镜是一个完整的整体，这样可以有友好的操作环境。
4.具有更多的自动化功能，如自动聚焦、自动消像散、自动拍照等5.标准就具有图像数据库功能，测长、图像过滤功能等6.具有较强的扩展功能，如三维重构等。
仪器介绍H-7650是专为生物领域及制药、材料领域而开发的最先进的透射电子显微镜。
标准配有高灵敏度的CCD相机，在低剂量电子束时可以得到最佳对比度的图像。
由于CCD相机是和电镜是一体，因此可以通过手动控制板或PC机来控制CCD相机。
在显示器上显示的图像可以以数字格式存储下来。
内置的自动聚焦及其他自动的功能，以及数据库功能可以让操作者在电镜观察的过程中也能享受到友好的操作环境。
技术参数分辨率：0.2nm (晶格像) 加速电压：40kV ~ 120kV放大倍率：连续放大模式：x200~x600,000 低倍模式：x50 ~ x1,000图像旋转：倍率范围：x1,000 ~ x40,000 旋转角度：±90º(15º每步)数字相机：1,024 x 1,024象素样品台移动：X/Y：±1mm Z：±0.3mm倾斜角度：±20º(±60º可选) 功能：图像导航功能和样品位置记忆功能FEI Quanta 600场发射环境扫描电镜主要特点1.完全数字化系统控制，Windows 2000操作系统2.场发射环境扫描系统兼顾高分辨和样品多样性3.数字电影功能可将观察过程记录为avi视频文件4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统5.可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品动态观察和分析仪器介绍Quanta FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的最新产品之一。
Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。
Quanta FEG和Quanta一样具有优异的系统扩展性能，可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。
技术参数1.分辨率：<2nm @ 30kV @ 高真空模式、环境真空模式3.5nm @ 3kV @ 低真空模式<1.5nm @ 30kV STEM(扫描电子探测器)2.加速电压200V ～30kV,连续可调3.高稳定性Schottky场发射电子枪4.最大束流>100nA5.样品室压力最高达4000Pa日本岛津SX-550 分析扫描电子显微镜仪器介绍SS-550的观察功能增加了元素分析。
技术参数1.二次电子图像分辩率:3.5nm(30kV)2.倍率:×20~300,003.可检测元素:5B~92U(SSX-550)4.最大样品尺寸:280mmФ5.分辨率:138eV(SSX-550)主要特点从SEM观察到EDX分析都可轻松操作的SEM-EDX一体化系统。
从样品表面观察到元素分析，在一个监视器上简便地操作。
日本日立S-4800 冷场发射扫描电镜主要特点1. 新型物镜采用专利的ExB设计。
使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选：Ⅰ型50mm×50mm小样品台或Ⅱ型110mm×110mm大样品台，采用图形界面软件用计算机控制。
4. 包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 根据用户的意见而设计新的图形用户界面使得S-4800成为现今最先进、用户友好的扫描电子显微镜。
仪器介绍日立S－4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计，却能达到超高分辨率，可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。
技术参数1.二次电子分辨率1.0nm (15 kV);2.0 nm (1 kV) 2.背散射电子分辨率3.0nm (15kV)3.电子光学：电子枪冷场发射电子源4.加速电压0.5~30kV(0.1KV/步，可变)4.放大倍率x 20~ x 800,0005.物镜光阑4孔，真空外选择和调校(内置加热器)6.检测器二次电子检测器(高位/低位)7.背散射电子检测器(可选)8.EDX(可选) 9.透射电子检测器(可选)10.法拉第杯(可选) 11.阴极荧光检测器(可选)日本电子JSM-6700F 冷场发射扫描电镜仪器介绍技术参数1.分辨率：1.0nm(15kV)/2.2nm(1kV)2.加速电压：0.5KV-30kV3.放大倍数：25-650K4.样品室尺寸：最大200mm直径样品5.束流强度：10-13到2X10-9主要特点1.冷场发射电子枪：10-8Pa order pressure in Gun2.气锁式样品交换、全对中大样品台3.全自动聚焦、消像散、合轴、控制扫描速度4.样品台标配三轴马达却动，可选四、五轴马达驱动5.半漏磁Nano SEM 超高分辨率场发射扫描电镜主要特点1. 超高分辨率Schottky场发射电子枪2. 全球唯一的超高分辨率低真空场发射扫描电镜. 具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式.3. 对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析4. 完全无油真空系统5. 可选配电子束曝光、电子束诱导沉积等纳米设计/加工功能6. FEI公司基于Windows XP的-xT用户界面仪器介绍该产品是世界上第一款可以对有机材料、基板、多孔材料、塑料以及高聚物材料等有电荷积累的样品和/或污染性样品进行超高分辨表征的低真空场发射扫描电子显微镜（FEG-SEM）。
作为FEI公司引领市场的众多设备中最新的一员，Nova NanoSEM为用户在纳米研究、开发与生产的相关工作提供了更多的可能。
技术参数1. 分辨率高真空模式 1.0nm @ 15kV 1.8nm @ 1kV低真空模式 1.5nm @ 10kV(Helix探测器) 1.8nm @ 3kV(Helix探测器)2. 加速电压200V -30kV,连续可调3. 电子束流范围0.3pA -22nA, 连续可调4. 样品台移动范围Nova 200 NanoSEM: X=Y=50mm Nova 600 NanoSEM: X=Y=150mm国产KYKY-3800B 型扫描电镜主要特点1.全计算机控制2.高分辨图像存储及显示系统2.6个接口供装配EDS、WDS等探测器3.WindowsXP操作系统、软件控制等多种自动功能4.多种图像处理功能5.能实现中英文报告打印输出仪器介绍KYKY-3800B是KYKY-3800的升级替代产品。
电镜性能更加优越、操作更加简单。
智能化软件帮助用户一步步完成调节操作，用户只需轻点鼠标。
即使不恰当的操作也不会给仪器带来损害，因为“冲突功能互锁机制”将保证仪器的安全。
不论是电镜操作高手还是初学者，都会发现KYKY-3800B的易用性，从中得到乐趣。
技术参数1.分辨率：4.5nm2.放大倍数：15X～250,000X3.加速电压：0.1kV～30kV4.试样尺寸：Φ60mm（最大）5.样品台1）标准样品台：X=Y=50mm,Z=25mm,T=-5°～+90°,R=360°2）大样品台：X=80mm,Y=50mm,Z=30mm,T=0～+90°,R=360°3) 高真空高温样品台：最高温度达1000℃美国热电SystemSix X射线能谱仪主要特点SystemSix型能谱仪是美国热电集团NORAN能谱公司2003年推出的最新一代的高智能化能谱仪。
也是第六代能谱仪技术。
它集NORAN公司40年能谱仪制造经验，并融入最新的计算机和图像分析技术，创造出新一代日臻完美的，操作简便的高稳定性能谱仪。
适用于各种型号的扫描电镜，透射电镜或各型号的场发射电子显微镜。
解决微区成分分析的问题。
仪器介绍这是目前国际上最新一代的能谱仪。
具有在一个工作界面上完成全部能谱分析的各项功能。
全自动可介入的定性定量分析，二次图像，背反射图像采集，存储和调用，任意数量的元素面分布，多元素线扫描，自动多点分析。