国家标准电子工厂洁净厂房设计规范
标准《电子工厂洁净厂房设计规范》ppt课件
洁净生产区 面积（㎡） 8700 14000 9000 9000 10000 10000 10000 10000 8892 15810 15810 13857 12183 8740 7900 6500 8000
建筑 高度 20.0 26.8 29.4 26.8 31.0 31.0 37.0 37.0 25.4 22.00 22.00 17.00 17.00 20.40 50.30 21.00
第1章总则，范围、目的、适用性、等同性、术语等； 第2章消防自动灭火系统、报警系统和检测系统(烟感、可燃气体等); 第3章通风和排风系统,送风和循环风,局部排风,排烟系统； 第4章土建、洁净区与非洁净区的分隔等； 第5章化学品贮存和处理,对危险化学品贮存、分配间的设计、建造要求等； 第6章危险气体钢瓶的存放、分配； 第7章大宗硅烷系统，管式拖车、集装气瓶； 第8章生产与辅助设备、工艺液体加热设备、电气设备、真空泵等； 第9章出入口方式，按NFPA101生命安全规范进行设计； 第10章参照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被认为是标准的一部分。
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金属离子
<1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9
<1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9
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1、电子工厂洁净厂房特点
表12 8″大规模集成电路生产用高纯水质量指标（前工序）
0.08
0.06
0.04
0.03
0.02
950
500
电子工业洁净厂房设计规范完整版2024
电子工业洁净厂房设计规范[附条文说明]GB50472-2008 1总则1.0.1为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境保护的要求，制定本规范。
1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。
1.0.3电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。
1.0.4电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件。
1.0.5电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1洁净室clean room空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。
室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2洁净区clean zone空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。
它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。
空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
可以是开放式或封闭式。
2.0.3人员净化用室room for cleaning human body人员在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.4物料净化用室room for cleaning material物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.5粒径partical size由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。
对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。
2.0.6悬浮粒子airborne particles用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1～5μm的固体和液体粒子。
2.0.7含尘浓度particle concentration单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.8洁净度cleanliness以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
标准《电子工厂洁净厂房设计规范》ppt课件
3、强制性条文等介绍
4.2.2 电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间应包括活动地板以 下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。 4.2.3 洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资 和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂 房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环 境等型式。 4.3.3 洁净室（区）内应少分隔，但下列情况应设隔墙： 1 按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间， 或有防火分隔要求时； 2 在电子产品生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段或房间之 间； 3 生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设 备，宜分隔设独立房间。
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3、强制性条文等介绍
6.2.l 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。 6.2.3 洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑设计防 火规范》GB 50016的有关规定。 丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区），在关键生产设备设有 火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高 灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的最大允许建筑面 积可按生产工艺要求确定。 6.2.4 洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层，当按其构造特 点和用途作为同一防火分区时，上、下技术夹层的面积可不计入防火 分区的建筑面积，但应分别采取相应的消防措施。
