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真空镀膜工安全操作规程
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真空镀膜工安全操作规程一、前言真空镀膜是一种材料表面处理技术,可以为物体表面涂上不同种类的薄膜,以改善其物理、化学和光学性质。
然而,在真空镀膜过程中,由于涉及到气体分子的流动、真空度的控制、高温高压等因素,操作人员必须具有专业技能和良好的安全意识,才能保证操作安全,减少事故发生的概率。
本文档旨在对真空镀膜工作中的安全操作规程进行详细说明,希望能够帮助操作人员更好地理解和掌握安全操作知识,降低生产安全风险。
同时,本文档还包括了对于真空镀膜机设备和工作区域的安全注意事项。
二、设备安全要求2.1 真空镀膜机设备在真空镀膜机设备操作过程中,必须遵守以下要求:1.操作人员必须接受培训,并经过考核合格后方可操作设备;2.操作人员必须穿戴个人防护装备(如手套、防护镜、防护靴、头盔等),以防止身体受到机器的冲击、高温烫伤、电击等伤害;3.真空镀膜机设备必须定期维护保养,检查真空度、气压、电气线路等设备参数,如发现异常状况,必须及时报修,确保设备的正常运转;4.真空镀膜机设备必须在专人的监护下使用,严禁非授权人员随意操作和接近设备;5.在使用结束后,必须关闭设备电源。
2.2 工作区域真空镀膜机的工作区域必须满足以下要求:1.工作区域应设有警示牌、标志等,以告知工作人员危险位置,区域划分应明确,人员禁止随意进入;2.工作区域必须保持清洁,避免物体掉落或其他杂乱物品对设备的影响;3.工作区域内灯光必须充足,如发生故障必须及时报修,严格遵守消防安全规定。
三、真空镀膜工安全操作规程3.1 真空镀膜前准备1.在进行真空镀膜操作之前,必须检查设备的各项参数是否符合要求;2.操作人员应检查个人防护装备是否穿戴到位,确保安全;3.清洁工作,包括工作区域、设备表面、涂膜材料等。
3.2 真空镀膜操作流程真空镀膜需要分为四个步骤:空气抽取、灵敏预处理、蒸汽沉积和膜成型。
操作时应遵循以下规程:步骤一、空气抽取1.操作人员在进行空气抽取时,必须先对机器进行排气处理,排出空气;2.操作人员在进行排气时,不得用手或其他物品直接接触真空泵,以免涉及高温烫伤或气体反冲等危险;3.操作人员必须根据设备要求设定初始真空度。
真空镀膜岗位安全操作规程范本
![真空镀膜岗位安全操作规程范本](https://img.taocdn.com/s3/m/d270757311661ed9ad51f01dc281e53a580251f2.png)
真空镀膜岗位安全操作规程范本第一章总则第一条为了确保真空镀膜岗位操作人员的人身安全和设备的安全运行,保障生产的正常进行,根据国家有关法律法规和安全生产管理制度,制定本规程。
第二条本规程适用于所有真空镀膜岗位的操作人员,并应该将本规程作为操作的具体依据。
第三条真空镀膜岗位操作人员必须全面了解本规程的内容,并严格按照规程的要求进行操作。
第二章岗位工作环境与安全设施第四条真空镀膜岗位工作环境必须符合以下要求:1. 空气清新,无有害气体。
2. 温度适宜,湿度适宜。
3. 无明火、易燃易爆物品。
4. 岗位周围没有不良噪音、振动等。
第五条真空镀膜岗位安全设施必须齐全,并进行日常检查和维护。
1. 使用合格的真空泵设备,确保其正常运行。
2. 配备安全阀、压力表等安全装置,及时监测真空度。
3. 确保真空镀膜机的机械防护装置完好无损。
4. 配备照明设备,确保正常使用时有足够的光线照明。
第三章操作人员安全防护第六条真空镀膜岗位操作人员必须佩戴个人防护装备,并进行相关培训。
1. 佩戴防护眼镜,防止眼睛受到物品的伤害。
2. 佩戴防护手套,防止手部受到化学品的腐蚀。
3. 佩戴防护面罩,防止呼吸系统受到有害气体的损伤。
4. 佩戴防护服,防止身体受到化学品的腐蚀。
第四章操作规程第七条在进行真空镀膜操作前,必须进行相关设备的检查和预热。
1. 检查真空泵设备是否正常运行,是否有异响等异常情况。
2. 检查真空度监测装置是否准确,并与标准数值进行校准。
