正负1g加速度计校正系统的研制
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室(2)
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室2021年XX基金课题指南超精密加工技术重点实验室管理办公室XX二〇一二年十一月目录中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室2021年XX基金课题指南超精密加工技术重点实验室(以下简称“实验室”）隶属中国工程物理研究院(以下简称“中物院"），是中物院超精密加工科技方向基础性、创新性研究的责任主体.实验室成员单位为电子工程研究所、机械制造工艺研究所、激光聚变研究中心，挂靠单位为机械制造工艺研究所，主要从事超精密加工机理、工艺、装备与检测等基础研究工作。
为进一步推动XX、合作与交流，实验室面向全国超精密加工技术领域的研究与工程技术人员设立XX基金,支持国内优势单位与院内单位共同组建联合研究团队开展相关领域的基础、前沿性研究工作。
创立本基金的目的在于，引导和调动全国高等院校、科研机构的科技人员积极参与超精密加工技术领域的基础性研究，发现新现象、新规律，拓展新方向,建立高水平学术交流与合作渠道，培养超精密加工领域科技人才。
XX基金课题分为XX基金重点课题及XX基金面上课题两类。
一、2021年XX基金重点课题指南课题1：紧凑型射频波导传输线研究科学意义和需求背景:移相器是相控阵雷达和卫星通讯系统的关键部件,在电扫描相控阵雷达天线系统中有广泛应用,传统类型移相器(如铁氧体或二极管型)，其体积相对较大、工作频带窄、损耗大、不易集成、成本高等，这些因素限制了这类移相器的进一步应用。
移相器的出现开辟了移相器技术研究的新途径,移相器具有频带宽、损耗小、成本低、超小型化、易于与、电路集成等特点,对现代雷达和通信系统的具有重要的意义。
移相器一般由开关、传输线、馈电单园等基本单位构成.开关是移相器的切换功能单园,而共面波导传输线则是为了让移相器实现高集成的低损连接,在现代单片微波集成电路中应用广泛。
对于射频器件，除了性能上的要求，对于它的小型化也提出了要求,作为射频器件的基本组成部分的传输线也要适应这个趋势。
测控技术及仪器类毕业论文——加速度计校正系统的研制
图⑴应变式加速度传感器
1惯性质量块2等强度梁3腔体图⑵电容式加速度传感器
4限位块5应变片6壳体
应变式加速度传感器中的电阻应变片具有金属的应变效应，即在外力作用下产生机械形变，从而使电阻值随之发生相应的变化。电阻应变片主要有金属和半导体两类，金属应变片有金属丝式、箔式、薄膜式之分。半导体应变片具有灵敏度高（通常是丝式、箔式的几十倍）、横向效应小等优点。应变式加速度传感器是利用电阻应变片受力变形而引起阻值变化的原理制成的，然而加速度是运动参数，所以首先要经过弹簧的惯性系统将加速度转换为力，再作用弹性元件上。如图⑵所示，在等强度梁2的一端固定惯性质量块1，梁的另一端用螺钉固定在壳体6上，在梁的上下两表面粘贴应变片5，梁和惯性块的周围充满阻尼液，用以产生必要的阻尼。测量加速度时，将传感器壳体和被测对象刚性连接。当有加速度作用在壳体上时，由于梁的刚度很大惯性质量也以同样的加速度运动，其产生的惯性力正比于加速度a的大小，惯性力作用在梁的端部使梁产生变形，限位块4是保护传感器在过载时不被破坏。这种传感器虽然制造工艺简单，但体积较大，广泛应用于低频振动的测量。电容式加速度传感器是以各种形式的电容作为变换器或传感元件，将被测的物理量的变化转化为电容变化的传感器。如图⑵所示，传感器有两个固定电极和一个可动电极。动电极作为振动质量由弹簧片支撑在两个固定电极之间，当ｇ=0时，C1=C2，当ｇ≠0时，质量块振动，从而改变动电极和固定电极的间隙，引起电容值的变化。这种传感器的优点是频率响应范围大，量程范围大，但是受弹性系统设计的限制。
在这样的背景下，制造一种体积相对较小，加工工艺比较简单，价格也适宜的加速度传感器已经是必然的趋势。一种新型的水银加速度传感器就满足了以上所有要求。众所周知，当物体静止在水平面上时，其所受的加速度为零。设物体逆时针方向旋转为正，当物体沿逆时针方向旋转θ（0＜θ＜90o）角，其所受的加速度为ｇsinθ。当θ=90时。物体所受加速度为ｇ。同理，当物体沿顺时针方向旋转θ（0＜θ＜-90o）角时，其所受的加速度为-ｇsinθ。这种传感器就是利用此原理制造的。将水银液滴密封在一个立方体中，水银液滴与各面都有接触，当立方体旋转不同角度时对应不同的加速度，此时水银液滴与立方体的接触面积改变，从而引起电容的变化，这样就可以建立电容值变化与加速度的一一对应关系，达到测量加速度的目的。