第1章总则，范围、目的、适用性、等同性、术语等； 第2章消防自动灭火系统、报警系统和检测系统(烟感、可燃气体等); 第3章通风和排风系统,送风和循环风,局部排风,排烟系统； 第4章土建、洁净区与非洁净区的分隔等； 第5章化学品贮存和处理,对危险化学品贮存、分配间的设计、建造要求等； 第6章危险气体钢瓶的存放、分配； 第7章大宗硅烷系统，管式拖车、集装气瓶； 第8章生产与辅助设备、工艺液体加热设备、电气设备、真空泵等； 第9章出入口方式，按NFPA101生命安全规范进行设计； 第10章参照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被认为是标准的一部分。
中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范
中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范第一章总则第1．0．1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。
第1．0．2 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。
第1．0．3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。
第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
第二章空气洁净度等级第2．0．1条空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。
空气洁净度等级表2.0.1每立方米(每升)空气中≥0.5微米尘粒数每立方米(每升)空气中≥5微米尘粒数注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。
当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。
第2．0．2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。
洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。
第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第3.1.1条洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。
第3．1．2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。
洁净生产厂房设计规范GB50073-2023
洁净生产厂房设计规范GB50073-2023
简介
本文档为洁净生产厂房设计规范GB-2023的概述。
该规范旨在指导洁净生产厂房的设计与建设，确保其符合相关标准和要求。
内容概述
洁净生产厂房设计规范GB-2023主要包括以下内容：
1. 术语和定义：介绍了本规范中所使用的常见术语和定义，以便读者准确理解规范内容。
2. 标准与规范引用：列出了本规范中引用的相关标准和规范，以便读者深入了解相关要求。
3. 洁净生产厂房的分类与等级：介绍了洁净生产厂房的不同分类和等级，根据产品要求和工艺流程的不同，确定相应的等级。
4. 建筑布局与通风空调设计：包括洁净生产厂房建筑布局的要求，如进出口通道、洁净区域划分、设备布置等；以及通风空调系统的设计要求，如送风方式、过滤器选型等。
5. 洁净区域净化控制：阐述洁净区域的净化控制要求，包括洁净度要求、洁净区域压差控制、空气流向控制等。
6. 设备与管道设计：介绍洁净生产厂房中设备和管道的设计要求，包括材料选择、表面处理、泄漏预防等。
7. 照明与静电控制：包括洁净生产厂房照明的设计要求，如照明强度、光色要求等；以及静电控制的要求，如人员防静电措施、设备接地要求等。
8. 工程验收与管理：介绍洁净生产厂房的工程验收流程和管理要求，确保建设符合规范和标准。
结论
洁净生产厂房设计规范GB50073-2023是指导洁净生产厂房设计与建设的重要依据。
在设计和建设过程中，应严格按照规范的要求进行，以确保洁净生产厂房的质量和可靠性。
GBJ73_84洁净厂房设计规范标准
建筑设计—洁净厂房设计规范GBJ73－84 第一章总则主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：1985年6月1日关于发布《洁净厂房设计规范》的通知计标〔1984〕2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规范》，已经有关部门会审。
现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73—84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。
本规范由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。
国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。
具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第七设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色冶金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。
在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。
最后，由我部会同有关部门审查定稿。
本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。
电子工业部一九八四年八月二十七日第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。
第1.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范
中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范第一章总则第1〃0〃1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。
第1〃0〃2 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。