3. 进行预热操作,使设备达到适宜的工作温度。
第八条操作人员在进行真空镀膜过程中,必须按照下列步骤进行操作。
1. 打开镀膜机的前门,将待处理物品放入辅助系统中,并确保关闭前门。
2. 启动真空泵设备,将气体抽至所需真空度。
3. 根据镀膜工艺要求,切换加热方式,控制温度升降速度。
4. 使用镀膜源开启镀膜源,并根据镀膜材料选择合适的镀膜工艺。
5. 根据工艺要求进行定时监测和操作,确保镀膜过程正常进行。
吉林真空镀膜机操作规程
![吉林真空镀膜机操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/500d963903768e9951e79b89680203d8ce2f6a1a.png)
吉林真空镀膜机操作规程1. 引言本操作规程旨在规范吉林真空镀膜机的操作流程,确保操作过程的安全性和效果,保证设备正常运转和镀膜质量。
2. 适用范围本操作规程适用于吉林真空镀膜机的操作人员,要求操作人员必须接受相关培训并熟悉设备的结构、性能和操作方法。
3. 设备描述吉林真空镀膜机是一种用于制备薄膜材料的设备,由真空腔体、镀膜装置、控制系统等部分组成。
本设备可用于陶瓷、玻璃、金属等材料的镀膜处理。
4. 安全注意事项在操作吉林真空镀膜机之前,操作人员需注意以下事项:- 确保设备接地良好,防止静电积累; - 使用设备时,必须穿戴好相关个人防护设备,包括手套、防护眼镜等; - 操作过程中,严禁将手指或其他物体伸入真空腔体; - 镀膜材料必须存放在指定的位置,避免在操作过程中发生意外。
5. 操作流程5.1 准备工作•确认设备的电源已接通,并检查控制系统是否正常;•检查真空腔体内是否有杂质或残留物,如有需要清理;•检查镀膜装置的工作状态,确保无损坏或松动的部分;•检查镀膜材料是否充足,准备足够的镀膜材料。
5.2 开机操作•按照设备的说明书,打开电源开关;•启动真空泵,使真空腔体内的空气逐渐抽空;•设定所需的真空度和镀膜时间等参数,根据需要设置镀膜装置的转速和温度;•等待真空度达到设定值后,进行下一步操作。
5.3 镀膜操作•将待镀膜的材料放置在镀膜装置中,并确保牢固固定;•设定镀膜装置的运动轨迹、速度等参数,启动镀膜过程;•根据需要,可调节镀膜装置的角度、喷涂速度等参数,以控制镀膜厚度和均匀性;•镀膜过程中,注意观察镀膜质量,如出现异常情况,应及时停机检查并调整参数;•镀膜时间到达设定值后,进行下一步操作。
5.4 关机操作•关闭镀膜装置和真空泵,将设备恢复到正常待机状态;•关闭电源开关,断开电源。
6. 常见问题及解决方法6.1 镀膜厚度不均匀可能原因: - 镀膜装置工作不正常; - 镀膜材料分布不均匀;解决方法: - 检查镀膜装置是否有损坏或松动的部分,并进行维修或调整; - 调整镀膜装置的角度、喷涂速度等参数。
真空镀膜机安全操作规程(3篇)
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第1篇一、前言真空镀膜机是一种精密设备,用于在各种材料表面镀制薄膜,广泛应用于光学、电子、精密仪器等领域。
为确保操作人员的人身安全和设备正常运行,特制定本安全操作规程。
二、适用范围本规程适用于所有真空镀膜机的操作人员。
三、操作前的准备1. 熟悉真空镀膜机的结构、性能、操作方法和注意事项。
2. 检查设备外观,确保无损坏、无松动。
3. 检查电源、水源、气源等是否正常,并确保各连接部件牢固可靠。
4. 检查真空系统是否完好,确保真空度达到要求。
5. 检查设备内是否有残留物质,如有,应清理干净。
四、操作步骤1. 开启设备电源,启动真空泵,确保真空度达到要求。
2. 将工件放置在镀膜腔内,注意工件放置平稳,避免碰撞。
3. 根据镀膜要求,调整温度、压力、功率等参数。
4. 启动工件转动装置,确保工件转动平稳。
5. 启动电子枪,调节束偏转角、阳极电压、束流等参数。
6. 观察设备运行状态,如发现异常,立即停止操作,查找原因并排除故障。
五、注意事项1. 操作人员必须穿戴好防护用品,如防静电手套、防护眼镜等。
2. 操作过程中,严禁触摸高温部件,避免烫伤。
3. 严禁将金属物体带入设备内部,以防损坏设备。
