电容式薄膜绝对压力传感器原理

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压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
误差
F u l l 满量程 S c a l e %d r oa E f eg r R i nr o B a n d 读数值的%误差带 % SE ol c r fu a o F l l er 满量程的%误差带 r B a n d
显示压力 Ii t ne dd c a Pr rs ee s u
的参考面
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压力测量 – 电容式薄膜压力传感器(Manometer)
一个完整的传感器 – 压力传感器 + 信号控制电路
E lo e c t r n i c 电子部件 s S p a n P o t 满度调节 Pr xP Lo ir n e a i t y P 线形调节 t
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MKS电容式薄膜压力传感器系列
700 系列 Baratron 电 容式薄膜压力传感器
• • • • •
中等性能 价格便宜 紧凑型尺寸 满量程范围: 1T ~ 1000T 精度: 读数值的 ± 0.5% 温度控制: 环境温度, 45℃or 100 ℃
基于以太网通讯的e-Baratron
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压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
温度控制的薄膜压力传感器 系列
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压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
零点、满量程及线性
A c tl u a 真实压力 Pr ru e s s e
Fa ul lc l S e 满量程
显示压力 r u I i t Pr ne s dd s c a e e
MKS电容式薄膜压力传感器电气连接
引脚号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
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定义 不连接 压力信号输出 0~10VDC 不连接 不连接 电源公共端 -15 VDC +15 VDC 不连接 不连接 不连接 不连接 压力信号公共端 不连接 不连接 外壳地
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压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
温度控制的薄膜压力传感器 – 范围及输出
P uT rs (r er o se r )
1 0 0 0 1 0 0 1 0 1 1 0 1 0 1 0 1 0 1 0 1 0 1 0
1
E p T uc x l: o 满量程 a e r lS m 1r F l e 举例：1Torr l a C i nM e atca t p a压力传感器 a en e c o r m
Z e r o P o t 零点调节 Cpv o mn n ee s rO t ee a a n t t T u r (e n i n Te d l e C ty mt U po n r ar t ul r o O l e ) s
OR s c i l l a 参考n t r fe e r e c 振荡器oe
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Trip Relay Comm Port Dual Range NO Terminal Strip NO YES 15 pin-D NO YES 15 pin-D NO YES 15 pin-D YES YES 15 pin-D NO YES 15 pin-D YES NO 15 pin-D NO NO 15 pin-D NO NO EtherNet NO NO 15 pin-D YES NO 15 pin-D NO NO EtherNet NO NO 15 pin-D NO NO EtherNet NO NO 15 pin-D YES NO 15 pin-D NO NO EtherNet NO NO 9 pin-D NO NO 9 pin-D NO NO 15 pin-D NO NO 15 pin-D NO YES 15 pin-D NO NO 9/15 pin-D NO NO 9/15 pin-D NO NO 9/15 pin-D NO NO DeviceNet NO NO DeviceNet NO NO DeviceNet NO
B u f f e , 缓存 r B S r i d g 电桥e c a l i n g , A m p l i f i c a t i o n
放大
输出u O u t p t
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压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
现代电容式薄膜差压式压力传感器原理
B a f f l e
•
• •
890/892 压力传感器
• • • •
满量程范围: 20 ~ 3000PSI 精度: 读数值的 ± 1% 电源电压: +13VDC ~ +32VDC 输出信号: 0 ~ 10V 0 ~ 5V 4 ~ 20mA
电源电压: ±15VDC 或 +24VDC 输出信号: 0 ~ 10V 或 0~5V
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压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
零点调整 输出信号
真空条件下
用螺丝刀进 行零点调整
或在显示/控制仪 上实施零点修正
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MKS电容式薄膜压力传感器系列
600系列Baratron 电容式薄膜 压力传感器
满量程范围: 20mT ~ 25kT 精度: 读数值的 0.12% 分辨率: 满量程的 0.001% 温度控制: 环境温度, 45℃or 100 ℃ 温度系数 •零点: 0.002% 满量程./°C •增益: 0.02% 读数值 /°C 两个继电器控制点可选 电源电压: ±15VDC 输出信号: 0 ~ 10V
O u tt p 输出 u
1 0 V
C o n t r o l R a n g e
1 . 0
0 . 1
源自文库
. 0 1 R eg a d i n R a n g e 1 m V
零点 Z e r o
Py零点 r r o p e N S Li o 满量程 t p ia a 线性 r nn e t y 调整的l A dr d j ee u s 失调 d 失调f O o O 失调o e u t o u t f 比例t Z A d j t A Confidential u d s . j MKS u s t .
隔膜 D ih a p r a g m E lt e c r o d 电子组件 e A sy s e m b l
至电子部件 n To o i Es lt c e c r
M et a s u r e m n 测量面e S i d e
R e fc e r e n 参考面 e S i d e
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解决方法 Rtn ei so o l u Z e oin e降低温度依赖i e r mf t op f TC e c
0 0
真实压力 T r u e Pr rs ee s u
满量程a Fc u l l l S e
Ne o a n r Li i ny t 非线性 Hs ye s i t s e r 滞后 非重复性 N pb o e iy n ai Ra e l t t 满量程温度系数 S e oi t p mf e a p f n n C T e i c
Etch NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO YES YES NO NO NO YES YES NO YES NO NO NO NO NO NO NO NO NO
Small Size NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO YES YES YES NO NO NO
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
现代电容式薄膜绝对压力传感器原理
G t e p tP tu e o r m 通过真空泵维 M ao ii w n tL a n 持在高真空参 RP e rr f cs e e r es n u e e
考压力下
RS e i t fc ed r ee n e 在超高真空下a VV e a rh y c Hm i g u u
1 0 V
可控范围
1 . 0
Co ol n t r Re a n g 0 . 1
2
3
. 0 1 Rn e g a d i 读数范围 Re a n g 1 m V Ru e tn si oo l
4
5
6
零点压力 Pu rs er se
Zig e rn o
压力分辨率 Pu rs er se
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631B 高温 Baratron
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MKS电容式薄膜压力传感器系列
Model 622A 623A 624B D24B 625B D25B 626A 627B 627C D27B E27B E27C 628B 628C D28B E28B E28C 629B E29B 631A 631B 632B 722A 727A 728A DMA-Amb DMA-45 DMA-80
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Temp Ambient Ambient 45° C 45° C 100° C 100° C Ambient 45° C 45° C 45° C 45° C 45° C 100° C 100° C 100° C 100° C 100° C 45/100° C 45/100° C 150/200° C 150/200° C 150/200° C Ambient 45° C 100° C Ambient 45° C 80° C