第1〃0〃3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
第1〃0〃4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。
第1〃0〃5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
第二章空气洁净度等级第2〃0〃1条空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。
注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。
当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。
第2〃0〃2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。
洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。
第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第3.1.1条洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。
第3〃1〃2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。
第3〃1〃3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。
建筑设计 — 洁净厂房设计规范GBJ73-84
建筑设计—洁净厂房设计规范GBJ73－84 第一章总则主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：1985年6月1日关于发布《洁净厂房设计规范》的通知计标〔1984〕2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规范》，已经有关部门会审。
现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73—84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。
本规范由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。
国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。
具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第七设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色冶金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。
在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。
最后，由我部会同有关部门审查定稿。
本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。
电子工业部一九八四年八月二十七日第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。
第1.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
洁净厂房设计规范标准
洁净厂房设计规中华人民国国家标准GBJ73--84主编部门：中华人民国电子工业部批准部门：中华人民国国家计划委员会施行日期：一九八五年六月一日关于发布《洁净厂房设计规》的通知计标［1984］2483号根据原国家建委（78）建发设字第562号文的要求，由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规》已经有关部门会审。
现批准《洁净厂房设计规》GBJ73－84为国家标准，自一九八五年六月一日起施行。
本规由电子工业部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。
国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。
具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六、中国有色金属总公司有色治金设计研究总院、中国建筑科学研究院和建筑工程学院等单位共同编制而成。
在编制过程中，规编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。
最后，由我部会同有关部门审查定稿。
本规共分八章和七个附录，主要的容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本规系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。
电子工业部一九八四年八月二十七日洁净厂房设计规目录第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第二节工艺布置和设计综合协调第三节噪声控制第四节微振控制第四章建筑第一节一般规定第二节人员净化和物料净化设施第三节防火和疏散第四节室装修第五节装配式洁净室第五章空气净化第一节一般要求第二节洁净室正压控制第三节气流组织和送风量第四节空气净化处理第五节采暖通风第六节风管和附件第六章给水排水第一节一般规第二节给水第三节排水第四节消防设施第七章工业气体管道第一节通常规定第二节管道材料、阀门和附件第三节管道连接和清洗第四节安全技术第八章电气第一节配电第二节照明第三节控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规用词说明第一章总则第1．0．1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。
gb50073-2013 洁净厂房设计规范
中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范Code for design of clean roomGB 50073-2013主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2013年9月1日中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1627号住房城乡建设部关于发布国家标准《洁净厂房设计规范》的公告现批准《洁净厂房设计规范》为国家标准，编号为GB 50073-2013，自2013年9月1日起实施。
其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7条（款）为强制性条文，必须严格执行。