4. 避免在设备附近吸烟、使用明火,防止火灾发生。
5. 操作过程中,注意观察设备运行状态,如发现异常,立即停止操作。
6. 严禁在设备运行过程中进行维修、调整等操作。
六、操作后的维护1. 关闭设备电源,停止真空泵运行。
2. 清理设备内部,清除残留物质。
3. 检查设备各部件是否完好,如有损坏,及时更换。
4. 定期对设备进行保养、维护,确保设备正常运行。
七、紧急情况处理1. 发生火灾时,立即切断电源,使用灭火器进行灭火。
2. 发生触电事故时,立即切断电源,进行急救。
3. 发生设备故障时,立即停止操作,查找原因并排除故障。
八、附则1. 本规程由设备管理部门负责解释。
2. 本规程自发布之日起实施。
通过以上真空镀膜机安全操作规程,可以有效保障操作人员的人身安全和设备正常运行,提高生产效率。
真空镀膜机操作规程
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真空镀膜机操作规程真空镀膜机是一种高精度的设备,操作规程的合理执行可以确保设备的正常运行并保证产品的质量。
下面是一份真空镀膜机的操作规程,供参考:一、操作前准备1. 检查设备的电源和附属设施,确保运行环境安全正常。
2. 检查真空镀膜机内部是否有异物或污染物,清洁设备确保表面干净。
二、设备开启与调试1. 打开设备的电源,并按照操作手册正确操作所有开关与按钮,确保设备的正常运行。
2. 设备初次开启或长时间未使用后,需打开辅助泵进行抽真空,待真空度达到标准值后再进行下一步操作。
3. 真空镀膜机应设有校准装置,操作人员应根据实际需要进行相应的校准,确保设备的稳定性和精度。
三、样品处理与准备1. 将待镀膜的样品放置在有效位置,确保样品的平整,并避免样品之间的碰撞。
2. 样品表面应清洁干净,不存在污染和油渍,否则会影响镀膜质量。
四、真空镀膜操作1. 打开样品舱门,将样品放置在样品架上,确保样品与样品架之间没有杂质。
2. 关闭样品舱门,设定镀膜参数,如镀膜材料、镀膜时间、镀膜温度、反应气体等。
3. 执行真空镀膜程序,按照操作手册的步骤进行操作,确保每一个程序的稳定运行。
4. 在镀膜过程中,操作人员应经常观察反应室内的状态,如真空度、压力、温度等参数,并及时调整。
5. 镀膜结束后,将样品从样品架上取下,放置在准备好的容器中,注意避免样品与其他物体接触,避免污染。
五、设备关闭与清洁1. 关闭设备的各个开关和电源,确保设备停止运行。
2. 清洁设备内部,包括反应室和样品架,确保设备内部干净整洁。
3. 清洁设备外部,特别是控制面板和触摸屏,避免灰尘或污渍附着在上面。
4. 检查设备的附属设施,如冷却系统,确保其正常运行。
六、操作注意事项1. 操作人员应穿戴好相应的防护用品,如手套、口罩、护目镜等,确保工作安全。
2. 镀膜材料和反应气体应储存妥善,避免与火源、高温、湿度等有害物质接触。
3. 真空镀膜机应定期进行维护保养,如更换密封圈、清洁真空管道、校准仪器等。
真空镀膜工安全操作规程
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真空镀膜工安全操作规程1. 引言真空镀膜工是一项高风险和高技能要求的工作,操作人员必须熟悉各种设备的操作和安全规程,以保障工作场所的安全并确保工作人员的身体健康。
本安全操作规程旨在提供真空镀膜工操作人员进行工作时的安全指导,并规范操作流程,减少事故和伤害的风险。
2. 真空镀膜工作场所安全要求2.1 环境安全•工作区域内应保持清洁整洁,无杂物堆放,并确保紧急通道畅通。
•使用易燃、易爆物品时,应按照相应安全规定贮存和使用。
2.2 通风要求•工作区域应保证良好的通风系统,有效排除有害气体和粉尘。
•随时检查通风系统的工作状态是否正常,并及时维修或更换损坏的部件。
2.3 温度和湿度要求•控制工作区域的温度和湿度,确保在合理范围内,避免对人体和设备的损害。
2.4 照明要求•确保工作区域的充足照明,避免操作人员因照明不足而导致事故。
2.5 防护设备要求•操作人员应佩戴符合标准的防护眼镜、手套和防护服等个人防护设备。
