工业气体质量标准
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工业气体质量标准
气体 纯度 99.0% 99.99% H2 99.999% 99.9999% 99.99959% 99.5% 99.99% N2 99.999% 99.9996% 99.2% 99.995% O2 99.998% 99.999%
99.99% 99.999% Ar 99.9993% 99.9996%
GB/T 14601-93
GB/T 14602-93
O2+N2<20,SiF4<20,SO2<10,S O4<8 O2≤200,N2≤600,H2O≤5,CO2 ≤10,.CO≤10,CCLF2≤150
工业气体质量标准
杂质含量（PPM） O2≤0.4,N2≤0.6 O2+Ar≤5,N2≤60,CO≤5,CO2≤ 5,CH4≤10,H2O≤30 O2+Ar≤1,N2≤5,CO≤1,CO2≤ 1,CH4≤1,H2O≤3 O2+Ar≤0.2,N2≤0.4,CO≤ 0.1,CO2≤0.1,CH4≤0.2,H2O≤1 O2≤0.5,N2≤2,CO≤0.5,CO2≤ 0.5,CH4≤0.5,H2O≤0.5 O2≤0.5水分、露点0C-43 O2≤50,H2≤15,CO≤5,CO2≤ 10,CH4≤5,H2O≤15 O2≤3,H2≤1,CO≤1,CO2≤1,CH4 ≤1,H2O≤3 O2≤1,H2≤0.5,CO≤0.5,CO2≤ 0.5,CH4≤0.5,H2O≤1 液态氧不规定水含量 Ar≤10,N2≤20,CO2≤1，总经含 量≤2、水分、露点0C-69 Ar≤5,N2≤10,CO2≤1，总经含量 ≤1、水分、露点0C-70 Ar≤2,N2≤50,CO2≤0.5，总经含 量≤0.5、水分、露点0C-72 执行标准 GB/T3634-1995 GB/T7445-1995 GB/T7445-1995 GB/T7445-1995 GB/T16942-1997 GB/T3864-1996 GB/T8980-1996 GB/T8980-1996 GB/T8980-1996 GB/T3963-1995 GB/T 14599-93 GB/T 14599-93 GB/T 14599-93
H2≤5,O2≤10,N2≤50,总碳≤10， 水分≤15 H2≤0.5,O2≤1.5,N2≤4,总碳≤1， 水分≤3 H2≤1,O2≤1,N2≤4,总碳≤1，水 分≤2.6 H2≤0.5,O2≤1,N2≤2,总碳≤ 0.51，水分≤1 N2≤250,H2O≤10,CO2≤20,O2≤ 150,H2≤5 N2≤200,THC≤50,H2O≤20,O2≤ 20,CO2≤100,H2≤500 N2≤30,THC≤5,H2O≤5,O2≤ 10,C2H5OH≤1 O2≤10,N2≤40,H2O≤20 O2≤50,N2≤300,H2O≤50 残渣≤50,酸≤20,H2O≤50 残渣≤300,酸≤300,H2O≤1000 O2≤2,N2≤8,H2O≤3,CO2≤ 2,THC≤1,NH3≤2,CO≤1,NO2NO≤1 O2≤10,N2≤30,H2O≤30,CO2≤ 10,THC≤5 Air≤50,CO2≤30,H2O≤10,THC≤ 10 Air≤50,CO2≤30,H2O≤10,THC≤ 10
99.99% CO 99.95% 99.9%
99.995% CO2 99.99% 99.95% 99.98% 99.8% 99.998% N2O 99.99% H2S 99.99% 99.9%
SO2
NH3
99.999%
Biblioteka Baidu
CL2
99.995%
HCL COS BF3 CF4 NO
99.9944% 97.5% 99.99% 99.9% 99.9%
GB/T4842-1995 GB/T4842-1995 GB/T4842-1995 GB/T4842-1995
XN/QB 207.86 XN/QB 207.86
O2≤2,N2≤5,CO2≤1,经（C1C3）≤1，H2O≤5，总杂质含量 ≤10 H2O≤5，CO2≤10，N2≤10，O2 ≤2，CH2≤2,H2≤4 N2≤16,CO2≤10,H2O≤10， O2+Ar≤5,烃类含量≤5，H2≤10
