129956034381250000第四章光电发射器件.ppt

Sv
Ik
780
量纲为mA/lm。
380 Φv,λd
§4.1 光电发射阴极
一、光电发射阴极的主要特性参数
2、量子效率
一定波长的光子入射到光电阴极时，该光电阴极单位时间发
射出去的光电子数Ne,λ,与入射的光子数Np,λ之比为光电阴极的量 子效率ηλ（或称量子产额）。
N e, λ N p, λ
λΦIeλk, //h qSeλ,qhc1
光电发射阴极的灵敏度包括光谱灵敏度与积分灵敏度两类。
（1） 光谱灵敏度
在单一波长辐射作用于光电阴极时，光电阴极输出电流Ik与单色 辐射通量φe,λ之比为光电阴极的光谱灵敏度Se,λ。即
其量纲为µA/W或A/W。S e,
Ik Φ e, λ
§4.1 光电发射阴极
一、光电发射阴极的主要特性参数
1、灵敏度
光电发射阴极的主要作用是吸收光子能量发射光 电子，是我们光电效应发生的区域。
常将半导体发射材料涂于玻壳 内壁，构成光电阴极； 而阳极是金属环或者金属网， 在其对面。 光电阴极是完成光电转换的重要部件，其性能 好坏直接影响整个光电发射器件的性能！！！
§4.1 光电发射阴极
一、光电发射阴极的主要特性参数 1、灵敏度
（2）电子光学系统
电子光学系统是指光电阴极至第一倍增极之间的区域。电子 光学系统在结构上主要由聚焦电极和偏转电极组成。
电子光学系统的作用： （1）使光电阴极发射的光电子尽可能多的会聚到第一倍增极上，
而将其他部分的杂散热电子散射掉，提高信噪比； （2）光电阴极各部分发射的光电子到达第一倍增极所经历的时
侧窗式光电倍增管一般使用反射式光电阴极，而且大多数采 用鼠笼式倍增极结构。
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构 （1）入射窗结构 ②端窗式光电倍增管
端窗式光电倍增管通常使用半透明光电阴极，光电阴极材料 沉积在入射窗的内侧面。一般半透明光电阴极的灵敏度、均匀性 比反射式阴极好，而且阴极面可以做成各种大小。
瓦片静电聚焦型
K
D2 D4 D6 D8
D10
A
D1 D 3 D 5 D 7 D 9
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube）
2、光电倍增管的结构 （3）电子倍增极
盒栅式
K
D2 D3
D6 D7
D10 D11
D1
D4 D5
A D8 D2
§4.1 光电发射阴极
二、光电发射阴极材料
1、单碱或多碱锑化物光电阴极 （2） 多碱锑化物
②Na2KSb（Cs）：锑钾钠铯阴极是三碱阴极中最有实用价值的 一种。它从紫外到近红外的光谱区都具有较高的量子效率，典型 光照灵敏度为150μA/lm；长波限850nm；热电子发射1014~10-16A/cm2，工作稳定性好。
§4.1 光电发射阴极
一、光电发射阴极的主要特性参数
4、暗电流
光电发射阴极中少数处于较高能级的电子在室温下获得了热能 产生热电子发射，形成暗电流。光电发射阴极的暗电流与材料的 光电发射阈值有关。一般光电发射阴极的暗电流极低，其强度相 当于10-16~10-18A/cm-2的电流密度。
§4.1 光电发射阴极
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构 （3）电子倍增极 ②倍增极结构
根据电子倍增极的结构形式，目前光电倍增管的倍增极分为 六种形式：鼠笼式、瓦片静电聚焦型、盒栅式、百叶窗式、近贴 栅式和微通道板式。
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
2S4eλ,0
量子效率和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方法。
§4.1 光电发射阴极
一、光电发射阴极的主要特性参数
3、光谱响应
光电阴极的光谱灵敏度或量子效率与入射辐射波长的关系曲线 称为光谱响应曲线。
真空光电器件中长波灵敏度极限，主要由光电阴极材料(nm) Eth
二、光电发射阴极材料
1、单碱或多碱锑化物光电阴极 （1） 单碱锑化物 金属锑与碱金属锂、钠、钾、铷、铯中的一种化合，形成具有 稳定光电发射的发射物LiSb、KSb、RbSb、CsSb，其中，以 CsSb阴极的灵敏度最高，是最具有实用价值的光电发射材料。
锑化铯阴极在可见光的短波长和近紫外区（0.3~0.45μm）响 应率最高，长波限在0.65μm附近；光照灵敏度60μA/lx，量子 效率30%，暗电流10-16A/cm2
3）熔融石英：透紫外波长可达160nm，只能做管子的头；
4）蓝宝石；5）氟化镁。
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构 （2）电子光学系统
