扫描隧道显微镜的原理及应用 ppt课件

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缺点
• 1、在扫描隧道显微镜(STM)的恒电流工作模式下,有时它对样品表面微 粒之间的某些沟槽不能够准确探测,与此相关的分辨率较差。对铂超细 粉末的一个研究实例:铂粒子之间的沟槽被探针扫描过的曲面所盖,在形 貌图上表现得很窄,而铂粒子的粒径却因此而被增大了。在TEM的观测 中则不会出现这种问题。 在恒高度工作方式下,从原理上这种局限性会 有所改善。但只有采用非常尖锐的探针,其针尖半径应远小于粒子之间 的距离,才能避免这种缺陷。在观测超细金属微粒扩散时,这一点显得 尤为重要。
应用与展望
• 扫描隧道电子显微镜的出现为人类认识和改造微观世界提供了 一个极其重要的新型工具。随着实验技术的不断完善,STM 将在 单原子操纵和纳米技术等诸多研究领域中得到越来越广泛的应 用。STM和 SEM 的结合在纳米技术中的应用必将极大地促进纳 米技术不断发展。可预言,在未来科学的发展中,STM 和 SEM 的 结合将渗透到表面科学、材料科学、生命科学等各个科学技术 领域中。
STM的工作模式

尽管扫描隧道电子显微镜的构型各不相同, 但都包括有下
述三个主要部分:驱动探针相对于导电试样表面作三维运动的
机械系统(镜体),用于控制和监视探针与试样之间距离的电子
系统和把测得的数据转换成图像的显示系统。它有两种工作方
式:恒流模式、恒高模式。
STM的工作模式
恒电流模式
• 利用一套电子反馈线路控制隧道电流,使 其保持恒定。再通过计算机系统控制针尖 在样品表面扫描,即是使针尖沿 x、y 两个 方向作二维运动。由于要控制隧道电流不 变,针尖与样品表面之间的局域高度也会保 持不变,因而针尖就会随着样品表面的高 低起伏而作相同的起伏运动,高度的信息 也就由此反映出来。这就是说,扫描隧道 电子显微镜得到了样品表面的三维立体信 息。这种工作方式获取图像信息全面,显 微图象质量高,应用广泛。

扫描隧道显微镜与原子力显微镜原理及应用介绍 ppt课件

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4.STM的应用
“看见”了以前所看不到的东西 STM具有惊人的分辨本领,水平分辨率小于0.1纳米,垂直分辨率小于0.001纳米。 一般来讲,物体在固态下原子之间的距离在零点一到零点几个纳米之间。在扫 描隧道显微镜下,导电物质表面的原子、分子状态清晰可见。
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4.STM的应用
在分子水平上构造电子学器件 一般情况下金属和半导体材料具有正的电导,即流过材料的电流随着所施加的电压的 增大而增加。但在单分子尺度下,由于量子能级与量子隧穿的作用会出现新的物理现 象──负微分电导。中国科技大学的科学家仔细研究了基于C60分子的负微分电导现象。 他们利用STM针尖将吸附在有机分子层表面的C60分子“捡起”,然后再把C60移到另 一个C60分子上方。这时,在针尖与衬底上的C60分子之间加上电压并检测电流,他 们获得了稳定的具有负微分电导效应的量子隧穿结构。这项工作通过对单分子操纵构 筑了一种人工分子器件结构。这类分子器件一旦转化为产品,将可广泛的用于快速开 关、震荡器和锁频电路等方面,这可以极大地提高电子元件的集成度和速度。
1990年,IBM公司的科学家展 示了一项令世人震惊的成果, 他们在金属镍表面用35个惰性 气体原子组成“IBM”三个英文 字母。
世界首例STM原子ppt课操件纵
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4.STM的应用
单分子化学反应已经成为现实 单原子、单分子操纵在化学上是一个极具诱惑力且具有潜在应用 “选键化学”,可 以对分子内的化学键进行选择性的加工。 一个直观的例子是由Park等人完成的,他们将碘代苯分子吸附在Cu单晶表面的原子台 阶处,再利用STM针尖将碘原子从分子中剥离出来,然后用STM针尖将两个苯活性基 团结合到一起形成一个联苯分子,完成了一个完整的化学反应过程。

