离子束溅射仪的使用

离子束溅射仪器的使用

1、装样品

1）充气：打开充气旋钮，使得空气进

入钟罩。

2）开电源总开关，接通电源。

3）升钟罩：将“升”开关拨到下方，

待钟罩升到合适位置时，按住“停”

按钮，钟罩停止上升，将“升”开

关拨回到上方。

4）放样品：将放有样品的载物台固定

到钟罩中。

5）降钟罩：按一下“降”按钮，钟罩

开始往下降，降到适当的位置使得

钟罩密封时自动停止。（注意，在

钟罩将要降到底时可以在前边稍

往上抬钟罩，以保证钟罩的密封效

果，利于后面的真空抽取。）

6）将充气旋钮旋紧。

2、抽真空

1）抽低真空：样品装好后，再一次确认充气旋钮已旋紧。然后将电源开关旋钮打到机械泵，打开低真空计。

2）（逆时针）旋转管道阀门Ⅰ，在旋转到最满时回旋1-2圈；过一会后（一般这时候真空机压强在10Pa左右），逆时针旋转打开管道阀门Ⅱ。

3）上面步骤完成后，机械泵抽一段时间后，当真空计读数在6-5Pa左右时，可打开扩散泵。

4）通冷却水，再将电源开关旋到扩散泵。

5）约半小时后，关闭管道阀门Ⅰ，（逆时针）打开打开扩散泵旋钮（至满回旋1-2圈）。

这时候低真空计压强将会突然变大，待压强再一次回到<10Pa后，打开高真空计（方法看下一步）。

6）抽高真空：按下高真空计电源开关，再按下灯丝按钮；将压强档打到10-1档，抽真空到压强小于1×10-1Pa时，可打到10-2档，依次类推，知道满足自己的需要（一般最大能达到×10-3档）。

3、溅射

1）先讲溅射装置打开，有加速电压、中和电压、阴极电流和阳极电压。（注意还有外接的毫安表，这是用来测试流过靶材的电流。）

2）先将真空计回旋一档（×10-2），通Ar气，当达到满足的要求时位置（通气时要慢慢的旋转通气旋钮，防止通气忽大忽小不易控制。）

3）调加速电压（如200V），屏级电压（如1000V），阴极电流（如12A）和阳极电压（如

55V）进行溅射。（调剂经验：在加速电压调好后，先调节屏级电压到要求值，然后调节阴极电流和阳极电压到比预定值稍小，最后通过协调这三个旋钮调出束流。一般调出束流后，屏级电压调至合适就不要再跳，阴极电流对束流的影响较大，当束流合适后，也不易再跳，主要通过阳极电压来控制束流为一定值。）

4）溅射到要求时间后，将阴极电流、阳极电压和屏级电压旋到最小，等到屏级电压显示值为零时，关闭他们对应的电源开关。

5）将高真空计档打到10-1档，关高真空计灯丝和电源开关，关低真空计。

6）旋紧扩散泵旋钮，将电源开关由扩散泵打到机械泵，继续通冷却水。

7）待大约半小时以后，扩散泵冷却，关闭机械泵，关总电源开关，关冷却水。