罗茨真空泵结构设计
罗茨真空泵工作原理
罗茨真空泵工作原理罗茨真空泵是一种常用的离心式旋转式真空泵，其工作原理基于罗茨原理。
罗茨原理是由两个相互啮合的叶轮组成的，通过旋转运动来实现气体的吸入和排出。
1. 基本构造罗茨真空泵由两个相互啮合的叶轮、机壳、进气口、排气口和驱动装置组成。
叶轮通常由两个或者多个叶片组成，叶轮与机壳之间的间隙非常小，以确保气体不会从间隙中泄漏。
2. 工作过程（1）吸气过程：当罗茨真空泵开始旋转时，两个叶轮之间的间隙会逐渐减小。
当叶轮旋转时，空气被吸入进气口，然后被叶轮的叶片推到机壳的另一侧。
（2）压缩过程：在叶轮旋转的同时，气体被推到机壳的另一侧，并逐渐被压缩。
由于机壳内的体积不断减小，气体压力也随之增加。
（3）排气过程：当气体被压缩到一定压力时，排气口打开，气体被排出罗茨真空泵。
3. 特点和优势（1）高真空度：罗茨真空泵能够达到较高的真空度，适合于许多需要高真空环境的应用领域。
（2）无油运行：罗茨真空泵采用无油设计，避免了油蒸气的污染和油的更换维护，非常适合对气体纯净度要求较高的场合。
（3）快速排气：由于罗茨真空泵的设计，其排气速度较快，能够快速排除大量气体，提高工作效率。
（4）低噪音：罗茨真空泵的结构紧凑，振动小，噪音低，能够提供一个相对肃静的工作环境。
4. 应用领域罗茨真空泵广泛应用于各个领域，包括：（1）半导体创造：用于真空薄膜沉积、离子注入和光刻等工艺。
（2）医疗设备：用于真空吸引、血液分离和呼吸机等医疗设备。
（3）食品加工：用于真空包装、真空冷冻和真空烘焙等食品加工过程。
（4）化学工业：用于真空蒸馏、真空干燥和真空抽滤等化学工业过程。
总结：罗茨真空泵是一种基于罗茨原理的离心式旋转式真空泵。
它通过两个相互啮合的叶轮的旋转运动来实现气体的吸入和排出。
罗茨真空泵具有高真空度、无油运行、快速排气和低噪音等优点，广泛应用于半导体创造、医疗设备、食品加工和化学工业等领域。
罗茨真空泵工作原理
罗茨真空泵工作原理罗茨真空泵是一种常用的机械真空泵，主要用于抽取气体和蒸汽。
它采用了双转子的设计，通过两个同心并且相互啮合的转子来实现抽气的过程。
下面将详细介绍罗茨真空泵的工作原理。
1. 结构组成罗茨真空泵主要由两个旋转的转子和一个外部壳体组成。
两个转子分别称为主转子和从转子，它们的形状是相同的，但是相互错开一定的角度。
主转子和从转子通过齿轮传动或者同步带传动相互连接，使得两个转子可以同步旋转。
2. 工作过程（1）吸气过程：当罗茨真空泵开始工作时，主转子和从转子开始同步旋转。
在旋转的过程中，转子的齿槽会不断地扩大和缩小，形成一个连续的气体密封工作室。
当齿槽扩大时，工作室内的气体味被吸入到工作室中。
同时，由于从转子的齿槽和主转子的齿槽错开一定的角度，气体可以顺利地从主转子的齿槽流向从转子的齿槽。
（2）压缩过程：当气体被吸入到工作室后，主转子和从转子继续旋转，齿槽开始缩小。
在缩小的过程中，气体被压缩并推送到罗茨真空泵的出口。
由于主转子和从转子的齿槽错开的角度，气体可以顺利地从从转子的齿槽流向主转子的齿槽。
（3）排气过程：当气体被压缩并推送到罗茨真空泵的出口后，它会进入到出口管道中，并被排出。
在排气过程中，主转子和从转子继续旋转，齿槽再次扩大，准备进行下一轮的吸气过程。
3. 特点和优势罗茨真空泵具有以下特点和优势：（1）无油操作：罗茨真空泵是一种无油操作的真空泵，不需要润滑油来减少磨擦和磨损，避免了油污染和维护成本。
（2）高效率：由于罗茨真空泵采用了双转子的设计，可以提供更高的抽气速度和更低的极限压力，从而提高了工作效率。
（3）稳定性好：罗茨真空泵的工作过程中没有液体和活动的密封件，因此可以提供稳定的抽气性能和可靠的运行。
（4）适合范围广：罗茨真空泵可以抽取多种气体和蒸汽，适合于各种工业领域，如化工、食品、医药等。
4. 应用领域罗茨真空泵广泛应用于以下领域：（1）制药工业：用于真空干燥、蒸馏、浓缩和冷冻干燥等工艺。
罗茨真空泵工作原理
罗茨真空泵工作原理罗茨真空泵是一种常用的无油真空泵，广泛应用于工业生产和科学研究领域。
它通过两个同心转子的旋转来实现真空抽取的过程。
本文将详细介绍罗茨真空泵的工作原理，包括结构、工作过程和性能特点等方面。
一、罗茨真空泵结构罗茨真空泵主要由两个同心的转子和泵腔组成。
其中，一个转子称为主转子，另一个转子称为从转子。
主转子和从转子之间通过齿轮传动相互配合运动。
泵腔由泵体和吸气室组成，泵体内部有两个转子的工作空间。
二、罗茨真空泵工作过程1. 吸气过程：（1）开始时，主转子和从转子处于相对静止状态，泵腔内部处于高真空状态。
（2）主转子开始旋转，从转子也随之旋转。
两个转子之间的齿轮传动使得它们的转速相同，但方向相反。
（3）随着转子的旋转，泵腔的容积逐渐增大，形成一个吸气室。
吸气室与进气口相连，气体通过进气口进入吸气室。
（4）当主转子和从转子的齿轮分离时，吸气室的容积达到最大值。
此时，气体被吸入泵腔。
2. 排气过程：（1）当主转子和从转子的齿轮再次接触时，吸气室的容积开始减小。
这时，气体被压缩。
（2）随着转子的继续旋转，气体被推入排气室。
排气室与出气口相连，气体通过出气口排出。
（3）当主转子和从转子再次分离时，排气室的容积达到最小值。
此时，气体被排出泵腔。
3. 循环过程：罗茨真空泵的工作过程是一个连续的循环过程。
主转子和从转子的不断旋转使得吸气室和排气室交替工作，从而实现对气体的连续抽取和排出。
三、罗茨真空泵的性能特点1. 高真空度：罗茨真空泵可以实现较高的真空度，通常可达到10^-3 Pa。
2. 无油运行：罗茨真空泵采用无油设计，不需要添加润滑油，避免了油污染和油气回流的问题。
3. 高抽速：罗茨真空泵具有较高的抽速，能够快速抽取大量气体。
4. 低噪音：罗茨真空泵的转子运动平稳，噪音较低。
5. 适合范围广：罗茨真空泵可用于抽取干净的气体和一些湿气，适合于各种工业和科研领域。
四、总结罗茨真空泵通过两个同心转子的旋转来实现真空抽取的过程。
罗茨真空泵
使用说明书
概述
• 1. 主要结构说明:
•
罗茨真空泵又称机械增压泵，是一种旋转式容积真空
泵。罗茨真空泵的结构示意如图1－1所示，在泵壳1内有
两个8字型转子2，平行地安装在一对轴上，由一对传动比
为1的同步齿轮带动作等速反向旋转，转子与转子、转子
与泵壳之间均保持一定的间隙而互不接触，因而运转时的
组聚四氟乙烯活塞环密封装置可 防止两侧油箱内的润滑油
