电子级氢氟酸产业行动计划

电子级氢氟酸产业行动计划

——产业投资建设规划

电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢需求不断提高。

树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，加快转变产业发展方式和产业结构调整，培育新型产业和优势产业，提质增效，由资本驱动型产业向创新驱动型产业转变。参与国家“一带一路”战略，走国际化发展道路。

为了加快区域产业结构调整和优化升级，推进未来几年产业健康快速发展，按照“领先发展、科学发展、又好又快发展”和“产业倍增”的战略部署，结合区域产业发展情况，制定本规划。

第一条指导路线

推动产业转型升级，发展壮大新兴产业，全面提升产业整体发展水平。

第二条指导原则

1、区域协同，部门联动。深入推进区域产业发展协同发展，在更大区域范围内打造产业发展链条，形成错位发展、共同发展格局；加强部门间的统筹协调，建立联动机制，形成合力。

2、因地制宜，科学发展。充分结合各区域经济社会发展水平、资源条件，分地区、分类型制定科学合理的工作路线，指导推动产业现代化发展。

3、开放融合。树立全球视野，对标国际先进，把握“一带一路”重大战略契机，聚焦产业重点领域，探索发展合作新模式，在全球范围配置产业链、创新链和价值链，更大范围、更高层次上参与产业竞争合作，走开放式创新和国际化发展的道路。

4、市场主导，政府引导。发挥市场配置资源的决定性作用，尊重企业主体地位，激发企业活力和创造力，创新经营模式和业态，推动联合重组，增加有效供给，促进优胜劣汰；健全公平开放透明的市场规则，完善支持政策，搭建服务平台，优化产业发展环境。

第三条产业背景分析

电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不

断有企业增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，

电子级氟化氢需求不断提高。

电子级氢氟酸是氟精细化学品的一种，主要用于去除氧化物，是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一。从电子级氢氟酸行

业的发展历程来看，可以分为三个阶段：起始阶段、规模化发展阶段

以及快速发展阶段。

20世纪70年代左右，我国的电子级氢氟酸开始兴起；到

2003年，我国的氢氟酸快速发展且电子级氢氟酸行业的下游需求不断

扩大，推动电子级氢氟酸行业转向规模化发展阶段；2014年，多氟多

投资13500万元，建设年产1万吨电子级氢氟酸项目，打破了中国对

高品质电子级氢氟酸依赖进口的局面，同时也刺激了其他氟化工企业

进军电子级氢氟酸领域。

就目前来看，我国电子氢氟酸进入成熟阶段，仍需要不断探索，毕竟高品质电子级氢氟酸的制备除需要进行工艺提纯创新外，还

需要配套产业的技术创新。

2005年以来，我国氟化氢行业进入产能扩张时代，各地纷纷

上马氟化氢项目。氟化氢生产企业（集团）有50多家，万吨级装置有

几十套，超过3万吨的有13家，大型生产装置占主导地位，已成为世

界第一大氟化氢生产基地。

自2008年开始，我国氟化氢产能利用率大幅下降，2008-

2012年平均开工率不到65%，产能明显过剩；2013年、2014年产能利

用率更是低于50%；2018年我国环保高压持续，氟化氢产能利用率约

为61%。

为抑制行业产能过剩，工信部于2011年发布了《氟化氢行

业准入条件》，提出新建生产企业的氟化氢总规模不得低于5万吨/年，新建氟化氢生产装置单套生产能力不得低于2万吨/年。2011年发布的《氟化工产业调整指导目录（2011）》中，除电子级及湿法磷酸配套

除外，新建氟化氢装置已被列入限制类项目，5000吨/年以下工艺技术落后和污染严重的氢氟酸装置被列为淘汰类。

在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势

而上，不断有企业增扩电子级氟化氢产能。2018年12月，索尔维蓝天拟扩建电子级氢氟酸产能，同时新增一套年产15000吨/年电子级氢氟

酸生产线，使电子级氢氟酸总产能达到30000吨/年；2018年6月，鹰鹏集团投资新公司建设二期年产6000吨电子级氢氟酸生产线；2018年

1月，天赐材料发布关于投资建设年产5万吨氟化氢、年产2.5万吨电子级氢氟酸改扩建项目的公告。

2016年我国电子级氢氟酸产能达18.5万吨，与2015年比年均增长14.91%；2017年，中国半导体行业快速增长，其对电子级氢氟酸的需求有所增长，这也推动了电子级氢氟酸行业的快速发展。2018年估算电子级氢氟酸产能达到24.0万吨。

目前，电子级氢氟酸主要运用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域，其中第一大应用市场是集成电路领域，约占电子级氢氟酸总消耗量的47.3%；其次是太阳能光伏领域，占比22.1%；再次是液晶显示器领域，占18.3%。

近年来，随着我国微电子工业的高速发展，中国大陆逐步成为全球较大的液晶显示器（LCD）产业基地，用于集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）和半导体等清洗和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大，国内优势企业的竞争力正在不断增强，长期成长空间巨大。

第四条区位背景分析

一年来，区域经济社会发展总体平稳、稳中有进、进中提质。一是经济运行保持平稳。完成地区生产总值xx亿元，增长xx%、区域第

三；规模以上工业增加值增长xx%，区域第二；固定资产投资增长xx%；进出口总额xx亿元、增长xx%，其中出口xx亿元、增长xx%；实际使

用外资xx亿美元；社会消费品零售总额xx亿元，增长xx%、区域第三。二是质量效益显著提升。一般公共预算收入xx亿元，增长xx%、区域

第二，税比xx%、区域第三；高新技术产业产值占比达xx%；规上工业

企业利润总额增长xx%；单位GDP能耗下降xx%。三是新旧动能加快转换。预计全社会研发经费占比达xx%；科技进步贡献率达xx%；新增高

新技术企业xx家；万人发明专利拥有量xx件，同比增加xx件；高新

技术产业投资增长xx%。四是人民生活持续改善。全体居民人均可支配收入达xx元、区域第四，增长xx%；居民消费价格上涨xx%；城镇登

记失业率控制在xx%以内。xx件民生实事项目全面完成。今年是高水

平全面建成小康社会和“十三五”规划收官之年，是推进“强富美高”新城市建设再出发的起步之年。今年经济社会发展的主要预期目标是：地区生产总值增长xx%左右，一般公共预算收入增长xx%左右，固定资

产投资增长xx%左右，社会消费品零售总额增长xx%以上，进出口总额

稳中提效，实际使用外资xx亿美元，全社会研发经费支出占GDP比重

达xx%左右，全体居民人均可支配收入高于GDP增速，居民消费价格涨幅、城镇登记失业率分别控制在xx%、xx%以内。