无尘室洁净室介绍
洁净室无尘室基础知识与管理
洁净室无尘室基础知识与管理洁净室（亦称无尘室）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。
室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
现行标准：GB50073-2013 洁净厂房设计规范。
各种条件下微尘状况尘埃粒子直径的示意图：灰尘又是如何产生的呢？一般事务室里拍摄的例子荧光灯全部消失的场合：走路时候发尘样子对比左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。
右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。
拍击工作服时产生的尘埃粒子对比左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。
右边是拍击洁净服时发尘的样子。
洁净室内的事例作业人员通过后，尘埃附着在玻璃上的样子。
浮游粒子使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。
纸张的发尘对比左边是普通纸，右边是无尘纸。
胶带和手套的发尘例子左边是纸芯胶带的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。
电动工具的发尘例子左边是电钻发尘的样子。
右边是真空泵发尘的样子。
吸尘器排气的例子吸尘器各地方排气泄漏的样子。
打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子：打喷嚏时瞬间发生的飞沫。
发汗现象：从胳膊发汗条件创造。
吸烟的例子：香烟烟雾的粒子。
运动时产生的尘埃粒子数量灰尘是如何去除的呢？洁净室的空气净化：手持简易型激光粒子计数器测量空气中微粒的数量：限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3μm。
通常均可采用电池或交流电工作。
这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。
由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。
这类产品可存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。
高效过滤器高效过滤器检漏：卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。
无尘室的名词解释
无尘室的名词解释无尘室是一个用于控制环境中微尘和微生物颗粒的高度洁净的封闭空间。
无尘室的设计和建造旨在最大程度地减少粒子污染，并提供稳定、干净的工作环境，以满足特定的生产要求。
无尘室在诸如半导体制造、医药和食品加工等领域中广泛应用。
1. 介绍无尘室的意义和重要性无尘室的设计和运营对于确保产品质量、提高生产效率以及追求卓越的工作环境至关重要。
当代工艺制造越来越依赖于精密仪器和设备，而微尘以及微生物颗粒对这些关键设备产生的损害可能导致生产的不良品率上升。
因此，无尘室成为了确保产品质量的必要手段。
2. 无尘室的设计和特点无尘室的设计需要考虑多个因素，如气流循环、过滤系统、室内温度和湿度的控制等。
气流循环是无尘室设计中的重要组成部分，通过良好的气流均匀分布可以防止灰尘和微生物的滞留。
过滤系统则通过高效的过滤器去除悬浮颗粒物，确保空气质量达到标准。
此外，无尘室还需要控制室内温度和湿度，保持稳定的工作环境。
3. 无尘室的应用领域无尘室在众多领域中得到广泛应用。
在半导体行业中，无尘室用于芯片制造，以保证芯片表面不受微尘和污染物的影响。
在医药行业中，无尘室用于制药过程，以确保药品的纯度和无菌性。
在食品加工行业中，无尘室用于食品包装和处理，以保持食品的卫生和品质。
4. 无尘室的运营和维护无尘室的运营和维护是确保其正常运行和保持洁净环境的关键。
定期检查和更换过滤器、控制室内温湿度，并对设备进行维护和清洁是无尘室维护的重要方面。
