无尘车间相关知识及进出流程

无尘车间相关知识

如何进入无尘洁净室？

1、任何进入无尘洁净室的人，必须先进入无尘更衣室，穿上无尘帽、无尘口罩、无尘衣、静电防尘手

套、无尘裤、无尘靴（如图①所示）。经过这套外形很酷”的防尘装备可将人们身上已有的灰尘隔离在无

尘洁净室之外，但这才是第一步。

2、接着就要进入风淋室。所谓风淋室是指一条“吹风的长廊”，不过在这条长廊中吹出来的强风是没有任何静电存在的离子风。这种离子风所具有的中和能力可以将人身上的正负电荷中和，而且依靠静电黏附在毛发、衣服上的灰尘也会自动脱落并粘在地板上的蓝色洗尘垫上（如图②所示）。

3、走过风淋室后，就进入无尘洁净室了。如果无尘洁净室生产的产品要防静电，则还要经过“静电桥”

彻底地消除身上的静电。若进入百级洁净室还重复2、 3 步骤动作。

什么是无尘概念？按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100% 没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

如表 1 所示，每立方米将小于0.5 微米粒径的微尘数量控制在3500 个以下，就达到了国际无尘标准的 A 级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于 A 级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000 个以内，这也就是业内俗称的1K 级别。表1

A级B级C级

粒径 <0.5<0.5<0.5

个数 <3500 <10000 <18000

洁净室的动线规划

所谓［动线］，是指人员、原料之入室路线，与人员与成品的出室路线。规划时，要检讨分析人（车）路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染（Cross Contamination）。

要点：

1．作业者、材料、化学药品等动线勿集中。

2．制造装置之出入，需不对作业产生大影响。

3．超洁净室四周，宜设缓冲区（即较差洁净区）。

洁净室的规划一般性的规划重点

洁净室的整厂规划（Turn Key Projects）（如表3-1），因涉及范围极广，需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划，尽管不少洁净室规划，多需要就于既有的建筑物，然而，为避免失误应尽可能事先确认下列事项：

I. 洁净度等级。2. 室压之平衡措施。

3. 温湿度要求。

4. 机器设备之必要性。

5. 确定生产流程。

6. 局部排气之必要性。

7. 日后扩充弹性。8. 足够维护保养空间。

9. 空调送风方式。10. 员工休息区之安排。

II. 设施与动力之配置。12. 室内净高与楼板载重。

13. 设备空间与管道间。14. 门窗宜少，气密性要佳。

15. 静电、振动及噪音。16. 生产线与活动线少交叉。

17. 公害、污染与防灾。18. 安装及运转成本之衡量。洁净室人员卫生与个人职责

引言洁净室一有人员进入，其洁净室就将改变。人的外层皮肤不断地向周围环境释放粒子。之所以发生这一情况，是由于外皮细胞连续不断地被其下的新细胞所替换。服装与首饰等的磨擦，会增加外皮释放的粒子数量。由于人员在工作时，会有更多的活动，所以释放的粒子数量也相应增加。

人是污染发生器

表27 说明人在进行各种活动时释放的粒子数量。由于不可能将人完全密封在微过滤器之中，也不可能给人塑造一个完整的空气动力学的形状，所以人总是对周围的环境产生影响。这还要看人的工作是在万级亦或是 1 级洁净室进行的。对于非常关键的工艺步骤，曾尝试用自动化装置或机器人取代人员。尽管自动化装置或机器人可以减少向环境释放的粒子，但并不能彻底清除粒子。虽然良好的建筑物和良好的送风系统，会使各种生产工艺有更适宜的环境，从而降低了污染。然而最重要的是，污染控制和洁净室技术是以高度自觉、高度熟练的人员作为基础的，而这些 2 人员是穿着洁净服按照规定的工序工作的。

表27 人体粒子释放数量与活动的关系

活动内容每分钟产生的大于等于0.5 微米粒子数量坐姿、站立不动100000

坐姿，头臂有动作500000 坐姿，臂、腿、头有活动1000000

起立2500000

慢走5000000 正常行走7500000 以每秒 2.5 米速度行走10000000 工作时15000000-30000000

表28 污染源及其对环境的影响污染来源粒子粒径（微米）磨擦带油漆的表面90 折纸65

磨擦环氧树脂处理过的表面40 用圆珠笔在普通纸上书写20 磨擦皮肤4

活动内容（正常呼吸条件下）粒子粒径（微米）

刷衣服 1.5-3 跺脚（不带鞋套） 10-50 跺脚（带鞋套） 1.5-3 从口袋中掏手绢3-10 正常呼吸 1

吸烟者的呼吸（吸烟20 分钟之后） 2-5

打喷嚏5-20 磨擦手或脸1-2 4-5 人一起走动 1.5-3 正常行走 1.2-3 静坐1-1.2 带微过滤器的洁净室区0.01

表28 说明了各种污染源，并说明这些污染源是如何提高周围环境的粒子程度的。

在污染控制领域，化妆品常常会造成问题。所以，洁净室一般不允许使用化妆品。表29 说明使用各种化妆品做全面化妆时会产生的粒子数量。

吸烟受控洁净区及洁净室都是禁止吸烟的。即使停止吸烟后，粒子仍会存留在气管和肺中，并不停地从体内向周围空气中散发。这实际上也就意味着吸烟者是一个强大的粒子产生器。有些公司规定，返回洁净区工作前的20 分钟内不得吸烟。而有的公司则没有时间上的规定，但禁止在洁净室吸烟。

美国有些公司认定，吸烟者吸烟后喝一杯水即可降低向洁净室区域呼出的粒子数量。这听上去有些奇怪。因为根据医疗报告，吸烟者在吸完最后一根烟后，仍会连续产生12 小时的粒子。

药品生产质量管理规范对人员的要求药品生产质量管理规范中，含有关于人员数量和人员卫生方面的规范及要求。生产车间中一次只能允许数量有限的人员在场。这在无菌生产中特别重要。工艺控制和肉眼检查应尽可能在洁净室外进行。建筑工人、服务人员等那些不具备洁净室规则的专业知识又不直接从事洁净室工艺的外部人员，在进入洁净室前，应向其简要而全面地说明洁净室的注意事项。如有参观者来访，一般应由一名熟悉洁净室卫生规定的员工陪