提高加速度计校准精度的方法与系统[发明专利]
![提高加速度计校准精度的方法与系统[发明专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/1bc035c0a5e9856a571260e3.png)
专利名称：提高加速度计校准精度的方法与系统专利类型：发明专利
发明人：黄钦文,王蕴辉,李向光
申请号：CN201410060702.9
申请日：20140221
公开号：CN103823083A
公开日：
20140528
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种提高加速度计校准精度的方法与系统，针对特定的稳速台输出加速度，设定随动台处于0度位置和180度位置，并分别测量固定在随动台上的加速度计的输出值。
设定多个输出加速度，可以获得多组加速度计输出值，可实现对校准过程中加速度计的工作半径误差进行测试评估，由所获得的结果，可以对所校准的加速度计性能参数进行修正，消除工作半径误差所带来的影响，提高校准精度，降低校准过程中对加速度计的安装要求。
申请人：工业和信息化部电子第五研究所
地址：510610 广东省广州市天河区东莞庄路110号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
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加速度计校准数据处理系统设计
加速度计校准数据处理系统设计作者：刘莹解启瞻魏玫来源：《科技创新导报》2017年第33期摘要：为满足大批量加速度计校准数据处理的高可靠性、高准确度和高效率的需求，基于虚拟仪器技术和计算机技术，依据加速度计检定规程，设计了一种加速度计校准数据处理系统。
测试结果表明：系统人机交互界面友好，能够快速处理大批量加速度计校准数据，大大节省了加速度计校准数据处理、证书出具和原始记录出具的人力和时间资源，实用性强。
关键词：加速度计校准数据处理虚拟仪器中图分类号：TP2 文献标识码：A 文章编号：1674-098X（2017）11（c）-0007-03Abstract：To meet the high reliability， high accuracy and high efficiency need of calibration data processing for mass accelerometer， based on VI and computer technology， according to the V.R of accelerometer calibration， a kind of calibration data processing system for mass accelerometer has been developed. Testing results show that， the system has a friendly man-machine surface， and can quickly process large quantities of accelerometer calibration data. The system has very strong practicability.Key Words：Accelerometer； Calibration； Data processing； VI加速度计通常与适调仪配用，用于振动与冲击加速度的测量[1]。
高g值加速度计高冲击校准技术综述
２ ０ １ ５ 年 ８ 月
探 测 与 控 制 学 报
Ｊ ｏ ｕ ｒ ｎ ａ ｌ ｏ ｆ Ｄｅ ｔ ｅ ｃ ｔ ｉ ｏ ｎ ＆ Ｃｏ ｎ ｔ ｒ ｏ Ｉ
Ｖｏ １ ． ３ ７ Ｎｏ ． ４
Ａｕ ｇ ． ２ ０ １ ５
高 ｇ值 加 速 度 计 高冲 击 校 准 技 术综 述
中图分 类号 ： Ｔ Ｐ ２ ０
文 献标 志码 ： Ａ
文章编 号 ： １ ０ ０ ８ ． １ １ ９ ４ （ ２ ０ １ ５ ） ０ ４ － ０ １ ０ ６ ． ０ ７
