多晶铸锭炉技术参数

附件1：JZ-460/660多晶铸锭炉技术参数

一、JZ-460/660型多晶铸锭炉介绍

JZ-460/660型多晶铸锭炉能生产520KG/660KG-800KG优质的多晶硅锭，本设备的生产量很大，能在60个小时的时间内生产出合格的硅锭。设备操作简单，直观的界面，给操作人员节省很多时间来处理设备的运行情况，从而极大的提高了生产效率，节约了成本。JZ-460/660型多晶铸锭炉使用高纯度的内涂氮化硅的石英坩埚，运行过程中，通过隔热层的提升，在热场内产生温度梯度，从而由下往上定向长晶，在整个长晶过程中只有隔热层一个部件在运动，大大减少了故障的发生，从而提高了炉子的稳定性能。

整个工艺过程分为装料，抽真空，检漏，加热，熔化，长晶，退火，冷却。装料是在喷有氮化硅涂层的石英坩埚内，在保证不破坏涂层的条件下，进行装料。装完料后开始抽真空，当压力降到0.008mbar时即可检漏，如果设备检漏通过，此时我们即可开始自动运行设备，按照配方工艺步骤运行。在晶体生长过程中，一般自坩埚底部开始降温，当硅熔体温度低于熔点时，在接近坩埚底部处首先凝固，形成许多细小的核心，然后横向生长，当核心相互接触时，再逐渐向上生长，长大，形成柱状晶，柱状方向与晶体方向平行，直至所有的硅熔体都结晶为止，这样制备出来的多晶硅的晶粒大小，晶界结构，缺陷类型都很相似。对于重量为520kg的铸造多晶硅而言，硅锭尺寸一般为840*840*316mm。目前JZ-460/660炉型已被著名硅片制造厂家批量采用，稳定生产出高质量的硅锭。

二、JZ-460/660型多晶铸锭炉使用需要的环境条件(户内)

a)环境温度：20±5℃

b)环境湿度：≤ 65%（不结露）

c)地质震动要求：外界震源：当大于10HZ时，振幅小于0～0.003mm

三、我公司JZ-460/660多晶铸锭炉技术性能参数表

序号项目参数备注

1 电源电压380VAC

2 电源频率50HZ

3 电源相数3相

4 电源功率200KW 真空机组电源功率11.5KW，电控系统电源10KW

5 坩埚尺寸520～550Kg 870×870×480mm 推荐660～800Kg 1040×1040×480mm 推荐

6 铸锭尺寸

520Kg 840×840×316mm

660Kg 1000×1000×283mm

7 炉内真空度抽空极限真空度1Pa以下

长晶等阶段工作压力600mbar

允许泄漏量≤2Pa/5min

测量范围0.0133～1.33×Pa

8 炉内温度与

测量

最高极限温度1575℃

测量最高温度1800℃

R型热电偶重复精度：±0.5℃

红外测温仪重复精度：±1℃

9 内/外部尺

寸

炉体内直径￠2100mm

炉体内高度2625mm

下腔室升降行程950mm

隔热钢笼升降行程380mm

主机（长×宽×高）3230×3200×4850mm

平台（含单边梯子）

（长×宽×高）

5160×4730×4160mm

10 重量主机5500kg 平台3350kg

11 冷却水入口压力最大0.45MPa

四、供货清单

五、变压器技术规范

1.输入

额定电压：变压器每相带3个抽头3AC380V， 3AC400V，3AC420V 额定频率：50/60HZ

电压波动范围：342V~418V

2.输出

额定容量：200KW

额定电压：3AC25V

3.其他

加热控制方式：定周期调功方式

调压方式：变压器一次侧调压

变压器结构：△/Y

控制信号：4~20mA

功率因数：0.9

六、设备布置图及土建资料

七、多晶铸锭炉安装条件：

（一）、供土建设计所有资料

1.厂方要求安装起吊高度：≥6500mm 。

2.厂房清洁度要求：密闭净化厂房（参考30-100万级根据当地风沙气候定），杜

绝可腐蚀性气体。

3.安装地基：应放置在专用混凝土基础上，混凝土厚度≥250mm，承重能力≥10

吨/㎡。

4.室内环境条件须恒温、恒湿，室温：20±5℃，相对湿度：≤65%

5.厂房应尽量远离或避开振动源、外界振源：当大于10Hz时振幅值小于

0-0.003mm。

（二）、冷却用水的要求：用水量及压力流量

1、冷却水

入口压力最大：0.45MPa

入、出口压力差：0.25MPa

入口水温：≤28℃（最好24+－1℃）

流量：160-180L/min

2、备用水（紧急情况）：流量＞160L/min，维持时间≥10h，

备注：停水时立即换至备用水。

（三）、铸锭炉用各种气体、压力及用量

1、氩气压力及用量

压力：0.3MPa以上

流量：能提供0-200L/min的流量

消耗量：70-75m³左右/炉

2、压缩空气

压力：0.5MPa-0.7MPa

流量：100L/min

3、氦气（可选项）

压力：0.3MPa以上

用量：6-7m³/硅锭

（四）、铸锭炉各单元用电明细

1、真空机组电源

电压：380V

频率：50Hz

功率：11.5kw

相数：3相

2、电控系统电源

电压：380V

频率：50Hz

功率：10kw

相数：3相

3、加热系统电源

电压：380V

频率：50Hz

功率：200kw

相数：3相

（五）、铸锭炉水气管路接口口径

1、配气管路接口：泄压安全阀接管口径Φ150mm

氩气接管口径 NW-16法兰

氦气接管口径 NW-16法兰 2、冷却水接口：冷却水入、出口口径Rc2″（六）、铸锭炉真空机组参数

1、真空机组

抽气速率：300L/s

主管路进气口径：Φ150mm

出气口口径：Φ76mm

辅管路进气口径：Φ16mm