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测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显 微装置。
那么什么是隧道效应?根据量子力学原理,由于粒子存在波 动性,当一个粒子处在一个势垒之中时,粒子越过势垒出现在另 一边的几率不为零, 这种现象称为隧道效应。
一、STM结构及工作原理
由于隧道效应,金属中电子不完全局 限于金属表面之内,电子云密度并不在表 面边界处突变为零。金属表面外,电子云 密度呈指数衰减,衰减长度约为 1nm。用 一个极细的、仅原子线度的金属针尖作为 探针,将它与被研究物质(即样品)的表面 作为两个电极,当样品表面与针尖非常靠 近(距离<1nm)时,两者电子云略有重叠。
原子操纵或纳米加工,构造所需的纳米结构。
二、STM特点
配合扫描隧道谱STS(Scanning Tunneling Spectroscopy)可以得到 有关表面局域电子结构的信息。
二、STM特点
STM技术局限性: 不能探测深层结构信息。 扫描范围小。 探针质量具有不确定性,常依赖于操作者的经验。 无法直接观测绝缘体材料。
一、STM结构及工作原理 二、STM特点 三、STM, TEM, SEM, FIM的比较
四、STM前沿发展
三、STM, TEM, SEM, FIM的比较
一、STM结构及工作原理 二、STM特点 三、STM, TEM, SEM, FIM的比较
四、STM前沿发展
四、STM前沿发展
宾尼等人1986年研制作成功的原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)弥补了STM的一部分不足。后来又陆续发展了 一系列的扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM),如 磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)、扫描热显微镜、光子 扫描隧道显微镜(PSTM)等。

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扫描隧道显微镜 (STM)
Scanning Tunneling Microscope
一、简介 二、基本原理 三、STM的结构及关键技术 四、应用
1.表面形貌测量及分辨率 2.逸出功的测量 3. 扫描隧道谱 (STS)
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五、原子力显微镜(AFM)
1.特点 2.工作原理 3.结构及关键技术
Δ 力传感器 Δ 微悬臂位移检测法 4.应用例举
如s↗ → I↘→ Pz上的电压↗→ Pz伸长 → s↘。 VPz(VPx,VPy)曲线为样品表面三维轮廓线。
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△ XYZ位移器(样品位置细调〕 微小距离移动的精确控制
△ 样品粗调 使针尖与表面的距离,从光学可觉察的距离 (10- 100μm) 调整到100 Å 量级 - Louse 结构 - 精细螺旋机构
△ 防震系统分析 - 使由振动引起的隧道距离变化 0.001 nm (振动:针对重复性、连续的,通常频率在 1-100Hz)
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四、扫描隧道显微镜的应用
1.表面形貌测量及其分辨率 假设样品表面存在陡变台阶,由于针尖半径R有 一定尺寸,针尖的轨迹将有一过渡区δ。δ与 R、 s 和 ko 有如下近似关系:
ΔI/Δs = 2Iko 若I保持不变 则:dI/ds ∝ ko∝φ1/2 工作方式: 扫描中保持I不变,使s有一交流调制, dI/ds 随x,y变化。dI/ds(x,y)平方后即为逸出功象。
3.扫描隧道谱(STS)
在表面的某个位置作I-V 或dI/dV-V,得有特征峰
的STS。在特征峰电压处,保持平均电流不变,使
例: 微杠杆由25μm金箔作成,重量10-10kg fd = 2kHz k = 2×10-2 N/m
因 STM 测的Δz可小至10-3-10-5 nm 则有:F = kΔz