Ｒｅ ｖ ｉ ｅ ｗ ０ ｆ Ｈｉ ｇ ｈ Ｓ ｈ ｏ ｃ ｋ Ｃ ａ ｌ ｉ ｂ ｒ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ｏ ｆ Ｈｉ ｇ ｈ ｇ Ａｃ ｃ ｅ ｌ ｅ ｒ ｏ ｍｅ ｔ ｅ ｒ ｓ
林 然 ， 张振 海 ， 李 科 杰 ， 张 东 红 ， 何 晌
（ １ ． 北 京 理工大 学机 电学 院 ， 北京 １ ０ ０ ０ ８ １ ； ２ ．合肥 市新 星应 用技术 研究所 ， 安徽 合肥 ２ ３ ０ ０ ３ １ ）
摘 要 ： ｆ ｒ ｘ ￣ ￣ ｉ ｇ ｇ 值加速度计校准存在的局限性问题， 综述了高冲击校准技术。该综述从系统组成、 工作
Ｌ Ｉ Ｎ Ｒａ ｎ ，Ｚ ＨＡＮＧ Ｚ ｈ ｅ ｎ ｈ ａ ｉ ， Ｌ Ｉ Ｋｅ ｊ ｉ ｅ ， Ｚ ＨＡＮＧ Ｄｏ ｎ ｇ ｈ ｏ ｎ ｇ ， ＨＥ Ｘｕ
（ １ ．Ｓ ｃ ｈ ｏ ｏ ｌ ｏ ｆ Ｍｅ ｃ ｈ ａ ｔ ｒ ｏ ｎ ｉ ｃ ａ ｌ Ｅ ｎ ｇ ｉ ｎ ｅ ｅ ｒ ｉ ｎ ｇ ，Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ Ｉ ｎ ｓ ｔ ｉ ｔ ｕ ｔ ｅ ｏ ｆ Ｔｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ， Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ １ ０ ０ ０ ８ １ ， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ；
一种改进 mems 加速度计标定补偿方法
的连续近似密度中进行采样。设：N∑ {xki,
wki
}N i =1
~
p( xk
|
z1:k )
≈
wki Ks (xk − xki )
i =1
（2）
式
(3)
中
Ks (x)
=
1 s nx
K(x) s
是可以调
节尺度的 Kernel 密度，s>0 是核的带宽， nx 表示状态维数， wki 是经过归一化的 系数。
（2）MEMS 加速度计十二位置标 定方案。在转台上固定 MEMS-IMU， 使得 IMU 的结构轴向平行于转台转动 轴。静止状态下，MEMS 加速度计可 敏感到重力场下的加速度的值（范围
± 1g）。本文提出一种 12 位置的静
态翻转实验来标定 MEMS 加速度计。 本文设计的校准方案选取的十二个位 置的取向以及每个轴的重力加速度值 如表 2 所示。
标定算法原理
（1） 正 则 粒 子 滤 波 理 论 . 假 设
{x0i :k
,
wki
}N i =1
是随机粒子，
p( x0:k
|
z1:k
)
是粒
子 的 后 验 概 率 密 度 函 数，
{x0i:k ,i = 0,1,, N} 是 与 权 值
{w0i:k ,i = 0,1,, N} 一 一 对 应 的 粒 子 集，
MEMS 加速度计误差模型
MEMS 加速度计的误差来源主要 有零偏、标度因数、安装误差、二次 项误差等，但在工程应用中的一些领 域，二次项误差对 MEMS 加速度计的 影响较小，所以本文不考虑该误差项。 建立 MEMS 加速度计的误差模型为：
（1）
式 (1) 中 Ax、Ay、Az 为 MEMS 加 速 度 计 的 实 际 测 量 值，ai0(i=x,y,z) 是 MEMS 加速度计的零偏值，ki=(i=x,y,z) 为 MEMS 加 速 度 计 三 轴 刻 度 因 数， kij=(i,j=x,y,z) 是轴间干扰。
一种加速度计冲击校准系统
一种加速度计冲击校准系统
杨波;王晓双
【期刊名称】《测试技术学报》
【年(卷),期】2004(018)0z3
【摘要】介绍了一套加速度计冲击校准系统的测试原理和方法,该系统可产生半正弦冲击脉冲,可对压电式、内置电路式和压阻式等多种加速度计的冲击灵敏度进行校准.其中冲击比较校准器通过弹体碰撞装有标准传感器和被校传感器的砧子,进行背靠背式比较校准,其可产生低量程的冲击加速度,可对加速度计进行精确、可控的校准;高g值冲击校准器可产生可控的冲击激励脉冲,共基于Hopkinson棒原理,通过高压气加速弹体碰撞Hopkinson棒,使棒中产生压缩波,并传到装有被校传感器的棒的另一端,系统通过贴在棒中部的应变片测得该点的应变,通过应变与加速度之间的关系式计算出棒末端被校传感器处所受到的冲击加速度值.
