940 nm窄带低通滤光片性能指标管控
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客户指标940 nm窄带低通滤光片性能指标管控
940nm窄带内部管控指标
1)原材料:HWB830黑玻璃,
直径8.0mm公差要求-0.1mm,厚度:3.5mm公差要求+/-0.1mm
表面质量:双面抛光,抛光面光洁度达到60-40以上最好是40-20标准,无肉眼可视砂眼,划伤,印渍,侧面无抛光印渍,崩边小于0.1mm,倒边小于0.2mm
光谱质量:300nm~800nm T<0.1%, 850nm T>70%, 880nm~1100nm T>85%,重点是中心波长管控T=50%处要求在827nm~836nm之间。
2)浮法玻璃:0.55mm,最好采用白板0.5mm的玻璃,玻璃公差在+/-0.05mm之间
3)S1面940窄带镀膜管控标准:镀膜后冷却1小时测量,中心波长在931nm~938nm之间,峰值透过大于83~92%之间,且在中心波长+/-5nm附近(即10nm)左边与右边波长所对应的透过率的波纹误差值应在6%以内(这样可确保胶合后产品光谱不变形),
假如中心波长为936nm,左边930nm处T=80%,右边942nm 处T=90%,当黑玻璃与膜面胶合后,930nmT=66%左右,942nmT=85%左右,这样940nm处的透过率即有可能跑到75%以下,只要波长有一点变化就会不合格,透过率越高衰减比率越小。
(产生这种现象主要是原因是:镀膜膜系设计时入射介质是玻璃折射率为1.518,出射介质是空气ns=1.0,当膜面与黑玻璃胶合后,胶的折射率约为1.38~1.51之间,即入射与出射介质都将成为Ns=1.51左右。
其结构下的光谱曲线就完全不一样。
因此要求镀膜做这款产品时的膜系结构每次调整幅度不能太大,若变化太大也会影响透过比率的变化。
品保在遇到胶合产品,特别是多片胶合产品过程要记住,但金属膜如镀铬的衰减片是影响不大。
胶合前也可让镀膜人员先进行模拟该膜系的等效折射率,以确认将胶合产品的透过率)
4)若发现镀膜做出来的产品透过率很平,但透过率都只有在80%-85,这时需要考虑玻璃面与玻璃面胶合。
胶合后会降低4.2%个点的透过率。
由于这款产品胶合后透过率要求比较高,结合镀膜情况,半带宽FWHM可以放宽到23nm最宽不得超过25nm(这是胶合后的成品指标)
5)半成品投料指标:半带宽在20-25nm,中心波长在936nm~944nm且中心波长+/-5nm内透过率要在T=85~T=95%之间,并且940nm处透过要大于84%.
6)成品胶合过程不能有气泡和残留胶存在。
7)成品胶合后产品的检测标准:
中心波长:936nm~944nm之间
透过率:75%~85%
半带宽20nm~23nm之间
截止区:
350-900nm T<0.1%,
901-920nm Tave<1%,
960nm~970nm Tave<1%,
980nm~1100nm T<0.5%。