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扫描隧道显微镜的工作模式
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恒高模式
在ห้องสมุดไป่ตู้模式下,针尖在固定的高度位置进行扫描 ,适用于表面高度变化较大的样品。
恒力模式
在此模式下,针尖根据表面形貌调整自身高度 ,以保持恒定的力,适用于表面高度变化较小 的样品。
交流模式
在此模式下,针尖与样品之间存在小幅度的振 动,以实现更精确的表面形貌扫描。
01
扫描隧道显微镜(STM)是一种基于量子力学隧道效应的测量技术,它能够直 接探测样品表面的原子结构,具有极高的分辨率和灵敏度。
02
STM技术自1981年被发明以来,已经广泛应用于物理、化学、生物学等各个领 域,成为研究物质表面结构和电子态的重要工具。
03
在过去的几十年中,STM技术不断发展和完善,不仅在实验上取得了许多重要 的成果,如原子操纵、单分子检测等,同时也促进了理论计算和模拟方法的发 展。
扫描隧道显微镜的应用范围
材料科学
用于研究材料表面的微观结构和物理性质,如表 面重构、吸附和脱附等。
生物学
用于研究生物分子和细胞膜的表面结构和功能, 如DNA和蛋白质的微观结构等。
环境科学
用于研究表面污染和环境变化对材料表面的影响 。
03
扫描隧道显微镜的优缺点
扫描隧道显微镜的优点
原子级分辨率
扫描隧道显微镜具有原子级的分辨 率,能够观察和解析材料表面的原 子结构。
分子构造研究
STM可以用于研究分子尺度的构造 和化学键信息,为理解分子性质提 供基础数据。
在生物领域的应用
细胞结构研究
STM可以用于观察细胞表面的结构、分子分布等,为生物医学 研究提供新的视角。
病毒构造研究
STM可以用于解析病毒的原子级别结构,为疫苗研发等提供关 键信息。

扫描隧道显微镜STM-PPT课件

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2.STM的原理
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隧道效应 Evaluation only. l 对于经典物理学来说,当一个粒子的动能E低 ted with于前方势垒的高度 Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2 V0时,它不可能越过此势 Copyright 2019-2019 Aspose Pty Ltd. 垒,即透射系数等于零,粒子将完全被弹回。 而按照量子力学的计算,在一般情况下,其透 射系数不等于零,也就是说,粒子可以穿过比 它能量更高的势垒,这个现象称为隧道效应。
1.STM的发明
1982年,国际商业机器公司(IBM)苏黎世研究所 的Gerd Binnig和Evaluation Heinrich Rohrer 及其同事们成功地研 only. 制出世界上第一台新型的表面分析仪器,即扫描隧道 with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 显微镜 (Scanning Tunneling Microscope) 。 它使人类第一次能够直接观察到物质表面上的单 Copyright 2019-2019 Aspose Pty Ltd. 个原子及其排列状态,并能够研究其相关的物理和化 学特性。因此,它对表面物理和化学、材料科学、生 命科学以及微电子技术等研究领域有着十分重大的意 义和广阔的应用前景。 STM的发明被国际科学界公认 为20世纪80年代世界十大科技成就之一;由于这一杰 出成就Binnig和Rohrer获得了1986年诺贝尔物理奖。
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1.STM的发明
Evaluation only. ted with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2 Copyright 2019-2019 Aspose Pty Ltd.

《扫描隧道显微镜》PPT课件

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第一类是光成像,包括光折射放大成像和光干涉成像。光折射放
大成像检测方法的代表是光学显微镜和透射电子显微镜;光干涉
成像法的代表是光干涉显微镜和TOPO移相干涉仪。第二类是对
试件表面进行扫描,逐点检测,从而获得表面微观形貌的信息,
这一类检测方法的代表是表面轮廓仪和扫描电子显微镜(SEM)
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1.光学显微镜
光学显微镜是在光学放大镜基础 上发明的,放大镜的物体形貌分辨率 可达到0.1mm。1665年发明了光学显 微镜,它可将被测物体放大数百倍。 光学显微镜经过多次改进,现在的放 大倍数达到1250倍。如果再采用油浸 镜头或用紫外光,放大倍数还能在提 高一些。光学显微镜使用方便,应用 广泛,但受光波波长的限制,放大倍 数无法再提高。
TEM 是 通 过 电 子 束透过试件而放大成像 的,电子束穿透材料的 能力不强,故试件必须 做得极薄,加工这种极 薄的试件有相当难度, 故TEM的适用范围有限。
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3.表面轮廓仪
用探针对试件表面形貌进行接触测量是一种古老的方法。随着测量技术的提高,现在的测 量表面粗糙度的轮廓仪,分辨率达0.05um以上。为了避免探针尖磨损,用金刚石制造。探针尖 曲率半径在0.05um左右,这就限制了测量分辨率的提高,且测量时针尖有一定力压向试件,容 易划伤试件。
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2.透射电子显微镜(TEM)
TEM出现在20世纪30年代,到50年代进入实用阶段。透射电子显微镜和光学显微镜的原理 极为相似,只是用波长极短的电子束代替了可见光线,用静电或磁透镜代替光学玻璃透镜,最 后在荧光屏上成像。TEM的放大倍数极高,点分辨率可达0.3nm,线分辨率可达0.144nm,已 达原子级分辨率。用TEM观察物体内部显微结构时,可看到原子排列的晶格图像,并已观察到 某些重金属原子的投影图像。用TEM检测时,试件需放在真空室内。