【总页数】3页(P166-168)
【作者】杨波;王晓双
【作者单位】中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
【正文语种】中文
【中图分类】TP2
【相关文献】
1.基于LabVIEW的冲击响应谱校准系统研究 [J], 朱永晓;厉巍
2.基于Visual Basic的压电加速度计自动校准系统设计 [J], 张恒萍;朱传焕
3.基于Labview的振动加速度计校准系统 [J], 王光发;胡春艳;王显伟;邵新慧
4.高量程加速度计动态线性校准系统 [J], 石云波;杨志才;曹慧亮;智丹;陈艳香;王艳阳
5.一种冲击加速度计校准新方法 [J], 曾利民;曾汉
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加速度计1g重力场静态翻滚测试与误差分析
加速度计1g重力场静态翻滚测试与误差分析
加速度计1 g重力场静态翻滚测试与误差分析
对加速计进行1 g重力场静态翻滚测试,讨论测试系统的组成和分析测试过程,采用偕波分析法建立了加速度计的静态数学模型方程,从而标定加速度计的各项性能参数.通过对试验误差的分析,找出误差源.
作者：王大千张英敏 WANG Da-qian ZHANG Ying-min 作者单位：西北工业大学自动化学院,陕西,西安,710072 刊名：机械与电子ISTIC 英文刊名：MACHINERY & ELECTRONICS 年，卷(期)：2009 ""(1) 分类号： V241.45 关键词：加速度计谐波分析法误差分析。
加速度计校准
三.加速度计及传声器的校准与校准系统----------------------------------- P.131) 加速度计的校准简介------------------------------------------------------------P.132) 加速度计的校准系统------------------------------------------------------P.141.磁悬浮空气轴承加速度计校准系统(5Hz-20KHz)---------------------------------------- P.142.超低频大振幅空气轴承低频加速度计校准系统(DC-500Hz)-------------------------------P.153.冲击加速度校准系统(20g-10000g)--------------------------------------------------- P.154.Hopkinson 弹性桿大冲击加速度校准系统( >100000g)---------------------------------- P.155.便携式加速度计校准器------------------------------------------------------------- P.166.传感器橫向灵敏度校准系统 ---------------------------------------------------------P.163)传声器的校准系统--------------------------------------------------------------P.171. 传声器校准工作站 9350 C ----------------------------------------------------------P.172. 915A01型号的活塞发生器式组件 -----------------------------------------------------P.174) 压传感器校准-------------------------------------------------------------------P.171.静压传感器校准 -------------------------------------------------------------------P.172. 动态压力传感器校准 ---------------------------------------------------------------P.18三.加速度计的校准与校准系统1)加速度计的校准简介振动与冲击测量中所使用的加速度传感器,出厂需要检定其全面技朮性能.