NW102系列MEMS压力传感器芯片

最大值 10
5.5 +20 130 130 130 150 ±0.5 +2200 -1700 60 ±0.2 ±0.2 ±0.2 3X 5X 125 150
单位 V(DC)
KPa mm2 KΩ mV mV mV mV mV %FS ppm/℃ ppm/℃ μV/℃ %FS %FS %FS
--℃ ℃
※注：
脚位定义及电路原理
脚位编号
脚位定义
1
Vout-: 输出信号负极
2
Gnd1: 接地端
3
Gnd2: 接地端
4
Vout+: 输出信号正极
5
Vs+: 供电电压输入端
6
Sub（Vs+）: 衬底
当压力作用在传感器正面（金属引线一侧）时，按上述脚位定义
输出信号为正值。
※注：NW102 为扩散硅压阻式压力传感器，硅衬底（Sub）与高电位 Vs+相连，因此使用过程中必须保证供
数1
100KPa 200KPa 700KPa 1600KPa
Nano MEMS Inc.
最小值 --
4.5 -20 70 70 70 90
+1600 -2300 -60
------40 -40
典型值 5
100、200、700、1600 1.6 x 1.6 5 0 100 100 100 120 ±0.2 +1900 -2000 ---------
电电压输入端（Vs+）电位高于接地端（Gnd1 与 Gnd2）电位。
NW102 系列
©2008-2012 无锡市纳微电子有限公司 版权所有
性能参数
参 工作电压 工作压力范围 芯片尺寸 2 电桥电阻 零点输出
满量程输出
非线性 3 电阻温度系数 4 灵敏度温度系数 4 零点输出温度系数 4 压力迟滞 5 重复性 6 温度迟滞 7 过载压力 破坏压力 工作温度 存储温度
②压力类型
X
绝压/差压
A
绝压
D
差压
③工作压力范围
wenku.baidu.com
0005
5KPa
0040
40KPa
0100
100KPa
0150
150KPa
0200
200KPa
0300
300KPa
0400
400KPa
0700
700KPa
1600
1600KPa
无锡市纳微电子有限公司保留对本文档做出更改的权利，如任一产品信息有变动恕不另行通知。产品 参数在不同应用条件下会有所不同，且实际参数可能随着时间变化。本文档中的产品信息经仔细验证认为 是准确的，但无锡市纳微电子有限公司对出现的产品信息不准确不承担任何责任。
NW102 系列
©2008-2012 无锡市纳微电子有限公司 版权所有
订购信息
Nano MEMS Inc.
NW1 02 – A 0700
3 2 1
①芯片尺寸
01
1.0 x 1.0 mm2
02
1.6 x 1.6 mm2
03
1.8 x 1.8 mm2
04
2.0 x 2.0 mm2
05
3.0 x 3.0 mm2
1、 如无特殊声明，所有数据均在供电电压 Vs+=5VDC，室温环境下测试完成； 2、 进行切片工序之前尺寸； 3、 最小二乘法拟合直线； 4、 0~50℃范围内测试数据； 5、 压力传感器芯片进行正行程（工作压力最小值到最大值）及反行程（工作压力最大值到最小值）压力循环，工作压力范
围内任意压力下的输出值在正行程时与反行程时的偏差； 6、 同 5 中的测试方法，进行 3 次正反行程压力循环； 7、 零点输出在传感器进行一次-40~+125℃温度循环前后的偏差值。
NW102 系列
Nano MEMS Inc.
压力传感器芯片
产品特点
应用领域
芯片尺寸：1.6 x 1.6 mm2 工作温度：-40℃~125℃ 量 程：100KPa、200KPa、700KPa、1600KPa
工业/工程控制 差压传感器系统 绝压传感器系统
产品简介
NW102 系列产品是由无锡市纳微电子有限公司提供的扩散硅压阻式压力传感器。本系列产品具有与被 检测压力成良好线性关系的毫伏级输出信号及优异的重复性与稳定性，适用于陶瓷、PCB、TO 管等多种封 装形式。NW102 系列产品采用体微机械加工方式，工艺成熟稳定，为客户提供了极具性价比优势的选择。
联系方式
无锡市纳微电子有限公司 江苏省无锡市新区菱湖大道 97 号立业楼 E105 室 邮编：214135
NW102 系列
电 话：+86-510-85225558 传 真：+86-510-85223711 电子邮箱：sales@n-mems.com 网 址：www.n-mems.com
©2008-2012 无锡市纳微电子有限公司 版权所有