实验三 扩散硅压阻式压力传感器实验

北京XXX大学

实验报告

课程（项目）名称：实验三扩散硅压阻式压力传

感器实验

学院：专业：

班级：学号：

姓名：成绩：

2013年12月10日

一、任务与目的

了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况。

二、实验仪器（条件）

所需单元及部件：主、副电源、直流稳压电源、差动放大器、F/V显示表、压阻式传感器(差压)、压力计。

旋钮初始位置：直流稳压电源±4V档，F/V表切换开关置于2V档，差放增益适中或最大，主、副电源关闭。

三、原理（条件）

扩散硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件，也就是在单晶硅的基片上用扩散工艺(或离子注入及溅射工艺)制成一定形状的应变元件，当它受到压力作用时，应变元件的电阻发生变化，从而使输出电压变化。

四、内容与步骤

（1）了解所需单元、部件、传感器的符号及在仪器上的位置。（见附录三）

(2) 如图３０A将传感器及电路连好，注意接线正确，否则易损坏元器件。

图３０A

(3) 如图３０B接好传感器供压回路。

图３０B

(5) 将加压皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝拧松。

（6）开启主、副电源，调整差放零位旋钮，使电压表指示尽可能为零，记下此时电压表读数(7) 拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表有压力指示时，记下此时的读数，并将数据填入表格中记录。

注：根据所得的结果计算系统灵敏度S= ΔV／ΔP，并作出V-P关系曲线，找出线性区域。

五、数据处理（现象分析）

（1）拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表的读数随压力的变化如下表：

（2）根据所得的结果计算系统灵敏度S= ΔV／ΔP，并作出V-P关系曲线，找出线性区域。

六、结论

通过实验进一步了解了扩散硅压阻式压力传感器的工作原理，并且观察了实过程中的工作状况，通过对实验数据的整理计算，得出实验仪器的灵敏度为S=92.35 V/Kpa