扫描隧道显微镜优秀课件

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合使用; • 电子学控制系统的采集和反馈速度和质量; • 样品的导电性对图像也有一定的影响。 • 各种参数的选择要合适。
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STM的实验步骤
• 准备针尖和样品 • 手动逼近样品和针尖,使之距离约为1mm;切忌使针尖与样品发
生相撞; • 设置参数:隧道电流;针尖偏压;软件控制马达,使针尖自动逼
近进入隧道区; • 根据不同的样品设置不同的扫描范围(金膜一般取700~900nm,石
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STM的仪器构造
STM Instrumentation
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STM的仪器构造
STM Instrumentation
STM由具有减振系统的STM 头部(含探针和样品台)、电 子学控制系统和包括A/D 多
功能卡的计算机组成。
• Tip
• Scanner
• Sample positioner
• Vibration isolation
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STM的基本原理
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STM的基本原理
1、隧穿效应 (Tunneling Effect) STM的工作原理是基于量子力学的
隧穿效应。 STM中最重要的概念隧穿电流(Tunneling current)可通过一维模 型简单说明。
对于经典物理学来说,当一粒子的动能E低于前方势垒的高度U0时,它不 可能越过此势垒,即透射系数等于零,粒子将完全被弹回。 而按照量子力 学的计算,在一般情况下,其透射系数不等于零,也就是说,粒子可以穿 过比它的能量更高的势垒,这个现象称为隧道效应。
• 1986年,STM的发明者宾尼和罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖。
葛·宾尼(Gerd Binning)
海·罗雷尔(Heinrich Rohrer)
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概况
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扫描隧道显微镜的原理及应用
扫描隧道显微镜的原理及应用
利用一套电子反馈线路控制隧道电流 I ,使 其保持恒定。再通过计算机系统控制针尖 在样品表面扫描,即保持针尖与样品表面 之间的局域高度不变,针尖随着样品表面 的高低起伏而作相同的起伏运动,高度的 信息也就由此反映出来。这种工作方式获 取图象信息全面,显微图象质量高,应用 广泛
扫描隧道显微镜的原理及应用
STM的应用优势: • STM具有极高的分辨率 • STM得到的是实时的、真实的样品表面的
高分辨率图象。 • STM的使用环境宽松。 • STM的应用领域是宽广的 • STM的价格相对于电子显微镜等大型仪器
来讲是较低的。
STM主要用于纳米技术上,常见的应用为:
1.“看见”了以前所看不到的东西
扫描隧道显微镜的原理及应用
• 发明人为德裔物理学家葛.宾尼(Gerd Bining)博士和他的 导师海.罗雷尔(Heinrich Rohrer)博士
• 他们俩当时供职于IBM公司设在瑞士苏黎士的实验室. • 他们的研究方向为超导隧道效应,并不是专门为了发明
STM • 一个偶然的机会他们读到了物理学家罗伯特.杨撰写的一
常用的 STM 针尖安放在一个可进行三维运动的压电陶瓷支架上,如图 3 所 示,Lx、Ly、Lz分别控制针尖在x、y、z方向上的运动。在Lx、Ly上施加电 压,便可使针尖沿表面扫描;测量隧道电流 I ,并以此反馈控制施加在Lz上 的电压Vz;再利用计算机的测量软件和数据处理软件将得到的信息在屏幕上 显示出来。
由此可见,隧道电流 I 对针尖与样 品表面之间的距离 s 极为敏感,如果 s 减小0.1nm,隧道电流就会增加一个数 量级。当针尖在样品表面上方扫描时, 即使其表面只有原子尺度的起伏,也将 通过其隧道电流显示出来。借助于电子 仪器和计算机,在屏幕上即显示出与样 品表面结构相关的信息。
