最新第七章-原子力显微镜教学讲义PPT课件

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《原子力显微镜》课件

《原子力显微镜》课件

未来发展趋势
未来,原子力显微镜技术将进一步提高分辨率和扫 描速度,并应用于更多领域。
七、参考文献
1 相关学术论文
1. Title 1 2. Title 2 3. Title 3
2 专业书籍
1. Title A 2. Title B 3. Title C
二、工作原理
探针的作用
原子力显微镜使用微小的探针探测物质表面,获得原子级别的高分辨率图像。
检测原理
通过探测器记录探针的弯曲变化,从而推断物体表面的高度和形貌。
显示方法
利用电子信号将探测到的数据转化为高清图像,可实时显示。
三、应用领域
表面形貌和结构分析
原子力显微镜可用于观察材料 表面的形貌和结构,帮助研究 纳米级别的材料。
《原子力显微镜》PPT课 件
本课件将介绍原子力显微镜的工作原理、应用领域和优缺点分析,以及操作 和维护的常见问题解答。
一、前言
什么是原子力显微镜
原子力显微镜是一种高分辨率的显微镜,能够 观测到物质的原子尺度细节。
发展历史
原子力显微镜于1986年由Gerd Binnig和Heinrich Rohrer发明,获得了诺贝尔奖。
原子力显微镜的分辨率可达到纳米级别,扫描范围取决于探针的尺寸和扫描区域。
如何正确操作原子力显微镜
正确操作原子力显微镜需要进行样品制备、参数设置和扫描操作等步骤。
原力显微镜的维护
维护原子力显微镜需要保持清洁,及时更换探针并进行校准。
六、结论
原子力显微镜对科学研究的重要性
原子力显微镜在纳米级别材料研究和生物学研究中 发挥着重要作用。
纳米尺度材料表征
该技术可用于研究纳米颗粒、 纳米管和纳米线等纳米材料的 特性。

原子力显微镜原理及操作流程讲义(PPT 42页)

原子力显微镜原理及操作流程讲义(PPT 42页)

4.1 激光系统
激光器是光反馈通路的信号源。由于 悬臂尖端的空间有限性,就对照射器上的光 束宽度提出了一定要求:足够细、单色性好、 发散程度弱;同时也要求光源的稳定性高, 可持续运行时间久,工作寿命长。 而激光正 是能够很好地满足上述条件的光源。
4.2 微悬臂系统
微悬臂是探测样品的直接工具,它的属 性直接关系到仪器的精度和使用范围。 微悬 臂必须有足够高的力反应能力,这就要求悬 臂必须容易弯曲,也易于复位,具有合适的 弹性系数,使得零点几个纳(nN)甚至更小的 力的变化都可以被探测到;同时也要求悬臂 有足够高的时间分辨能力,因而要求悬臂的 共振频率应该足够高,可以追随表面高低起 伏的变化。
5.4三种模式的比较
1、接触模式(Contact Mode): 优点:扫描速度快,是唯一能够获得“原子分
辨率”图像的AFM垂直方向上有明显变化的质硬样 品,有时更适于用Contact Mode扫描成像。
缺点:横向力影响图像质量在空气中,因为样 品表面吸附液层的毛细作用使针尖与样品之间的粘 着力很大,横向力与粘着力的合力导致图像空间分 辨率降低,而且针尖挂擦样品会损坏软质样品(如 生物样品,聚合体等)。
2.AFM简介
原子力显微镜(Atomic Force Microscope , AFM),是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体 材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表 面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相 互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微 弱力极端敏感的微悬臂一端固定,另一端的微小针 尖接近样品,这时它将与其相互作用,作用力将使 得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品 时,利用传感器检测这些变化,就可获得作用力分 布信息,从而以纳米级分辨率获得表面结构信息。