进入泵腔内，出轴处的平衡式机械密封可防止大气漏入泵
腔内。 泵的冷却方式通常为风冷，如果泵用于高压力范
围工作，推荐选配水冷结构的泵。 电动机的动力通过联轴
器传给主动轴，再经过同步齿轮由主动轴驱动从动轴旋转。
ＺＪ系列罗茨真空泵均为卧式结构，泵采用联轴器与电机
泵型号定义
• ZJ P XXX A
表示第几次改进型 表示抽气速率：升/秒
表示带旁通溢流阀
是取“机械增压泵”中的“增机” 两字字母，表示机械增压泵，俗 称罗茨真空泵。
使用说明
维护及保养
故障原因及消除方法
易损件及间隙一览表
直联。但特殊要求的泵可采用三角带传动结构。
工作原理：叶轮处于位置I和II时，进口法兰内体积增加。当叶轮进一步 旋转到位置III时，一部分容积从进口侧被封离出来。 在位置IV时，这个 容积开放到出口侧，前置压力气体（高于进口压力）流入。流入气体压 缩从进口侧抽过来的气体体积。当叶轮进一步转动时，压缩气体通过排 气法兰排出。
摩擦损失很小，摩擦消耗功率极小，且可以实现高转速运
转。罗茨真空泵内部结构参考图1-2，
• 泵的二个转子被支承在泵壳二侧端盖上的滚动轴承中，依
靠一对可调节的同步齿轮使二个转子在高速旋转时始终保
罗茨真空泵的工作原理
罗茨真空泵的工作原理罗茨真空泵是一种常用于真空系统中的排气泵，它的工作原理是通过两个相互旋转的叶轮，将气体从进口处吸入，然后通过压缩和扩散的过程将气体排出。
本文将介绍罗茨真空泵的结构、工作原理以及应用领域。
一、罗茨真空泵的结构罗茨真空泵由两个相互旋转的叶轮和一个机壳组成。
其中一个叶轮为固定叶轮，另一个叶轮为旋转叶轮。
固定叶轮和旋转叶轮之间的间隙非常小，约为0.1毫米，因此气体在两个叶轮之间被压缩和扩散时无法逃脱。
机壳上有进气口和排气口，进气口连接真空系统，排气口连接大气。
二、罗茨真空泵的工作原理当罗茨真空泵开始运转时，旋转叶轮和固定叶轮之间的间隙将气体吸入。
旋转叶轮沿着固定叶轮的内部表面转动，将气体压缩。
当旋转叶轮在固定叶轮最高点处时，气体被排出，经过扩散后流向排气口。
由于叶轮之间的间隙非常小，气体无法逃脱，因此气体被压缩和扩散的过程将不断重复，直到气体被排出。
三、罗茨真空泵的应用领域罗茨真空泵广泛应用于真空冶金、真空干燥、真空蒸馏、真空冷却、真空包装等领域。
在真空冶金中，罗茨真空泵可以将气体从高温熔融金属中排出，从而保证金属的纯度和质量。
在真空干燥中，罗茨真空泵可以将湿气从物品中排出，使物品干燥。
在真空蒸馏中，罗茨真空泵可以将沸点低于常温的液体蒸发出来，从而实现分离和纯化。
在真空冷却中，罗茨真空泵可以将气体从冷却系统中排出，从而实现冷却效果。
在真空包装中，罗茨真空泵可以将空气从包装袋中排出，从而实现食品保鲜。
四、罗茨真空泵的优点与其他真空泵相比，罗茨真空泵具有以下优点：1.高效：罗茨真空泵的排气速度很快，可以在短时间内将气体排出。
2.低噪音：罗茨真空泵的噪音很小，适合在噪音敏感的环境中使用。
3.可靠性高：罗茨真空泵的结构简单，没有易损件，因此寿命长，维护成本低。
4.适用范围广：罗茨真空泵可以处理各种气体，适用于多种领域。
五、结论罗茨真空泵是一种高效、低噪音、可靠性高、适用范围广的真空泵。
它的工作原理是通过两个相互旋转的叶轮将气体压缩和扩散，从而实现气体的排出。
一种微型罗茨泵的设计
一
立项背景
1.1 国内外研究现状
国外微型气体泵产生于20世纪70年代美国， 近年来, 美国、德国等相继研制出不同驱 动原理的新型微型泵, 在制动（制动方式 采用静电、压电、电磁、热、气动等原 理）、加工制作工艺（包括半导体加工技 术、微注塑成型和特种加工技术等）等方 面进行创新研究，获得了巨大成果
其他暂时不可预知费用 3000
谢谢
一种微型罗茨采样泵的设计
五
预期目标
5.1 本项目预期成果形式
1.产品实物--微型罗茨气体采样泵： 这种微型罗茨气体采样泵体积微小、重量轻、寿命长、生产周期短、转速高、可靠性高、噪声 低、节能效果显著、耐腐蚀、无油污染，能适应各种恶劣的大气环境，并配备有过载保护系统。 在复杂气体环境里面这种罗茨气体采样泵不仅可以对气体各种成分的采样还能测定气体的压强。 2.申请国家发明专利或者实用新型专利一项。 3.发表论文一篇以上。
二
项目创新与特色
选择玻璃作为主要材料， 保证精密度、抗腐蚀性 和硬度，并在外观上提 高泵的档次
单片机最小系统控制 电机转速，控制性更 强，应变能力提高， 精准度大大提高
结构合理、简洁、人性化， 泵体总体尺寸约为40mm*40m m*50mm
采用微型直流电机供电 稳定性高，并有过载保 护系统
启动快，可获得清洁 无污染的低真空环境， 震动小，机械摩擦小， 维护费用低
三
实施方案
3.2 具体流程内容
结构设计： 参照已有产品，主要从使用便捷，实用性进行工艺以及机构、原理的方向进行
改造，如右图是一些现有的产品外形。
模型制作： 根据已初步确定的结构，查询相关的模型制作方法，如国内外一些制作出的
微型隔膜泵的模型，然后利用现有 的条件综合考虑外形、加工、使用以及 价格的要求确定 模型，并用solidworks等软件进行三维制图，以供零件 设 计参考。
罗茨真空泵工作原理
罗茨真空泵工作原理罗茨真空泵是一种常用的离心式旋转叶片真空泵，广泛应用于工业领域中的真空系统。
它通过旋转叶片的运动来产生真空，下面将详细介绍罗茨真空泵的工作原理。
1. 结构组成罗茨真空泵由两个相互啮合的旋转叶片和一个外壳组成。
两个旋转叶片通过齿轮或者带轮相连，分别被称为主叶片和从叶片。
外壳内部有两个相互平行的腔室，分别与主叶片和从叶片相连。
2. 工作过程（1）吸气过程：当罗茨真空泵开始工作时，主叶片和从叶片开始旋转。
在旋转的过程中，主叶片和从叶片之间的腔室逐渐变大，从而形成一个负压区域。
在这个负压区域内，气体从进气口进入罗茨真空泵。
（2）压缩过程：当气体进入罗茨真空泵后，由于旋转叶片的作用，气体被逐渐压缩。
主叶片和从叶片的旋转使气体被推到排气口，同时从进气口进入的气体继续被压缩。
这个过程会不断重复，使气体被逐渐排出罗茨真空泵。
（3）排气过程：经过连续的压缩过程，气体最终被排出罗茨真空泵的排气口。
排出的气体通常会通过管道进入其他设备或者系统。
3. 特点和优势（1）高真空度：罗茨真空泵能够提供较高的真空度，适合于对真空度要求较高的工业应用。
（2）无油操作：罗茨真空泵采用无接触的旋转叶片设计，因此不需要添加润滑油，避免了油污染的问题。