在运营过程中，必须注意员工的培训和操作规程的制定，以确保他们采取正确的程序和措施来减少污染和交叉污染的风险。
5. 无尘室的未来发展随着科技的飞速发展和对产品质量要求的不断提高，无尘室在未来将扮演更加重要的角色。
随着微纳技术、生物医学和精密制造等领域的发展，对更高级别的洁净环境需求不断增长。
因此，无尘室的设计和技术将继续进步，以满足不断变化的需求。
总结：无尘室是一个为了控制微尘和微生物颗粒的封闭环境。
《无尘室基础知识》课件
在电子领域，无尘室是制造半导体、液晶显示面板、太阳能电池等高精密度产品的必备环境。在制药和生物医学 领域，无尘室用于生产药品、医疗器械和进行临床试验等。在航空航天领域，无尘室用于制造飞机零部件和卫星 等高精密度产品。此外，无尘室还应用于食品、化妆品等行业，保证产品的质量和安全性。
02
无尘室的构造与设备
不同洁净度等级的应用场景
低洁净度等级
适用于一般工业和实验室环境， 如电子、制药、食品等行业。
高洁净度等级
适用于高精度、高可靠性要求的领 域，如半导体、平板显示、生物医 疗等。
特殊洁净度等级
根据特定工艺需求，定制化设计的 洁净室，以满足特定环境要求。
洁净度等级的测试与评估
测试方法
采用粒子计数器等仪器对室内空气中 的颗粒物浓度进行测量，以评估洁净 度等级是否达标。
无尘室的结构一般采用框架结构或钢结构，以确保稳定 性和密闭性。
墙面和地面
墙面和地面通常采用防尘、防静电、抗菌的材料，以减少尘 埃的产生和附着。
门窗
无尘室的门窗应严密、平滑，并具有良好的气密性，以确保 空气的纯净度。
无尘室的空气净化系统
空气过滤
无尘室的空气净化系统通常采用初效、中效、高效过滤器逐级过滤，以去除空气中的尘埃和微生 物。
维持无尘环境。
空气过滤
定期检查并更换空气过滤器，确 保空气洁净度符合要求，防止尘
埃颗粒进入无尘室。
无尘室的定期检查与保养
设备检查
对无尘室内的设备进行定期检查，确保其正常运 行，如有故障及时维修或更换。
管道维护
定期对无尘室的管道进行检查和维护，防止管道 泄漏对无尘环境造成影响。
照明系统
检查和维护无尘室的照明系统，确保照明亮度符 合要求，防止光源污染。
无尘室完整介绍 (Cleaning room)讲诉
FFS209D內容及修正變化
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洁净室基础知识_secret
洁净室基础知识洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室的分类1.乱流式(Turbulent Flow)：即空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
其优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。
另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar)：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1-100。
其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净室名词解释
洁净室名词解释洁净室是指一种具有特殊空气洁净度要求的工作环境，通过控制空气中的颗粒物、微生物、有毒有害气体和电磁辐射等污染物的浓度，以保证特定工艺过程中的产品质量、卫生要求和工人健康。
洁净室常用于半导体、电子、生物医药、食品、医疗器械等领域的生产制造和科研实验。
其主要目的是通过严格的空气过滤和空气流动控制，减少空气中的颗粒物数量，从而降低对产品的污染和损坏，确保产品的质量和可靠性。
洁净室可以分为多个级别，如ISO 14644标准中的1级到9级，级别越高，要求的洁净度越高。
洁净室通常由以下几个主要组成部分构成：1.空调系统：负责保证洁净室内的温度、湿度、气流速度和洁净度等参数处于合适的范围，其中最重要的是通过高效空气过滤器去除空气中的颗粒物和微生物。
2.洁净区：通常是洁净室中最干净的区域，在此区域内进行对产品的操作和处理，例如装配、测试、封装等。
洁净区通常根据需要设置不同的级别，以适应不同工艺的要求。
