电子级氢氟酸制备及配套技术

约１ ８ ４ ． ７ ｋ ｔ ／ ａ ， 其 中国外约 ４ ２ ｋ ｔ ／ ａ ， 中国大陆 １ ２ ５ ｋ ｔ ／ ａ ， 中国 台湾 地 区 １ ７ ． ７ ｋ ｔ ／ ａ 。从 发 展 趋 势来 看 ， 国外 产
能在 萎缩 ， 中国 电子 氢氟 酸产 能增长 较快 。
未 处理 的氟化 氢及 其含 的杂 质 （ 即粗氟 化氢 ） 通 入 水 溶液中， 持续 通 入 至 呈 饱 和 状 态 ， 继续通人 ， 易 溶 于
势企业的竞争力正在不断增强 ， 长期成 长空间巨大 ，
巳成为 化工 行 业 中发 展 速 度 最快 、 最 具 活 力 的行 业
之一。据不完全最新 统计 ， 国内外 高纯氢 氟酸产 能
ｏ ｕ ｎ ｇ ｉ ｆ ｎ ｅ 、 Ｍｉ ｎ ｅ ｒ ｓ ａ 、 墨西 哥 化 学 等 公 司及 台 湾 地 区 的 台塑 、 台硝 、 侨力 、 长 新化 学 等 。其 关 键 技 术 过 去 较 长 时间垄 断在美 国 、 德国、 日本 等 发 达 国家 的跨 国企 业集 团手 中 ， 近 年来 我 国通 过 引 进 、 合 作 开 发 和 自主 研发 有 了较大 的发 展 。随着世 界 半 导体 制 造业 向 中 国大 陆 的逐步转 移 ， 国内 （ 不 包括 台湾 ） 电子级 氢 氟 酸需 求 量 年增 长 约 １ ０ ％， 已有 不 少企 业 开 始 涉足 这
电子级氢氟酸也不多 ， 有Ｍ ｅ ｒ ｃ ｋ— Ｋ ａ ｎ ｔ ｏ 、 Ｓ ｏ ｌ ｖ ａ ｙ 、 Ｈ ｏ ｎ －
ｅ ｙ ｗ ｅ ｌ ｌ 、 Ａ ｖ ａ ｎ ｔ ｏ ｒ Ｐ ｅ ｒ ｆ ｏ ｒ ｍ ａ ｎ ｃ ｅ Ｍ ａ ｔ ｅ ｒ ｉ ａ ｌ ｓ （ 原 名 Ｍａ ｌ ｌ ｉ ｎ ｃ ｋ —
一
产业 ， 如凯圣 、 蓝苏 、 永飞等公 司。随着我 国微 电
子工 业 的高 速 发展 ， 中 国大 陆逐 步 成 为全 球 较 大 的 液 晶显示 器 （ Ｌ Ｃ Ｄ） 、 光伏 电池 产 业基 地 ， 用 于 清洗 和 蚀刻 剂 的 电子 化 学 品 的需 求 越 来 越 大 ， “ 十一五” 期
湖 南有 色金 属
ＨＵＮＡＮ ＮＯ ＮＦ ＥＲ ＲＯＵＳ ＭＥ Ｔ ＡＬ Ｓ
第３ Ｏ卷 第 １期 ２ ０ １ ４年 ２月
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材
料 ・
电子 级氢氟酸制备及配套技术
周 伟 ， 李冬永
（ 湖南有 色湘 乡氟化 学有 限公 司 ， 湖南 湘乡 ４ １ １ ４ ０ ０ ） 摘 要： 介绍 了电子级氢氟酸 的用途和 国内外发展背景 、 电子级氢氟酸各种制备提纯技术及配套 技
间我国电子化学品年均增长率超过 ２ ０ ％， ２ ０ １ ５年保
守估 计市 场销 售总 额将 达 到 ４ ０ ０— ４ ５ ０亿 元 ， 国 内优