3. 操作准备与要求3.1 设备检查•确保真空镀膜设备处于正常工作状态。
•预先检查所有关键设备的电源、气源和水源等连接是否正常。
3.2 物料准备•需要镀膜的物料应按照操作要求准备并清洁,确保表面无杂质。
3.3 操作人员准备•操作人员必须穿戴好个人防护设备,并熟悉操作流程和急救措施。
•进行真空镀膜操作前,操作人员应接受相关培训并获得相应的操作证书。
4. 操作流程与注意事项4.1 真空镀膜设备操作•操作人员应按照设备操作手册指导进行操作,并确保操作正确、稳定。
•对设备的维护保养应按照规定周期进行,定期检查和更换磨损或故障的部件。
4.2 镀膜物料处理•操作人员需按照操作规程准确放置物料,并确保各个步骤符合操作要求。
•确保物料和设备之间的接触处密封良好,避免泄漏和污染。
4.3 紧急情况处理•操作人员需要对紧急情况有清晰的应急预案,并按照预案进行应急处理。
4.4 事故报告与反思•每当发生事故或近期状况时,应立即向主管人员报告,并记录相关信息。
镀膜机操作规程(3篇)
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第1篇一、前言镀膜机是一种用于在物体表面形成均匀薄膜的设备,广泛应用于光学、电子、建材等行业。
为确保操作安全、设备正常运行以及产品质量,特制定本操作规程。
二、操作前准备1. 检查镀膜机各部件是否完好,包括电源、控制系统、真空系统、喷枪、泵等。
2. 确认设备处于关闭状态,并进行安全防护措施,如关闭电源、切断水源等。
3. 检查工作环境,确保无易燃易爆物品,通风良好。
4. 检查并调整真空系统,确保真空度达到要求。
5. 准备好所需材料,如镀膜液、清洗液、擦拭布等。
三、操作步骤1. 开启电源,启动控制系统,预热设备至设定温度。
2. 检查喷枪是否清洁,如有污垢,需用清洗液清洗干净。
3. 调整喷枪位置,确保喷枪与被镀物体表面保持适当距离。
4. 打开真空泵,逐渐降低设备内部压力,达到所需真空度。
5. 按照工艺要求,调整喷枪速度、角度、压力等参数。
6. 开始喷镀,控制喷镀时间,确保镀膜均匀。
7. 镀膜完成后,关闭喷枪,逐渐提高设备内部压力,使被镀物体缓慢回到常压状态。
8. 检查镀膜质量,如需进一步处理,可进行清洗、烘烤等操作。
四、注意事项1. 操作过程中,严禁触摸高温部件,以免烫伤。
2. 操作时,严禁将手或任何物品伸入喷枪射流范围内,以免受伤。
3. 操作过程中,严禁关闭真空泵,以免损坏设备。
4. 操作结束后,关闭电源,切断水源,清理工作区域。
5. 定期检查设备各部件,确保设备正常运行。
6. 如遇设备故障,立即停止操作,并及时报修。
五、维护保养1. 定期检查真空系统,确保真空度达到要求。
2. 定期清洗喷枪,保持喷枪清洁。
3. 定期检查控制系统,确保控制系统稳定可靠。
4. 定期检查设备各部件,确保设备无松动、损坏等情况。
六、结束本规程为镀膜机操作的基本要求,具体操作需根据实际情况和工艺要求进行调整。
操作人员应严格遵守本规程,确保操作安全、设备正常运行及产品质量。
第2篇一、概述镀膜机是一种用于在物体表面形成均匀薄膜的设备,广泛应用于电子、光学、化工等领域。
山东真空镀膜机操作规程
![山东真空镀膜机操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/ffd9d3cfb8d528ea81c758f5f61fb7360b4c2b8c.png)
山东真空镀膜机操作规程一、引言山东真空镀膜机是一种用于将薄膜材料均匀镀覆在基板上的设备,适用于电子、光学、化工等领域。
为了确保设备的正常运行以及操作人员的安全,制定了本操作规程。
二、操作环境要求1.操作场所应通风良好,避免高温、潮湿等环境;2.操作面积应保持整洁,并备有灭火器等消防设备;3.操作面积应无杂物堆放,废弃物应及时清理。
三、操作人员要求1.操作人员需熟悉设备的结构、原理以及操作步骤,并经过培训合格后方可操作设备;2.操作人员应穿戴良好的防静电服装,并佩戴防护眼镜、手套等防护用具;3.操作人员应保持专注,避免分心操作。