3.空气过滤器：是洁净室最重要的设备之一，用于去除空气中的颗粒物和微生物。
常用的过滤器包括高效空气过滤器（HEPA）和超高效空气过滤器（ULPA）。
4.洁净室服装：包括洁净服、口罩、头套、鞋套等，用于保护工作人员的洁净室环境免受外界污染，并防止工作人员将污染物带入洁净室。
洁净室工作原理是通过空气洁净度控制，即控制空气中的颗粒物数量来达到洁净要求。
主要采取以下措施来实现：1.空气过滤：通过高效过滤器对空气进行过滤，去除空气中的颗粒物，保证达到洁净度要求。
2.正压控制：洁净室内一般保持正压状态，使洁净室的洁净空气向外流出，避免外界空气的进入。
3.气流控制：根据工艺需要，设置合理的进风口和排风口，并采取适当的风道设计来控制和调节空气流动速度和方向，减少污染物对产品的影响。
通过上述措施，洁净室能够提供一个干净、稳定、可控的工作环境，确保产品质量，减少生产中的污染和损坏，为各行各业的生产和科研提供良好保障。
无尘室介绍报告模板范文
无尘室介绍报告模板范文1. 背景介绍无尘室，亦称洁净室，是一种专门用于控制空气污染、温度、湿度和气流速度等因素的封闭空间。
它主要用于各种对环境要求非常高的场所，如电子、制药、食品、医疗等行业。
在无尘室内，通过科学设计和合理布局，可以最大程度地减少微粒物质的产生和传播，从而保证产品的质量和可靠性。
2. 空气净化技术主要的空气净化技术包括过滤、静电除尘、化学吸附、紫外线杀菌等。
- 过滤：无尘室内采用高效过滤器，能有效拦截空气中的微尘颗粒和细菌等。
根据需要，过滤器可分为初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器三个级别，以提供不同的洁净度要求。
- 静电除尘：通过静电场作用，将空气中的带电微粒吸附在带电板上，从而达到除尘的目的。
- 化学吸附：利用吸附剂吸附空气中的有毒气体和异味物质，以净化空气。
- 紫外线杀菌：利用紫外线辐射杀灭空气中的微生物，防止细菌和病毒的传播。
采用一种或多种以上的净化技术，无尘室可以实现洁净度在空气细菌数目限度内的要求。
3. 工作原理无尘室主要通过以下措施实现对环境的控制：- 严格控制环境空气的进入和排出。
通常采用单向流的方法，即空气从无尘室的一侧流入，然后通过过滤器进行过滤，最后从另一侧排出。
这样可以有效避免外界污染物的进入和内部污染物的散播。
- 控制空气温度和湿度。
无尘室内通常采用空调系统和加湿器等设备，以确保空气温度和湿度在合适的范围内。
- 控制空气流速。
通过空气流速的调节，可以控制空气中微粒物质的传播和沉降速度，减少对产品的污染。
- 标准化操作。
无尘室内通常要求工作人员穿戴特定的洁净服，并进行相应的培训，以确保操作的标准化和规范化。
通过上述措施的综合应用，无尘室可以提供一个洁净、稳定的工作环境，确保产品的质量和可靠性。
4. 应用领域无尘室广泛应用于以下几个行业：电子行业无尘室在电子行业中的应用非常广泛。
在电子零件的生产和组装过程中，微小的尘埃颗粒可能会导致电子器件的短路或损坏，从而影响产品的质量和可靠性。
洁净室名词解释
洁净室名词解释
洁净室 (Clean Room) 是一种严格控制环境微生物和尘埃数量的室内空间。
通常用于高科技制造、制药、医疗和生物技术等领域，目的是确保产品或生产过程不会对周围环境产生污染。
洁净室的空气净化系统通常由高效过滤装置、换气系统和气流组织等部分组成。
空气净化系统的目的是过滤空气中的尘埃、微生物和其他微粒，并将净化后的空气排放到室内，以保持室内空气清新。
换气系统则是为了在室内产生足够的新风量，以维持室内正压，防止外部污染进入室内。
气流组织则是为了确保室内污染物的有效控制，通过气流调节系统将气流均匀分布在室内，防止气流短路和污染扩散。
洁净室的设计和建造需要考虑到许多因素，例如室内温度、湿度、照明、通风和噪音等。
洁净室的建筑材料和表面材料也需要经过精心挑选和特殊处理，以避免出现微生物和尘埃的积累。
此外，洁净室的维护和管理也非常重要，需要定期清洁、消毒和检查，以确保洁净室的空气净化效果和环境卫生。
洁净室广泛应用于高科技制造、制药、医疗和生物技术等领域，对于保证产品质量和生产过程的无菌化有着重要的作用。
万级无尘室标准
万级无尘室标准无尘室是一种具有特殊环境要求的洁净室，通常用于对空气洁净度要求较高的生产和实验场所。
