皮拉尼真空计
皮拉尼真空计
VSP62 真空变送器 绝对压力从 1000 mbar 到 1 x 10-4 mbar (1mbar=1hPa), 750 - 1 x 10-4 Torr. VSP62 真空计基于超前专利皮拉尼测量原理，延伸其测量范围，同时保证高的分辨率。此真空计带温度补 偿，输出对数关系的电压信号 0-10V. 优点 高可靠性，卓越的重复性 结构非常紧凑，工业应用设计 宽的测量范围，高分辨率即使在抽象的真空范围 金属滤网保护灯丝，好的抵抗力针对于油和蒸汽 低功耗 减少测量腔的自热 由于金属密封的不锈钢传感器，非常适合于 UHV 应用 典型应用 分析仪器喷涂车间 冷冻干燥，冷冻法 真空炉 真空泵和真空设备 泄漏测试 过程工艺
技术参数：
测量原理 真空接触材料 测量范围
精度
热传导( Pirani 推动), 依据气体种类 不锈钢 1.4307, 镍, 钨, 玻璃 1000 - 1 x 10-4 mbar (750 - 1 x 10-4 Torr), 最大耐压 4bar 绝对压力 < 30% 读数: 1000 - 20 mbar: < 10% 读数: 20 - 2 x 10-3 mbar < factor 2: < 2 x 10-3 mbar
重复性 响应时间 供电电压 电气连接 Electrical Connection 功耗 工作温度 储藏温度 最大烘烤温度
2% 最大 200 ms 15 - 30 VDC 赫斯曼，6 针 接近 10 mA 5...+50°C -20...+70 °C 80°C 法兰处
输出信号
真空过程连接 防护等级 重量
Hale Waihona Puke 0 - 10 VDC, 测量范围 1.5 - 8.5 VDC, 对数, 1V / 十进制, 阻抗 > 10 kOh
皮拉尼真空计原理详解
皮拉尼真空计原理的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而皮拉尼真空计,也称电阻式真空规。
其工作原理是：真空度不同，是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。
通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。
热传导真空计主要被应用于中低真空领域。
代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。
原理Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。
通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。
单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs (1)Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。
气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为Ｑg = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0)ｐ (2)如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。
剩下的Qs和Qr可以分别表示如下Ｑs = Ｓκ(Ｔ－Ｔ0)/Ｌ (3)Ｑr = πｄａσε(Ｔ4－Ｔ04) (4)(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。
(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。
如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。
如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为Ｉ2Ｒ = Ａｐ＋ I02Ｒ (5)Ａ= αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0) (6)I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。
Ａ式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。
皮拉尼标准真空计
350-080 350-082 350-081 350-084 350-085 350-083 350-086
350-087
350-088
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8" NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管)
(7/16-20 UNF) (DN 16 ISO-KF 长管) (DN 16 CF-R 长管)
FCC 68 / RJ45, 仪表插头, 8 脚 8 芯, 加屏蔽 ≤ 100 米 (8×0.14 毫米 2)
接地 真空连接至 讯号公共端 电源公共端至 讯号公共端
暴露于真空的材料
灯丝 PSG500, PSG500-S PSG502-S
→ " 电气连接 " 通过 1MΩ 连接 (电压差 <50 V) 通导隔离, 用于 不同的测量
水平安装方向
测量讯号
有效范围 5×10-4 毫巴<p< 1000 毫巴
3.75×10-4 乇 <p< 750 乇
5×10-2 帕 <p< 1×105 帕
%
≤80,温度为+31 °C 时,当温度
上升至 +40 °C 时减至 50
仅室内,海拔高至 2000 米 NN
［毫巴］
［微米汞柱］
任意
［微巴］
［帕］
人员要求
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
皮拉尼真空计_PGD400中文说明书
PGD400
tinb14c1 (2009-07)
操作手册
内 含 : EC 一 致 性 声 明
1
产品标识
与 INFICON 公司联系时，请告知产品标牌上的信息。为便于参考， 请将产品信息记录在以下的空格中。
PGD400 Made in China
100-240V 50/60Hz 30VA
关闭PGD400真空计 电源开关拨至OFF将 PGD400真空计电源关闭 (如仪器安装在控制柜机架上, 应通过中央配电箱开关)。
在再次启动 PGD400 电源前，至少等待 10 秒钟 仪器本机初始化。
tinb14c1 (2009-07)
19
4.3 运行模式
PGD400真空计工作于下列运行模式：
• 测量模式 用于显示测量值或状态信息 (→ 21)
测量模式
参数模式
单位
电源 on
>5 秒
阈值
22
tinb14c1 (2009-07)
选择参数 设置参数值
参数的名称 例如:
（单位） 按下键或至少1 秒钟后显示， 接着，显示当前有效的参数值。
按键 <1 秒: 值增大 / 减小 1； 按键 >1 秒: 值连续增大 / 减小；
保存修改的参数值；
tinb14c1 (2009-07)
必须不超过允许的 最高室温 (→ 9) 并具备良好的通风。
为降低面板上的机械应力，应在适当位置对仪器进行支撑。 将 PGD400 滑入控制柜的开口中 …
… 接着用四个 M3 或等效的螺丝进行紧固。
tinb14c1 (2009-07)
13
3.2 电源连接
危险
危险： 线电压 确保产品已经安全接地，否则出现故障是十分危 险的.仅推荐使用带保护接地的 3 芯电源电缆 (3×1.5 毫米2)。 电源线插头必须插入带保护接地的插座中，不能使 用无保护接地的延伸电缆。
电阻真空计使用说明书
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“on”即为下点控制模式，其动作类型如下图所示：
区域控制：
继电器的上限（up）设为“on”，下限（Lo）设为“on”即为区域控制模式，其动作类型如下图所示：