原国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001同时废止。
本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。
中华人民共和国住房和城乡建设部2013年1月28日本规范是根据原建设部《关于印发<2002-2003年度工程建设国家标准规范制订、修订计划>的通知》（建标函〔2003〕102号）的要求，由中国电子工程设计院会同有关单位共同对《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001修订而成。
本规范在修订过程中，修订组结合我国洁净厂房设计建造和运行的实际情况，进行了广泛的调查研究和测试，认真总结了《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001多年来实施的经验，广泛征求了全国有关单位的意见，最后经审查定稿。
(完整word版)洁净厂房设计规范(GB50073-2013)
洁净厂房设计规范（GB50073-2013）4. 1 洁净厂房位置选择和总平面布置4.1. 1 洁净厂房位置选择应符合下列规定，并经技术经济方案比较后确定：1）应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。
2)应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
当不能远离严重空气污染源时，应位于最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧。
3)应布置在厂区内环境清洁，人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。
4.1.3洁净厂房新风口与交通干道边沿的最近距离宜大于 50m。
4.1.4洁净厂房周围宜设置环形消防车道，也可沿厂房的两个长边设置消防车道。
4.1.5洁净厂房周围的道路面层应选用整体性能好、发尘少的材料。
4.1.6洁净厂房周围应进行绿化。
可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。
4.2 工艺平面布置和设计综合协调4.2.1工艺平面布置应符合下列规定：1)工艺平面布置应合理、紧凑。
洁净室或洁净区内应只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
2) 在满足生产工艺和噪声要求的前提下，对空气洁净度要求严格的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。
3) 洁净室内对空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
4) 应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。
5) 不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时，宜设有防止污染的措施，如气闸室、传递窗等。
6) 应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净室（区）之前应进行清洁处理。
4.2.2洁净厂房的平面和空间设计应满足生产工艺和空气洁净度等级要求。
洁净厂房设计规范GB50073-2013
洁净厂房设计规范GB 50073-2013施行日期：2013年9月1日实务：就考一题，综合：专用消防口洁净厂房的代表：电子工业、医药工业、食品厂房、生物实验2 术语2.0.1 洁净室空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。
室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2 洁净区空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。
它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。
空间内其他有关参2.0.13 气流流型对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。
2.0.14 单向流通过洁净室（区）整个断面的风速稳定、大致平行的受控气流。
2.0.15 垂直单向流与水平面垂直的单向流。
2.0.16 水平单向流与水平面平行的单向流。
2.0.17 非单向流送入洁净室（区）的送风以诱导方式与室（区）内空气混合的气流分布类型。
2.0.18 混合流单向流和非单向流组合的气流。
(消防交流蔻，群46944-9530）5.2 防火和疏散5.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。
5.2.2 洁净厂房内生产工作间的火灾危险性，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
5.2.3 生产类别为甲、乙类生产的洁净厂房宜为单层厂房，其防火分区最大允许建筑面积，单层厂房宜为3000m2，多层厂房宜为2000m2。
（取值是甲类防火分区二级）丙、丁、戊类生产的洁净厂房的防火分区最大允许建筑面积应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
5.2.4 洁净室的顶棚、壁板及夹芯材料应为不燃0.4h，疏散走道顶棚的耐火极限不应低于1.0h。
条文说明：不得采用有机复合材料，以避免燃烧时产生窒息性气体、有害气体等。
5.2.5 在一个防火分区内的综合性厂房，洁净生产区与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。
隔墙及其相应顶棚的耐火极限不应低于1h，隔墙上的门窗耐火极限不应低于耐火材料紧密填堵。
电子工业洁净厂房设计规范
电子洁净厂房设计的时候，是需要符合相关的加工标准的，当然在实际进行设计的过程当中，他们的要求同样也是不一样的。
下面，就给大家分享一下。
一、设计的同时，要保证所有的厂房的建筑面积或者空间布局，全部都要有着适当的灵活性，而且整个区域的主体结构千万不要采用那种内墙承重的方式。
二、如果是在房设计的时候，对于整个屋子里面的高度必须要通过进攻来进行全面的控制，甚至只有这样，他们的净高度才能够维持在100毫的基本模数当中。
三、设计的时候，要根据整个厂房的主体结构的耐久性，或者适合室内装备以及装修水平相协调的情况之下来进行设定，他们的设定本身也都具有着一定的防火的特性，而且将有着更多的控制特色，整个温度通过变形或者是不均匀的方式来进行沉降性的设定，地震区域应该符合抗震的设计规定，甚至在整个设定的过程当中，要保证所有的厂房避免穿过洁净区。
四、设计的时候，要保证送风管，或者是回风管和其他的管线之间可以进行全面的设置，而且穿越的时候将有着更多竖向穿越的方式，同时也可以采用各种