原子力显微镜课件PPT

原子力显微镜课件PPT

物理吸附
亲水
疏水
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2. 毛细力及其对AFM测量的影响
Fa2Rh/r
在R = 50~100 nm,相对湿度在40~80% 时,毛细力大约在几十nN数量级。
3. 液体中针尖-试件间的相互作用力
探针和试件都浸入液体内进行测量 时,可以完全消除毛细现象,因此可不受 毛细力的干扰,使测量时的作用力大大减 小,而且可以:
z
1
ki kc
h
故在恒力测量模式时,测出的试件廓形高低, 大于 真实的高低,即测量结果在垂直方向有放大作用, 造成测量廓形的误差
3)在AFM测量时, 针尖的预置力越大,纵向测量结果的放大作用也越大,即纵 向畸变也增大。为减小测量误差,应尽量采用小的针尖预置力。
4) AFM测量结果的纵向放大量(畸变)和微悬臂的刚度有关。在采用等间隙 测量模式时,从式中可看,采用刚度kc较低的微悬臂较为有利,可以减小纵 向测量误差。但如采用恒力测量模式时,为减小纵向测量误差, 应采用刚度较 高的微悬臂,这和采用等间隙测量模式时正好相矛盾。因此可知,微悬臂刚 度的选择和AFM的测量模式有关。
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3. 探针尖曲率半径对测量结果的影响
使 用 商 品 的 Si3N4 四 棱 锥 探 针 尖 检 测所获得的聚酰亚胺薄膜AFM图像
使用ZnO晶须作探针尖检测,所获 的聚酰亚胺薄膜AFM图像
3)AFM测量时利用的相互作用力 在接触测量时,检测的是它们间的相互排斥力; 在非接触测量时,检测的是它们间的相互吸引力
4)针尖-试件间其他作用力及其应用于各种扫描力显微镜
针尖-试件间相互作用的磁力,可制成检测材料磁性能的磁力显微镜(MFM); 针尖-试件间相互作用的静电力,可制成检测材料表面电场电势的静电力显微镜 (EFM); 探针-试件接触滑行时的摩擦力,可制成研究材料摩擦磨损行为的摩擦力显微镜 (FFM);

AFM-原子力显微镜PPT课件

AFM-原子力显微镜PPT课件
1.只限于直接观测导体或半导体的表面结构; 2.非导电材料须在其表面覆盖一层导电膜; 3.当表面存在非单一电子态时,STM得到的是表
面形貌和表面电子性质的综合结果。
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AFM发展概况
• 1981年,Binnig G和Rohrer提出扫描隧道显微镜 (STM)原理.并因此而获得1986年诺贝尔物理奖。 STM的分辨能力达原子级,可以用来确定导电物 质固体表面的原子结构和性质。
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AFM的组成
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AFM成像原理
原子力显微镜是一种通过研究样品表
面力同距离关系而获得样品表面形貌信 息的显微术。它不使用STM的金属探针, 而使用一个尖端附有探针的极灵敏的弹 簧壁来作为敏感元件,称之为微悬臂。
将微悬臂的一端固定(对微弱力极敏
感),另一端有一微小的针尖,针尖与 样品表面轻轻接触。针尖尖端原子与样 品表面的原子间存在极其微弱的排斥力。 随后可通过以下两种工作模式中的任何 一种得到表面形貌有关的信息,然后经 过计算机采集、处理,最后成像。
为了准确反应出针尖相对于样品表面微弱的力的变化, Cantilever和针尖的制备是十分关键的,是决定AFM灵 敏 度 的 核 心 , 因 此 AFM 仪 器 的 发 展 过 程 实 际 上 是 Cantilever的不断改进的过程。
Cantilever通常要满足以下条件:(1)较低的力的弹 性系数;(2)高的力学共振频率;(3)高的横向刚性; (4)尽可能短的悬臂长度;(5)Cantilever需要配有 镜面或者电极,使得能通过光学或者隧道电流方法检测其 动态位移;(6)带有一个尽可能尖锐的针尖。
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➢ 可实时地观测表面的三维立体图像,这种实时观测的性能 可用于表面扩散等物理化学过程的监视、检测。