关闭模式：
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“OFF”即为关闭模式，此时该路继电器将一直处于关闭状态。
（3）继电器上限点设置菜单下，通过“Set”键在整数、小数、幂之间调整设置位置，通过“▲”和“▼”键设置真空度。
（4）设置完成后按下“OK”键进入继电器下限设定,界面显示如下：
（5）反复按下“OK”键，菜单将会依次从继电器1向继电器4切换，若当前继电器的上限/下限为“OFF”，将直接进入下级菜单，而不会进入设定点菜单。
（1）、简述
DGR-52电阻真空计采用主/从结构的MODBUS协议进行数据通信，真空计为从机。用户可以根据实际需要选择使用MODBUS-ASCII或MODBUS-RTU方式与主机通信，亦可自由设定通信的数据格式和通信速度。
MODBUS-ASCII协议的数据帧格式为：
1 Byte
2 Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
06
寄存器地址字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
CR LF
MODBUS-RTU格式
主机发送：
-
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
2Bytes
真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度-最新国标
真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度1 范围本文件给出了皮拉尼真空计的参数，描述了其校准步骤，规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。
本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa ~150 kPa 的皮拉尼真空计。
当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时，本文件是对GB/T 34873 和 ISO 27893的补充。
另外，本文件描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。
2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 34873-2017 真空计与标准真空计直接比较校准（ISO 3567:2011，IDT）ISO 27893 真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（Vacuum technology —Vacuum gauges —Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge）注：G B/T 34876-2017 真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（ISO 27893:2011，IDT）ISO/IEC 17025 检测和校准实验室能力的通用要求（General requirements for the competence of testing and calibration laboratories）注：G B/T 27025－2019 检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC 17025：2017，IDT）3 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。
部组件定义3.1.1热传导真空计 thermal conductivity gauge通过测量保持不同温度的两个固定元件表面间的热量传递来确定压力的一种真空计。
皮拉尼真空计工作原理
皮拉尼真空计工作原理
皮拉尼真空计是发现真空的简易仪器，具有测量范围宽，结构简单，重量轻，可靠性高，成本低等优点，广泛应用于国内外空调、制冷行业等。
它的原理如下：
皮拉尼真空计由一个真空断头（多为U型乙烯塑料管）、一个活塞（以金属或塑料制成）构成，两端固定在底座上。
活塞底部安装有一个游标，当真空度变化时，活塞的运动会引起游标的上下移动，使得游标根据真空度的变化而变化。
皮拉尼真空计工作原理：光滑的U型管中安装有一个称重元件，当真空度改变时，称重元件会受空气内压力的影响而产生变形，从而改变重心位置，使得游标发生位移，仪器上会出现一个分，提供旋转刻度盘，指针会随着真空度的变化而指向相应的分，从而测出真空度大小。
皮拉尼真空计的测量范围宽，通常为空气中的几个百万分之一的气压，最高可达10-3动物斯，可根据实际需要而进行调整。
皮拉尼真空计具有结构简单，重量轻，可靠性高，成本低，维护保养方便等优点，是在大多数真空技术下优先考虑的测量，然而，皮拉尼真空计的测量精度稍低于其他仪器，但不会影响实际的测量结果。
皮拉尼真空计 对数
皮拉尼真空计对数皮拉尼真空计是一种常见的计量设备，用于测量低压或高真空下的气体压力。
它的设计简单，操作方便，广泛应用于科研实验室、工业生产和医疗设备中。
本文将从原理、使用方法和注意事项等方面介绍皮拉尼真空计的相关内容，以帮助读者更好地了解和使用这一仪器。
皮拉尼真空计依靠一种称为皮拉尼效应的物理原理来测量气体压力。
简单来说，当气体进入真空计的量度芯片时，气体分子会与芯片碰撞，产生微小的应力。
这些应力会导致芯片产生微小的形状变化，称为硅薄膜的弯曲。
通过测量硅薄膜的弯曲程度，我们可以确定气体的压力大小。
使用皮拉尼真空计需要注意以下几点。
首先，确保真空计的接口和管道清洁，避免灰尘或油脂污染影响测量结果。
其次，要保持测量环境的稳定，避免温度和压力的突变。
在测量过程中，注意不要超出真空计的量程范围，否则可能导致损坏或不准确的测量结果。
另外，及时更换和校准好真空计的感应器，以确保测量的准确性和可靠性。
在实际应用中，皮拉尼真空计可以测量从常压到高真空范围内的气体压力。
例如，在科研实验室中，研究人员可以使用皮拉尼真空计来监测实验室的真空度，确保实验环境的纯净和稳定。
在工业生产中，皮拉尼真空计可以用于监测和控制生产过程中的气体压力，如化学反应的真空度控制、金属制品的烘干过程等。
在医疗设备中，皮拉尼真空计可用于监测呼吸机、血液透析机等设备中的负压和正压情况，一旦超出安全范围，及时发出警报保证患者安全。
总之，皮拉尼真空计作为一种常用的测量设备，在各个领域都有重要的应用价值。
正确使用和维护皮拉尼真空计，能有效保证实验结果的准确性和安全性。
读者在使用皮拉尼真空计时，应了解其原理和操作方法，并注意事项，以得到可靠和准确的测量结果。
皮拉尼pon100真空计说明书
皮拉尼pon100真空计说明书将电源开关置于“关”的位置，用规管电缆将电阻规与本机对应连接好，用电源线将电源插座和本机电源座连接。
继电器开关量信号输出座与被控制的执行设备用电缆线对应接好，仪器背板上的“J1”、“J2”两个继电器输出座各有一组开触点和常闭触点，供用户自行选择使用。
1、开机、接通电源，仪器显示“P”约3秒（预热）后进入测量状态。
仪器采用以10（用E表示）为底的指数，表示单位为Pa的气体压力值（真空度）。
“E”前两位为系数，后两位是正负指数。
2、电阻真空计的零点和满度调校。
3、请一定按照以下先调零点，后调满度的秩序进行。
（1）调零点当确定真空系统的真空度在1.0×10-1Pa以上时，工作5分钟后，按仪器面板（上三角）（下三角）（上三角）增加数值，（下三角）减少数值）使仪器显示“1.0E-1”（1.0×10-1Pa），零点调校工作即告完成。
（2）调满度完成了调零点的工作，将被测系统放大气后，让仪器工作5分钟，按下（ATM）键，并保持，显示值由原数值变为“1.0E5”（1.0×105Pa），松开按键，此时满度调校完成。
一旦调节好零点和满度，以后就不必再调，只有更换规管时才需要调节。