扫描隧道显微镜的原理及应用
STM所观察到的并不是真正的原子或分子,而只是这些原子或分子的 电子云形态。我们通过STM所获得的分子图象将不是与分子内部的原 子排列一一对应的。 C60在硅晶面上的吸附取向实验
2.实现了单原子和单分子操纵
单原子或单分子操纵方式:
1 利用STM针尖与吸附在材料表面的分子之间 的吸引或排斥作用,使吸附分子在材料表面 发生横向移动,具体又可分为“牵引”、 “滑动”、推动”三种方式;
篇有关“形貌仪”的文章。这篇文章让他们产生利用导体 的隧道效应来探测物体表面的想法. • 结果成功了!
• Gerd Bining , Heinrich Rohrer和Ernst Ruska荣获 1986年的诺贝尔物理奖
扫描隧道显微镜的原理及应用
扫描隧道显微镜是根据量子力学中的隧道效 应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电 流来分辨固体表面形貌的新型显微装置。
隧道效应 根据量子力学原理,由于粒子存在 波动性,当一个粒子处在一个势垒之中时,粒 子越过势垒出现在另一边的几率不为零,这种 现象称为隧道效应。
由于电子的隧道效应,金属中的电子并不完全局限于金属表面之内,
电子云密度并不在表面边界处突变为零。在金属表面以外,电子云密度呈 指数衰减,衰减长度约为1nm。用一个极细的、只有原子线度的金属针尖 作为探针,将它与被研究物质(称为样品)的表面作为两个电极,当样品表面 与针尖非常靠近(距离<1nm)时,两者的电子云略有重叠,如图 2 所示。 若在两极间加上电压U,在电场作用下,电子就会穿过两个电极之间的势 垒,通过电子云的狭窄通道流动,从一极流向另一极,形成隧道电流 I 。 隧道电流 I 的大小与针尖和样品间的距离 s 以及样品表面平均势垒的高度p 有关,其关系为 I∝Uexp[-A(ps)1/2] ,式中 A 为常量。如果s以0.1nm为单 位,p以 eV为单位,则在真空条件下,A≈1,I∝ Uexp[-(ps)1/2] 。
扫描隧道显微镜的原理及应用
在对样品进行扫描过程中保持针尖的绝对 高度不变;于是针尖与样品表面的局域距 离 s 将发生变化,隧道电流I的大小也随着 发生变化;通过计算机记录隧道电流的变 化,并转换成图像信号显示出来,即得到 了 STM显微图像。这种工作方式仅适用于 样品表面较平坦、且组成成分单一(如由同 一种原子组成)的情形。
2 Park等人将碘代苯分子吸附在 Cu单晶表面的原子台阶处,再 利 用STM针尖将碘原子从分子中剥离出来,然后用 STM针尖 将两个苯活性基团结合到一起形成一个联苯分子,完成了一个完 整的化学反应过程。
4.在分子水平上构造分子器件
“从上到下”方法到“从下到上”方法的变化。
相关研究成果:
1 C60单分子开关
2 通过某些外界作用将吸附分子转移到针尖上, 然后移动到新的位置,再将分子沉积在材料 表面;化学键。
3.单分子化学反应已经成为现实
可以一个个地将单个的原子放在一起以构成一个新的分 子,或是把单个分子拆开成几个分子或原子。
最近研究成果:
1 康奈尔大学Lee和Ho用STM来控制单个的CO分子与Ag(110)表面 的单个Fe原子在13K的温度下成键,形成FeCO和Fe(CO)2分子。
利用STM针尖压迫C60单分子,使C60分子变形,从而通过改变其内部的 结构而使其电导增加了两个数量级。当压力除去后,电导又回复到原来 的水平,因此可以把这个体系看成是一种“电力”开关。
扫描隧道显微镜的原理及应用
STM历史意义
扫描隧道显微镜(STM)的发明打开了人 类对微观世界观察的大门,使得人类在纳 米尺度上研究单一原子以及单一分子的反 应成为可能。
扫描隧道显微镜的原理及应用
• 光学显微镜(荷兰人列文虎克发明),用于观 察细胞.
• 电子显微镜(德国科学家Ernst Ruska和 Max Knoll发明),可以观察到比细胞更小的 病毒.
光学显微镜
电子显微镜
扫描隧道显微镜的原理及应用
• 光学显微镜不能观察到纳米级的微观粒子. • 电子显微镜由于高速电子容易透入物质深处,低
速电子又容易被样品的电磁场偏折,故电子显微 镜很少能对表面结构有所揭示.
总之,以上两种显微镜都不能用于研究物质的微观表 面,人们急需一种能够观测物质表面结构的显微术.
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