高带宽压电陶瓷驱动电源_王彭

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一种高精度压电陶瓷驱动电源设计

一种高精度压电陶瓷驱动电源设计

• 134•压电陶瓷(PZT)作为原子力显微镜(AFM)控制结构中微驱动定位的关键器件,能够用于快速跟踪测量样品表面的形貌变化,而其驱动电源是决定压电陶瓷微驱动性能的核心部分。

本文采用线性放大式驱动电源原理,设计了一种以AD8572+PA85A为核心的高精度压电陶瓷驱动电源。

主要介绍了驱动电源的工作原理、两级运放的特点和影响运放稳定性的关键因素。

实验结果表明设计的驱动电源线性度高、响应速度快、性能稳定,能有效应用于AFM的微驱动定位系统中。

引言:随着生物医学、微细加工和精密制造工艺等领域的不断发展,纳米级定位技术得到广泛关注,压电陶瓷微位移驱动平台作为理想的定位系统,它在体积、响应速度、分辨率等方面优点突出(李龙江,压电陶瓷驱动电源及其控制系统的研究:哈尔滨工业大学,2012;徐辽,基于PA85A的高精度动态压电陶瓷驱动电源设计:压电与声光,2018)。

而压电陶瓷驱动电源作为微位移驱动平台的核心部分,其线性度、电压分辨率、响应速度和稳定性都决定着AFM的扫描成像能力,所以对驱动电源输出电压的稳定性、分辨率和响应速度等性能提出了更高的要求(刘振明,压电陶瓷驱动器动态驱动电源设计:电源技术,2011)。

目前,国内外的专家学者对压电陶瓷驱动电源的研究多集中在电源的谐波失真、频响范围、输出的功率等方面(王彭,宋克非,高带宽压电陶瓷驱动电源:仪表技术与传感器,2016;钟文斌,一种误差放大式压电陶瓷驱动电源的研制:压电与声光,2014;滕旭东,高精度数字跟踪式压电陶瓷驱动电源设计:电源技术与应用,2013)。

然而面对目前仍存在的驱动电源输入失调电压高、精度不够、非线性失真大、稳定性差等影响压电陶瓷驱动电源性能的关键因素,提出行之有效的解决方案仍然是其在AFM应用中至关重要的技术之一。

1 驱动电源工作原理和技术指标压电陶瓷驱动电源分为电荷控制型和电压控制型两种(赵雅彬,一种压电陶瓷致动器直流可调稳压驱动电源设计:北方工业大学学报,2015;金学健,曹龙轩,冯志华,基于恒流源的改进型压电陶瓷高压驱动电源:压电与声光,2017)。

基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源

基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源

基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源佚名【摘要】根据压电陶瓷微位移器对驱动电源的需求,设计了压电驱动电源系统。

详细介绍了电源系统中的数字电路部分和模拟电路部分,并对驱动电源的精度与稳定性进行了分析与改进。

最后对驱动电源的性能进行了实验验证,实验结果表明:所设计的电源输出电压噪声低于0.43 mV、输出最大非线性误差低于0.024%、分辨率可达1.44 mV,能够满足高分辨率微位移定位系统中静态定位控制的需求。

%According to the requirement of the micro piezoelectric actuator for driving power supply,a piezoelectric actua⁃tor power supply system was designed. In this paper,the digital circuit and analog circuit in the power supply system were de⁃scribed in detail. The accuracy and the stability of the actuator power supply were analyzed and improved. Finally,the perfor⁃mance of the power supply was verified in experiment. The experimental results indicate that the output voltage noise of thede⁃signed power supply is lower than 0.43 mV,the maximum nonlinear output error is less than 0.024%,and the resolution can reach 1.44mV,which can meet the requirement of static positioning control in the high resolution micro⁃displacement system.【期刊名称】《现代电子技术》【年(卷),期】2013(000)014【总页数】5页(P166-170)【关键词】ARM;压电陶瓷;驱动电源;PI控制器【正文语种】中文【中图分类】TN911-34;TP368.1压电陶瓷驱动器(PZT)是微位移平台的核心,其主要原理是利用压电陶瓷的逆压电效应产生形变,从而驱动执行元件发生微位移。