万级无尘室是指其空气洁净度达到万级标准的无尘室，是一种非常重要的洁净环境设施。
本文将就万级无尘室的标准进行详细介绍，以便相关从业人员了解其要求和规范。
首先，万级无尘室的空气洁净度要求达到万级标准，即每立方米空气中的颗粒物数量不得超过10000个。
这一要求是为了保证在无尘室内的生产和实验过程中，空气中的颗粒物对产品或实验结果不会产生影响。
为了达到这一标准，无尘室需要配备高效过滤器和空气净化设备，确保空气中的颗粒物得到有效控制。
其次，万级无尘室的温度和湿度控制也是非常重要的标准之一。
通常情况下，无尘室内的温度要求在20-24摄氏度之间，湿度要求在45%-65%之间。
这样的温湿度条件有利于保持无尘室内空气的稳定性，避免因温度和湿度变化而引起的颗粒物扩散和沉积。
此外，无尘室的洁净度要求还包括空气流速、静压差、洁净室内部装修材料等方面的规定。
空气流速要求是指无尘室内空气的流动速度，通常要求在0.3-0.5m/s之间，以确保空气中的颗粒物能够被有效带走。
静压差是指无尘室内外的气压差异，要求在5-15Pa之间，以防止外部空气中的颗粒物进入无尘室。
此外，无尘室内部装修材料也要求具有抗静电、易清洁、不产生颗粒物等特性，以保证无尘室内的洁净度符合标准要求。
最后，万级无尘室的运行和维护也是保证其洁净度标准的重要环节。
无尘室的运行需要有专门的操作规程和管理制度，确保人员在进入无尘室前进行必要的净化和防护，避免外部空气中的颗粒物进入无尘室。
同时，对无尘室的设备和设施需要进行定期的维护和保养，以确保其正常运行和洁净度标准的持续达标。
综上所述，万级无尘室标准是对无尘室空气洁净度、温湿度控制、空气流速、静压差、装修材料等方面的要求和规范。
只有严格按照标准要求建设和管理无尘室，才能保证其在生产和实验过程中达到预期的洁净环境效果，为相关行业的发展和进步提供有力的保障。
无尘室概要及管理
大褂：
大褂衣单独使用，可与 帽子、靴套配合使用。
适合用于 CLASS10000－100000 的洁净室，适合洁净要求.
DOT
分体服
上下装分开的设计使穿 着更舒适，工效更高。 适用于CLASS100010000的洁净室。
DOT
防静电连体服
有更好的防尘效果，可防止微尘 从身体部位逸出。连帽带鞋型的连 体服可用于更高的洁净等级，可配 合口罩使用。
2、实现一个多功能的综合的整体；
三：用途分类: （1）工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象； （2）生物洁净室，主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工 作对象的污染；
DOT
无尘室施工要点
防止尘埃进入：为防止尘埃进入，所有材料、设备、 工具等均需经过清洁擦拭后检查方得进入，所有外 界进入之人员均经过适当之清洁后与管制后方可进 入施工。 控制尘埃产生：在无尘室内施工应尽量避免产生尘 埃的动作如切割烧焊等。 对无尘室的维护：在正式运转前所有防止尘埃进入 的过滤器，均应采用临时性的代替品。 对无尘室内温湿度压力控制：对空调的系统应做适 度调整与测试来达到空气调节的要求。。
防尘区
防尘区回风
在C/R所使用滤网之标准组合方式为：初效滤网=>中效滤网=>高效滤网 1、 Pre-Filter:设置于外气吸入口处，捕集效率低（重量法70-80％），使用年限约4~6周。 2、 Middle-Filter:为保护Final-Filter及延长其使用寿命而设置，捕集效率以NBS（比色法） 70~90%,使用年限约为3~6个月。 3、 Final-Filter：捕捉最后段之Particle用，HEPA约可用1年。0.3um捕集效率DOP法99.97％ 以上。
无尘室定义
无尘室定义
无尘室（Clean Room）是一种特殊设计的环境控制室，其内部空气经过严格的过滤和处理，以减少或消除悬浮在空气中的微细颗粒、细菌、灰尘和其他有害物质。
这种环境控制的目的是保持对特定产品、材料或工艺的高度洁净度要求。
无尘室通常用于需要高度纯净和无尘的行业，如半导体制造、生物医药、光电子、精密仪器等。
无尘室通常具备以下特点：
1. 空气过滤系统：无尘室的核心是高效的空气过滤系统，它可以过滤掉空气中的细微颗粒和微生物。