原子力显微镜简介PPT课件

原子力显微镜简介PPT课件

引起该相移的因素很多,如样品的组分、 硬度、粘弹性质等。因此可在纳米尺度上获 得样品表面局域性质的丰富信息。
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AFM的工作环境
原子力显微镜受工作环境限制较少,它可以在超高真空、 气相、液相和电化学的环境下操作。 (1)真空环境:真空环境可以避免大气中杂质和水膜的干扰,但其 操作较复杂。最早的扫描隧道显微镜(STM)研究是在超高真空 下进行操作的。后来,随着AFM的出现,人们开始使用真空 AFM研究固体表面。 (2)气相环境:气相环境中,AFM多受样品表面水膜干扰,但其操 作比较容易,它是广泛采用的一种工作环境。它可以在空气中 研究任何固体表面,不受样品导电性的限制。 (3)液相环境:液相环境中,AFM消除了针尖和样品之间的毛细现 象,因此减少了针尖对样品的总作用力。液相AFM可以在液相 中研究样品的形貌,其应用十分广阔,可用于生物体系、腐蚀 或液固界面的研究。 (4)电化学环境:如超高真空系统一样,电化学系统为AFM提供了 另一种控制环境。电化学AFM是在原有AFM基础上添加了电解 池、双恒电位仪和相应的应用软件。电化学AFM可以现场研究 电极的性质.包括化学和电化学过程诱导的吸附、腐蚀以及有 机和生物分子在电极表面的沉积和形态变化等。
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云母的原子像(接触模式)
DVD光盘表面(接触模式)
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蝴蝶翅膀的AFM成像
云母片上的抗体分子的 AFM成像
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生物样品
λ-DNA
霍乱菌
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纳米加工:
利用AFM可以对样品进行表面原子搬运,原子蚀刻,从而制造纳米器件。
用AFM针尖移动Si原子形成的IBM文字
STM针尖移动原子形成的图形文字

原子力显微镜AFM精品PPT课件

原子力显微镜AFM精品PPT课件

➢ 两种测量模式
(1)等高测量模式: 探针以不变高度在试件表面扫描,隧 道电流随试件表面起伏而变化,从而 得到试件表面形貌信息。
(2)恒电流测量模式:
探针在试件表面扫描,使用反馈电 路驱动探针,使探针与试件表面之 间距离(隧道间隙)不变。此时探 针移动直接描绘了试件表面形貌。 此种测量模式隧道电流对隧道间隙 的敏感性转移到反馈电路驱动电压 与位移之间的关系上,避免了非线 性,提高了测量精度和测量范围。
F pair 排斥部分
d 吸引部分
原子 原子
原子 排斥力
原子
吸引力
原子间的作用力
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AFM实物照片
扫描探针 磁盘图像
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正是因为AFM工作时不需要探测隧 道电流,所以它可以用于分辨包括绝缘体 在内的各种材料表面上的单个原子,其应 用范围无疑比STM更加广阔。但从分辨 率来看,AFM要比STM略微低一些。
发展历史 工作原理


基本原理 仪器构成 工作模式
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扫描隧道显微测量(STM)
➢ 扫描隧道显微镜1981年由在IBM瑞士苏黎世实验室工作
的G.Binning

H.Rohrer
发明,可用于观察物体
A
级的表
面形貌。被列为20世纪80年度世界十大科技成果之一,
1986年因此获诺贝尔物理学奖。
G.Binning
◆ 在达到纳米层次后,决非几何上的“相似缩小”, 而出现一系列新现象和规律。量子效应、波动特性、 微观涨落等不可忽略,甚至成为主导因素。
◆ 纳米技术研究的主要内容
➢纳米级精度和表面形貌测量及表面层物理、化学性能 检测; ➢纳米级加工; ➢纳米材料; ➢纳米级传感与控制技术; ➢微型与超微型机械。