压电陶瓷片如何驱动

压电陶瓷片如何驱动

ATA-2161是一款理想的可放大交直流信号的单通道高压放 大器。大差分输出1600Vp-p(±800V)高压,可以驱动高压型负 载。电压增益数控可调,一键保存常用设置,提供了方便简洁
的操作选择,可与主流的信号发生器配套使用,实现信号的放 大。
电压增益数控0~240倍可调,具体分为粗调(1step)和细调 (0.1 step)两种。结合液晶面板增益的显示,能够快速调整至需 要的电压值。
4
高压放大器在研制过程中采用了高稳定性的过压、过流保护 ,采用的高频开关脉冲宽度调制式高压稳压电源,大大的提高了 高压放大器的稳定性,降低了噪声和纹波。现有的高压放大器其 性能指标达到1600Vpp,电流40mA,PZT驱动器作为高压放大器的 负载,要求高压放大器在大电容负载的情况下,输出电压要高。 频率可以做到DC-150KHz。
2
压电陶瓷PZT的电容充放电的快慢,决定了高压放大器的带宽。需 要提高高压放大器的带宽,显然要减小放大器的输出电阻。要使得驱 动器产生需要的位移量,必须要在PXT的正负极施加高达1000V的电压 ,控制电压的变化频率也高达数百赫兹,这就需要与之相对应的高压 驱动放大器。
3
ATA-2000系列是一款理想的可放大交、直流信号的高压放大器。大 差分输出1600Vp-p (±800V)高压,可以驱动高压型负载。电压增益数控 可调,一键保存常用设置,为您提供了方便简洁的操作选择,同时双 通道高压放大器输出还可同步调节,可与主流的信号发生器配套使用 ,实现信号的放大。
压电陶瓷片如何驱动
试验箱
/
1
压电陶瓷片驱动需要一款驱动电源--高压放大器。比较常见的 是用锆、铅的氧化物配制后烧结制成的钛、压电陶瓷片(pzt),由于人 耳对3khz的音频信号为敏感,所以生产时通常将蜂鸣片的谐振频率设 计在3khz左右。为了改善低频响应,一般采用双膜片结构。

一种高输出电压的压电陶瓷驱动电源的研究

一种高输出电压的压电陶瓷驱动电源的研究

一种高输出电压的压电陶瓷驱动电源的研究作者:张会连胡文霞来源:《科技创新导报》2011年第12期摘要:压电陶瓷驱动电源是压电陶瓷微位移器应用中的关键部件。

PA85A是一种高压、高精度的MOSFET运算放大器。

本文提出了一种基于PA85A的单端供电的新型压电陶瓷驱动电源,介绍了该电源设计原理并对其性能进行了分析和测试。

该电源具有集成度高,响应速度快,驱动力强,稳定性好,输出电压高达(396.8V)的特性,能有效用于光纤光栅传感系统中。

关键词:压电陶瓷单端供电驱动电源中图分类号:T721 文献标识码:A 文章编号:1674-098X(2011)04(c)-0002-01压电陶瓷具有体积小、分辨率高、响应快、推力大等一系列优点,用它制成的压电驱动器广泛应用于微位移输出装置、力发生装置、微型机器人、光学扫描器等领域。

压电陶瓷的使用要有好的相应驱动电源,因此,压电陶瓷的驱动电源技术已成为当前的研究热点[1]。

1 驱动电源组成从原理上讲,主要有电压驱动型和电荷驱动型两种。

其中电压控制型驱动电源主要有基于直流变换器原理的开关式驱动电源和直流放大式电源两种形式,一种是基于直流变换原理开关式驱动电源,这种方法的功率损耗小、效率高、体积小,但高频干扰较大,电源输出纹波较大,频响范围较窄。

另一种是直流放大式驱动电源。

这种电源输出纹波小,频响范围较宽,目前高压运放技术日趋完善。

本文电源采用直流放大式电路。

微处理器通过数模转换器(DAC) 产生波形信号,经运算放大电路和由PA85A组成的功率放大电路实现信号的放大。

驱动电源具体要求为:(1)输出电压0~396.8V连续可调。

(2)频率为0~1kHz。

(3)分辨率(4)根据最高频率和最大电压波动范围计算所需的转换速率S.R=1.9V/μs。

2 驱动电源的设计与实现2.1 PA85A简介PA85A是APEX公司生产的一种高压、大带宽的MOSFET运算放大器,最大输出电流达到200 mA,具有很高的电源电压抑制比。