（3）高效稳定：罗茨真空泵的叶片旋转平稳，运行效率高，且噪音较低。
（4）适应性强：罗茨真空泵可以处理各种气体，包括腐蚀性气体和含有固体颗粒的气体。
（5）可靠性高：罗茨真空泵的结构简单，易于维护和保养，具有较长的使用寿命。
4. 应用领域罗茨真空泵广泛应用于许多工业领域，包括：（1）半导体创造：用于真空薄膜沉积、离子注入等工艺。
（2）化工工业：用于真空蒸馏、真空干燥等工艺。
（3）医药创造：用于药品生产、真空包装等工艺。
（4）食品加工：用于真空冷冻、真空干燥等工艺。
（5）环境工程：用于废气处理、污水处理等工艺。
总结：罗茨真空泵通过旋转叶片的运动来产生真空，具有高真空度、无油操作、高效稳定、适应性强和可靠性高等优点。
罗茨液环真空泵制造标准
罗茨液环真空泵制造标准罗茨液环真空泵是一种常用的真空设备，被广泛应用于各种工业领域。
它具有结构简单、可靠性高、使用寿命长等特点。
下面将从制造标准的角度，介绍罗茨液环真空泵的制造标准。
首先，罗茨液环真空泵的制造标准通常包括以下几个方面：结构设计、材料选用、工艺流程、性能测试以及安全要求等。
1.结构设计：罗茨液环真空泵的结构设计应符合相关标准和规范要求。
其中，重要零部件的设计应考虑其强度、刚度以及连接方式等。
同时，对于润滑液环和冷却系统的设计也需要符合相关要求，以确保其正常运行。
2.材料选用：罗茨液环真空泵的关键零部件通常采用高强度、抗腐蚀的材料。
例如，泵体、转子和涡轮通常使用不锈钢、铸铁等材料。
同时，对于密封件的选用也非常重要，一般采用耐磨、耐高温、耐腐蚀的材料，以确保泵的使用寿命和密封性能。
3.工艺流程：罗茨液环真空泵的制造过程应符合相关工艺规范。
包括机床设备的选用、加工工艺的确定以及装配过程的控制等。
工艺流程应保证零部件的精度、尺寸配合等要求，以确保泵的性能和稳定性。
4.性能测试：制造罗茨液环真空泵需要进行性能测试，以验证其符合相关标准要求。
常规的测试项目包括泵的抽气速度、极限真空度、功率消耗、噪音等。
对于特殊应用领域的泵，还需要进行相关的特殊性能测试。
5.安全要求：罗茨液环真空泵的制造必须符合相关安全标准。
例如，对于电气系统，应符合相关电器安全要求；对于液环系统，应符合相关液体泵安装和使用标准。
同时，还需要对泵的运行和维护提供相关安全指导和注意事项。
综上所述，罗茨液环真空泵的制造标准包括结构设计、材料选用、工艺流程、性能测试以及安全要求等方面。
只有符合这些标准，才能保证罗茨液环真空泵的质量和性能。
制造厂家应根据这些标准要求，合理设计和制造罗茨液环真空泵，确保其在各个工业领域的正常运行和应用。
ZJ-600型罗茨真空泵设计(论文)综述
毕业设计设计题目ZJ-600型罗茨真空泵设计学生姓名相源学号20090755专业班级机械设计制造及其自动化09-10班指导教师王庆生2013 年6 月1 日院系名称机械与汽车工程学院目录中文摘要 (1)英文摘要 (1)1. 引言 (3)1.1 绪论 (3)1.2 我国罗茨真空泵的现状 (3)1.3 我国罗茨泵与国外先进水平相比的差距 (4)1.4 罗茨真空泵的发展趋势 (5)1.5 设计内容、步骤和目的 (5)2. 罗茨泵的工作原理及其结构特点 (7)2.1 罗茨泵的工作原理 (7)2.2 罗茨泵的结构特点 (8)2.3 罗茨泵的应用及实物图 (9)3. ZJ-600型罗茨真空泵的主要零件及结构设计 (11)3.1 罗茨真空泵的主要零部件 (11)3.2 电动机的选择 (13)3.3斜齿圆柱齿轮传动设计 (15)3.4转子体设计计算 (19)3.5轴的结构设计计算 (23)3.6轴承选取设计计算 (27)3.7 ZJ-600型罗茨真空泵的结构 (28)结论 (30)致谢 (31)参考文献 (32)ZJ-600型罗茨真空泵设计摘要：本设计是对ZJ-6OO罗茨真空泵进行整体结构设计，并且针对罗茨泵结构的几个方面进行改进：第一，针对罗茨真空泵工作时的噪声过大的问题，本设计采用一对同步齿轮传动，使转子之间相对位置保持始终不变，保证转子和齿轮在轴上定位的径向位移适中，同时加强轴的刚度，确保润滑油供应充足，以减小罗茨真空泵的噪声；第二，针对罗茨真空泵的密封是油密封，会将一部分油带入真空室，污染真空室，本设计罗茨真空泵的密封部位采用机械密封，靠一对或者几对垂直于轴作相对滑动的端面在流体压力或补偿机构的弹力作用下保持接合，并配以辅助密封，进而保证没有油或者水蒸气进入真空室；第三，针对罗茨真空泵的泵体与转子是由铸铁做成，在潮湿的环境中很容易受到腐蚀，导致转子之间的间隙变大，极大地影响了罗茨泵的效率与寿命，本设计通过在泵体和转子表面镀上一层镍来防止泵体与转子的腐蚀。
罗茨真空泵设计开题报告
罗茨真空泵设计开题报告本文将探讨罗茨真空泵的设计原理，讨论其在不同应用中的应用，以及有关设计和实施的详细讨论。
罗茨真空泵是一种抽气机，用于抽取大量空气以产生低压环境，并且可以使其他腔室中的压力较低。
它可以用于清洁、制冷、抽吸、压缩和其他各种工作，主要受到工业应用的青睐。
本文将从结构、原理以及其他方面，对罗茨真空泵的设计原理和应用进行深入的探讨。
报告介绍罗茨真空泵是一种利用抽取和吸收空气的方法，以产生低压环境，并可以使其他腔室内的压力较低的裂解机，它还可以用于清洁、制冷、抽吸、压缩和其他各种工作，主要受到工业应用的青睐。
罗茨真空泵的结构由一个排气缸，一个连接缸和一个抽气缸组成。
抽气缸内装有活塞，活塞上有密封圈，这就是真空泵的基本部件。
在抽气缸内，当活塞上升时，空气就从连接缸中吸进去，当活塞下降时，空气就从排气缸中排出去，形成抽气和排出的周期过程，从而产生真空环境。
罗茨真空泵的发展已经追溯到发明家时代，并已经取得了很大的进步，人们对它的认识也有了很大的改变。
罗茨真空泵实施及设计罗茨真空泵的设计原理是利用抽取和吸气的原理，以产生低压环境。
为了实现这一目标，罗茨真空泵需要以下几个关键部件：驱动装置、密封圈、活塞、排气缸、连接缸和抽气缸。
罗茨真空泵的设计可以分为几个步骤，其中包括：确定需要的型号、尺寸和材料；确定各个部件的尺寸和材料；计算出活塞的行程；安装部件；开放驱动装置；安装密封圈；检查各个部件间的对应关系；检查驱动装置的密封性等等。
罗茨真空泵在工业应用中的应用罗茨真空泵在工业应用中被广泛应用，它可以实现清洁、制冷、抽吸、压缩等功能，它的实际应用可以根据实际情况来确定，一般都可以实现一定的真空度。