原子力显微镜PPT演示课件

原子力显微镜PPT演示课件
原子力显微镜
生科院
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显微镜的分类
光学显微镜
显 微 镜
暗视野显微镜 实体显微镜 荧光显微镜 偏光显微镜 位相显微镜 倒置式显微镜 微分干涉显微镜 摄影显微镜
透射式电子显微镜
电子显微镜
扫描式电子显微镜
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扫描隧道显微镜、原子力显微镜
原子力显微镜
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原子力显微镜
原子力显微镜(Atomic Force Microscope )简称
原子力显微镜技术在生物学领域的应用有赖于样品制备方法和 适合针尖-样品相互作用的缓冲液的研究。原子力显微镜现已 成为一种获得样品表面结构的高分辨率图像的有力工具。而更 为吸引人的是其观察生化反应过程级生物分子构象变化的能力, 因此,原子力显微镜在生物学领域中的应用前景毋庸置疑。而 对于原子力显微镜技术本身,以下几个方面的进展将更加有利 于它在生物学中的应用。大多数生物反应过程相当快速,原子 力显微镜时间分辨率的提高有助于这些过程的观察。生命科学 研究有其自身特点,需设计出适合生物学研究的原子力显微镜。 高分辨率是原子力显微镜的优势。其分辨率在理论上能达到原 子水平,但目前还没有实现,如何做出更细的针尖将有助于其 分辨率的进一步提高。
原子力显微镜可以作为一种力传感器来研究 分子间的相互作用。这是由于原子力显微镜理论 上能够感应10-14nm的作用力,能感应0.01nm的 位移,而接触面积可小到10n㎡.
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原子力显微镜 在研究物质超微结构中的应用
应用原子力显微镜(AFM)可以直接观察到表面缺陷、 表面重构、表面吸附体的形态和位置、以及有表面吸附体 引起的表面重构等。原子力显微镜(AFM)可以观察许多不 同材料的原子级平坦结构,例如,可以用原子力显微镜 (AFM)对DL-亮氨酸晶体进行研究,可观察到表面晶体分 子的有序排列,其晶格间距与X射线衍射数据相符。另外 原子力显微镜(AFM)还成功地用于观察吸附在基底上的有 机分子和生物样品,如,三梨酸、DNA和蛋白质的表面。

《原子力显微镜系统》课件

《原子力显微镜系统》课件
拓展探测功能
开发多模式原子力显微镜,具备多种探测功能,如振动模式、电流 模式等,以便更全面地了解样品性质。
应用领域的拓展
生物医学领域
利用原子力显微镜观察生物大分子结构和细胞表面的形貌,为疾 病诊断和治疗提供有力支持。
能源领域
研究电池材料、太阳能电池等能源器件的表面结构和性能,提升 能源利用效率。
环境领域
常见故障排除
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图像问题
检查光源、镜头、样品等 是否正常,确保图像质量 。
仪器失灵
检查仪器线路连接、电源 等是否正常,确保仪器正 常运行。
数据异常
检查数据采集、处理等环 节是否正常,确保数据准 确性。
定期保养与校准
保养
按照厂家推荐的保养周期 ,对仪器进行全面保养。
校准
定期对仪器进行校准,确 保测量结果的准确性。
扫描装置通常由微机械加工技术制造,具有极高的定位 精度和稳定性。
扫描范围可以从几微米到几毫米,具体取决于不同的应 用需求。
反馈系统
反馈系统负责实时监测针尖与 样品之间的相互作用力,并根 据反馈信号调整悬臂的位置,
以保持力恒定。
反馈系统通常由一个差分电容 传感器和一个PID控制器组成。
差分电容传感器能够检测悬臂 的微小位移,并将其转换为电 信号。
《原子力显微镜系统 》PPT课件
目录
CONTENTS
• 原子力显微镜系统概述 • 原子力显微镜系统组成 • 原子力显微镜系统操作流程 • 原子力显微镜系统的维护与保养 • 原子力显微镜系统的未来发展与展望
01 原子力显微镜系统概述
原子力显微镜的定义
01
原子力显微镜是一种利用原子间 微弱作用力来观察物质表面结构 的仪器。