在调完零点将系统放大气后，即使仪器已经显示“1.0E5”（1.0×105Pa）,仍然需要执行调满度的步骤。
注意：本机在出厂前已经调好零点，不需调试，由于各地气压不同只要调一下满度即可，也可以不调。
注意规管号与相应仪器配合使用即可。
4、控制点和控制区域设置，真空度用气体的压力值表示，本机使用的压力单位是帕（Pa），真空度越高，压力值越低。
区域指真空的区域，上限指区域真空度的一端（也就是气压值小的一端），下限指区域真空度低的一端（也就是气压值大的一端）。
打开本机电源，在窗口显示“P”的3秒内，按一下面板上的“功能（Fun）键，进入设置状态，窗口显示第1路控制的真空区域上限符号“1-”，再按一下（Fun）键，显示过去设置的真空度上限压力值，其系数的整数位闪烁，按（SET）键，在“0--9”中间选定要置入的上限压力值系数的整数位，再按（Fun）键，使系数的小数位闪烁，再按（Set）键选定小数位，同样的方法可设定压力值指数的正负号和数字位。
真空计
皮拉尼真空计皮拉尼真空计是全压真空计，利用了气体热传导性与压力有关的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来测量压力的一种真空计。
皮拉尼复合真空计BPG400/ BPG402-S产品描述HPG400高压强热电离皮拉尼真空计INFICON皮拉尼复合真空计产品型号：BPG400/ BPG402-SINFICON生产的Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计, BPG402-S,两种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压). 复合的技术降低了安装,设置和集成的复杂性.在一个小特点：极宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压)极好的重复性,过程压强范围10-8… 10-2毫巴均为5%皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝可选图形显示和现场总线接口自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性应用：半导体工艺和输送室中的压强测量工业镀膜一般真空测量和控制,从低至超高真空范围INFICON B-A皮拉尼电容薄膜真空计产品型号：BCG450INFICON公司生产的BCG450型B-A皮拉尼电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在一个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5×10-10至1500毫巴(3.75×10-10至1125乇)。
BCG450用于取代三种传感器（热离子，对流增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的空间。
特点：BCG450节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与设置的复杂性10乇以上的与气体类型无关的压强测量，对许多混合气体提供更可靠的自锁控制皮拉尼联锁保护热灯丝，防止过早烧毁自动的高真空和大气压皮拉尼调整，无需操作人员干预相对于大气压的差压测量避免了与大气压变化有关的不稳定性传感元件容易更换，带机载校准数据保证数据的再现性备有可选的图形显示器和现场总线接口典型应用半导体工业，传送和自锁室的压强测量工业镀膜在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制订购资料产品图片。
普发皮拉尼真空计安全操作及保养规程
普发皮拉尼真空计安全操作及保养规程引言普发皮拉尼真空计是一种常用于测量及监测真空度的设备。
为了确保该设备的长期稳定工作，本文将介绍普发皮拉尼真空计的安全操作规程及保养规程。
安全操作规程1. 设备安装在安装普发皮拉尼真空计时，应确保设备安装位置稳定、通风良好。
不可将设备安装在易受震动、易受潮的地方。
2. 电源连接普发皮拉尼真空计设备工作时需要接通电源。
在电源连接时，请确认设备电源符合对应国家的标准，并确保电源线路安全牢固。
3. 操作前检查在进行操作前，请先检查器具的仪表指针、刻度盘以及记录仪表盘，并对设备进行必要的清洁。
4. 正确使用设备操作人员应熟知仪器表盘的读数方法，正确使用调节旋钮，避免出现误解读。
5. 停止使用设备在停止使用设备时，请先关闭真空计，再断开电源，将设备进行擦拭和清洁。
6. 安全操作提示任何情况下，都不应直接用手触摸设备部件。
在进行任何维护保养时，请确保设备已经断电，并在确保安全的情况下进行维护保养。
保养规程普发皮拉尼真空计处于高精度仪器，需要定期对设备进行维护保养，以保证精度和可靠性。
定期清洁设备的保养要从清洁开始。
设备最基本的保养方式就是进行定期的清洁。
可以采用湿巾、防静电专用湿纸巾之类的清洁用品进行清洁。
准确测量正确的测量是使用普发皮拉尼真空计最重要的保养方式。
为了保证准确性，应避免将设备使用于超出量程范围之外的压力范围。
避免撞击设备是高级精密仪器，应用手轻拿轻放，防止撞击，以免对设备造成损伤。
建立使用记录档案建立使用记录档案，能够帮助维护保养更好地了解设备运行情况，以预防故障的发生。
定期维护定期维护设备可以延长设备的使用寿命并保持其良好的性能。
建议在设备使用一个月后进行初次保养，并在以后每半年进行一次维护保养。
结论以上是普发皮拉尼真空计的安全操作规程及保养规程。
在使用和维护设备时，一定要仔细阅读产品说明书，并按照本文规程进行操作和保养。
只有正确地使用和保养设备，才能有效延长设备的使用寿命并保持其良好的性能。
皮拉尼标准真空计PSG500_中文说明书
PSG502-S (Ni-丝)
350-140 350-142 350-141 350-144 350-145 350-143 350-146
350-147
350-148
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8"NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管) (7/16-20 UNF)
最大
毫米
上阈值比下阈值
高 10% (滞后).
按住按键
如 5 秒内再次按下按键, 将逆向调整阈值设定值.
3
备件
订购备件时, 始终出示:: • 产品名牌上的全部信息 • 按备件清单列出名称和订货号
传感器
用于规管
订货号
污染申报
符合规定的声明
真空设备和元件的服务,检修和/或处理必须提供正确完整的 申报表. 不完整将导致延迟的后果. 本申报表必须由经授权和有资格的人员填写(大写)和签署.
水平安装方向
测量讯号
有效范围 5×10-4 毫巴<p< 1000 毫巴
3.75×10-4 乇 <p< 750 乇
5×10-2 帕 <p< 1×105 帕
%
≤80,温度为+31 °C 时,当温度
上升至 +40 °C 时减至 50
仅室内,海拔高至 2000 米 NN
［毫巴］
［微米汞柱］
任意
［微巴］
［帕］
如规管与 INFICON 控制器连接使用, 可提供校正现行读 值的校准因素 (→ 相关控制器).
规管调整
出厂前规管已校准. 由于长期运行或污染, 可出现零点 漂移. 定期检查零点和调整是必要的. 为调整零点, 一般将规管置于同样环境条件和同样安装 方位. 将规管调整至缺省值. 如已知真实的压强值, 也可调整 至其它压强值 (参考测量).
皮拉尼真空计量程
皮拉尼真空计量程皮拉尼真空计量程，是指皮拉尼管在不同真空度下的测量范围。
皮拉尼管是一种常用的真空度测量仪器，可以通过气压的变化来确定所处的真空度，广泛应用于各种真空系统中。
皮拉尼真空计量程的选择是根据所需测量的真空度范围来决定的。
不同的皮拉尼管具有不同的计量程，通常分为标准计量程和扩展计量程两类。
标准计量程一般为1000帕至10-3帕，扩展计量程可以达到更低的真空度，一般为1帕至10-6帕。
在选择皮拉尼真空计量程时，需要综合考虑以下几个因素。