基于PA85的新型压电陶瓷驱动电源

基于PA85的新型压电陶瓷驱动电源

电荷驱动型压电陶瓷驱动电源能很好的改善压电陶瓷的迟滞和蠕变,所以理想情况下一般采用电荷控制方式。

但电荷驱动法电路比较复杂,实现起来比较困难,而且响应时间比较长,动态特性较差,所以实际中应用该方法的驱动电源不多。

1.3.3压电陶瓷驱动电源的研究现状
随着压电陶瓷驱动器在纳米技术、精密测量、微细加工、微电子、机器人等领域得到广泛应用,近几年世界各国对压电陶瓷驱动电源技术的研究也取得了很大的进展。

1.HPV系列压电陶瓷驱动电源
图卜2是哈尔滨工业大学研制的HVP系列压电陶瓷驱动电源,它具有如下主要特点:
·输出电压高稳定性、高分辨率
·高频率响应和极低的静态纹波
·输出电压可实时监控
·具有模拟、手动控制、SPP口控制三种
控制方式
·液晶汉字显示及薄膜按键输入,提供了良好的
人机界面图1.2HPV驱动电源·具有过流、短路保护等功能
·单极性电源输出电压为0.300V可选
HPV系列压电陶瓷驱动电源的技术指标如下:
电压稳定性:1%o/8hours
·输出电压分辨率:30ppm
一一静态电压纹波:30ppm
2.E.612.CO高速压电陶瓷驱动电源
幽1.3E.612,CO驱动电源
图7-2电源误差曲线
7.3输出电压静态纹波的测量
利用计算机RS.232接口给出OV,100V,200V,300V的电压输出指令,每隔30秒钏一测量输出的电压交流纹波,共测100个点,绘制电压交流纹波曲线,测量结果如图7-3至7-6所示:
隆l7-3ov时输山电压静态纹波。

高带宽压电陶瓷驱动电源

高带宽压电陶瓷驱动电源

高带宽压电陶瓷驱动电源王彭;宋克非【摘要】Piezoelectric actuator is the critical component in ultrasonic guided wave detection .As the piezoelectric actuator de-mands high power and high bandwidth driving power ,a piezoelectric driving power based on high-voltage amplifier MP 108 was de-signed and developed .The signal source was generated by direct digital frequency synthesis technique then amplified and filtered before sent to the high-voltage amplifier .Thermal dissipation of the driving power was analyzed and the maximum thermal resistance from the heat sink to air is 1.1℃/W.The experiment verifies that the driving power can output 100 Vp-p in bandwidth from 10 kHz to 300 kHz when the load is 10 nf,which can satisfy the request of the ultrasonic guided wave piezoelectric actuator .%压电激振器是超声导波无损检测应用中的关键部件,针对激振器对压电驱动电源高带宽和大功率的要求,设计并研制了一种基于高压运放MP108的压电陶瓷驱动电源。

级联式功率放大压电陶瓷驱动电源[发明专利]

级联式功率放大压电陶瓷驱动电源[发明专利]

专利名称:级联式功率放大压电陶瓷驱动电源专利类型:发明专利
发明人:卢倩,邵立,赵博文,王成阳,王鹏举
申请号:CN202210058009.2
申请日:20220119
公开号:CN114614696A
公开日:
20220610
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明公开了一种级联式功率放大压电陶瓷驱动电源,包括稳压电源模块、控制信号发生模块、线性放大电路模块、功率放大模块和负载模块;控制信号发生模块的输入端接输入信号,控制信号发生模块的输出端与线性放大电路模块的同相输入端连接,线性放大电路模块输出电压经过功率放大模块进行功率放大,输出电压驱动负载模块,负载模块的输出端与地连接;稳压电源模块包括正负低压直流电源、正负高压直流电源;线性放大电路模块包括第一级运放和第二级运放;在第二级运放的添加相位补偿和隔离电阻、反馈电容进行稳定性补偿。