原子力显微镜 ppt课件

原子力显微镜  ppt课件
对于AFM系统,同等清晰度下,扫描所得图像的 分辨率越低,扫描的速度越快。对于某些应用, 可以在大的视场中使用较低分辨率的快速扫描, 观察样品表面的变化,然后对于感兴趣的部分进 行高分辨率的慢速扫描。
慢速高分辨率扫描成像示出更多的细节
随着扫描速度的提升,图像的拉伸变形越来 越严重
随着扫描速度的提升,图像的拉伸变形越来越 严重,实际上当速度达到1.00s每幅时,扫描 范围已经比1.59m要小。结果显示在2.00s 每幅时仍能保持较好的在大的视场中使用较低 分辨率的快速扫描,观察样品表面的变化,然 后对于感兴趣的部分进行高分辨率的慢速扫描 的新方法,其应用将会越来越广泛。
1在材料科学方面,可以使用原子力显微镜对 材料表面进行扫描,观察样品表面粗糙情况或 波纹情况,为样品表面膜性能提供信息,且探 针不会对样品表面造成损伤。
2在生物科学方面,原子力显微镜检测生物样 品具有制备样品简单,样品无需特殊处理,能 在多种环境中操作。因此,可以使用原子力显 微镜对生物分子扫描成像,观察细胞的动态信 息,还可以对生物分子进行纳米操作。
3原子力显微镜在膜科学中的应用
AFM出现前,电子显微镜是微电子学的标准研 究工具,它的分辨率可以达到几个纳米量级。 但是要求在样品表面涂覆金属并在真空中成象 ,三维分辩能力差,而且发射的高能电子可会 损坏样品而造成偏差。尤其是对活性样品电子 显微镜完全不能胜任。而AFM分辨率可以达到 原子量级,且对操作环境和样品制备没有特殊 的要求,其在膜技术中的应用自然就更为普遍 和广泛。
自STM问世以来,人们一直期望着能够准确地 表达出绝缘物质表面的真实形貌,而AFM就是 专为满足这些需求而出现的。AFM的实用化标 志着物质表面检测手段的重大革新,是微纳米 检测发展史上又一里程碑。
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通过计算激光束在检测器四个象限中的强度差值(A+B)(C+D)得到的。将这个代表微悬臂弯曲的形变信号反馈至电
子控制器驱动的压电扫描器,调节垂直方向的电压,使扫描 器在垂直方向上伸长或缩短,从而调整针尖与样品之间的距 离,使微悬臂弯曲的形变量在水平方向扫描过程中维持一定, 也就是使探针-样品间的作用力保持一定。在此反馈机制下, 记录在垂直方向上扫描器的位移,探针在样品的表面扫描得 到完整图像之形貌变化,这就是接触模式。
3.当距样品较远时(0.2nm—10nm),主要是范德瓦尔斯力 (Van Der Waals Force,简称VDW)起作用;
4.距离较近时主要是排斥力起作用。排斥力的大小取决于针 尖与样品表面的原子的接近程度。
1. 结构组成
主要由探头、扫描装置、计算机及显示终端等几部分 组成。 (1)探头:包括微悬臂、隧道电流探针、样品室、机械调 整装置和压电陶瓷管等。 (2)扫描装置:一般有两种扫描方式,一种为恒流模式; 另一种为恒高模式。 (3)计算机处激光器所发激光经准直聚焦后 照到微悬臂的背 面,微悬臂的背面镀有金膜,相当于一面反射镜,经微悬 臂反射的激光束照到一个二象限光电探测器上。样品固定 在压电陶瓷管上,并一起随压电陶瓷管在扫描电路控制下 沿X,Y方向扫描,并且在Z方向可以伸缩。如果微悬臂探针 同样品间的相互作用使微悬臂在Z方向产生位移,那么反射 束将在二象限光电探测器上移动。在二象限光电探测器中 两个光电管的交界处,光斑的移动同二象限信号的差值有 良好的线性关系,取二象限信号差值作为表面形貌信息。
二. 特点:
1.AFM(Atomic Force Microscope)是以STM为基础,和 STM为类似技术的扫描探针显微镜,它是通过研究样品表 面与针尖原子间的作用力同距离的关系而获得样品表面 形貌信息的显微术。
2.它不象STM使用金属探针,而是使用一个尖端附有探针的 极灵敏的弹簧臂来作力敏元件,称之为微悬臂。当微悬 臂接近样品表面时,探针和样品表面原子力将产生相互 作用。
(二)光学偏转法检测的原子力显微镜
1.结构原理图:
右图为激光 偏转检测法示意 图,其结构组成 分为三个部分: 力检测部分、 位置检测部分、 反馈系统。
微悬臂通常由一 个一般100~500μm 长和大约500nm~ 5μm厚的硅片或氮化 硅片制成。
1.1 力检测部分