首先是被测系统的真空度范围，要确保所选计量程能够覆盖实际需求的真空度范围。
其次是测量的精度要求，不同计量程的皮拉尼管具有不同的精度，较高的精度通常需要使用较小计量程的皮拉尼管。
另外，还需要考虑所测气体的种类和压强，不同气体的测量范围和精度也可能有所差别。
为了确保测量结果的准确性和可靠性，使用皮拉尼真空计量程的过程中，还需要注意一些操作细节。
首先是在进行测量之前，需要对皮拉尼管进行校准，确保其准确度和稳定性。
其次是要保证测量环境的干净和稳定，避免外界因素对测量结果的干扰。
此外，还需要掌握正确的使用方法，例如正确连接气路、调节波特率等。
在使用过程中，还需注意对皮拉尼管的保养和维护，及时清洁和更换损坏的零部件，以确保其正常运行和延长使用寿命。
综上所述，皮拉尼真空计量程在真空系统中起到了至关重要的作用。
通过选择适当的计量程，根据实际需求进行测量，我们可以准确地了解系统的真空度，为科学研究和工程应用提供有力的支持。
同时，在使用过程中要注意操作细节，保证测量结果的可靠性和准确性。
通过合理的选择和正确的使用，皮拉尼真空计量程必将为我们带来更多的科学发现和工程创新。
INFICON英福康皮拉尼真空计PSG500中文资料
80 / 2502)
IP40
V DC Vpp mA W V V mbar V Ω kΩ ms kΩ
14 to 30
≤1
500 (最大.起始电流)
≤1
0 … 10.3 1.9 … 10.0
U = 6.143 + 1.286 x log10 p 0 … 0.5 (灯丝断)
2 x 4.7 10, 短路保护
1
PSG500
2/3
型号
灯丝
测量原理
测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）
精度(氮气)
-3
1 x 10 … 100 毫巴
5
x
10-4…
1
x
-3
10 毫巴
100 ... 1000 毫巴
分辨率
-3
再现率(空气) 1 x 10 … 100 毫巴
安装方位
设点
范围
滞后
继电器触点
开关时间
温度
工作(环境) 贮存 法兰处烘烤1)
保护类型
电源
电压
纹波
电流损耗, 最大. 功率损耗
输出讯号, 模拟 测量范围
公式
误差讯号
输出阻抗
最小负载电阻
反应时间规管标识ຫໍສະໝຸດ 设备连接件规管电缆
暴露于真空中的材料
灯丝
内容积
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R, 长管 1/8”NPT, 4 VCR, 8 VCR, 1/2” 管
无 毫巴 %读值 伏 DC/安 DC 毫秒
PSG500-S 钨丝
PSG502-S 镍丝
热导（Pirani） 5 x 10-4至 1000
英福康(INFICON)反磁控皮拉尼真空计MPG400 操作手册
操作手册反磁控皮拉尼真空计MPG400MPG401tina48e1-a (2006-12) 1产品标识与INFICON公司联系时,请告知产品名牌上的信息. 为便于参考,请将产品信息填入下列空格中:有效性本文件适用于下列件号的产品:件号(PN)可从产品的名牌上看到.如图例中未特别标明,本文插图中相应的产品件号351-010. 类似应用于其它产品.我们保留不事先通知技术修改的权利.全部尺寸为毫米.用途基本原理反磁控皮拉尼真空计MPG400和MPG401用于压强范围为5×10-9… 1000毫巴的真空测量.切勿将反磁控皮拉尼真空计用于测量与空气产生反应的易燃或易爆性气体.真空计可与单通道控制器VGC401,双通道控制器VGC402和三通道控制器VGC403或其它适当的仪器连接使用.在整个测量范围内,测量讯号输出为对数压强讯号.真空计包含两个单独的测量系统(皮拉尼和反磁控原理的冷阴极系统). 为用户方便,复合成一个测量系统.m2 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o目录产品标识2有效性2用途2基本原理21 安全41.1 使用符号41.2 人员要求41.3 一般安全规则41.4 责任和保用42 技术参数53 安装83.1 真空连接83.1.1 拆卸磁铁单元(仅用于带CF法兰的真空计)103.2 电连接113.2.1 与INFICON真空计控制器一起使用113.2.2 与其它控制器一起使用114 运行124.1 测量原理, 测量性能125 卸装146 维护156.1 真空计调整156.2 清洗MPG400, 更换部件176.2.1 拆卸MPG400176.2.2 清洗MPG400186.2.3 重新组装MPG400196.3 清洗MPG401, 更换部件206.3.1 拆卸MPG401216.3.2 清洗MPG401226.3.3 重新组装MPG401236.4 故障查找247 附件258 备件259 产品返回2710 废物处理27附录28A:测量讯号与压强的关系28B:与气体类型的关系29污染申报表 31本文中的相互参照,使用符号(XY).tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 3防止任何危及人身安全的信息1.2 人员要求本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经验或由产品的最终用户1.3 一般安全规则1.4 责任和保用•遵守适当的规程和对所用的过程介质采取必要的防护措施.考虑产品材料(7)与过程介质之间可能引起的反应.考虑由于产品产生的热与过程介质之间可能引起的反应(例如爆炸).•遵守适当的规程和对全部您要做的工作采取必要的防护措施.,并遵守本文件中的安全规定.•在工作开始前,找出是否任何真空元件已污染. 遵守相关的规程和对污染部件采取必要的防护措施..将安全规则通知全部其它用户.INFICON不再承担任何责任和保用, 如用户或第三方:•无视本文件中的信息•不适当的方式使用产品•对产品进行任何种类的介入(修改,变更等.)•使用未列入产品文件中的附件.最终用户对使用的过程介质承担全部责任.真空计由于污染损坏,以及易耗件(灯丝),不包括在保修范围内.m4 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.otina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 5测量范围(空气, N 2) 5×10-9 … 1000 毫巴 精度 (N 2) ≈±30%在1×10-8 … 100毫巴范围内 再现性≈±5%在1×10-8 … 100毫巴范围内 与气体类型的关系→ 附录B输出讯号 (测量讯号) 电压范围 0 … +10.5 伏 测量范围 1.82 … 8.6 伏 电压与压强的关系对数, 0.6 伏 / 量级 (→ 附录 )误差讯号 <0.5 伏 无电源>9.5 伏 皮拉尼测量元件损坏(灯丝断)输出阻抗 2×10 Ω最小负载电阻 10 k Ω , 短路保护 响应时间 (与压强有关) p > 10-6 毫巴 p = 10-8 毫巴<10 毫秒 ≈1000 毫秒规管标识85 k Ω与电源公共点之间状态脚6p > 10-2 毫巴 仅皮拉尼模式 低 = 0 V p < 10-2 毫巴 冷阴极未引燃 仅皮拉尼模式p < 10-2毫巴冷阴极引燃皮拉尼/冷阴极复合模式 低 = 0 V高 = 15 … 30 VDC指示灯高压 on (LED on)电源与真空计规管连接的电源真空计的工作电压 15.0 … 30.0 VDC (纹波 ≤ 1 V pp ) 功耗 ≤2 瓦保险丝1)≤1 AT最小电源电压必须随传感器电缆的长度而增大.