本发明是一种高效率、结构简单、大功率、低纹波的驱动电源。

申请人:盐城工学院
地址:224051 江苏省盐城市希望大道中路1号
国籍:CN
代理机构:南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人:柏尚春
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并研制了一种基于高压运放 MP108 的压电陶瓷驱动电源。采用直接数字频率合成技术产生信号源,信号经过前级放大
和滤波后输入到高压运放电路驱动压电陶瓷。分析了大功率驱动电源的散热问题,指出驱动电源散热片到空气的最大热
阻为 1. 1 ℃ / W。实验结果表明,当负载为 10 nf 时,驱动电源在 10 ~ 300 kHz 的频带范围内能够实现 100Vp - p 的放大输出, 基本满足超声导波压电激振器的驱动要求。
2πft)
( 1)
式中: u 为压电陶瓷两端电压; f 为输出信号频率; A 为输出信号
幅值。
收稿日期: 2015 - 06 - 27
根据前述设计要求,当信号频率为 500 kHz,信号半峰值为 50 V 时,根据式( 1) 计算得电压转换速率约为 157 V / μs。
大功率驱动电源还需要考虑电源的驱动能力,即驱动电源 的最大输出电流,根据前述输出电压和负载电容值可得最大输 出电流为 1. 57 A。
10 ~ 300 kHz,电压峰峰值为 100 V。在简化模型中将压电陶瓷
负载等效为 纯 电 容 器 件,考 虑 到 设 计 裕 度,分 析 频 带 上 限 为
500 kHz。
高频高压放大电路中对电压的转换速率提出了较高的要
求,当输入为正弦信号时转换速率的计算如下
SR
=
|
du dt
|
max
=
2πfAcos(
Tj = Ta + PDRT
2016 年rument Technique and Sensor
2016 No. 3
高带宽压电陶瓷驱动电源
王 彭,宋克非
( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033)
摘要: 压电激振器是超声导波无损检测应用中的关键部件,针对激振器对压电驱动电源高带宽和大功率的要求,设计
3. 3 散热分析
对于大功率放大电路,当实际耗散功率超过额定数值时,会造 成功放管的损坏,因此需要分析电路功耗对散热条件的要求[10]。
设计的供电电压为 60 V,输出电压为 50 V,典型负载为 10 nF。
PC
=
v2s 2Z
L

4 π
- cosθ)
( 4)
电路输出级耗散功率的经验公式如式( 4) 所示,当仅考虑
直接数字频率合成技术的原理如图 2 所示,时钟源频率为 固定值 fc 。在时钟源的作用下,控制器会按照函数表的地址顺 序读出 ROM 里的数据,此时输出信号的频率为 fO1 ,如果每隔 一个地址读出一次数据,其输出频率为 fO2 ,且 fO2 将比 fO1 提高 一倍,即 fO2 = 2fO1 ; 其余的频率输出依此类推。通过这种方法 就可以实现直接数字频率合成器的输出频率的调节。
通过以上分析,为 了 满 足 超 声 导 波 无 损 检 测 的 激 励 需 求, 对压电驱动电源的指标要求如下:
( 1) 驱动电压输出范围为 - 50 ~ + 50 V; ( 2) 频率响应范围 10 ~ 300 kHz; ( 3) 电压转换速率 SR≥157 V / μs; ( 4) 最大输出电流 I≥1. 57 A( 负载 C = 10 nF) 。 1. 2 驱动电源系统组成 驱动电源系统主要分为 2 个部分: 信号发生电路和驱动电 路。其组成结构如图 1 所示,单片机作为系统的总控制单元, 控制 DDS 信号发生器产生驱动信号,之后经过前级放大和滤波 电路对信号进行初步放大,同时单片机可以通过数字电位计调 节前级放大电路 的 放 大 倍 数,以 达 到 调 节 输 出 电 压 的 功 能,最 终初步放大的信号再经过驱动电路进行高压放大和功率放大, 作用于压电陶瓷产生振动信号。 2 信号发生电路设计 超声导波的激励需要产生不同频率的信号,该信号的产生 可以通过 3 种方式: 直接模拟频率合成法,直接数字频率合成 法( DDS) ,间接锁相式合成法。直接模拟频率合成法频率分辨 率高、频率切换快,但是电路复杂不易于集成; 锁相式合成法利
图 2 频率合成技术原理
频率合成器的输出频率计算如式( 2) 所示:
f0
=