常见的过滤技术包括HEPA（高效颗粒空气过滤器）和ULPA（超高效颗粒空气过滤器）。
2. 空气流向控制：无尘室中的空气流向通常是单向的，从无尘室的高洁净区域流向低洁净区域，以防止外界污染物进入。
此外，还有一些特殊的装置和技术，如负压控制和气密门等，用于确保空气流向的正确性和防止污染物的进入。
3. 温湿度控制：无尘室通常需要对温度和湿度进行控制，以满足特定产品、材料或工艺的要求。
温度和湿度的控制可以通过空调系统、加湿器、除湿器等设备实现。
4. 静电控制：无尘室中的静电会影响到微小颗粒的运动和粘附，因此无尘室通常会采取一系列措施来控制和消除静电，如静电消除器、铺设导电地板、使用防静电材料等。
无尘室的设计和维护十分严谨，以确保高度纯净和无尘的工作环境。
这些控制措施不仅可以提高产品的质量和可靠性，还可以保护工作人员的健康和安全。
无尘室运作介绍
自然界之尘埃浓度
都市郊外 都市内 工业区内 吸烟区
尘埃（个/FT3）
0.5um以上
5um以上 10um以上
6,000,000
40,000 6,000
10,000,000
100,000 10,000
30,000,000
300,000 30,000
60,000,000
500,000 60,000
排出室外 • 维持室内温度、湿度和压力 • 防止静电的干扰 • 系统稳定与节约能源考量
C/R洁净设施
• 中央空调系统（AIR CORTROL SYSTEM）
• FFU（FAN FILTER UNIT） • FMU（FAN MODULE UNIT）
• 空气浴尘机（AIR SHOWER、PASS PAX） • 洗手烘干机（HAND WASHER DRYER MACHINE） • 缓冲区（BUFFER ROOM） • 黏着脚垫（STICKY MAT） • 高效滤网（High Efficienty Particulate Air） • 泄压阀（Pressure damper） • 真空吸尘器（VACUUM CLEANER） • 无尘衣服（DUST FREE GARMENTS）等等
ISO14644 1 2 3 4 5 6 7 8 9
FED STD209E
1 10 100 1000 10000 100000
M1.5 M2.5 M3.5 M4.5 M5.5 M6.5
洁净室的分类
• 层流模式 • 乱流模式 • 混合模式
层流型系统
• 空气气流之流动成 一均匀之直线
• 空气经由覆盖率 100% HEPA 进入室 内
休息 一下！
C/R检证验收项目
无尘室完整介绍 (Cleaning room)讲诉
Class
pcs/M3 pcs/M3 M1 0.1um-1 M10 0.1um-5 M100 0.1um-10 M1000 1 M10000 100 M100000 1000 M1000000 10000 M10000000 100000 ¡Ð ¡Ð ¡Ð ¡Ð
F空氣中浮游之微塵粒子有細小之纖維渣和砂粒，金屬粉及人體脫落之皮膚 表層，煙霧．．．等種類繁多，除此之外，尚有一部份微生物，細菌，濾過 性病毒等，如圖中所示．
一.無塵室概念篇 --無塵室的定義 --無塵室的規範 --無塵室的種類與維修管理注意事項 --無塵室的組裝架構與環境因素考量 --無塵室的氣流運動 --無塵室的空調設計 二.無塵室管理篇 --進入洗塵室 --進入無塵室 --無塵室內使用之物品 --無塵室內施工 三.無塵室的量測篇(測試與驗收) --濾網洩漏測試 --潔淨度測試 --風速,風量測試 --噪音測試 --溫溼度測試 --照度測試 --室壓測試 --EMI測試 --ESD測試 --氣流平行度測試 --靜電測試
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F若以大氣中0.5um之塵埃粒子而言，大約在1*105~2*106 個／ft3左右，隨場所．地點或高度不同會有差異
无尘室简介
1 无尘室简介 2 无尘室着装规定
嘉捷科技
3 无尘室优点
4 无尘室图片 5 Thank You
无尘室简介
无尘室定义
嘉捷科技