给出灵敏度,非线性,频响等性能指标;使用一段時间后(如一年后),或每次重要測試前后都要对传感器重新进行检定.加速度传感器检定的项目可分为三类: a)工作特性的校准:包括参攷灵敏度,频率响应,谐振频率,幅值线性, 橫向灵敏度比,电阻抗等. b)环境特性的校准:包括极限加速度,温度响应,极限工作温度,基座应变灵敏度,声灵敏度, 磁灵敏度等. c)物理,几何参数:包括重量,极性,安装螺纹,几何尺寸等.其中工作特性的校准为主耍检定的项目.在进行传感器检定時,要严格遵守有关检定规程.为获得最好的測試精度,传感器应与其配套的放大器联合校准.A)加速度传感器灵敏度的校准: 加速度传感器灵敏度是指它所接受的加速度与它所产生的电量(电荷或电压)之比.通常以电荷灵敏度 pc/g (pc s2/m)或电压灵敏度mv/g(mv s2/m) 表示.校淮方法有:a)絕对法校淮,又称振幅測量法,即将被校加速度传感器安装在一高精度的振动台上,通过激光干涉測振仪准确测量振幅(Xo),和測量出振动频率 (f ),再计算出被校加速度传感器灵敏度:S a = U/(2 f )2Xo式中 U ----被校加速度传感器输出电压(峯值)f ---- 振动频率;Xo -------- 振动振幅.校准不确定度,在参攷频率点可达 +/- 0.5% 或更好,在频率超过2kHz-10kHz,约为1-2%.b)比较法校淮, 又称背对背比较法, 如下图所示,將被校加速度传感器安装在参攷的标准加速度传感器上(背上),然后一起安装到校准用振动台面上.通过频率(f)电信号放大后,驱动校准用振动台产生振动.通过測量被校加速度传感器和标准加速度传感器输出电压之比(k),就可获得被校加速度传感器灵敏度 S a :S a = kS r其中 S r是参攷的标准加速度传感器灵敏度. 校准不确定度,在参攷频率点可达+/-1% 或更好,在频率超过2kHz-10kHz,约为2-3%.B)加速度传感器幅值线性度的标定:同樣也有絕对法校淮和比较法校淮.再此仅介绍较常用的比较法校淮.也是將被校加速度传感器安装在参攷的标准加速度传感器上(背上),但是它是一起安装到能产生较大加速度(大到10000g)的校准用冲击台面上.不确定性约2.5% - 5%.而幅值线性度指标,一般规定,用于振动測量为 <5%;而用于冲击測量为<10%.有关幅幅值线性度的计算方法采用最小二乘法,可参照中国标准总局JJG-233-81”压电加速度计检定规程”.2)加速度计校准系统美国压电有限公司在其应用领域提供多种校准和测试服务。
一种三轴加速度计标定方法[发明专利]
![一种三轴加速度计标定方法[发明专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/d7490bb96429647d27284b73f242336c1eb93027.png)
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910796234.4(22)申请日 2019.08.27(71)申请人 株洲中车时代电气股份有限公司地址 412001 湖南省株洲市石峰区时代路169号(72)发明人 张征方 赵旭峰 蒋杰 李科 喻励志 吴业庆 卢学云 肖健 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100代理人 叶诚(51)Int.Cl.G01P 21/00(2006.01)(54)发明名称一种三轴加速度计标定方法(57)摘要本发明涉及一种三轴加速度计标定方法，包括固有误差离线标定方法和安装误差在线标定方法。
其中，固有误差标定方法是通过将加速度计的三轴分别置于1g场和-1g场，通过求解加速度计的零偏和刻度因子从而获得加速度计经过固有误差标定后的输出；安装误差标定方法是基于阻尼最小二乘法，可以实现对加速度计的在线校准，方便快捷，同时能够避免传统高斯牛顿法发散的缺点；此外，在阻尼最小二乘法的基础上，本发明还提出了阻尼因子自适应的调节方法，使得算法收敛速度更快。