气体 纯度 99.0% 99.99% H2 99.999% 99.9999% 99.99959% 99.5% 99.99% N2 99.999% 99.9996% 99.2% 99.995% O2 99.998% 99.999%
99.99% 99.999% Ar 99.9993% 99.9996%
GB/T 14601-93
GB/T 14602-93
O2+N2<20,SiF4<20,SO2<10,S O4<8 O2≤200,N2≤600,H2O≤5,CO2 ≤10,.CO≤10,CCLF2≤150
工业气体质量标准
杂质含量（PPM） O2≤0.4,N2≤0.6 O2+Ar≤5,N2≤60,CO≤5,CO2≤ 5,CH4≤10,H2O≤30 O2+Ar≤1,N2≤5,CO≤1,CO2≤ 1,CH4≤1,H2O≤3 O2+Ar≤0.2,N2≤0.4,CO≤ 0.1,CO2≤0.1,CH4≤0.2,H2O≤1 O2≤0.5,N2≤2,CO≤0.5,CO2≤ 0.5,CH4≤0.5,H2O≤0.5 O2≤0.5水分、露点0C-43 O2≤50,H2≤15,CO≤5,CO2≤ 10,CH4≤5,H2O≤15 O2≤3,H2≤1,CO≤1,CO2≤1,CH4 ≤1,H2O≤3 O2≤1,H2≤0.5,CO≤0.5,CO2≤ 0.5,CH4≤0.5,H2O≤1 液态氧不规定水含量 Ar≤10,N2≤20,CO2≤1，总经含 量≤2、水分、露点0C-69 Ar≤5,N2≤10,CO2≤1，总经含量 ≤1、水分、露点0C-70 Ar≤2,N2≤50,CO2≤0.5，总经含 量≤0.5、水分、露点0C-72 执行标准 GB/T3634-1995 GB/T7445-1995 GB/T7445-1995 GB/T7445-1995 GB/T16942-1997 GB/T3864-1996 GB/T8980-1996 GB/T8980-1996 GB/T8980-1996 GB/T3963-1995 GB/T 14599-93 GB/T 14599-93 GB/T 14599-93
H2≤5,O2≤10,N2≤50,总碳≤10， 水分≤15 H2≤0.5,O2≤1.5,N2≤4,总碳≤1， 水分≤3 H2≤1,O2≤1,N2≤4,总碳≤1，水 分≤2.6 H2≤0.5,O2≤1,N2≤2,总碳≤ 0.51，水分≤1 N2≤250,H2O≤10,CO2≤20,O2≤ 150,H2≤5 N2≤200,THC≤50,H2O≤20,O2≤ 20,CO2≤100,H2≤500 N2≤30,THC≤5,H2O≤5,O2≤ 10,C2H5OH≤1 O2≤10,N2≤40,H2O≤20 O2≤50,N2≤300,H2O≤50 残渣≤50,酸≤20,H2O≤50 残渣≤300,酸≤300,H2O≤1000 O2≤2,N2≤8,H2O≤3,CO2≤ 2,THC≤1,NH3≤2,CO≤1,NO2NO≤1 O2≤10,N2≤30,H2O≤30,CO2≤ 10,THC≤5 Air≤50,CO2≤30,H2O≤10,THC≤ 10 Air≤50,CO2≤30,H2O≤10,THC≤ 10
99.99% CO 99.95% 99.9%
99.995% CO2 99.99% 99.95% 99.98% 99.8% 99.998% N2O 99.99% H2S 99.99% 99.9%
SO2
NH3
99.999%
Biblioteka Baidu
CL2
99.995%
HCL COS BF3 CF4 NO
99.9944% 97.5% 99.99% 99.9% 99.9%
GB/T4842-1995 GB/T4842-1995 GB/T4842-1995 GB/T4842-1995
XN/QB 207.86 XN/QB 207.86
O2≤2,N2≤5,CO2≤1,经（C1C3）≤1，H2O≤5，总杂质含量 ≤10 H2O≤5，CO2≤10，N2≤10，O2 ≤2，CH2≤2,H2≤4 N2≤16,CO2≤10,H2O≤10， O2+Ar≤5,烃类含量≤5，H2≤10