A.洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物 排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动 及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间 B.无尘衣、无尘鞋： 进入无尘室及成品包装管制区前必需穿着无尘室专用衣服 和鞋子，以防止微尘污染与静电产生 C.更衣室(管制口)指穿着及保存无尘衣和无尘鞋及无尘室消耗品領用之地方， 管制口人员需负责无尘室耗材的管理与领用及进入无尘室的人、料的管控， 以避免不符合规定的人、料进入无尘室 D.空气风淋室(AIR Shower)：进入无尘室前或无尘室内，由较低洁净度进入较高洁净 度，必需经过的空气洗尘设备，若无相关设备，则人员进出需用黏尘滚轮进行清洁作 业
无尘室简介
嘉捷科技
无尘室等级分类：美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
一般微粒粒径对比示意圖
1/10 1/3
0.5μm 微尘粒径
肉眼可视 (5μm)
人类头发 (15μm)
无尘服着装规定
无尘服着装要求
序号
1 2 3 4 5 6 7
嘉捷科技
要求
头发必须完全盖在网帽之内；口、鼻必须盖在口罩之内 穿着前应先整理服装以及头发,以免穿上无尘服后,感觉不适又不能整理 服装 无尘服应尺寸合宜,不得有裤管或衣袖太短而裸露皮，无尘服不可反穿 穿戴手套之前须作充气试验,确定无漏方可使用 戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止污染),戴上手套之 后要洗手并烘干 无尘服脱下后应及时整理好并挂回衣架柜内；无尘鞋及时放回鞋柜；口 罩、网帽、手套则放置在相应的回收桶内 无尘服、无尘鞋应定期清洗，有破损、脱线时,应立即报备更衣室管理员 进行更换
无尘室知识及规范
手段
粗、中效过滤加热湿交换
除空调手段外还要加高效、超高效过滤器 ，对微生物还要有灭菌措施
送风量（次/h）
初投资（元/m2）
运行耗电（Kw/m2 ）
冷量指标（W/m2 ）
一般降温空调8~10次/h一般恒温空调 10~15次/h
一般降温500元/m2一般恒温800元~1000 元/m2
九. 无尘室的性能测试
洁净度等级 项目
1~3
温度
循环监测
湿度
循环监测
压差值
循环监测
洁净度
循环监测
风量
循环监测
4、5、6
7
8、9
每班二次
每班二次
每周一次
每月一次
每周一次
每3个月一次
每6个月一次
不得超过12个月
九. 无尘室的性能测试
无尘室性能测试的主要仪器和仪表：
压差计
①风压测试仪器：主要用于测 定无尘室之间或洁净与非洁净 区之间的微压差，也可利用压 差法测量风速，计算风量。
一般降温0.04~0.06 Kw/m2一般恒温 0.08~0.10 Kw/m2
一般降温150~200 W/m2一般恒温200~250 W/m2
单向流400~600次/h非单向流15~60次/h
单向流5000~15000元/m2非单向流 1500~3000元/m2 单向流0.9~1.35 Kw/m2非单向流0.13~0.33 Kw/m2 单向流800~1500 W/m2非单向流350~700 W/m2
施工验收规范JGJ71和设计规范GB50073的比较
内容
测定断面的 选取
测点的布置 最少测点数 测定仪器
无尘室基础知识简介
一.分類方式:按照其通風方式來划分 二.類別: 1. 亂流型無塵室, 又稱非單向流無塵室 氣流方向不受控制，潔淨度較低的 無塵室都是用非單一流向型氣流以 節省成本。
亂流型無塵室示意圖
2.單一流向型無塵室： 氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為 單一流向型無塵室，以前稱為層流型無塵 室，定義並無多大改變。高潔淨度無塵室 需要單一流向型氣流。 單一流向型無塵室分類: (1)垂直層流無塵室 (2)水平層流無塵室
單一流向型無塵室
垂直層流無塵室-結构示意圖
垂直式單一方向流無塵室 牆壁排風型之垂直層流無塵室
水平層流無塵室-結构示意圖
無塵級別划分定義:
以每立方米(或立方英尺)為標准,以量測到的微塵粒 子總數取對數,最后所得之值即為公制單位(或英制單 位)分類之等級.