最大电缆长度的电源电压16.0 … 30.0 VDC (纹波 ≤ 1 V pp )1)INFICON 控制器能满足这些要求.6tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o调整<HV>电位器在 <10-4 毫巴下 m<ATM>电位器在大气压下电连接件 FCC68 插座型, 8 脚 传感器电缆 8 导线 + 屏蔽 电缆长度≤50 米 (8×0.14 毫米²)工作电压 ≤3.3 仟伏 工作电流≤500 微安接地概念→ ("电连接")真空连接 - 讯号公共通过10 k Ω连接(最大电压差从安全考虑 ±50 V 从精度考虑 ±10 V) 电源公共 - 讯号公共 单独通导暴露于真空中的材料 真空连接件 测量室 馈入件 内部密封MPG400 MPG401 阳极引燃辅助极 皮拉尼测量管 皮拉尼灯丝不锈钢 不锈钢 陶瓷FPM 75Ag, Cu, 软焊剂(Sn, Ag) Mo 不锈钢 Ni, Au W安装方位 任意内容积 ≈20 厘米³ 压强≤10 巴 (绝对) 限于惰性气体温度工作MPG400 MPG401+5 … +55 °C +5 … +150 °C(在法兰处水平方位安装,无磁屏蔽)烘烤 +150 °C(无磁屏蔽和电子学单元) 皮拉尼灯丝 +120 °C 贮存–40 °C … +65 °C相对湿度 ≤80% 温度高至+31 °C 时降至 50% 温度+40 °C 时使用仅室内海拔高至2000米保护类型 IP 40尺寸[毫米] 重量351-010 ≈700克351-011 ≈720克351-012 ≈980克351-020 ≈730克351-021 ≈750克351-022 ≈1010克tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 78tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om3.1 真空连接危险: 真空系统中的过剩压力危险: 保护接地规管可任何方位安装. 为防止来自测量室的凝聚物和微粒, 最好选择水平 向上的位置和使用带有对中环与过滤件的密封件.tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 9如规管安装后需要进行调整, 则必须确保可用螺丝刀进入调节<HV>和<ATM>微调电位器(15).顺序卸下保护盖和将产品安装上真空系统.当使用CF 法兰连接时,最好临时卸下磁铁单元(10).带对中环的密封件或保护盖夹环将保护盖保存好.带对中环和过滤件 的密封件3.1.1卸下磁铁单元(仅用于带CF法兰的规管)需用工具顺序•通用扳手 1.5 毫米•开口扳手 7.0 毫米a) 拧下电子学单元(2)上的六角凹头螺钉(1).b) 卸下电子学单元,不要扭转它.c) 拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3)和卸下磁体单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.d) 将规管与真空系统间的法兰连接上.e) 重新装上磁体单元,并用六角头螺钉(3)锁紧它.f) 小心地装上电子学单元(2). (确保皮拉尼规管的插脚正确地插入电子学单元的相应的孔中).g) 向上推电子学单元至机械限位器,用六角凹头螺钉(1)锁紧它.m10 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o3.2 电连接前提3.2.1 与INFICON 控制器一起使用3.2.2 与其它控制器一起使用确保真空连接已妥善完成(→ 8).将传感器电缆连接至规管和控制器.按下图制作一根传感器电缆.讯号10 k6 10 3 + 105 –标识4 1 + 2–电连接 脚 1 电源 (15 … 30 VDC ) 脚 2 电源公共 脚 3讯号输出(测量讯号)脚 4 标识 脚 5 讯号公共脚 6状态 脚 7, 8 n.c.FCC68, 8脚 连接件将传感器电缆连接规管和控制器.一旦加上所需的电源电压,脚3与脚5间即有测量讯号. (→附录查阅有关测量讯号与压强之间的关系).需约10分钟的稳定化时间. 一旦真空计接通电源, 在任何压强下始终保持电源on的状态.4.1 测量原理,测量性能真空计包含两个单独的测量系统(皮拉尼和反磁控原理的冷阴极系统). 为用户方便,复合成一个测量系统.采用最佳的测量配置于特定的压强范围, 在这个范围内执行测量:10-4 毫巴1000 毫巴冷阴极皮拉尼5×10-9 毫巴10-2 毫巴•皮拉尼测量电路始终处于接通的状态•冷阴极电路由皮拉尼电路控制,仅在压强<1×10-2 毫巴时接通工作标识输出(脚 6) 指示真空计当前的状态:压强规管的指示灯工作模式脚6p > 1×10-2 毫巴仅皮拉尼模式低 =0 Vp < 1×10-2 毫巴p < 1×10-2 毫巴冷阴极未引燃仅皮拉尼模式冷阴极已引燃复合的皮拉尼 / 冷阴极模式低 =0 V高= 15 … 30 VDC在冷阴极测量电路未引燃时, 皮拉尼的测量值输出为测量讯号(如p < 5×10-4 毫巴,将出现"皮拉尼欠量程"的显示).与气体类型的关系引燃延迟测量讯号与被测量的气体类型有关. 曲线对干燥空气, O2, CO和N2是正确的. 对其它气体可进行转换(→附录 B).如使用 INFICON 控制器, 则可键入一个校准因素校正压强读值(→ 控制器的).当冷阴极测量系统接通工作时, 将出现引燃延迟. 随着压强的降低,延迟时间将加长, 典型数据如下:10-5 毫巴≈1 秒10-7 毫巴≈20 秒5×10-9 毫巴≈2 分在冷阴极测量电路未引燃时,皮拉尼的测量值输出为测量讯号(如p < 5×10-4 毫巴,将出现"皮拉尼欠量程"的显示). 标识输出(脚6, 低) 指示为仅皮拉尼模式.如真空计在压强 p < 3×10-9 下接通工作,真空计不能辨别冷阴极系统是否引燃. 它将指示"皮拉尼欠量程".一旦电源on,可在任何压强下始终保持真空计于工作模式. 此时,可始终忽略冷阴极电路的测量延迟(<1 秒),和热稳定效应最小化.污染由于污染引起的真空计故障,以及易耗件(灯丝),不属于保修范围内.由于所用的过程介质以及任何存在,或新污染物及其相应的分压强,将导致真空计污染.连续运行于10-4 毫巴 … 10-2 毫巴下可导致严重污染以及降低正常运行时间和维护周期. 保持于低压强下(p <1×10-6 毫巴), 真空计可运行一年以上无需清洗(清洗真空计→17, 20).真空计的污染通常导致测量值的偏差:•在高压强范围(1×10-3 毫巴… 0.1毫巴),压强读值过高(皮拉尼元件被污染). 重新调整皮拉尼测量系统→15.•在低压强范围(p < 1×10-3 毫巴), 压强读值通常过低(冷阴极系统被污染). 在严重污染的情况下,可出现不稳定(测量室的构层剥落). 由于绝缘层的剥落产生的污染可导致放电的全面故障(将显示"欠量程").采取下列措施,可在一定程度上减少污染:•几何结构上的保护措施(例如屏筛,肘管),用于线性散布的微粒•将规管法兰安装于污染分压特别低的部位.尤其要警惕的是在等离子下的蒸汽淀积(对于冷阴极测量系统). 当这类蒸汽出现时,甚至需暂时关断真空计.危险: 污染的部件顺序将真空系统放空.将规管退出运行和卸下传感器电缆.从真空系统上卸下规管,并盖上保护盖.当拆卸CF法兰连接件时, 最好临时卸下磁铁单元(→10).保护盖由于污染引起的真空计故障,以及易耗件(灯丝),不属于保修范围内. 危险: 污染的部件6.1 调整真空计需用工具顺序真空计规管是出厂前校准的. 由于使用于不同的气候条件,极端的温度,老化或污染和更换规管后,可发生特性曲线的偏移,从而再调整是必要的.冷阴极测量电路, 主要用于低压强测量(<1×10-3 毫巴), 是出厂前校准的不能再调整. 与它对比,皮拉尼测量电路是可调整的. 任何调整在压强范围约10-2 毫巴至102 毫巴之间有一个可忽略的效应.•螺丝刀 1.5 毫米•圆柱管丝锥ø≈3 毫米如使用带对中环和过滤件的密封件, 检查它们是否清洁,必要时更换(→14).将真空计投入运行(如可能,在即将使用的位置上).将真空系统抽空至 p << 10-4 毫巴,随后等待10 分钟.逆时针方向旋转铭牌直至达到机械限位器.用圆柱管丝锥压下销针,调节<HV>电位器 …… 至 4.20 伏或…至 5×10-4 毫巴.随后,逆时针方向旋转电位器1/3圈用空气或氮气将规管放空至大气压,并至少等待10分钟.顺时针方向旋转铭牌直至达到机械限位器.使用 1.5 毫米螺丝刀, 调整 <ATM> 电位器 …… 至 8.60 伏或 … 至 1×103 毫巴.