不同的技术来进行全面的设置，不过要结合着当地的实际情况来进行全面了解，而且在设计的过程当中又有更好的设定方式和理念，因为只有这样才能够保证后期的设计效果。
河南德和检测技术有限公司，这是一家从事第三方检测的专业机构，公司取得了河南省质量技术监督局颁发的CMA《检验检测机构资质认定证书》，证书编号为：181603100359。
同时公司还具备室内空气（甲醛、苯、TVOC等）、洁净厂房、医院手术室、ICU病房等共计63项指标的检验检测资质和能力。
标准《电子工厂洁净厂房设计规范》
空气洁净等级与温湿度
总结词
根据产品生产要求，确定不同区域所需的空气洁净等级，并确保温湿度满足工艺要求。
详细描述
在电子工厂洁净厂房设计中，首先需要根据产品生产的要求确定不同区域所需的空气洁 净等级，如百级、千级、万级等。同时，为了确保生产过程的顺利进行，温湿度也需要 满足一定的工艺要求。因此，在设计中需要充分考虑空气洁净等级与温湿度的关系，确
维护与保养
定期对工艺设备进行维护和保养，延长设备使用寿命，提高设备运 行效率。
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便于操作维修
设备的布置应便于操作和 维护，提高设备的使用寿 命和生产效率。
电子工厂洁净厂房建筑结构
03
要求
建筑结构形式
01 主体结构
应采用钢筋混凝土框架结构或钢结构，确保厂房 的稳定性和抗震性能。
02 楼面承载能力
根据生产设备和工艺需求，确定楼面的承载能力， 确保设备正常运行和人员安全。
03 柱网布置
电子工厂洁净厂房给水排水
05
设计
给水系统设计
总结词
满足生产、生活和消防的用水需求
详细描述
根据电子工厂洁净厂房的生产、生活和消防的用水需求，设计合理的给水系统，包括水源选择、给水管网布置、 水压和水量等参数的确定。
排水系统设计
总结词
确保废水有效收集与处理
详细描述
针对电子工厂洁净厂房的排水需求，设计合理的 排水系统，包括废水收集、处理和排放等环节， 确保废水得在满足生产工艺要求的前提下，应尽量采用高效 节能的技术和设备，降低能耗，提高能源利用效 率。
03 安全环保
厂房设计应充分考虑安全和环保因素，采取有效 的安全防护措施，确保生产安全；同时，应采取 环保措施，减少对环境的污染。
洁净厂房设计规范(GB50073-2013)
洁净厂房设计规范（GB50073-2013）4. 1 洁净厂房位置选择和总平面布置4.1. 1 洁净厂房位置选择应符合下列规定，并经技术经济方案比较后确定：1）应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。
2)应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
当不能远离严重空气污染源时，应位于最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧。
3)应布置在厂区内环境清洁，人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。
4.1.3洁净厂房新风口与交通干道边沿的最近距离宜大于 50m。
4.1.4洁净厂房周围宜设置环形消防车道，也可沿厂房的两个长边设置消防车道。
4.1.5洁净厂房周围的道路面层应选用整体性能好、发尘少的材料。
4.1.6洁净厂房周围应进行绿化。
可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。
4.2 工艺平面布置和设计综合协调4.2.1工艺平面布置应符合下列规定：1)工艺平面布置应合理、紧凑。
洁净室或洁净区内应只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
2) 在满足生产工艺和噪声要求的前提下，对空气洁净度要求严格的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。
3) 洁净室内对空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
4) 应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。
5) 不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时，宜设有防止污染的措施，如气闸室、传递窗等。
6) 应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净室（区）之前应进行清洁处理。
4.2.2洁净厂房的平面和空间设计应满足生产工艺和空气洁净度等级要求。
国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》
第2章消防自动灭火系统、报警系统和检测系统(烟感、可燃气体等); 第3章通风和排风系统,送风和循环风,局部排风,排烟系统； 第4章土建、洁净区与非洁净区的分隔等； 第5章化学品贮存和处理,对危险化学品贮存、分配间的设计、建造要求等； 第6章危险气体钢瓶的存放、分配； 第7章大宗硅烷系统，管式拖车、集装气瓶； 第8章生产与辅助设备、工艺液体加热设备、电气设备、真空泵等； 第9章出入口方式，按NFPA101生命安全规范进行设计； 第10章参照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被认为是标准的一部分。
生产运行
正筹建 正筹建 生产运行
6代，1500×1800
6代，1500×1800 6代，1500×1800 8代，2160×2460
～36000
～34000 ～36000 ～90000
～27
～27 ～27 30.00
1、电子工厂洁净厂房特点
表22 几类电子产品所需气体品种
1、电子工厂洁净厂房特点
送。
对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定 对防静电、电磁兼容等 大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万m2。
1、电子工厂洁净厂房特点
表1
芯片厂1 芯片厂2 芯片厂3 芯片厂4 芯片厂5 芯片厂6 芯片厂7 芯片厂8 芯片厂9 芯片厂10 芯片厂11 芯片厂12 芯片厂13 芯片厂14 芯片厂15 芯片厂16 芯片厂17
7.2 气流流型和送风量
7.3 净化空调系统 7.4 空气净化设备 7.5 采暖通风
5、工艺设计
5.1 一般规定 5.2 工艺布局 5.3 人员净化
7.6 排烟
7.7 风管、附件 8、给水排水设计 8.1 一般规定 8.2 给水
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位置
上海 上海 成都 上海 苏州 重庆 浙江
北京 上海 昆山 深圳 台湾 上海 北京 日本
状况
生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 建设中 生产运行
