一种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法

相关主题

1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅｍｉｃｒｏａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｅｌｅｃｔｉｃｒａｌｐａｒａｍｅｔｅｒｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎａｎｄｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｐｒｏｄｕｃｔｍａｎｕｆａｃｔｕｉｒｎｇ
ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅｒｅａｄｉｎｇｃｉｒｃｕｉｔ，ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｏｆｔｈｅｏｕｔｐｕｔｆｕｎｃｔｉｏｎ，ａｓｌｏｎｇａｓＣｌ，Ｃ，Ｃ，ｔｈｒｅｅ
３个电容值，通过（１，０，－１ｇ）三点即能确定标度因数（ｓＦ）和偏置电压，这样就实现了电容式微加速度计的标度因数自动标定。实验结果表明：通过多次自动定标，传感器标度因数的相对误差为０．７９％。关键词：电容式微加速度计；标度因数；自动标定
耿赛柳，徐大诚，郭述文
（苏州大学微纳传感器研究中心，江苏苏州２１５１００）
摘
要：电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中，通过对标度因数的定标过程能确保
传感器输出的线性度。采用ＭＳ３１１０微小电容读取电路，根据其输出函数的要求，只要确定ＣＣ，Ｃ，
ａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｂｉａｓｖｏｌｔａｇｅａｎｄｓｃａｌｅｆａｃｔｏｒ
ＧＥＮＧＳａｉ பைடு நூலகம் ｌｉｕ，ＸＵＤａ — ｃｈｅｎｇ，ＧＵＯＳｈｕ — ｗｅｎ
（Ｍｉｃｒｏ－ＮａｎｏＳｅｎｓｏｒＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒ，ＳｏｏｃｈｏｗＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｕｚｈｏｕ２１５１００，Ｃｈｉｎａ）
ｖｏｌｔａｇｅ，ＳＯｔｈａｔａｕｔｏｍａｔｉｃｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｏｆｓｃａｌｅｆａｃｔｏｒｏｆｃａｐａｃｉｔｉｖｅｍｉｃｒｏａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｉｓｒｅｌｉａｚｅｄ．Ｅｘｐｅｉｍｅｒｎｔｌａｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｒｏｕｇｈｍｕｌｔｉｐｌｅａｕｔｏｍａｔｉｃｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ．ｒｅｌａｔｉｖｅｅｉＴ＇ｏｒｏｆｓｅｎｓｏｒｓｃａｌｅｆａｃｔｏｒｉｓ０．７９％．
ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅｖｌａｕｅｉｓｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｔｈｒｏｕｇｈｔｈｒｅｅｐｏｉｎｔｓ（１，０，一１ｇ）ｃａｎｄｅｔｅｒｍｉｎｅｓｃａｌｅｆａｃｔｏｒ（ＳＦ）ａｎｄｂｉａｓ
６２
传感器与微系统（ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）
２０１３年第３２卷第７期
一
种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法
ｐｒｏｃｅｓｓ，ｔｈｒｏｕｇｈｃｌｉａｂｒａｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓｏｆｓｃｌｅａｆａｃｔｏｒｃａｎｅｎｓｕｒｅｔｈｅｌｉｎｅａｒｉｔｙｏｆｓｅｎｓｏｒｏｕｔｐｕｔ．ＵｓｉｎｇＭＳ３１１０ｔｉｎｙ
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｃａｐａｃｉｔｉｖｅｍｉｃｒｏａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒ；ＳＣｌｅａｆａｃｔｏｒ；ａｕｔｏｍａｔｉｃｃｌｉａｂｒａｔｉｏｎ
０引
言
电容式微加速度传感器一般采用差分电容输出，零偏电压取决于差分电容的对称性，而ｓＦ则与电容的变化量灵
敏度有关。由于微细加工工艺的误差不可避免地造成差分电容的非对称性误差和灵敏度误差，这些误差需要通过外
中图分类号：ＴＰ２１２．１２文献标识码：Ａ文章编号：１０００－９７８７（２０１３）０７－００６２－０２
Ａｎａｕｔｏｍａｔｉｃｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆｃａｐａｃｉｔｉｖｅｍｉｃｒｏ