例如，在制冷系统中，罗茨真空泵可以将空气抽离来创造低压环境，这样制冷剂才能更快地散发热量；在火车制动行业，罗茨真空泵可以帮助减少摩擦，减轻摩擦产生的热量而提高车辆的可靠性和安全性。
此外，罗茨真空泵还可以用于包装机械中，抽取空气，防止包装物品损坏。
罗茨真空泵工作原理
罗茨真空泵工作原理标题：罗茨真空泵工作原理引言概述：罗茨真空泵是一种常用的真空设备，其工作原理基于罗茨叶轮的相互啮合运动。
通过罗茨叶轮的旋转，气体在泵内被吸入并排出，从而实现真空抽取的目的。
下面将详细介绍罗茨真空泵的工作原理。
一、罗茨真空泵的结构1.1 罗茨叶轮：罗茨真空泵的核心部件，由两个相互啮合的叶轮组成。
1.2 泵腔：叶轮旋转时形成的密闭泵腔，用于吸入和排出气体。
1.3 驱动装置：用于驱动罗茨叶轮旋转的电机或其他动力装置。
二、罗茨真空泵的工作原理2.1 吸气阶段：当罗茨叶轮旋转时，泵腔内形成一定的容积，气体被吸入泵腔。
2.2 压缩阶段：随着叶轮的继续旋转，泵腔内的气体被挤压，压缩。
2.3 排气阶段：当气体压缩到一定程度时，排气阀打开，将压缩后的气体排出泵腔。
三、罗茨真空泵的特点3.1 无油运行：罗茨真空泵无需添加润滑油，避免了油污染问题。
3.2 高效率：由于叶轮的相互啮合运动，罗茨真空泵具有较高的抽气速度。
3.3 低振动、低噪音：罗茨真空泵结构简单，运行平稳，振动和噪音较小。
四、罗茨真空泵的应用领域4.1 半导体制造：罗茨真空泵在半导体行业中用于真空腔体的抽气。
4.2 医疗设备：用于吸引、输送气体，如呼吸机等医疗设备。
4.3 化工工业：在化工工业中用于真空蒸馏、真空干燥等工艺。
五、罗茨真空泵的维护与保养5.1 定期清洁：保持泵腔内外清洁，避免灰尘和杂质进入。
5.2 检查润滑：定期检查叶轮轴承的润滑情况，确保正常运转。
5.3 定期检修：定期检查罗茨真空泵的各部件，及时更换磨损部件，延长设备寿命。
结论：罗茨真空泵通过罗茨叶轮的相互啮合运动实现气体的吸入、压缩和排出，具有无油运行、高效率、低振动、低噪音等优点，在半导体制造、医疗设备、化工工业等领域有着广泛的应用。
定期清洁、检查润滑和检修是保持罗茨真空泵正常运转的关键。
ZJ系列罗茨真空泵结构原理及使用特点
ZJ系列罗茨真空泵结构原理及使用特点（一）、结构原理：1、ZJ系列罗茨真空泵，是一种容积式真空泵，它是利用一对8子形转子在泵壳中保持一定的间隙，作等速反向旋转而产生吸气和排气作用的（见图一）。
2、ZJP型带溢流阀罗茨真空泵是ZJ型罗茨真空泵的派生产品，抽气原理同ZJ 型泵一样，也是利用一对8字型转子在泵壳中保持一定的间隙，作等速反向旋转而产生吸气和排气作用的，所不同的是ZJP型泵进排气口连通，在通道上垂直地装置着一个自重阀（见图一（a）），其作用是当排气口和进气口的压力差和阀的有效作用面积的乘积超过阀头的自重时，阀头就自动顶开阀座，使排气口和进气口的压力差始终保持在一个可控制的数值内，这个数值是设计的泵可靠运转的允许最高压力差值。
因此，这种阀实际上就是一种过载自动保护阀。
3、二个转子被支承在泵壳侧面端盖的滚动轴承中，依靠一对可调的同步齿轮使二个转子在高速旋转时始终保持着一定的相互位置，而转子与端盖之间的端面间隙是靠固定端轴承座下面的可调金属垫片来保证，使之泵在工作时因受热而转子只能向一面膨胀。
4、端盖内的四组内轴封是为了防止两侧润滑油进入泵壳，出轴处油封是为了防止气体漏入泵内。
5、为减少泵温，除最小二种规格泵外，均装有齿轮箱冷却器和出轴油封冷却器。
6、电动机的动力通过联轴器传给主动轴，再通过同步齿轮传动从动轴。
7、ZJ、ZJP系列罗茨真空泵均制成卧式结构，采用联轴器与电机直联。
（二）、ZJ系列罗茨真空泵使用特点：ZJ系列罗茨真空泵的最大优点是在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时，罗茨真空泵才能开始工作（见图一），并且在一般情况下，罗茨真空不允许高压差时工作，否则将会过载和过热而损坏，因此使用罗茨真空泵时必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。
ZJP型带溢流阀罗茨真空泵最大特点具有自动过载保护，而抽气性能和ZJ型罗茨真空泵相同，即是在较低入口压力时具有较高的抽气速率。
真空罗茨泵设计说明书
摘要真空泵，机械，物理，化学，物理和化学方法如萃取容器中，以获得和维持真空设备。
真空泵和其他设备（如真空容器，真空阀，真空计，连接管路等）组成的真空系统，广泛应用于电子，冶金，化工，食品，机械，制药，航空航天等行业。
按泵的工作原理，本质上捕获气体进入气体泵和泵的类型。
泵包括：液环真空泵，往复式真空泵，旋片式真空泵，真空泵定子，活塞泵，摆线泵，干式真空泵，真空泵，分子泵，牵引泵，复合泵，水喷射泵气体喷射泵，蒸汽喷射泵，扩散泵。
捕获的气体泵，包括：一个吸附泵和低温泵。
针对设计要求，对罗茨真空泵进行了设计。
主要包括传动系统的设计。
罗茨真空泵工作原理与罗茨鼓风机相似。
由于转子的连续旋转，气体从进气口吸入到转子与壳体之间的空间中，然后通过排气口排出。
因为空间是封闭的抽吸状态下，所以不存在气体在泵室的压缩和膨胀。
然而，当转动时，转子的排气口的上边缘，该空间与排气侧连通，排气侧的气体压力越高，洗涤气体的一部分返回到该空间中，气体的压力急剧增加。
随着转子继续旋转时，气体排出泵。
关键词：真空镀膜机；真空泵；结构设计AbstractVacuum pumps with mechanical，physical，chemical，physical and chemical methods such as container extraction in order to obtain and maintain a vacuum device . Vacuum pumps and other equipment (such as vacuum container，vacuum valves，vacuum gauges，connecting pipes，etc.) consisting of a vacuum system，widely used in electronics，metallurgy，chemical，food，machinery，pharmaceuticals，aerospace and other sectors. Press the pump works，essentially trapping gases into the gas pump and pump types . Pump include : liquid ring vacuum pumps，reciprocating pumps，rotary vane vacuum pumps，vacuum pump stators，piston pumps，trochoid pump，dry vacuum pumps，vacuum pumps，molecular pumps，traction pumps，composite pumps，water jet pump gas jet pumps，steam jet pumps，diffusion pumps. Trapped gas pump comprising: a sorption pump and a cryopump .For the design requirements，the Roots vacuum pump design . Including the transmission system designs. Roots vacuum pump works with the Roots blower similar. Due to the continuous rotation of the rotor，gas is drawn from the intake port into the space between the rotor and the casing，and then discharged through the exhaust port. Because the space is closed suction state，so there is no gas in the pump chamber compression and expansion . However，when the top edge of the exhaust port of the rotor rotated，the space communicates with the exhaust side，the higher the exhaust -side gas pressure，a portion of the washed gas back to the space，the gas pressure is abruptly increased. As the rotor continues to rotate，the gas discharge pump .Key Words:Vacuum Coating Equipment; Vacuum pump; Structure design目录摘要 (I)Abstract (II)目录 (III)第1章绪论 (1)1.1真空镀膜机的概述 (1)1.2 真空泵的应用现状及发展趋势 (2)1.3课题设计内容 (11)第2章真空泵总体方案设计 (13)2.1设计真空泵的技术要求 ............................................................. 错误！未定义书签。
罗茨真空泵结构及工作原理
罗茨真空泵结构及工作原理
罗茨凸轮定子由一对成对排列的凸轮构成，凸轮的形状为延续节线并相互平行，凸轮之间的间隔为较小的间隙，称为工作腔。
罗茨叶片转子就位于该工作腔之间，转子上的叶片与凸轮的形状相配合，形成密封腔。
侧板安装在罗茨凸轮定子两端，用于固定转子轴。
端盖则位于罗茨凸轮定子和罗茨叶片转子的前后两侧，起到密封作用。
1.当罗茨叶片转子距离两个凸轮间隙最小时，形成两个压缩腔，在一个腔内，气体被吸入并被压缩；
2.随着转子继续转动，被压缩的气体进入到下一腔，在离两个凸轮间隙最远处时，形成两个扩容腔；
3.转子继续旋转，扩容腔内的气体被排放出去，形成真空。
罗茨真空泵的工作过程中，凸轮和转子之间的间隙较小，能够有效地防止气体回流，从而提高气体的抽速。
同时罗茨叶片转子轴和侧板的设计能够实现转子的正常转动，并保持高度的平衡性，使得罗茨真空泵具有稳定的工作特性。
由于罗茨真空泵的结构相对简单，运行平稳，所以在很多领域都得到了广泛的应用。
特别是在需要提高气体抽速和真空度的应用中，罗茨真空泵是一个非常理想的选择。
例如在半导体制造过程中，需要高度纯净的真空环境，使用罗茨真空泵可以有效地去除气体杂质，提供高质量的真空环境。
另外在制药工业中，罗茨真空泵也能够排放一些有毒气体，确保工作场所的安全性。
总结起来，罗茨真空泵是一种通过罗茨凸轮定子和罗茨叶片转子互相协作，将气体从高压区域排放到低压区域的真空泵。
它的结构简单、运行
平稳，并且具有较高的抽气速度和真空度。
在半导体制造、制药等领域得到广泛应用。
罗茨真空泵工作原理
罗茨真空泵工作原理
引言概述：
罗茨真空泵是一种常用的真空泵，广泛应用于各个领域。
本文将详细介绍罗茨真空泵的工作原理，包括其结构、工作过程以及应用领域。
正文内容：
1. 罗茨真空泵的结构
1.1 主体结构：罗茨真空泵由两个相互啮合的旋转叶轮组成，其中一个叶轮称为主叶轮，另一个叶轮称为从叶轮。
1.2 叶轮材质：叶轮通常由高强度的铸铁或合金材料制成，以确保其耐腐蚀性和耐磨性。
1.3 传动机构：罗茨真空泵通常使用齿轮传动或皮带传动来驱动叶轮的旋转。
2. 罗茨真空泵的工作过程
2.1 吸气过程：当叶轮旋转时，两个叶轮之间的空间逐渐增大，从而形成一个负压区域，吸入气体。
2.2 压缩过程：当叶轮继续旋转时，负压区域逐渐减小，气体被压缩并排出泵体。
2.3 冷却过程：由于叶轮旋转时会产生一定的摩擦热，因此罗茨真空泵通常需要冷却系统来降低温度。
3. 罗茨真空泵的应用领域
3.1 工业领域：罗茨真空泵广泛应用于化工、制药、电子、食品等工业领域，用于抽取气体、蒸汽等。
3.2 环保领域：罗茨真空泵可用于污水处理、废气处理等环境保护领域，有效清除有害气体。
3.3 实验室领域：罗茨真空泵在实验室中用于真空干燥、真空冷冻、真空提取等实验操作。
总结：
在本文中，我们详细介绍了罗茨真空泵的工作原理。
通过了解其结构和工作过程，我们了解到罗茨真空泵是一种重要的真空设备，广泛应用于工业、环保和实验室领域。
通过不断的技术创新和应用研究，罗茨真空泵在各个领域的应用前景将会更加广阔。
罗茨真空泵的结构