人類頭髮的大小
肉眼可見之微塵粒子
微塵粒子ห้องสมุดไป่ตู้
無塵室基礎知識簡介
Mright Chang
千級無塵室
万級無塵室
無塵室(Cleanroom )
是一間能夠控制微塵粒子濃度的房間,并且它是采用 將引進及產生的污染微塵粒子數降到最低的原則來建 造及使用,而且包含其它相關參數(例如溫度、濕度和 壓力等等)皆必須加以控制在必要之范圍內。
——ISO 14644-1
2.測試設備—粒子計數器
3.測試設備—壓力計
斜管式&磁針式壓力計
在209的舊版本中 ，正壓有建議值，但 是後來就取消了。目 前常見的正壓值約是 10到25 Pa之間。
量測時，所有門窗 都必須關上，所有的 供、排風系統也必須 維持正常運轉。
4.測試設備—風量計
5.空气采樣點數:
NL=√A
NL為最少取樣點數(取最近整數) A為無塵面積
洁净实验室等级划分
洁净实验室等级划分洁净实验室等级1、无尘室：无尘室是一间完全封闭的房间，几乎没有空气流动，污染物和粉尘完全不能进入，温度和湿度可以根据需要精确调整，因此它应该具备非常严格的洁净室等级标准。
根据国家规定，无尘室可以分为1级、2级、3级、4级和5级五个等级。
（1）第一级无尘室。
第一级无尘室的洁净程度是最高的，洁净空气浓度一般要求在300个灰尘/立方米以下，一般用于重要试验、器件制造和半导体制造等场合；（2）第二级无尘室。
第二级无尘室的洁净程度比第一级无尘室要差一些，洁净空气浓度一般要求在1000个灰尘/立方米以下。
一般用于生物试验、电子材料的制造等场合；（3）第三级无尘室。
第三级无尘室的洁净程度也比第一级无尘室要差一些，洁净空气浓度一般要求在10000个灰尘/立方米以下。
一般用于加工机械和电子元器件等场合；（4）第四级无尘室。
第四级无尘室的洁净程度也比第三级无尘室要差一些，洁净空气浓度一般要求在100000个灰尘/立方米以下，一般用于重要元器件的制造或测试；（5）第五级无尘室。
第五级无尘室的洁净程度为普通实验室的5-6倍，洁净空气浓度一般要求在1000000个灰尘/立方米以下，一般用于精密测量、生物应用等场合。
2、净化室：净化室是一间意在提高空气洁净度的房间，一般被精密机械、计算机技术、半导体技术和生物学等许多实验用途，其主要特点是温度湿度调节良好，空气洁净度较高，不同的净化室可以根据需要精确分级，并有明确的级别标准。
净化室可以分为1级、2级、3级、4级和5级五个等级。
（1）第一级净化室。
第一级净化室的空气洁净度最高，洁净空气浓度一般要求在100-500个灰尘/立方米以下，一般适用于最先进的电子设备的制造、研究和质量检测等场合；（2）第二级净化室。
第二级净化室的空气洁净度比第一级净化室低一些，洁净空气浓度一般要求在1000个灰尘/立方米以下，一般适用于精密仪器、电子组件和微型电子元件的制造、研究和质量检测等场合；（3）第三级净化室。
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4,000,000
6
8
10,000,000
-
M7
-
-
-
-
被控制的含尘浓度的具体规定
1、何状态下的含尘浓度 动态、静态、空态
2、何范围内的含尘浓度 离地0.8~1.5m高的区域。
洁净室的计算
当按洁净级别划分时，换气次数为：
100级 ≥360次/h 1000级 ≥50次/h 10000级 ≥25次/h 100000级 ≥15次/h
ISO 14644-1(1999)
US 209E(1992)
US 209D(1988)
FRANCE
GERMANY
AFNOR(1981) VDI 2083(1990)
JAPAN JAOA(1989)
1
-
-
-
-
-
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3.5
2
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0
2
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M1
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35.3
3
M1.5
1
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1
3
100
-
M2
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4
M2.5
10
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2
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M3
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-
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3,530
5
M3.5
100
4,000
3
5
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M4
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35,300
6
M4.5
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353,000
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M6.5
100,000
空气洁净度等级(N) 0.1um