权利要求书2页 说明书6页 附图2页CN 112444644 A 2021.03.05C N 112444644A1.一种三轴加速度计标定方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将所述加速度计安装于被测的载体中；S2：建立基于所述加速度计的三维坐标系oxyz；S3：建立基于所述被测载体的三维坐标系ox′y′z′；S4：将所述加速度计坐标系oxyz旋转到所述载体坐标系ox′y′z′，设所述加速度计x、y、z轴逆时针旋转角度分别为α、β、γ；所述角度α、β、γ即为所述加速度计的安装偏角；S5：设所述加速度计坐标系oxyz到所述载体坐标系ox′y′z′的转换矩阵为C，S6：利用阻尼最小二乘法求解所述安装偏角α、β、γ；S7：根据求得的安装偏角α、β、γ计算转换矩阵C；S8：根据公式A v＝CA s得到所述加速度计在载体坐标系ox′y′z′下的输出，其中A s为所述加速度计经过固有误差标定后的输出。
一种用于高g值加速度传感器标定的冲击校准装置[实用新型专利]
![一种用于高g值加速度传感器标定的冲击校准装置[实用新型专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/948e15da83c4bb4cf6ecd10f.png)
专利名称：一种用于高g值加速度传感器标定的冲击校准装置专利类型：实用新型专利
发明人：杨建,陈志龙,钱佳彬
申请号：CN201922372284.8
申请日：20191225
公开号：CN210863785U
公开日：
20200626
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型涉及一种用于高g值加速度传感器标定的冲击校准装置，其包括测试平台和气路控制系统，测试平台包括安装支架、安装板、轴承座、空气轴承、砧子、气缸筒、弹体芯，砧子上端的冲击输出端贯穿安装于空气轴承中，轴承座内空气轴承的下方设有缓冲垫，台阶限位部位于缓冲垫的下侧，轴承座连接于安装支架的上侧；气缸筒设置于底板下方的安装支架上，气缸筒内设有弹体芯，气缸筒的下端封口且在封口位置连通连接有快速接头，气缸筒的上端为通口，砧子下端冲击接收端伸入于气缸筒上端端口内；气路控制系统的充气支路、放气支路分别与快速接头连通连接；采用空气轴承导向，能很好的减少横向运动和变形，结果更准确稳定。
申请人：杭州集普科技有限公司
地址：311106 浙江省杭州市余杭区东湖街道兴国路503号2幢1层101室
国籍：CN
代理机构：杭州奥创知识产权代理有限公司
代理人：杨嘉芳
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（式1.1）
（式1.2）
其中s1= s2，C1= C2。
公式中，C1为水银液滴与容器左表面1之间的电容量，
C2为水银液滴与容器右表面2之间的电容量，
为真空的介电常数，
为绝缘介质的介电常数，
为水银液滴与表面1的接触面积，
为水银液滴与表面2的接触面积，
d为绝缘介质的厚度。
论文中所介绍的±1g加速度计的校正系统是根据传感器的原理研制的，将传感器安装在此校正系统中，当系统转过一定的角度时，传感器也转过相应的角度，此时校正系统有一个对应的加速度的值（理论值），传感器也会显示一个加速度值（测量值），两个值相比较达到标定传感器的目的。但是传感器输出的测量信号很微弱只有几个皮法，因此本论文中还设计了一个传感器的信号处理电路，首先将传感器输出的电容信号转换成电压信号，以方便后即电路处理，然后将此微弱的信号放大，并经过调制、解调和滤波等处理，将最后的输出信号通过数字电压表显示。
水银电容传感器的基本结构如图2.1所示：
2.1.2传感器的工作原理
5.2.1激励信号发生电路18
5.2.2电容变换电路21
5.2.3调制电路23
5.2.4放大电路24
5.2.5 RC带通滤波电路26
5.2.6检波电路27
5.3整体电路图29
6结论30
附录（A）31
附录（B）32
致谢33
参考文献34
1引言
21世纪是人类全面进入信息电子化的时代，随着人类探知领域和空间的拓展使得人们需要获得的电子信息的种类日益增加，要求信息传递的速度加快和信息处理能力增强，因而传感器的应用范围越来越广泛和普遍，使用的数量也越来越多。目前，传感器技术几乎应用于国民经济的各部门，例如：国防、化工、轻工、医药、食品、纺织、煤炭等各个领域。传感器已成为国民经济各个部门广泛应用的一种通用设备。新型的传感器将向智能化、微型化、低功耗、无线、便携式的方向发展。
Key word:Acceleration Sensor, G Code, Signal Conditioning, Converting Circuit.
