洁净室尘埃粒子检测记录
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洁净区悬浮粒子检测记录
日期： 系统： 使用仪器： CAGC036
洁净室 编号
房间名称 更鞋更衣 更洁净衣 气锁 D级洁净走廊 整衣洗衣间 器具清洗间 器具暂存间 外清 前室 中间站 中控室 洁具间 防爆门斗 精品干燥间 精制间 混合分装间 粉碎间 气锁
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≥0.5um， ≥5um， 洁净等级 采样量 采样量 粒/m3 粒/m3 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 D级 检查人: 复核人: 日期: 日期: 符合规定 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□ 是□否□