fc 2n
( 2)
式中: K 为频率控制字; fc 为时钟频率; n 为函数表的地址位数。 设计中采用了专用的数字频率合成芯片 AD9833,输出信号的
频率和相位都可以通过软件编程的方法来改变,不需要外部元件
的配合就能够产生需要的波形。其拥有 28 位宽的频率控制寄存
最终需求的信号不含直流成分,因此需要在输出之前滤除直流
成分,同时需要对 信 号 进 行 初 步 放 大,以 满 足 下 一 级 驱 动 电 路
的输入电压要求。为此设计了压控电压源型二阶高通滤波器
和信号放大电路,同时为了减小 DDS 频率合成计输出的高频噪
声,在放大电路的 反 馈 电 阻 两 端 并 联 了 一 个 电 容 ,构 成 了 一 阶
为了达到单位增益稳定性,需要在功率放大电路外围布置 相位补偿电容,该相位补偿电容的选择和放大器的增益以及工 作模式有直接关系,同时也会影响放大器的电压转换速率。根 据本设计中放大器的增益和工作模式( 非增强模式) ,选择 10 pF 的相位补偿电容( 图 4 中的 C3 ) ,在该条件下放大器的电压 转换速率可以达到 170 V / μs 。在相位补偿电容的选择上还需 要考虑电容的耐压值,以满足高供电电压的要求。通常为了补 偿负载电容所带来的开环极点,需要在反馈电阻两端并联反馈 电容,在本应用中,因 为 负 载 电 容 很 小,开 环 极 点 在 频 率 之 外, 所以不加入反馈电容也能够保持电路的稳定性,电路的相位裕 度为 43. 8°。
22
Instrument Technique and Sensor
Mar. 2016
图 1 驱动电源结构组成
用锁相环技术可 以 产 生 频 带 很 窄 的 信 号,但 是 频 率 转 换 较 慢; 直接数字频率合成法通过控制相位读取速度控制信号输出频 率,结构简单,电路易于集成,但是只能产生几百 MHz 量级的信 号[8]。而超声导波激励只需几百 kHz 量级的信号,因此本设计 中采用 DDS 技术产生输入信号。 2. 1 信号发生电路
图 4 驱动电路
3. 2 电流限制 为了保证功率放大电路的工作安全性,需要对输出电流进
第3 期
王彭等: 高带宽压电陶瓷驱动电源
23
行限制,MP108 的电流限制通过在电流限制线之间连接限流电
阻来实现,这种连接会滤除由于焊盘和焊接引起的寄生电阻和
内部的放 大 失 真。输 出 电 流 的 限 制 近 似 由 公 式 RLIM = 0. 65 / RLIM 决 定,本 电 路 的 限 流 电 阻 为 0. 08 Ω,峰 值 电 流 可 以 达 到 8. 125 A,大于设计需求的 1. 57 A。
关键词: 压电陶瓷; 高压运放; 高带宽; 超声导波
中图分类号: TP384
文献标识码: A
文章编号: 1002 - 1841( 2016) 03 - 0021 - 03
High Bandwidth Amplifiers for Piezoelectric Actuator
WANG Peng,SONG Ke-fei ( Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China)
低通滤波器,其截止频率约为 3 MHz,在前级放大电路和有源
滤波电路中选择了低价高速运算放大器 AD8066,其单位增益
带宽高达 115 MHz,供电电压为正负 ± 12 V,能够有效满足电源
对带宽和输出电压的要求,利用 multism 对放大和滤波电路进 行了仿真[9],其响应曲线如图 3 所示。
压电陶瓷的电容属性并忽略运放的输出电阻时,可得电路输出
级的耗散功率为
PC
=
v2s 2πZL
≈43.
2
W
( 5)
功率放大器热源结到封装的热阻 Rjc 为 1 ℃ / W( 信号频率
小于 60 Hz 时) 和 1. 25 ℃ / W( 信号频率大于 60 Hz 时) ,热源结
到空气的热阻 Rja 为 13 ℃ / W,结温最大值为 150 ℃ ,电路的静 态功耗约为 8 W。
Abstract: Piezoelectric actuator is the critical component in ultrasonic guided wave detection. As the piezoelectric actuator demands high power and high bandwidth driving power,a piezoelectric driving power based on high-voltage amplifier MP108 was designed and developed. The signal source was generated by direct digital frequency synthesis technique then amplified and filtered before sent to the high-voltage amplifier. Thermal dissipation of the driving power was analyzed and the maximum thermal resistance from the heat sink to air is 1. 1 ℃ / W. The experiment verifies that the driving power can output 100 Vp - p in bandwidth from 10 kHz to 300 kHz when the load is 10 nf,which can satisfy the request of the ultrasonic guided wave piezoelectric actuator. Key words: piezoelectric ceramic; high-voltage amplifier; high-bandwidth; ultrasonic guided wave
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