目录
1引言1
2水银电容加速度传感器2
2.1水银电容加速度传感器2
2.1.1传感器的基本结构2
2.1.2传感器的工作原理3
2.2传感器的制作工艺3
2.1.1传感器的基本结构
在一个的正方体容器内，密封一个水银液滴，容器是性能良好的导体，其上下表面的内部有一层高能绝缘介质，使得容器的上下表面与周围四壁是绝缘的。容器内部抽成真空，内盛有一水银液滴。水银液滴大小适当，其与容器的上下表面和周围四壁都接触，水银液滴与容器的上下表面间有一层绝缘介质，这样水银液滴、容器的上下表面和绝缘介质就构成了一个差动电容器。
本论文主要由传感器简介、校正系统、传感器的承载装置和传感器信号调理电路四部分组成。
2水银电容加速度传感器
2.1水银电容加速度传感器
水银电容加速度传感器是一种利用微滴水银作为对加速度敏感的弹性动电极与作为静电极的传感器外壳的上下两个表面构成差动电容的微加速度传感器。它的独特之处是用液体弹性电极水银代替通常使用的固体弹性电极，实现抗高过载的能力，在冲击环境下的惯性测量中起到不可替代的作用。
2.2.1材料的要求4
2.2.2铝的氧化腐蚀4
3校正系统8
3.1校正系统的工作原理8
3.2校正3.2.2 JHM-1GY-300B型激光焊接机12
4传感器的承载装置16
4.1基本结构说明16
4.2传感器承载装置的结构简图16
5传感器信号处理及显示电路18
5.1概述18
5.2单元电路分析18
传统的电容式加速度传感器是由两个可动电极和一个固定电极构成差动电容式的，并且电极一般为固体金属导体，可动电极常用作感受加速度的振动质量块。当加速度变化时，可动电极在固定电极之间振动，引起电容间隙的变化，从而引起电容值的变化。本论文中所介绍的水银电容式传感器完全突破了传统的限制，利用可导电的液态水银作为可动电极，将它密封在一个立方体的金属容器内，经过特殊的加工和处理将容器作为固定电极，制作而成的新型的传感器。传感器安装在被测试件上，当试件以不同的加速度运动时，传感器中的水银与容器内壁的接触面积会不同，从而使得电容值不同。这种传感器体积小、原理和结构都很简单、制造工艺也不复杂、性价比较高，因此将得到广泛的应用。
±1g加速度计校正系统的研制
摘要：本文从理论上介绍了±1g加速度计自校正系统的研制工作。主要研究了水银电容加速度传感器的原理及制造工艺，介绍了校正系统的工作原理及实现过程，设计了传感器的承载装置和信号调理电路。在导师的悉心指导和查阅了大量的资料的基础下，初步设计完成了±1g加速度计的自校正系统的研制工作。
关键词：加速度传感器，G代码，信号调理，变换电路。
The Research Work for the Self-correct
System of ±1 gAcceleration
Abstract：This text introduces us the research work for the self-correct system of ±1 gacceleration, studies the principle and manufacturing craft of the acceleration sensor made by mercury, introduces the work principle and realizable process of the correct system and develops the loading equipment for the sensor and the signal conditioning circuit. Under the teacher’s concentrated directing and the great effect of my own, I have completed the research work for the self-correct system of ±1 gacceleration.