罗茨真空泵的结构1、泵总体结构型式罗茨真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
目前国内外的罗茨真空泵总体结构大致有三种型式：(1)立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。
但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。
(2)卧式泵的进气口在上，排气口在下。
有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。
此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。
这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。
一般大、中型泵多采用此种结构。
(3)泵的两个转子轴与水平面垂直安装。
这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。
但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
仅见于国外产品。
2、泵的传动方式罗茨真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。
主动轴通过联轴器与电机联接。
在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。
从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。
这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
另一种是电动机和传动齿轮分别装在转子两侧。
这种形式使泵的整体结构匀称，但主动轴扭转变形较大。
为保证转子在运转过程中的间隙均匀，要求轴应有足够的刚度，轴和转子之间的联接要紧固（目前已有转子与轴焊或铸成一体的结构）。
这种结构拆装都很方便，所以被广泛采用。
多级罗茨真空泵内部结构
多级罗茨真空泵内部结构下载温馨提示：该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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机械毕业设计1090罗茨真空泵的结构设计
摘要罗茨真空泵近年来在国内外得到较快的发展，在冶炼、石油化工、电工等行业得到广泛应用，主要是用于输送石油及石油产品和工厂输送各种油类和液体。
本文主要设计罗茨真空泵的结构设计，重点研究罗茨真空泵的结构特点，在研读了诸多相关文献资料的基础上，分析罗茨真空泵国内外研究理论和现状，进行了罗茨真空泵的整体方案及设计，对相关技术参数进行了设计，利用solidworks软件设计图纸。
关键词：真空泵，转子，solidworksAbstractRoots vacuum at home and abroad in recent years rapid development, smelting, petrochemical, electrical and other industries are widely used, mainly used to transport oil and petroleum products and plant transport all kinds of oils and liquids.In this paper, the design structure design Roots vacuum pump, Roots vacuum focus on the structural characteristics of the study the basis of many of the relevant literature, theory and research status at home and abroad Roots vacuum pumps, vacuum pumps for the overall program and Roots design and related technical parameters were designed using solidworks software design drawings. Keywords: vacuum pumps, rotors, solidworks目录绪论 ............................................................................................... 错误!未定义书签。
三轴罗茨真空泵的抽气理论和结构设计
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
三轴罗茨真空泵的抽气理论和结构设计
新兴行业的不断兴起给真空泵带来了快速发展的机遇，同时也对真空泵的集成化、高效率、节约空间、高技术含量提出了更高的要求。
本文提出了一种三轴式的罗茨真空泵，对其抽气过程进行了介绍，并基于啮合原理，给出了一种典型的四叶圆弧型转子的型线方程。
通过对抽气过程的建模分析，在抽气效率、压缩比、旋转应力和热变形等方面，与常规的双轴式罗茨真空泵进行了对比。
计算和模拟结果表明，在空间尺寸增加不多的情况下，三轴式罗茨真空泵具有接近两倍的抽速、良好的压缩比和更好的动平衡特性的特点，具有较好的技术优势和发展前景。
罗茨式真空泵是一种无内压缩的旋转变容式真空泵，它是由罗茨鼓风机演变而来的，目前在真空系统中已经得到了广泛的应用。
由于在较宽的压力范围内有较大的抽速，且泵腔内无油，至今在半导体、光伏、电子、石油、化工等行业仍在大量的应用中。
随着新兴产业的蓬勃发展和传统行业的产业升级，真空泵的研发需要向高效率、高集成度、空间节约、智能化和高可靠性的方向发展，适应不同工艺的苛刻需求。
三轴罗茨真空泵，正是在传统的双轴罗茨真空泵基础上，在主动转子轴两侧各集成了一套从动转子，两侧同时进行吸气或排气的工作过程。
与双轴罗茨泵相比，具有受力均衡、运转平稳、抽速大、噪音低、零流量压缩比高等优点。