在原子力显微镜(AFM)的系统中,所要检测的力是原 子与原子之间的斥力或范德华力。所以在本系统中是使用微 小悬臂(cantilever)来检测原子之间力的变化量。微悬臂 通常由一个一般 100~500μm 长和大约 500nm~5μm 厚的 硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖,用来检 测样品-针尖间的相互作用力。这微小悬臂有一定的规格, 例如:长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状,而这些规格 的选择是依照样品的特性,以及操作模式的不同,而选择不 同类型的探针。
第七章-原子力显微镜
一.引言
由于扫描隧道显微镜只能观察导体和半导体的表面结构, 对于非导电材料必须在其表面覆盖一层导电膜。导电膜的存 在往往掩盖了样品的表面结构的细节。为了弥补扫描隧道显 微镜的这一不足,1986年Binnig、Quate和Gerber发明了第一 台原子力显微镜(AFM)。
原子力显微镜是将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固 定,另一端有一微小的针尖,针尖与样品的表面轻轻接触, 由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的作用力 (斥力10-8~10-6N或范德瓦尔斯力),通过扫描时控制这种力 的恒定,带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间 作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用 光学检测法和隧道电流检测法,可以测得微悬臂对应于扫描 各点的位置变化,从而可以获得样品的表面形貌信息。
三.AFM 操作模式
1.接触式 (contact mode)
2.非接触式 (non-contact mode)(亦即 VDW 模式)
3.轻敲式 (tapping mode or intermittent contact mode)
4.相移模式
1.接触模式
将一个对微弱力极敏感的微悬臂的一端固定,另一端有一 微小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触。由于针尖尖端原子 与样品表面原子间存在极微弱的排斥力(10-8~10-6N),由 于样品表面起伏不平而使探针带动微悬臂弯曲变化,而微悬 臂的弯曲又使得光路发生变化,使得反射到激光位置检测器 上的激光光点上下移动,检测器将光点位移信号转换成电信 号并经过放大处理,由表面形貌引起的微悬臂形变量大小是
2.原子力显微镜的工作原理
❖ 当微悬臂上的探针在样品表面X和Y方向作相对扫描时, 因为样品表面是凹凸不平的,探针与样品表面的原子间的相 互作用力也随之发生变化,导致探针和微悬臂一起上下起伏, 微悬臂的起伏与样品表面原子力等位面相对应,亦即和样品 表面的形貌相对应。对于恒高模式,在微悬臂上下起伏的过 程中,隧道电流针尖与微悬臂之间的隧道电流随之变化,检 测此隧道电流即获得样品表面的形貌信息。对于恒流模式, 在微悬臂上下起伏的过程中,隧道电流针尖随之也 上下起 伏,检测此隧道电流针尖在Z方向的移动,即获得样品表面 的形貌信息。将这些信息进行模数转换并送入计算机进行处 理,即可获得样品表面的超微结构图象或原子分布图。
右图是一典型的 AFM悬臂和针尖
1.2 位置检测部分
在原子力显微镜(AFM)的系统中,当针尖与样品之间 有了交互作用之后,会使得悬臂cantilever摆动,所以当 激光照射在微悬臂的末端时,其反射光的位置也会因为悬 臂摆动而有所改变,这就造成偏移量的产生。在整个系统 中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电 的信号,以供SPM控制器作信号处理。
右图是激光位置检测器的示意图。 聚焦到微悬臂上面的激光反射到激光位 置检测器,通过对落在检测器四个象限 的光强进行计算,可以得到由于表面形 貌引起的微悬臂形变量大小,从而得到 样品表面的不同信息。
1.3 反馈系统
在原子力显微镜(AFM)的系统中,将信号经由激光 检测器取入之后,在反馈系统中会将此信号当作反馈信号, 作为内部的调整信号,并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫 描器做适当的移动,以保持样品与针尖保持一定的作用力。
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