【CN110165548A】采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器及窄线宽激光器【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910339275.0
(22)申请日 2019.04.25
(71)申请人 浙江大学
地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘
路866号
(72)发明人 黄莹　储涛　
(74)专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公
司 33200
代理人 陈升华
(51)Int.Cl.
H01S 5/10(2006.01)
H01S 5/0683(2006.01)
(54)发明名称采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器及窄线宽激光器(57)摘要本发明公开了一种采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器及窄线宽激光器，波长锁定器，包括：SOI芯片；设置在所述SOI芯片上并将输入光波分成两束光线的分束器；接收所述分束器分出的第一束光线的第一光电二极管，所述第一光电二极管输出参考光信号；对所述分束器分出的第二束光线进行滤波的微环谐振腔滤波器；接收所述微环谐振腔滤波器输出的光信号的第二光电二极管，经所述第二光电二极管输出滤波信号。

微环谐振腔滤波器的信道间隔(FSR )设计为25GHz，故特适用于窄线宽激光器。

本发明集成度很高、工艺复杂度和成本较低，能够提高激光器
的波长稳定性。

权利要求书1页 说明书4页 附图3页CN 110165548 A 2019.08.23
C N 110165548
A
权　利　要　求　书1/1页CN 110165548 A
1.一种采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，包括：
SOI芯片；
设置在所述SOI芯片上并将输入光波分成两束光线的分束器；
接收所述分束器分出的第一束光线的第一光电二极管，所述第一光电二极管输出参考光信号；
对所述分束器分出的第二束光线进行滤波的微环谐振腔滤波器；
接收所述微环谐振腔滤波器输出的光信号的第二光电二极管，经所述第二光电二极管输出滤波信号。

2.根据权利要求1所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，所述的SOI芯片包括硅衬底和设置在所述硅衬底上的二氧化硅埋氧层。

3.根据权利要求1所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，所述的分束器为Y型波导分束器。

4.根据权利要求1所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，所述的分束器的第一束光线出光端与第一光电二极管通过第一条形波导连接。

5.根据权利要求4所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，所述的第一条形波导采用氮化硅材料，该第一条形波导的宽度为900nm，高度为400nm。

6.根据权利要求1所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，所述的微环谐振腔滤波器包括：
与所述分束器的第二束光线出光端连接的输入条形波导；
与所述输入条形波导连接的环形谐振腔；
与所述环形谐振腔连接的输出条形波导；
所述的输出条形波导与所述第二光电二极管连接。

7.根据权利要求6所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，所述的输入条形波导和输出条形波导平行设置，所述的环形谐振腔设置在所述输入条形波导和输出条形波导之间。

8.根据权利要求7所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，所述的环形谐振腔采用氮化硅微环，所述的氮化硅微环的内半径为955951nm，所述的氮化硅微环的宽度为900nm，高度为400nm。

9.根据权利要求6所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器，其特征在于，所述的输入条形波导采用氮化硅材料，该输入条形波导的宽度为900nm，高度为400nm；
所述的输出条形波导采用氮化硅材料，该输出条形波导的宽度为900nm，高度为400nm。

10.一种窄线宽激光器，其特征在于，采用权利要求1～9任一项所述的采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器。

2。