平面反射镜光学薄膜的制备

平面 反射 镜 光 学薄 膜 的 制备
王 保松 ， 军 成 ， 刘 陈
（ 苏 金 陵机 械 制造 总 厂 ， 苏 江 江 南京
静
２ １０ ） １ １０
摘
要： 以薄膜原理为基础 ， 通过 Ｅ ｓｎｉ ｃ ｏ ｓｅｔ ｌ ｌ ｄ软件进行 膜 系设 计 ． 用 电子束加热 蒸发 的镀膜方式 ， ａ Ｍａ ｅ 采 利用 设计工装
制备 了介质 ＺＯ ～Ｓ 高反射膜层 和金 属铝 反射 膜层 ． ｒｅ ｉ ０２ 介质高反膜层在 １０ ４ｐｎ波长 处的反射率 达到 ９ ％， ．６ ａ ５ 金属铝反射膜 层的在 ３ｔｎ ５，ｎ － ｕ 波段 内的平均反射率超过 ９ ％． ａ ｒ ５ 膜层的技术指标和环境适应性能具有优质的质量 ． 关键词 ： 平面反射镜 ； 光学薄膜 ； 反射率 中图分类号 ：Ｂ ３ Ｔ ４ 文献标 识码 ： Ａ 文章 编号 ：６ ３ ２ ５ ２ １ ）６—０ ２ １７ —１５ （０ ０ ０ ０ ２—０ ３
Ｐｒ ｐ ｒ ｔｏ ｆＰｌ ｎ ｆｅ ｔｏ ｉｒ ｒＯｐｔｃ ｌＴｈｉ ｌ ｓ ｅ ａ ａ ｉ ｎ ｏ ａ ｅＲｅ ｃ ｉ ｎ Ｍ ｒ ｏ ｌ ｉ ａ ｎ Ｆｉｍ
Ｗ ＡＮＧ ａ —ｏ ｇ Ｕ ｕ －ｈ ｎ Ｃ Ｂ ｏｓ ｎ ＬＩ Ｊ ｎ ｃ ｅ ｇ， ＨＥＮ ｉｇ Ｊｎ
第 ２ ５卷第 ６期
２１ ０ ０年 １ ２月
光 电 技 术 应 用
ＥＬ ＴＲＯ 一（ｆ ｒ Ｃ ＴＥＣＨＮ０Ｌ０ＧＹ ＥＣ ） Ｉ ＡＰＰ （ ＬＩ、 ＡＴＩ ｏＮ
Ｖｏ ． ５， ． １２ Ｎｏ ６ Ｄｅ ｅ ｅ ． ０１ ｃ ｍｂ ｒ ２ ０
・
光 学设 计 与制 造 ・
一
ｓｏｅｄｅ ｃｒ ａｉ ｎ ｆ ｃｉｅａ ｍｉｕ ｍａｉｇ ｗｅ ｅｍａ ｅｕ ｉ ｅｄ ｉ ｌ ｅ ｙ ｅ ｃｒ ｎ ｂ ａ ｈ ａ ｉ ｅ ａ — ｉ ｉｌ ｔｉ ｅ ｔ ａ ｄ ｒｌ ｔ ｕ ｎ ｍ ｔ ｒ ｄ ｓ ｔ ｅ ｇ ｃ ｔ ｓ ｂ ｌ ｔ ｅ ｍ ｅ ｔ ｇ ｖ ｐ ｅ ｃｏ ｎ ｇ ｅｅ ｖ ｌ ｎ ｇ ｎ ｈ ｓｎ ｏ ｈ ｅ ｏ ｎ
ｏａｉｎ ｍ ｔ ｇ ｍｅｈ ｄ Ｔｈ ｅ ｅｔ ｉ ｆ ｉ ｅｔ ｃｍａｉ ｐｔ ｔ ｆ ５ ｉ ｖ ｌ ｇｈＯ ．６ ｎ．ｎ ｅａ ｒｔ ｉ ｔｏ ． ｅｒｆ ｃｉ ｔ ｏ ｄ ｃｒ ｔ ｉ ｕ ｒ ｅｏ ％ ｎｗａ ｅ ｎ ｔ ｆ ０ ４ ｔ ａ ｄｔ ｖ ｏ ａ ｎ ｌ ｖｙ ｄ ｉ ｇ ｎ ｓ ｏａ ９ ｅ １ ａ ｈ ｅａｅｒｆ ｃｉｉ ｆ ｕ ｎ ｍ ｔ ｖｒ９ ％ ｂ ｔ ｅ ｎ ｎ Ｔ ｅｔｃ ｎｃｌ ａａ ｔｒ ｄｅｖｒｎ ｎａ ｒｇ ｅ ｅｔ ｔ Ｏ ｍｉｕ ｍａｉ ｉ ｏ ｅ ５ ｌ ｖｙ ａ ｌ ｇ ｎ ｓ ｅ ｗｅｎ３ｔ ａ ｄ５ｔ ． ｈ ｈ ｉ ｒｍｅｅｓａ ｎ ｉ ｍｅ ｔｌ ｍａ ａ ｅ ａｐ ｎ ｏ ａａ ｔｂｌｙｏ ｅｆｍ ｒ ｘｅｌｎ ． ｄ ｐａ ｉｔ ｆ ｈ ｌ ａｅｅ ｃｌ ｔ ｉ ｔ ｉ ｅ Ｋｅ ｒ ｓ ｐａ ｅｒｆｅ ｔ ｎ ｍｉｒｒ ｏ ｔ ａ ｆｌ ；ｅｌｃｉｉ ｙ ｗｏ ｄ ： ｌｎ ｅ ｃｉ ｒｏ ； ｐ ｉ ｌ ｉ ｒ ｆ ｔｖｔ ｌ ｏ ｃ ｍ ｅ ｙ
１ １ 金属 反射 膜 ．
金 属 的复折 射率 可 写 为 一ｉ 光 在 空气 中垂 ｋ．
直入射 时 ， 反射 率为
Ｒ＝
作 … 以薄膜原 理为 基 础 ， 过 Ｅｓｎｉ ｃ ｏ １． 通 ｓｅｔ ｌ ｌ ｄ软 ａ Ｍａ ｅ
件 进行 膜 系设计 ， 利用 电子 束加 热蒸 发 的镀 膜 方式 ， 设 计工 装分 ２次 镀制 膜层 ， 并通 过工 艺调试 ， 备膜 制 层 的性 能最终 满 足 部 件性 能 技 术 要 求 ， 现 了平 面 实 反射镜 膜 层 的制 备 ．
针 对 平 面 反 射 镜 面 的金 属 反 射 膜 和 介 质 反 射
其反 射率 为
（ 一ｉ ） ｋ （ｚ ｋ ，—ｉ ）
膜 ， 据光 学薄膜 理 论 ， 过 Ｅ ｓｎｉ ｃ ｏ 根 通 ｓｅｔｌ ａ Ｍａｌ ｄ软件 ｅ 进行设 计 ， 以获得 满 足光谱 性 能需要 的膜 系结 构 ．
收稿 日期 ：０ ０—１ —２ ２１ ０ ９
反 射镜 面有 中心 介质 高反 射膜 和外 围金属 反射
膜 ２个 区域 ， 中心 介 质 高反 射膜 用 于 １０ ｍ 波段 ．６
激光 的反射 ， 围金属 反 射膜 用 于 ３ ｍ 红外 光 外 ～５ 的反射 ． 印 中等 进 行 了通 过 磁控 溅 射 法 制 备 高反 赵 射 铝膜 ， 并分 析 了镀 膜 参 数对 铝膜 反 射 率 影 响 的工
｝
ｌ ＝
㈩
如 果在 金 属 反 射 膜 上 镀 以折 射 率 为 １ 和 ２ 的两层 ０４ 度 的介质 膜 ， 且 ２ ／厚 并 紧贴金 属 ， 那么
在垂直 入射 时 ， 波长 。的导纳 为
ｙ ＝
（） －） ｉ （ｋ ｎ
１—
（） ２
１ 膜系原理分析和设计
（ｉｌ ｇＭａｈｎ Ｆ ｃ ｒ ｉｎ ｓ ｒｖｎｅ Ｎａｊｎ １ １０ Ｃ ｉａ Ｊｎｉ ｎ ｃｉｅ ａｔ ｙｏ ａ ｇｕＰ ｏｉｃ ， ｎｉｇ ２ １０ ， ｈｎ ） ｏ ｆＪ
Ａｂ ｔａ ｔ Ｃ ａｉｇ ｒ ｅ ｉｎ ｄ ｂ ｓｅ ｔ ｌ ａ ｌ ｄ ｓ ｆ ｒ ａ ｅ ｎ ｔ ｅｔ ｅ ｒ ｆｆｍ ． ｇ ｅ ｅ ｔ ｅ ｓｒ ｃ ： ｏ ｔ ｓｗｅｅｄ ｓ ｅ ｙ Ｅ ｓｎ ｉ ｃ ｏ ｏ ｔ ｅｂ ｓ ｄ ｏ ｈ ｈ ｏｙ Ｏ ｉ Ｈｉｈ ｒｆ ｃｉ ｎ ｇ ａＭ ｅ ｗａ ｌ ｌ ｖ