本文详细介绍了这种三轴罗茨真空泵的抽气过程和工作原理，并给出一种典型的四叶圆弧型转子的型线方程，通过理论推导和有限元分析，对三轴罗茨转子轴进行了强度分析和变形模拟，并与双轴罗茨真空泵进行比较。
罗茨真空泵基本构造
罗茨真空泵基本构造
罗茨真空泵是一种常用的真空泵，其基本构造包括罗茨叶轮、罗茨壳体、罗茨轴和罗茨轴承等组成部分。
首先，罗茨叶轮是罗茨真空泵的核心部件，它由两个相互啮合的叶轮组成，叶轮上的叶片呈螺旋状排列。
当罗茨叶轮旋转时，叶片与罗茨壳体之间形成一系列密闭的腔室，这些腔室随着罗茨叶轮的旋转而不断变化，从而实现气体的吸入、压缩和排出。
其次，罗茨壳体是罗茨真空泵的外壳，它通常由两个相互连接的壳体组成。
壳体内部的形状与罗茨叶轮的外形相对应，以确保叶轮能够顺畅地旋转。
壳体上还设有进气口和出气口，用于气体的进出。
第三，罗茨轴是连接罗茨叶轮和电机的部件，它承受着罗茨叶轮的旋转力和惯性力。
罗茨轴通常由高强度的合金钢制成，以确保其强度和耐久性。
最后，罗茨轴承是支撑罗茨轴的部件，它通常由滚动轴承或滑动轴承组成。
罗茨轴承的选择取决于罗茨真空泵的使用条件和要求。
总之，罗茨真空泵的基本构造包括罗茨叶轮、罗茨壳体、罗茨轴和罗
茨轴承等组成部分。
这些部件的设计和制造质量直接影响着罗茨真空泵的性能和使用寿命。
因此，在选择和使用罗茨真空泵时，需要注意其基本构造和质量要求，以确保其正常运行和长期稳定性。
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摘要罗茨真空泵近年来在国内外得到较快的发展，在冶炼、石油化工、电工等行业得到广泛应用，主要是用于输送石油及石油产品和工厂输送各种油类和液体。
本文主要设计罗茨真空泵的结构设计，重点研究罗茨真空泵的结构特点，在研读了诸多相关文献资料的基础上，分析罗茨真空泵国内外研究理论和现状，进行了罗茨真空泵的整体方案及设计，对相关技术参数进行了设计，利用solidworks软件设计图纸。
关键词：真空泵，转子，solidworksAbstractRoots vacuum at home and abroad in recent years rapid development, smelting, petrochemical, electrical and other industries are widely used, mainly used to transport oil and petroleum products and plant transport all kinds of oils and liquids.In this paper, the design structure design Roots vacuum pump, Roots vacuum focus on the structural characteristics of the study the basis of many of the relevant literature, theory and research status at home and abroad Roots vacuum pumps, vacuum pumps for the overall program and Roots design and related technical parameters were designed using solidworks software design drawings. Keywords: vacuum pumps, rotors, solidworks目录绪论 ............................................................................................... 错误!未定义书签。
第一章真空设备获得 . (3)1.1需要不断扩大的真空领域 (3)1.2真空技术在能源方面的应用 (5)1.3真空泵市场各类泵设备发展现状 (7)1.4真空泵技术进展趋势 (9)1.5对真空技术未来发展的期望 (12)第二章罗茨真空泵的介绍 (13)2.1罗茨真空泵的术语和定义 (13)2.2罗茨真空泵的型式和气冷式罗茨真空泵型线分析 (13)2.3罗茨真空泵的技术要求 (18)第三章罗茨真空泵的总体设计 (19)3.1罗茨真空泵的总体构成 (20)3.2电动机的选择 (22)3.3总体传动结构设计 (23)3.4斜齿圆柱齿轮传动设计计算 (24)3.4.1 按齿面接触强度设计 (24)3.4.2按齿根弯曲强度设计 (26)3.4.3 齿轮几何尺寸计算 (26)3.5渐开线型转子型线的确定 (27)3.6轴的结构设计计算 (34)3.6.1 按扭转强度条件计算 (34)3.6.2按刚度条件计算 (34)3.6.3 精确校核轴的疲劳强度 (35)3.7轴承选取设计计算 (38)3.7.1 轴承的设计参数 (38)3.7.2 轴承的当量动载荷计算 (38)第四章罗茨真空泵的三维设计 (40)4.1 SOLIDWORKS的简介 (40)4.2 SOLIDWORKS的创建和发展 (41)4.3 SOLIDWORKS的功能和特征 (41)4.4罗茨真空泵零部件三维模型设计 (42)4.5罗茨真空泵三维装配图 (42)结论 (43)参考文献 (44)谢辞 (45)绪论真空泵的分类：真空泵利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。
真空泵和其他设备（如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等）组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、医药、航天等部门。
按真空泵工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括：1、液环真空泵2、往复真空泵3、旋片真空泵4、定片真空泵5、滑阀真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引真空泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
首先介绍几种常见泵及其特点：2SK、2SK-P1系列双级水环式真空泵主要用来抽除空气和其他有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。