生产运行 生产运行
试生产 正在建设 生产运行 正筹建 正筹建 生产运行
规格 （㎜） 300（12"） 300（12"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 150（6"）
国家标准电子工厂洁净厂房设计 规范
1、电子工厂洁净厂房特点 2、章节内容简介 3、强制性条文等介绍 4、结语
1、电子工厂洁净厂房特点
电子产品生产发展迅猛 IC特征尺寸0.05μ m,12〞～16 〞，64G TFT第六代产品
对化学污染物的严格要求 大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房 投资大、能量消耗大
1×1014
1997-1998 1999-2001 2003-2004 2006-2007 2009-2010
256M
1G
4G
16G
64G
0.25
0.18-1.15
0.13
0.10
0.07
200
300
300
400-450 400-450
0.08
0.06
0.04
0.03
0.02
950
500
250
200
1、电子工厂洁净厂房特点
表1 国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积
项目
芯片厂18 芯片厂19 芯片厂20 芯片厂21 芯片厂22 芯片厂23 芯片厂24
TFT-LCD/1 TFT-LCD/2 TFT-LCD/3 TFT-LCD/4 TFT-LCD/5 TFT-LCD/6 TFT-LCD/7 TFT-LCD/8
<30
<20
<30
<20
<30
<20
金属离子
<1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9
<1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9 <1.0X10-9
1、电子工厂洁净厂房特点
表12 8″大规模集成电路生产用高纯水质量指标（前工序）
1、电子工厂洁净厂房特点
1、电子工厂洁净厂房特点
集中新风处理+各种循环新风
集中送风方式 FFU
隧道送风
1、电子工厂洁净厂房特点
美国消防标准（强制性标准）NFPA318《洁净室消防标准》（Standard for the Protection of Clean rooms,2000） 第1章总则，范围、目的、适用性、等同性、术语等； 第2章消防自动灭火系统、报警系统和检测系统(烟感、可燃气体等); 第3章通风和排风系统,送风和循环风,局部排风,排烟系统； 第4章土建、洁净区与非洁净区的分隔等； 第5章化学品贮存和处理,对危险化学品贮存、分配间的设计、建造要求等； 第6章危险气体钢瓶的存放、分配； 第7章大宗硅烷系统，管式拖车、集装气瓶； 第8章生产与辅助设备、工艺液体加热设备、电气设备、真空泵等； 第9章出入口方式，按NFPA101生命安全规范进行设计； 第10章参照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被认为是标准的一部分。
150
2.5×1010
1×1010
5×109
2.5×109 <2.5×109
5×1013
3×1013
1×1013
5×1012
3×1012
1、电子工厂洁净厂房特点
电子工厂洁净厂房的特点：
微粒控制十分严格、要求控制0.02μ m甚至更小粒径 ISO1级或更严格。
高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输 送。
对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定 对防静电、电磁兼容等 大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万m2。
1、电子工厂洁净厂房特点
表1 国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积
项目
芯片厂1 芯片厂2 芯片厂3 芯片厂4 芯片厂5 芯片厂6 芯片厂7 芯片厂8 芯片厂9 芯片厂10 芯片厂11 芯片厂12 芯片厂13 芯片厂14 芯片厂15 芯片厂16 芯片厂17
洁净生产区 面积（㎡） 8700 14000 9000 9000 10000 10000 10000 10000 8892 15810 15810 13857 12183 8740 7900 6500 8000
建筑 高度 20.0 26.8 29.4 26.8 31.0 31.0 37.0 37.0 25.4 22.00 22.00 17.00 17.00 20.40 50.30 21.00 25.00
1、电子工厂洁净厂房特点
表 25 集成电路芯片（64M）生产过程部分化学品的质量要求
化学品种类
H3PO4 HCl H2SO4 H2O2 NH4OH
HNO3 49%HF 5%HF 1%HF
微粒（PC/CC）
0.1μ m
0.2μ m
<40
<20
<30
<20
<20
<10
<20
<10
<20
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ<10
<30
<20
28000 22000＋14000
～3000 ～33000 ～36000 ～34000 ～36000 ～90000
建筑 高度 29.00 30.00 21 28.55 24.4 28 19
23.00 20.30 26.50 26.50 ～27 ～27 ～27 30.00
1、电子工厂洁净厂房特点
表22 几类电子产品所需气体品种
1、电子工厂洁净厂房特点
集成电路对化学污染物的控制指标
年份 DRAM 集成度 纯度(μ m) 硅片直径(mm) 受控粒子尺寸 (μ m) 粒子数 (栅清洗)(个/m2) 重金属(Fe) (原子/cm2) 有 机 物 (C)( 原 子 /cm2)
1995 64M 0.35 200 0.12
1400
5×1010
5代，1100×1300 5代，1100×1300 5代，1100×1300 5代，1100×1300 6代，1500×1800 6代，1500×1800 6代，1500×1800 8代，2160×2460
洁净生产区 面积（㎡） 12000 9400 7408.8 10321 12000 1500 5160
位置
大陆 台湾 台湾 台湾 韩国 韩国 韩国 韩国 爱尔兰 美国 美国 美国 爱尔兰 磁力 台湾 法国 新加坡
状况
生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行 生产运行
规格 （㎜） 200（8"） 300/200（12"/8"） 300（12"） 300（12"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 200（8"） 300（12"） 300（12"） 300（12"） 200（8"） 200（8"） 200（8"）