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube）
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构 （3）电子倍增极 ①倍增极材料
常用的倍增极材料有： 锑化铯：在较低的电压下产生较高的发射系数； 氧化银镁合金（AgMgO[Cs]）：可在较强的电流和较高的温度
（150度）下工作
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
一、真空光电管 真空光电管主要由光电阴极和阳极两部分组成，因管内常被
抽成真空而称为真空光电管。
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
一、真空光电管 2、充气型光电管的工作原理
有时为了使某种性能提高，在管壳内也充入某些低气压惰性 气体形成充气型的光电管。
义为倍增极材料的发射系数
N2 N1
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube）
2、光电倍增管的结构 （3）电子倍增极
二次电子发射步骤： 材料吸收一次电子的能量，激发体内电子到高能态，这些被激发 电子称为内二次电子； 内二次电子中初速度指向表面的那一部分向表面运动，在运动过 程中因散射而损失能量； 如果达到界面的内二次电子仍有足以克服表面势垒的能量，即逸 出表面成为二次电子。
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构 （3）电子倍增极 ②倍增极结构
光电倍增管中倍增极一般由几级到十五级组成，根据电子轨迹 的形式可分为两类：聚焦型和非聚焦型。
凡是由前一倍增极来的电子被加速和会聚在下一倍增极上，在 两个倍增极之间可能发生电子束交叉的结构称为聚焦型；非聚焦 型形成的电场只能使电子加速，电子轨迹是平行的。
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube）
1、光电倍增管的工作原理 光电倍增管主要由光入射窗、光电阴极、电子光学系统、倍
增极和阳极等部分组成。
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构 （1）入射窗结构
金属导 电层
带孔膜片
第一倍增极
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube）
2、光电倍增管的结构 （3）电子倍增极
①倍增极材料
二次电子发射：具有足够动能的电子轰击某些材料时，材料 表面将发射新的电子，这种现象称为二次电子发射。
通常把二次发射的电子数N2与入射的一次电子数N1的比值定
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构 （3）电子倍增极 ①倍增极材料
二次电子发射与光电发射的区别：二次发射电子的过程由高 能电子的激发材料产生电子发射，而不是光子激发所致。一般光 电发射性能好的材料也具有二次电子发射功能。
这类管子体积较大，工作电压高达百伏到数百伏，玻 璃外壳容易破碎，它的一般应用目前已基本被半导体 光电器件代替。
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube）
光电倍增管是一种建立在光电效应、二次电子发射和电子 光学理论基础上的，把微弱入射光转换成光电子，并获得倍增 的重要的真空光电发射器件。
§4.1 光电发射阴极
二、光电发射阴极材料
2、银氧铯（Ag-O-Cs）阴极
1934年研制的第一支红外变象 管就采用这种阴极，是最早出现 的实用光电阴极。它的特点是对 近红外辐射灵敏。 银氧铯光电阴极的相对光谱响应曲线有两个峰值，一个在350 nm处，一个在800nm处。光谱范围在300nm到1200nm之间。 量子效率不高，峰值处约0.5%～1%左右。银氧铯使用温度可达 100℃，但暗电流较大，且随温度变化较快。
光电管→被半导体器件取代 光电倍增管
特点：灵敏度高、稳定性好、响应速度快和噪声小 在探测微弱光信号及快速脉冲光信号方面应用很多。
缺点：结构复杂，工作电压高，体积大
本章内容
4.1 光电阴极 4.2 光电管和光电倍增管结构原理 4.3 光电倍增管的主要特性参数 4.4 光电倍增管的工作电路
§4.1 光电发射阴极
§4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理
二、光电倍增管（PMT，Photo Multiple Tube） 2、光电倍增管的结构 （1）入射窗结构 ③常用窗口材料 1）硼硅玻璃：透射光谱范围从300nm到红外，不适合作紫外辐 射窗口材料，能较好地应用于闪烁计数；