基于飞秒激光器光学频率梳的绝对距离测量

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基于飞秒激光器光学频率梳的绝对距离测量
许艳２，一，周维虎。，刘德明，丁蕾
（．华中科技大学光电子科学与工程学院，武汉４０７；１３０４２．江西理工大学应用科学学院，江西赣州３１０；４００３．中国科学院光电研究院，北京１０９００４）
．．
ＴｈｎｔｅｐａｅｄｆｅｅｃｉｈｗａａｓｄｂｅｏｔａａｈｄｆｅｅｃｆｏｔａｔｒｅｅｃｓｏｔｉｅＦｎｌ，ｅ，ｈｈｓｉｒｎｅｗｈｃｓｃｕｅｙｔｐｉｌｔｉｒｎｅｏｐｉｌｎｅｆｒｎｅｗａｂａｎｄｉａｌｈｃｐｆｃｉｙｔｅｏｔａａｈｌｎｔｉｆｒｎｅｗａａｕｅ．ｈｘｅｉｎｅｕｔｓｏｈｔｏｒｌｎｔａｕｅｎｔｏａｈｐｉｌｐｔｅｇｈｄｆｅｅｃｓｍｅｓｒｄＴｅｅｐｒｃｍｅБайду номын сангаасｔｓｌｈｗｓｔａｕｅｇｈｍｅｓｒｍｅｔｍｅｈｄｈｓｒ
摘要：提出使用飞秒激光器的光学频率梳测量绝对距离的方法。将一个飞秒激光器作为绝对距离测量的光源，搭建迈克尔逊干涉结构，利用色散干涉原理进行相应的光谱分析，得到干涉光路的光学路径差引起的相位差，最终
计算出干涉光路的光学路径差。实验结果表明我们的长度测量方法精确度高，分辨力达到纳米量级。最小测量距
第３８卷第８期
２１年８月０１
光电工程
ＯｐｏＥｌｃｒｎｉｔ — ｅｔｏｃＥｎｇｎｅｉｇｉｅｒｎ
Ｖ＿．８ＮＯ８０３．．１Ａｕｕｔ２１ｇｓ，０１
文章编号：１０ — ０Ｘ（０１０ — ０９００３５１２１）８０７ — ５
离达到９ｇｍ，非模糊范围达到５５．７ｍｍ。相对于传统白光色散干涉技术的有限测量范围，最大测量距离可以扩展
到任意长度。
关键词：绝对距离测量；飞秒激光器；光学频率梳；色散干涉中图分类号：Ｔ９１Ｎ４．Ｂ２；Ｔ２８１文献标志码：Ａｄｉ０３６／ｉｎ１０．０Ｘ．０１８０３ｏ：１．９．ｓ．０３５１２１．．１９ｊｓ０
ＸＵｎ，，ＺＨＯＵｅ＿ｕ３ＬＩＤｅｍｉＤＩＹａＷｉｈＵ．ｎｇ，ＮＧｉＬｅ３
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Ａｂｔａｔｈｔｏｆｍｅｓｒｎｂｏｕｅｄｓａｃｔｈｐｉａｅｕｎｙｃｍｂｏｅｏｅｏｄｌｓｒｗａｓｒｃ：Ｔｅｍｅｈｄｏａｕｉｇａｓｌｔｉｔｎｅｗｉｔｅｏｔｌｆｑｅｃｏｆａｆｍｔｓｃｎａｅｓｈｃｒｐｏｏｅ．ｆｍｔｓｃｎａｅｓｕｅｓｔｅｌｈｏｒｅｏｅｆｒｎｂｏｕｅｄｓａｃａ￣ｅｎ．ＭｉｈｌｏｒｐｓｄＡｅｏｅｏｄｌｓｒｗａｓｄａｈｉｔｕｃｆｐｒｏｍｉｇａｓｌｔｉｔｎｅｍｅｓｍｅｔＡｃｅｓｎｇｓｔｐｔｒｅｏｔｒｔｃｕｅｗａｕｌＥｐｏｔｇｔｅｐｉｃｐｅｏｅｄｓｅｓｅｉｔｒｅｅｃ，ｈｐｃｒｍｓｎｌｚｄｙｅｉｅｆｒｍｅｅｒｔｒｓｉ．ｘｌｉｎｈｒｎｉｌｆｈｉｐｒｉｅｆｒｎｅｔｅｓｅｔｕｗａａｙｅｎｓｕｂｔｉｔｖｎａ