泵对产品的二次污染 ， 节省能耗 ， 降低生产成本 Ｉ ２ Ｊ 。 下面介绍电子级高纯氢氟酸的一些生产制备方法。 李典等 ２ ０ １ １ 年提 出“ 氢Hale Waihona Puke 酸制造 方法” ＿ ｊ ｌ 。将
术， 认为加强 电子级氢氟酸先进技术 的开发研究 和应用 ， 促进我国氟化工产业发展 ， 正 当其时 。
关键词 ： 电子级 氢氟酸； 制备技 术 ； 配套技 术 中图分类号 ： Ｔ Ｇ １ １ １ ． １ 文献标识码 ： Ａ 文章编号 ： １ ０ ０ ３— ５ ５ ４ ０ （ ２ ０ １ ４ ） ０ １ — ０ ０ ４ ０— ０ ５
１ 电子级氢氟酸 提纯技术
目 前， 国内外制备 电子级高纯氢氟酸 的常用提
纯技术有精馏 、 蒸馏 、 亚沸蒸馏 、 减压蒸馏 、 气体吸收 等， 这些 提 纯技术 各有 特点 及所 长 ， 生 产 制备 应 根 据
实 际情 况进 行选择 。电子级 氢 氟 酸属 于 精 细氟 化 工 领域 ， 其 提纯 制备 的关键 在 于控 制 所要 求 的碱 金属 、 重 金属 与非 金属 杂质 离子 的含量 和 洁净度 。 电子级 氢氟 酸生 产工艺 ： 对原 料 进行 物 理 、 化 学 预 处理 ， 对原 料 酸 进 行 精 馏 、 蒸馏 、 冷却 、 吸收、 吸 附 等 操作 ， 通过 一级 或 多级 膜 过 滤 去 粒 子 ， 洁净 灌 装 。 原 料来 源可 是无 水 氟 化 氢 （ Ａ Ｈ Ｆ ） 气体或液体 ， 甚 或 粗 氟化 氢气 体 。操 作处 理 多工 序 过程 组 合 或结 合 进 行 。装 置设 计 与 工艺 流程 布 置密 切 相 关 ， 一 般 以垂 直流 向布置 为 主 ， 原料 （ 无 水 氟化 氢 或 氢 氟 酸 ） 在 上 层， 氢 氟酸 提 纯 在 中层 ， 过 滤、 包 装及贮 存在底 层。 这 样原 料 （ Ａ Ｈ Ｆ或 氢 氟 酸 和 高 纯 水 ） 与 中间 产 物 可 以依 靠重力 自上 而下 流动 ， 减 少 泵输 送 ， 同时 可避 免
电子级氢 氟 酸主要 是作 为 清洗 剂 和蚀 刻 剂 用 于 光伏 、 集 成 电路和 玻璃 减薄 等行 业 ， 是 这些 行 业 的关 键 辅助 材料 之一 。其还 可作 分 析试 剂 及 制备 高 纯 含 氟 化学 品 。国外 ２ ０世纪 ６ ０年代 便 开 始 生产 电子 工 业 用试 剂 ， 并 为微 细 加 工 技 术 的发 展 而 不 断 开 发 新 的产 品 。 目前世 界上 能生 产 Ｌ Ｃ Ｄ、 Ｉ Ｃ、 Ｌ Ｅ Ｄ工业 用 的
ｒ ｏ ｄ ｔ Ｂ ａ ｋ ｅ ｒ ） 、 Ａ ｒ ｋ ｅ ｍ ａ 、 Ａ ｓ ｈ ｌ ａ ｎ ｄ 、 Ｒ Ａ Ｓ Ａ（日本 ） 、 Ｓ ｔ ｅ ｌ ｌ ａ 、
Ｋ ａ ｎ ｔ ｏ Ｄ ｏ ｎ ｇ ｗ ｏ ｏ Ｆ ｉ ｎ ｇ ｃ ｈ ｅ ｍ、 Ｄ ｏ ｎ ｇ ｊ ｉ ｎ Ｓ ｅ ｍ ｉ ｃ ｈ ｅ ｍ、 Ｓ ａ ｍ ｙ －