广泛用于食品、纺织、医药、化工的行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥的工艺过程中。
该泵具有真空度高、结构简单、使用方便、工作可靠、维护方便的特点。
2XZ型旋片式真空泵具有结构紧凑、体积小、重量轻、噪音低、振动小等优点。
它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。
例如:质谱仪器、冰箱流水线、真空冷冻干燥机等。
XD型旋片式真空泵可以在任意入口压强下工作，已普遍应用于食品的真空包装，塑料工业的真空吸塑成形。
印刷行业的纸张输送、真空夹具、以及真空吸引等。
SZ、SK系列水环式真空泵主要用于粗真空、抽气量大的工艺过程中。
它主要用来抽除空气和其他无无腐蚀、不溶于水、含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。
所吸气体允许混有少量液体。
它广泛应用于机械、医药、=食品、石油化工等行业中。
罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸气不敏感广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
本次设计的罗茨真空泵是根据我国的实际生产情况以及现有的技术水平，综合国内外同类产品的优点，本着高效率，低成本的原则，自行设计的。
广泛应用与真空冶金、真空脱气、真空镀膜以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体，还可用与医药、食品、电子、化工等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。
该机器的主要机构为：主轴电动机带动主轴旋转，轴上有一对“8”字型转子在泵壳中作等速反向旋转而产生吸气和排气作用。
由于此次设计缺少大量资料给设计制造了巨大困难，对于这次设计的不足希望各位老师提出宝贵的意见。
在本次设计中得到了宋爱平老师的悉心指导，对此表示衷心的感谢！同时也对在设计过程中给与我大力帮助和指导的各位老师一并表示感谢！第一章真空设备获得1.1 需要不断扩大的真空领域在21世纪，真空的需求是增长还是减少?今后的发展趋势又将如何?这主要取决于真空应用的领域是否增加，需求是否增长。
在20～30年前，真空书籍中就指出：真空技术的应用，一是靠压力差，二是通过空间的电子或分子排除干扰，三是降低粒子撞击表面的次数。
用于各自的需求不同，所需的真空度当然也就不同了。
所谓排除空间障碍物，即粒子的平均自由程要比装置的特征尺寸长。
真空蒸发、电子管和加速器就是利用了真空的这一特点。
除大功率的电子管外，其他大部分做成固体元件，这样就不再需要真空了。
暖水瓶是真空技术在人们日常生活中的重要应用，如果以后能生产出优良的绝热材料，且很便宜，那么真空在暖水瓶的生产过程中将会失去作用。
从降低表面粒子入射频率的必要性看，超高真空技术定会得到发展，它可使表面长时间地维持其清洁。
目前，真空技术的应用的特点是：利用真空环境来研制一些新材料和新工艺。
使真空应用领域得到进一步扩大，例如超微粉和纳米颗粒的制作以及固体元件的工艺开发。
另一个应用领域是为了减少化学反应过程和核聚变反应中的不纯物，有时也要利用真空。
真空室的器壁本身与反应过程有着极其密切地关系。
人们对真空的需求将会扩大。
如日本三井物产公司把铅掺入铝中，然后用高温使铝蒸发，利用这种方法炼铝就会扩大对真空泵的需求。
因此，对于真空设备厂来说将会有一个很大的真空泵的销售市场。
过去炼铝采用电解法，现正在研究熔炉还原法。
在熔炉内还原时，由于耐火材料与铝的混合，使分离非常困难。
如果把熔炉中出现的含有铝的不纯物溶解于铅溶液中就可以对含铝的铅和不纯物进行分离。
利用真空可以分离由此形成的铝铅混合物。
由此可见，新工艺的出现，就会直接影响到真空行业，对真空的需求也会随之急剧增加。
前几年我国真空炼镁工艺的出现，曾一度使真空设备厂产的滑阀泵和罗茨泵供不应求。
造成畸形发展。
但这也说明一个问题，即新工艺、新材料等出现，势必要带动真空产业等发展。
在2l世纪，表面处理在内的表面技术成为相当大的一个真空应用领域。
因为人们对材料可靠性的要求，尤其对表面技术的应用定会有所增长。
现在人们都喜欢用防锈、防氧化的材料。
铝合金虽己生产出来了，但就原有工艺稍加改进，就会在性能上大有改观，如用氧化膜将材料与大气隔开，就能满足用户上述的要求。
这种情况，只要提示一下与真空厂家合作就能开拓一个相当可观的市场。
又如过去作超纯铝箔的方法很费事，又要把真空设备应用到这个项目的生产过程中去，就一定会产生更好地超纯铝箔来。
如果真空厂家能积极地参与到这一应用领域中去，人们对真空的需求自然会大大加强。
今后电子技术领域对真空的需求也会继续有所增长。
由于真空是个很纯净的空间，而电子元件的生产工艺也需要纯净，因此真空是制作电子元件的理想环境。
如分子束外延，半导体产品多是在真空状态中进行的。
搞分子束外延似乎都在以超大规模集成电路为目标。
要想达到这一目标就要求有非常微细的结构。
在这种情况下，最大的障碍就是灰尘。
如果一系列的操作都能在真空中进行，从底片进入真空室到最终处理完成也在真空中进行是最理想的。
如何去掉灰尘，首先是避免人与元件的直接接触。
但真空设备不一定都是干净的。
一般认为放气、排气或者切换开关时就会扬起灰尘，所以还是存在一定的问题。
有时也需要给装置搞一个清洁的表面，清洁的表面是极其容易受污染对，当必须使表面维持清洁状态的时候，有一个受到控制的气体环境往往比处于超高真空状态更为理想。
为了充入某种气体以保证清洁度，就要在充分处理本底之后，再充入干净的气体。
例如在溅射成膜时的真空度并不高。
然而充入气体之前的本底压力则对膜的质量有很大的影响，所以溅射装置必须给创造一个良好的本底真空度。
有时由于充入其它气体，而使得真空度略有下降，但就在这种真空度稍有改变的情况下，也可以进行同样的操作。
真空技术不仅仅建立狭义上的真空，而且制作高纯气体，再受控制的环境下维持所需表面，这也是真空技术的应用。
如果这样考虑，真空技术的应用也就更广泛了。
真空设备似乎可以作为工具使用。
人们随着对高级产品的需求，也迫切需要真空技术更加简便，并可应用于高新技术领域。