旋转铭牌回到它的原先位置(扣住).6.2 清洗MPG400,更换部件当使用清洗剂和处理它们时必须遵守相关的规程和采取必要的措施→ 6).我们建议当清洗规管时,更换皮拉尼元件.需用工具 / 材料6.2.1 拆卸MPG400• 通用板手 AF 1.5 • 通用板手 AF 3 • 开口扳手 7.0 毫米 • 钳子,用于开口簧环• 抛光布(400粒度) 或Scotch-Brite(纤维布) • 镊子 • 清洗用酒精• 引燃辅助极的安装工具 • 引燃辅助极• 皮拉尼元件(13)包含FPM 密封圈(13a) •FPM 密封圈(11)用于阳极馈入件从真空系统上卸下规管(→14).拧下电子学单元(2)上的六角凹头螺钉(1).卸下电子学单元,不要扭转它.电子学单元的外壳不能卸下.拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3),并卸下磁铁单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.从测量室上取下开口簧环(5)和极性插件(6).从测量室后面卸下三个六角头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a).小心地按此顺序卸下下列部件(无应力施加于皮拉尼元件(13)上): 压块(9),整个阳极(10), FPM 密封件(11)包括支撑环(12),皮拉尼元件(13)包括FPM 密封件(13a).现可逐个清洗或更换部件.6.2.2 清洗MPG400清洗测量室和极性插件清洗或更换阳极用抛光布擦净测量室的内壁与极性插件至光亮的程度.密封表面必须按同心圆方式擦净.用清洗酒精漂洗测量室和极性插件.使它们干燥.用钳子取下用过的引燃辅助极(10a).用抛光布擦洗阳极杆至光亮的程度.切勿弯曲阳极. 切勿在陶瓷件上进行机械作业.用清洗酒精漂洗阳极.使阳极干燥.在安装工具上插入新的引燃辅助极(10a).小心地压阳极(清洁的或新的)居中工具轴和并行地插入引燃辅助极至约15 毫米深度. 最终定位在阳极安装后.阳极引燃辅助极安装工具清洗皮拉尼元件更换皮拉尼元件6.2.3重新组装MPG400从皮拉尼元件(13)上取下FPM密封件(13a).用清洗酒精注入皮拉尼测量管中,并晃动.就酒精从管中倒出.将管干燥(例如使用吹风机 <150 °C).将新的FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件,插入相应的凹槽中.重新安装皮拉尼元件(→19).如严重污染或损坏.将新的FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件,插入相应的凹槽中.安装皮拉尼元件(→19).(→图17)用支撑环(12)将FPM密封件(11)居中地插入测量室(7). 密封表面,密封件,和陶瓷件必须清洁.小心地将阳极(10)包括引燃辅助极(10a)插入测量室中.将FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件(13),插入相应的凹槽中.小心地将压块(9)放在测量室上用三个六角头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a)均匀地拧紧直至达到限位器.在阳极杆的上方推安装工具,定位引燃辅助极(10a)直至达到机械限位器.用干燥氮气吹净测量室中的微粒(小心地拿住法兰朝下的测量室).将极性插件(6)滑入测量室中,直至达到机械限位器.将开口簧环(5)紧贴地适配于极性插件上.目测针状阳极是否居中地穿过极性插件的中心孔(最大偏心度= 0.5 毫米).如可能,执行一次漏率测试(漏率<10-9 毫巴·升/秒).装上磁铁单元(4)并用六角头螺丝(3)锁紧它.小心地安装电子学单元(2). (确认皮拉尼单元的插脚正确地插入电子学单元相应的孔中).推上电子学单元至机械限位器,并用六角凹头螺钉(1)锁紧它.调整真空计(→15).6.3 清洗MPG401,更换部件当使用清洗剂和处理它们时必须遵守相关的规程和采取必要的措施→ 6).为清洗测量室,皮拉尼单元必须卸下和更换.需用工具/ 材料•通用扳手 AF 1.5•通用扳手 AF 3•开口扳手 AF 6•开口扳手 AF 7•钳子,用于开口簧环•抛光布(400粒度) 或Scotch-Brite(纤维布)•镊子•清洗用酒精•引燃辅助极的安装工具•引燃辅助极•金属密封件(11)用于阳极馈入件•皮拉尼元件(13)包括成套密封件(13a, 13b)6.3.1拆卸MPG401从真空系统上卸下真空计(→14).拧下电子学单元上(2)的六角凹头螺钉(1).卸下电子学单元,不要扭转它.电子学单元的外壳不能卸下.拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3),并卸下磁铁单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.从测量室上取下开口簧环(5)和极性插件(6).拧下六角凹头螺钉(9c)和卸下绝缘件(9b),不要扭转它.从测量室后面卸下四个六角凹头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a).小心地按此顺序卸下下列部件(无应力施加于皮拉尼元件(13)上): 压块(9),阳极延伸杆(9a),整个阳极(10),金属密封件(11)包括对中环(12).拧下皮拉尼元件的螺丝接头(13a),并卸下带有铜密封件(13b)的皮拉尼元件.现可逐个清洗或更换部件.6.3.2清洗MPG401清洗测量室和极性插件清洗或更换阳极用抛光布擦净测量室的内壁和极性插件至光亮的程度.密封表面必须按同心圆方式擦净.用清洗酒精漂洗测量室和极性插件.使它们干燥.用钳子取下用过的引燃辅助极(10a).用抛光布擦洗阳极杆,至光亮的程度.切勿弯曲阳极. 切勿在陶瓷件上进行机械作业.用清洗酒精漂洗阳极.使阳极干燥.在安装工具上插入新的引燃辅助极(10a).小心地压阳极(清洁的或新的)居中工具轴和并行地插入引燃辅助极至约15 毫米深度.最终定位在阳极安装后.更换皮拉尼元件将螺丝接头(13a)和铜密封件(13b)套入皮拉尼元件(13).装上皮拉尼元件(→23).6.3.3重新装配MPG401(→图21)将带螺丝接头(13a)和铜密封件(13b)的皮拉尼元件(13)插入测量室的相应圆锥形钻孔(7)中.用手指拧紧螺丝接头(13a)的同时轻微地将皮拉尼元件推向机械电位器. 然后用开口扳手拧紧螺丝接头一圈.将新的金属密封件(11)包括对中环(12)居中地插入测量室(7).小心地将阳极(10)包括引燃辅助极(10a)和延伸杆(9a)插入测量室中.小心地将压块(9)放在测量室上.用四个六角凹头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a)均匀地拧紧它们直至达到限位器.小心地将绝缘件(9b)置于压块(9)上,并用六角凹头螺钉(9c)锁紧它.在阳极杆的上方推安装工具,定位引燃辅助极(10a)直至达到机械限位器.用干燥氮气吹净测量室中的微粒(小心地拿住法兰朝下的测量室).将极性插件(6)滑入测量室中,直至达到机械限位器.将开口簧环(5)紧贴地适配于极性插件上.目测针状阳极是否居中地穿过极性插件的中心孔(最大偏心度= 0.5 毫米).如可能,进行一次漏率测试(漏率 <10-9 毫巴·升/秒). 必要时轻微地再次上紧螺丝接头(13a).装上磁铁单元(4)并用六角头螺丝(3)锁紧它.小心地安装电子学单元(2). (确认皮拉尼单元的插脚正确地插入电子学单元相应的孔中).推上电子学单元至机械限位器,并用六角凹头螺钉(1)锁紧它.调整真空计(→15).6.4 故障查找问题可能原因 解决方法 测量讯号持续< 0.5V "误差低".无电源电压.将电源置于on.皮拉尼测量单元损坏 (灯丝断裂).更换皮拉尼元件 (MPG40019) (MPG40122). 测量讯号持续> 9.5V "误差高".电子学单元未正确安装.正确安装电子学单元 (MPG40019) (MPG40123). 冷阴极放电未引燃.