1
10
2
100
3
1000
4
10000
5
100000
6
1000000
7
8
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
0.2um
0.3um
0.5um
1um
2
24
10
4
237
102
35
8
2370
1020
352
83
23700
10200
3520
832
237000 102000 35200
8320
352000 83200
3520000 832000
5um
29 293 2930 29300
9
35200000 8320000 293000
现在标准 基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表(中国国家标准GB50073-2001等 同采用国际标准ISO14644-1)
个/MБайду номын сангаас≥0.5um
n1=n2*u*s/V
式中：
n1为：换气次数 次/s n2为：FFU个数 u 为：经过HEPA的风速 m/s
V 为：房间的体积 m3
S 为：FFU截面积 m2
Particle计算公式
各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由以下公式确定:
Cn
10N
0.1
2.08
D
式中：Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度（pc/m3）； Cn是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位。
Clean class
0.1
0.2
0.3
0.5
5.0
1
35.0
7.50
3.00
1.00
NA
10
350
75.0
30.0
10.0
NA
100
NA
750
300
100
NA
1000
NA
NA
NA
1000
7.0
10000
NA
NA
NA
10000
70.3
100000
NA
NA
NA
100000
700
日本JISB9920标准 (以单位体积空气中大于等于0.1um粒径的粒子个数以10n表示,按指数n命名为洁净度等级)
洁净室介绍
目录
洁净室的定义 洁净室的由来 洁净室的等级 洁净室的计算 洁净室在颀中的应用
洁净室的定义
洁净室为将一定空间范围内空气中的微 尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除， 并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音震动及照明、 靜电控制在某一需求范围内，而给于特 別设计的房间以符合制程工艺之需求
洁净室的由来
1. 19世纪中叶在医院外科手术前,先向手术室内喷洒石碳酸溶液,以控制感染,开始有洁净室的概念。 2. 1950年，高效粒子空气过滤器（HEPA）问世，成为洁净技术发展史上的第一座里程碑。 3. 1963年美国颁布了洁净室第一个军用部分的联邦标准209。 4. 1974年日本政府颁布GMP，进行指导推行。 5. 1975年世界卫生组织（WHO）正式公布GMP,1977年再次向成员国推荐GMP,并确定为WHO法规 6. 20世纪80年代以后，美国和日本分别研制成功过滤对象为0.1μm，捕集效率达99.99%的新型
当然气流速度也是有限制的：
乱流洁净室：吹过水平面的气流速度＜0.2 m/s 层流洁净室：垂直平行流洁净室≥0.25m/s 水平平行流洁净室≥0.35m/s
循环次数的计算
FFU是将污染之空气过滤，稀释，使洁净室的环境
能达到制程工艺所需之环境，其单位时间内循环 次数直接决定着洁净室的品质。
单位时间内循环次数可按下式计算：
超高效过滤器。最终建成0.1μm 10级和0.1μm 1级的超高级别洁净室，它使洁净技术的发展又 进入一个新时期。 7. 在我国,空气洁净技术的研究始于20世纪60年代中期,GMP在我国是20世纪70年代末受到重视。 1984年颁发了《洁净厂房设计规范》（GBJ73—84),2002年进行了修订（GB50073—2001), 1990年颁发了《洁净室施工及验收规范》（JGJ71—90）。 1998年国家药品监督管理局颁布了《药品生产质量管理规范》（GMP—98）。
洁净室的等级
空气洁净度：洁净空气中含尘量多少的程度（即含尘浓度）,含尘浓度高则洁净度低，
含尘浓度低则洁净度高。
等级划分:
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年） (以单位体积空气中大于等于0.5um粒径的粒子个数直接命名)
洁净度级别
粒 径 Particles Size (um)
3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
N ——洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间 数可以按0.1为最小允许递增量。
D——要求的粒径（µm），其值为[0.1~5.0]。 0.1——常数，其量纲为µm。
室内单位容积发尘量：
1,人静止（或基本静止）时：
式中：0.4x105 :人体单位容积发尘量，粒/m3.分 P:室内人数 β:一般为常数8
2,人动作时,一般认为一个人在室内活动时的发尘量为其静止 时的5倍,即
式中： β=40
关于静压
对于大部分洁净室，为了防止外界污染侵入，需保持室内 压力（静压）高于外部的压力（静压），压力差的维持一 般应符合以下原则： 1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别 低的空间的压力。