浅谈净化空调系统室内压差控制

浅谈净化空调系统室内压差控制

摘要：

压差控制在净化空调系统中是一个非常重要的环节，洁净厂房必须保持一定的正压使外界未经净化的空气不会进人净化区域，保证洁净级别；并且通过对各净化区域的不同的压差控制，达到净化分区的作用。只有通过对净化区域的压差进行控制，保证合理的气流组织，才能达到净化和工艺的要求，因此对于净化空调系统来说，压差控制尤为重要。

关键词：

净化空调压差控制

引言：

压差控制无论是在净化电子厂房或是药企业净化空调系统中都是一个关键的环节。只有保证合理的气流组织和对压差的有效控制，才能达到设计洁净度要求和工艺要求。

在此我谈谈在南京中电熊猫项目中的些许体会。南京中电熊猫项目是高世代液晶面板专业生产厂房，我司在成功中标三标段至今已经全部完成了合同内容，现进入系统运行监测调试阶段。此项目净化级别最高达到10级，而且10级净化区域面积大，这给压差控制提出了非常大的挑战，特别是要满足生产线的各个不同净化级别的要求就必须将不同净化级别房间的压力差调整到合理的范围内。

一、压差控制的重要性实例：

下图为我司施工的南京熊猫项目一个化学清洗室：

图1-1

从施工图纸来看这个房间整体与周围封闭，由于在化学室内有液晶面板的清洗槽用来清洗面板，而清洗的溶剂为有机溶剂，挥发性较强，虽然房间四周密封，但是经测试在化学清洗室周围的TOC（有机浓度）值高于生产所允许的最低值，这将无疑严重影响机板的合格率。经我方与技术支持方夏普有关人员分析及现场勘查，发现有两方面导致了周围区间TOC值的升高：一是房间的密闭性，二是房间的压力高于周边压力。以上两点明确了解决问题的方向。首先安排检查房间的密闭性，发现该区域的高架地板下方没有完全按照图纸要求进行封闭，于是立即安排人员对此房间高架地板下方未完全密闭的缺失进行整改，如下图所示：

图1-2

在解决了密闭性能后压力差却成了主要矛盾，此房间FFU满布，当密封性很好时其室内压力经测试大于周边压力，由于有人员进出影响，有机物从门缝隙随

着人员的流动扩散到外界区域，促使外界区域TOC值高居不下，经与夏普进一步深入了解，此化学室的两个房间除了压力要小于室外压力外，房间内的两个房间之间也要有压力差，因为有清洗槽的房间是有机浓度产生的源头，且浓度最高，只有把源头控制住了，才能最大限度的保证有机物不会扩散到外界，这就要求P a

图1-3

症结在于如何使是压力梯度压随房间由内向外依次增加，P

c

区洁净度及温湿度都

已控制在设计要求之内，不能再调节，只能在P

a 和P

b

区找解决途径。维持化学

室存在压力的一项是补充的OA（新风），调节新风的手动阀，使送入房间B的

新风减少以满足P

b

c

,这一项容易满足，但是A房间没有新风补充，要满足P

A

B

，

只能从A房间的排气量上考虑，使A房间排气阀门开度达到最大，考虑到A房间无新风补充，在A与B之间的隔墙上增加余压阀，通过余压阀从B房间补充风量以满足新风的需求。

经过上述改善后，基本达到了要求。由此可见压差的控制对生产工艺的影响是非常重要的。

二、净化空调系统压差调试中的常见问题和改进建议：

压差控制在设计、施工和调试各个阶段中都尤为重要，对于净化空调系统的设计和施工不少书籍和文献作了专门的介绍,但对于净化空调系统压差的调试,以及调试中常常碰到哪些实际问题,资料相对贫乏。下面就南京中电熊猫净化空调调试过程中,发现如下几个需要注意和探讨的问题。

1. 室回风口变为送风口的问题

按照工艺要求,相邻洁净室之间都要保证有一定的静压差,一方面是在门窗紧闭的情况下防止洁净程度低的洁净室内的空气由缝隙渗入到洁净程度高的洁净室内;另一方面在门开启时,保证有足够的气流按正方向流动,以尽量减少由于开门动作和人的进入的瞬时带来的逆向气流量,降低污染。然而在实际中由于设计或其他方面的原因,为了保证“相对重要”房间的较大静压差,会出现“较不重要”洁净室回风口变为送风口的现象,这在进行净化调试过程中是比较常见。现分析如下:

●维持房间压差的设计回风量难以确定

净化空调设计中,设计人员比较偏重于洁净室送风量的设计,对于回风量的设计则通常采用概算,即回风量少于送风量就可保证一定的压差。但由于相邻房间的压差受现场条件的影响较大,其中主要是房间门缝隙的大小。如果门的密封性能好,较小的送回风风量的差值就可保证房间所需要的压差相反,如果门的密封性能比较差,为了保证设计时的洁净室的正压差就需要有较大送风量与回风量的差值。因此现场调试中就出现了即使在保证洁净室房间设计送风量和回风量的情况下,相邻房间的压差也会倒灌的现象。基于这种状况,实际调试时,都是先给洁净室按设计送风量进行风量分配,对于回风量则根据现场保证压差的要求进行适当的调整。设计时是按照理想状态进行的,而对于实际洁净室,影响因素有时甚至是无法控制预测的。

●回风管路设计不尽合理

尽管洁净室的回风量与设计值偏差较大,但如果回风管路设计得好也还是能较好地进行洁净室压差的调试,避免问题的发生的。相反,如果回风管路设计不合理,并联支管阻力偏差太大,再加上选用的空调机组的余压明显不足,那么为了保证某一回风管支路上所有房间对于室外的相对正压差,从而关小这一支路上总回风阀时,往往会造成同一支路上其它房间的回风口出现逆向流动,即回风口变为送风口。

因此,我认为同一个系统中绝对压力要求较大的洁净室与要求较小的准洁净区的回风管路在现场许可的条件下尽量不要设置在同一支管上,从而可以有效地避免回风口变为送风口的问题。当然这种现象的出现与所选择的空调机组的余压有很大的关系,设计中应对此给予重视。

2.缓冲间问题