等待直到气体放电引燃 (在绝缘层污染的情况下, 冷阴极完全不能引燃). (清洗MPG40017 MPG40120). 绿色指示灯ON 和标识指示仅皮拉尼模式(测量讯号持续> 4.0V)"皮拉尼欠范围".MPG 仅能工作于压强 p < 3x10—9 毫巴.稍升高些压强.皮拉尼测量电路未调整, 例如由于严重污染. 重新调整皮拉尼测量电路(15).如不可能调整,更换皮拉尼元件.测量讯号持续>5V 或 显示>10-3毫巴,虽然真空压强OK. 测量重气体.用相应的公式转换(29). 在冷阴极测量室内严重的出气.清洗测量室.测量讯号不稳定.规管污染.清洗规管 (MPG40017) (MPG40120).订购附件时, 始终提及:•产品铭牌上的全部信息•附件清单上的名称与订货号名称订货号磁屏蔽件 BG443155-X订购备件时, 始终提及:•产品铭牌上的全部信息•备件清单上的名称与订货号项号名称MPG400 订货号1213a1110a131213a1110a1010a维护成套件,包含:1× 支撑环1× O-圈 FPM ø3.69×1.781× O-圈 FPM ø10.82× 1.783× 引燃辅助极检修成套件,包含:1× 皮拉尼元件1×支撑环1× O-圈 FPMø3.69×1.781× O-圈 FPM ø10.82×1.783× 引燃辅助极1× 阳极,整件成套引燃辅助极,包含:10× 引燃辅助极引燃辅助极的安装工具351-999351-998351-995351-994BN846469-TBN846470-TBN846471-T 测量系统DN 25 ISO-KF法兰DN 40 ISO-KF法兰DN 40 CF-F法兰项号名称订货号11 12 10a13 13a 13b 9a 10 10a11 1210a维护成套件,包含:1×密封件 HNV 100 (9×1.6) 1× 对中环3× 引燃辅助极1×垫圈 (未用于MPG401)Repair set, consisting of: 1× 皮拉尼元件,带玻璃馈入件 1× 螺丝接头 1× 铜密封件 1× 阳极延伸杆 1× 阳极,整件 3× 引燃辅助极 1× 密封件 HNV 100 (9×1.6) 1× 对中环成套引燃辅助极,包含:10× 引燃辅助极引燃辅助极的安装工具351-997351-996351-995351-994BN846472-T BN846473-T BN846474-TMPG401测量系统,整件 DN 25 ISO-KF 法兰 DN 40 ISO-KF 法兰 DN 40 CF-F 法兰检修成套件,包含:31).无明确的”无危害性物质”申报的产品,全部去污染费用由客户承担. 未附有完整污染申报表的产品将退回发送方,费用由发送方承担.危险: 污染的部件N元件分类污染的元件其它元件产品拆卸后, 按下列标准将其元件分类:污染的产品(如放射性,毒性,腐蚀性或微生物危害等)必须按相关的国家规定去污染,按照它们的材料分类,和处理.必须按它们的材料将这些元件分类和回收.A:测量讯号与压强的关系转换公式p = 101.667U-d⇔U = c + 0.6log10pp U c d[毫巴] [乇] [帕][伏][伏][伏]6.86.8755.611.3311.469.333其中p压强U测量讯号c,d常数(与压强单位有关)有效范围5×10-9毫巴<p<1000毫巴3.8×10-9乇<p<750乇5×10-7帕<p<1×105帕转换曲线压强p测量讯号U[伏]转换表测量讯号 U [伏] 压强 p [毫巴] 压强 p [乇] 压强 p [帕]<0.5 传感器误差0.5 … 1.82 欠量程1.822.02.63.23.84.45.05.66.26.87.48.0 8.65.0×10-91.0×10-81.0×10-71.0×10-61.0×10-51.0×10-41.0×10-31.0×10-20.11.01010010003.8×10-97.5×10-97.5×10-87.5×10-77.5×10-67.5×10-57.5×10-47.5×10-37.5×10-40.757.5757505.0×10-71.0×10-61.0×10-51.0×10-41.0×10-31.0×10-20.11.01010010001.0×1041.0×1058.6 … 9.5 过量程9.5 … 10.5 传感器误差(皮拉尼损坏)B: 与气体类型有关指示范围 高于10-2毫巴指示的压强 (对空气校准的真空计).p (10286 421018 6 42100 8 6 4210–1 8 6 4210–212 810–2810–110081012 p ef f (毫巴)指示范围10-6 … 0.1毫巴指示的压强 (对空气校准的真空计).p (毫巴)10–18 6 410–28 6 4210–38 6 428 6 4210–586 4210–6810–5810–4810–3810–2–1p ef f (毫巴)指示范围低于10-5毫巴在低于10-5毫巴范围内,压强指示是线性的. 对空气以外的其它气体,可用简单的转换公式来确定压强:p eff= K × 指示的压强其中气体类型K空气(O2, CO, N2) 1.0Xe0.4Kr0.5Ar0.8H2 2.4Ne 4.1He 5.9这些转换因素为平均值.通常涉及的是气体与蒸气的混合物. 在此情况下,只有用分压强测量仪器,即四极质谱仪才能精确地确定.tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 31真空设备和元件的服务,检修和/或处理必须提供正确完整的申报表. 不完整将导致延迟的后果.本申报表必须由经授权和有资格的人员填写(大写)和签署.产品说明型号返修原因编号出厂号 使用的工作液体 (在发运前必须放空)产品的污染过程：毒性 否 是腐蚀性 否 是生物危害性 否 是易爆性 否 是放射性 否 是其它有害性物质 否 是 或不包含超过允许限量的任何危害性残余物 产品无任何损害健康的物质.是未明确写明去污染的 污染产品将不予受理!有害的物质,气体和/或副产品请列出与设备接触过的物质,气体和副产品：商标/产品名称 化学名称(或符号)应采取预防的措施 人体接触的急救方法有法律约束的申报：我们谨此申明本申报表中的信息是完整和正确的,并承担任何可能支付的费用. 污染的产品将按相应的规定发运.机构/公司名称地址 邮政编码,地区电话 传真电子邮件姓名日期和有法律约束的签名公司盖章曾用于铜过程否 是 将产品封闭在塑料袋中,并用标签标志..LI–9496 BalzersLiechtensteinTel +423 / 388 3111Fax +423 / 388 3700 Original: German tina48d1-a (2006-12)reachus@ t i na48e1-a。
皮拉尼标准真空计PSG500_中文说明书
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
350-067
如规管与 INFICON 控制器连接使用, 可提供校正现行读 值的校准因素 (→ 相关控制器).
规管调整
出厂前规管已校准. 由于长期运行或污染, 可出现零点 漂移. 定期检查零点和调整是必要的. 为调整零点, 一般将规管置于同样环境条件和同样安装 方位. 将规管调整至缺省值. 如已知真实的压强值, 也可调整 至其它压强值 (参考测量).
产品说明 型号 编号 出厂号
我们,INFICON,声明下述设备符合有关 用于一定电压限值下的电气设备规程 73/23/EEC 和 有 关 电 磁 兼 容 性 规 程 89/336/EEC 中的条款.
返修原因
皮拉尼标准真空计
使用的工作液体 (在发运前必须排空)
IP40
［乇］ ［毫乇］
［千帕］
其中 p 压强
U 测量讯号
毫米
c 常数(与压强单位有关)
与气体类型的关系
压强读值(对空气校准的规管) 压强 p［毫巴］
传感器误 差 不足界限 超出界限
安装 真空连接
危险
注意: 真空系统中的过剩压力 >1 巴 当真空系统中有压力时打开夹环可导致松脱的 部件或泄放的工艺气体伤害人身. 在真空系统处于压力的情况下,不要打开任何夹环. 使用适合过剩压力状态的夹环..
