超纯水系统作业标准书

100-150T/H超纯水系统作业标准书

1.0目的：

正确操作超纯水设备，生产合格的超纯水，确保连续不断的为生产设备提供合

格的纯水。

厂务RO补水电导率应小于20um/cm，供水水压0.35±0.10MPa；

车间RO动力补水电导率小于20um/cm，供水水压0.35±0.10MPa；厂务端RO供水水温不受控、车间RO供水水温受控20.0±2.0℃；车间用水电阻率大于17.00 MΩ•cm,供水水压0.35±0.10MPa；

DI供水水温22.0±2.0℃。

2.0 范围:

DI供水：

生产车间；

车间RO供水：

研磨站、清洗间、切割站

厂务端RO供水：

循环冷却水站、空调、真空泵等设备。

3.0名词定义:

无

4.0作业程序：

4.1 职责：

运行人员负责日常运行，维修人员负责日常维护、维修，设备工程师负责提供运行、维护、维修的技术支持。

4.2 使用设备及材料：

无

4.3 操作流程图：

无

4.4 监控项目(含监控项目、控制图、判定准则)及OCAP

无

4.4.1特殊特性：无

4.4.2 SPC方法：无

4.5 作业步骤

4.5.1 手动开车前的准备工作：

4.5.1.1 确认水箱有水且补给水能满足正常生产用量；

4.5.1.2 确认多介质、活性炭过滤器处于备用状态，不然先进行处理；

4.5.1.3 确认板式换热器热媒或冷媒运行正常；

4.5.1.4 就地控制箱、就地仪表箱都送电，且都切换至“远程”状态；

4.5.1.5 确认各电动、气动阀动作是否完好；

4.5.1.6 确认各手动阀门处于常开状态；

4.5.1.7 确认氮气、冷冻水、热水、压缩空气是否按要求待用。

4.5.1.8 及时配置各种药剂，确保药剂桶槽液位高于警戒液位；

4.5.1.8.1 絮凝剂加药系统：

药剂作用：使水中微生物、胶体及有机物絮凝沉淀，较容易被过滤器去除，

从而达到净化水质的目的。

配药操作流程：

4.5.1.8.1.1 当药剂桶槽的液位接近警戒液位即10.0cm时，需及时配药。

4.5.1.8.1.2 配药前先将预处理原水泵系统切换至停止状态，带上口罩和防护手套，加入一桶药剂（25公斤/桶），然后将药剂桶槽的补水阀门打开，加EDI模块回流水至液位100cm。

4.5.1.8.1.3 人工搅拌均匀后，确认加药泵调节至60% ，再将预处理原水泵系统切换至自动状态。

4.5.1.8.2 阻垢剂加药系统

药剂作用：防止或抑制水垢的产生，防止RO膜污堵，延长膜的使用寿命，并能提高产水量和产水质量，降低运行费用。

配药操作流程：

4.5.1.8.2.1 当药剂桶槽的液位接近警戒液位即10cm时，需及时配药。

4.5.1.8.2.2 配药前先将原水泵系统切换至停止状态，带上口罩和防护手套，加入一桶药剂（25公斤/桶），然后将药剂桶槽的补水阀门打开，加EDI模块回流水至液位100cm。

4.5.1.8.2.3 人工搅拌均匀后，确认加药泵调节至70% ，再将原水泵切换至自动状态。

4.5.1.8.3 pH调节剂加药系统

药剂作用：调节系统pH 值，去除RO水中的二氧化碳，以提高反渗膜的脱盐率。

配药操作流程：

4.5.1.8.3.1 当药剂桶槽的液位接近警戒液位即10cm时，需及时配药。

4.5.1.8.3.2 配药前先将一级高压泵系统切换至停止状态，带上口罩和防护手套，打开药剂桶槽的补水阀门，加EDI模块回流水（35cm），然后加入一袋片碱（25公斤/袋）。

4.5.1.8.3.3 人工搅拌均匀，再将一级高压泵系统切换至自动状态。注意观察PH仪表，调节加药泵（具体调节比列视现场PH值而定），直至pH值稳定在7.5～8.5范围之内（一级RO系统停止时不受控）。

4.5.2 手动开车操作基本步骤

4.5.2.1 多介质过滤器，活性炭过滤器(四组并联，参照预处理控制柜）

1、启动制水A B C D组多介质就地柜的1号和6号阀开关、活性炭过滤器的1号和5号阀开关，使气动阀门处于制水状态；也可以在上位机上操作,但是就地柜需打到远程状态.具体操作详见电控控制说明；

2、启动原水泵；

3、启动加絮凝剂计量泵开关；

4、调节原水泵出水阀门，同时参照原水泵出水流量计，使出水达到设计值。

注意事项！确保开机前，先打开阀门，再启动泵；停机时先停泵再关闭阀门。

4.5.2.2 一级反渗透装置（参照一级RO控制柜）

1、打开水泵排气阀，直至有水排出关闭；

2、确保设备各手动阀门处于正常工作状态；

3、启动一级RO A/B组冲洗阀开关，确认到位；

4、启动一级RO高压泵；

5、启动50秒后，关闭一级RO A/B组冲洗阀开关；

6、启动阻垢剂计量泵开关；

7、检查各出水水量是否达到设计值，如未达到，对阀门进行调节。

4.5.2.3 二级反渗透装置（参照二级RO控制柜）

1、确保设备各手动阀门处于正常工作状态；

2、启动二级RO冲洗阀开关，确认到位；

3、启动二级RO高压泵；

4、启动50秒后，关闭二级RO冲洗阀开关；

5、检查各出水水量是否达到设计值，如未达到，对阀门进行调节。

4.5.2.4 EDI装置

1、确保设备各手动阀门处于正常工作状态；

2、调节EDI三通比例阀开关,使得在回水状态；

3、启动EDI水泵；

4、检查各出水水量是否达到设计值，如未达到，对阀门进行调节；

5、检查EDI运行参数（电流、电压）加以调节，以达到要求之规定；调节功率旋钮，依据实际情况调节电流控制在1-4A，电压控制40-600V （正常运行范围）；

6、待EDI稳定运行后，产水电阻率大于15MΩ•cm，调节比例三通阀至产水状态即可；

注意事项！

（1）不可在设备运行的情况下关闭EDI的任何一个进出口阀门。（2）运行电流并不是完全不变的，当进水水质发生变化，依据现场操作人员的经验作相应的调整，膜块电压也会随之变动。

7、EDI模块水量调节及流量控制