要求.
注意
注意: 真空元件
增强皮拉尼真空计安全操作及保养规程
增强皮拉尼真空计安全操作及保养规程1. 前言皮拉尼真空计常用于科研实验、工业制造等领域中，它是一种测量低压区间的装置。
作为实验室常用设备，保障其操作时的安全非常重要。
本文主要介绍增强皮拉尼真空计的安全操作及保养规程。
2. 安全操作规程2.1. 仪器安装在仪器使用前，需先安装并校正。
在安装时，需遵守以下几点安全规范：1.仪器应安装在干燥、通风、无震动和无磁场干扰的地方。
2.仪器的密封和接口部分应无损坏。
3.仪器安装位置应远离电源线和电磁设备。
4.仪器应使用与其参数匹配的真空泵。
5.仪器操作时遵守其使用说明书的规定。
2.2. 仪器启动在启动仪器前，需做好以下几点准备工作：1.校准仪器并确定读数是否正常。
2.长时间未使用的仪器应先进行空运转，清洁工作。
3.确保仪器无看不到的漏气现象。
4.连接电源和真空管路，并检查接口是否安装正确。
2.3. 实验操作在进行实验操作时，需遵循以下操作规范：1.操作人员应经过相关培训，并由经过实验技术鉴定的人员跟踪指导；未经指导人员不得擅自操作。
2.操作人员尽量避免操作时长时间暴露在真空环境中。
3.禁止在仪器上进行损坏性较强的实验，如加热、打火、爆炸等操作。
4.操作人员需佩戴相关防护设备，如防护手套、防护眼镜等。
2.4. 关闭仪器当实验操作完成后，需要及时关闭仪器，在关机时需注意以下事项：1.关闭真空泵及所有连接仪器的管路。
2.依次关闭仪器采集电源，仪器电源。
3. 保养规程仪器的保养对保障实验的稳定进行至关重要。
在使用仪器时，应遵循以下保养规程：3.1. 保养周期保养周期依据仪器使用频率而定，若仪器需在每天使用，则应该每周至少保养一次。
同时也需关注仪器的存储情况，尤其是在高温、高湿的环境下。
3.2. 保养方法在仪器保养时应注意事项：1.仪器不铁锈和结晶。
2.仪器表面应保持干净，去除脏污，避免化学药品中的腐蚀等等。
3.仪器底座应保持干燥、清洁，避免进水和灰尘的侵袭。
4. 结语本文主要介绍了增强皮拉尼真空计的安全操作及保养规程，从仪器安装、启动、实验操作和关闭、仪器保养等方面逐一阐述了安全注意事项，并提供了实用的保养方法。
皮拉尼真空计工作原理 温度测量
皮拉尼真空计工作原理温度测量下载温馨提示：该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Downloaded tips: This document is carefully compiled by the editor. I hope that after you download them, they can help you solve practical problems. The documents can be customized and modified after downloading, please adjust and use it according to actual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types of practical materials, such as educational essays, diary appreciation, sentence excerpts, ancient poems, classic articles, topic composition, work summary, word parsing, copy excerpts, other materials and so on, want to know different data formats and writing methods, please pay attention!皮拉尼真空计温度测量原理。
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皮拉尼真空计
英文名称：Pirani vacuum gauge
定义：利用电阻丝的阻值随温度变化的原理来测量压强的仪器。
所属学科：机械工程（一级学科）；实验室仪器和装置（二级学科）；真空获得仪器与装置-真空仪器与装置（三级学科）
本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布
也称电阻式真空规。
其工作原理是：真空度不同，单位体积内的空气分子数就不同，对于正在发热的电阻丝带走热量的能力（散热能力）就不同，电阻丝温度就不同，因为电阻丝的电阻率是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空气压强，也就是测量真空度。
实际的皮拉尼真空计一般做成四臂电桥，并有用于温度补偿的电阻丝与其串联。
用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。
真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。
热阴极电离真空计
(1)电子在电场中飞行时从电场获得能量，若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生电离，产生正离子和次级电子。
其电离几率与电子能量有关。
电子在飞行路途中产生的正离子数，正比于气体密度n,在一定温度下正比于气体的压力p。
因此，可根据离子电流的大小指示真空度。
这就是电离真空计工作原理。
由灯丝加热提供电子源的电离真空计称为热阴极电离真空计，其型式繁多，各具不同特点和适用不同的压力测量范围。
热阴极电离真空计由测量规管(或规头)和电气测量电路(真空计控制单元和指示单元)组成。
规管功能是把非电量的气体压力转换成电量——离子电流
(2)当气体导电时，电子与气体分子的碰撞频率跟气体分子的密度有关。
密度大，碰撞的频率就高，产生的离子也越多，气体中的电流就越强。
又由于气体分子的密度与气体的压强是直接相关的，因此，测定了气体中电流的大小，即可确定气体的压强。
根据上述原理即可制成热阴极电离真空计。
最简单的热阴极电离真空计就是一只三极管，F是灯丝电路，通电流后使灯丝受热向外发射电子。
在栅极上加一约为150～200伏特的正电压，这一正电压可吸引和加速由灯丝发射出来的电子。
被加速的电子穿过栅极后，因板极B的电压对栅极为低的负电压，因此电子又被板极推回，再加速向栅极返回。
这样，电子在往返的运动中就与其中的气体分子碰撞，使分子电离，变成正离子和二次电子，而正离子将被板极所吸引，在板极电路中形成电流。
(3) ,热电子向处在正电位的加速极飞去,一部分被加速极吸收,另一部分穿出加速极栅间空隙继续向离子收集极飞去,由于收集极是负电位,电子在靠近收极集时受到电场的推斥而返回,在加速极栅间作来回振荡,直到被加速极吸收为止,电子在飞行路程中不断跟管内的气体
分子碰撞,使气体电离,正离子被收集极收集,这样在回路中产生了离子流
灯丝在通电加热以后发出热电子
加速极的电位在+100------+300V
收集极的电位在负10------负50V
由于电子的平均自由程小,气体在10的负一次方以上,气体不能电离.所以不能反映气压, 在10的负5次方以下,会产生光电子,造成指示不准确.
真空的测量利用复合真空计。
它由两个热偶真空计和一个电离真空计组成。
（1）热偶真空计是利用稀薄气体状态下气体分子的导热性制成的。
压强越高，气体分子碰撞灯丝带走的热量就越多，因此灯丝温度越低，使得热电偶产生的电动势越大。
热偶真空计的测量范围是5×105-1×10-1Pa。
（2）电离真空计是利用低压气体被快速电子碰撞而电离的规律制成的。
它是一种三极电子管，将灯丝通以电流使其发射电子，电子与气体分子碰撞使气体分子电离，离子电流正比与气体分子浓度，因此可以用电流去测量气体压强。
电离真空计的测量范围是10-1-1×10-5Pa，必须注意的是：电离真空计不可在小于0.1 Pa的真空中测量，否则会因为离子电流过大而烧毁电离规。
b~ U v1 dmgII0YT。