四、设备操作步骤1.打开设备电源,确保所有指示灯正常亮起;2.打开真空泵,将设备的真空度调整至要求的范围内;3.打开底部喷涂系统,将待镀膜的基板平放在喷涂位置;4.调整镀膜机的加热功率和镀膜材料的喷涂速度,确保均匀喷涂;5.确保基板完成镀膜后,关闭喷涂系统;6.关闭真空泵,并等待真空度恢复至安全范围内;7.关闭设备电源。
五、设备维护1.每日使用后,对设备进行清洁,特别是镀膜室及其周围;2.定期检查镀膜机的各项传感器和阀门是否正常工作,并及时更换损坏的零件;3.定期对设备进行润滑维护,保持设备的正常运行;4.设备的大修、维护应委托专业技术人员进行,严禁非专业人员随意操作。
六、安全注意事项1.镀膜机在工作时会产生高温、高压等危险,请严禁触碰设备;2.镀膜机运行时,禁止将手、衣物等物品靠近设备;3.操作人员在操作设备时应保持冷静,避免突发情况发生;4.镀膜材料可能含有有害物质,请操作人员佩戴防护用具。
七、紧急处置措施1.在发生火灾时,及时启动灭火器进行灭火,并立即报警;2.在设备发生故障或意外停机时,应立即关闭电源,并通知技术人员进行维修;3.在操作过程中,如果发生急情况,应立即停止操作,并通知上级处理。
以上便是山东真空镀膜机的操作规程,希望每一位操作人员都能严格按照规程进行操作,确保设备的正常运行和人员的安全。
真空镀膜岗位安全操作规程模版
![真空镀膜岗位安全操作规程模版](https://img.taocdn.com/s3/m/ebf0c1f568dc5022aaea998fcc22bcd126ff421e.png)
真空镀膜岗位安全操作规程模版第一章总则第一条为了保障员工的人身安全和工作环境的安全稳定,规范真空镀膜操作工作,提高工作效率,特制定本安全操作规程。
第二条适用范围:本规程适用于所有从事真空镀膜操作的员工。
第三条安全原则:安全第一,预防为主,综合管理。
第四条安全目标:零事故,零伤亡。
第五条安全责任:公司、员工共同负责,在各自的职责范围内履行安全管理职责。
第六条安全管理体制:公司设立安全管理部门,负责制定并执行安全管理制度、规章制度,全面负责安全工作。
第二章安全职责第七条公司安全管理部门的职责如下:1. 制定企业安全管理制度和规章制度,组织实施。
2. 负责对员工进行安全教育和培训,确保员工具备安全工作知识和技能。
3. 负责对岗位进行安全评估,制定安全操作规程。
4. 组织开展安全检查和隐患排查,制定整改措施。
5. 跟踪和分析安全事故,提出改进意见。
6. 推广安全文化,增强员工安全意识。
7. 定期组织开展应急演练和事故应急预案。
第八条真空镀膜操作工的职责如下:1. 遵守安全操作规程,严格按照操作流程进行操作。
2. 经过培训并具备相关技能和证书。
3. 按照要求佩戴个人防护装备,做好个人安全防护。
4. 严禁私自调整设备参数,如发现异常情况应及时向上级报告。
5. 定期检查设备状况,保持设备的正常运转。
6. 维护岗位环境卫生,保持工作区域整洁。
7. 遵守消防安全规定,保持岗位周围的消防设施畅通。
8. 严禁饮酒、吸烟或吸毒等影响工作安全的行为。
第三章安全操作第九条真空镀膜操作前,必须熟悉设备的操作方法和技术要求,做好相关准备工作。
第十条严禁在非正式或未经授权的情况下操作设备。
第十一条在操作设备前,必须检查设备的运行状态是否正常,如发现异常情况应及时报告上级。
第十二条操作时应正确佩戴个人防护装备,包括安全帽、防护眼镜、防护手套、耳塞等。
第十三条操作人员在设备操作过程中,应保持注意力集中,不得随意离开岗位,确保设备的连续运行。
真空镀膜岗位安全操作规程范本(2篇)
![真空镀膜岗位安全操作规程范本(2篇)](https://img.taocdn.com/s3/m/f172086eabea998fcc22bcd126fff705cc175cab.png)
真空镀膜岗位安全操作规程范本一、岗位安全操作规程1. 操作前须做好个人防护,穿戴好劳保用品,包括防护眼镜、防护口罩、耐磨手套等,确保人身安全。
2. 操作前应检查各设备仪器是否完好,如真空泵、度规、磨具等,并进行必要的维护保养。
3. 在操作过程中,严禁与其他电器设备或导电物体接触,以免发生触电事故。
4. 禁止在操作区域内穿戴银饰品、手表等有导电性的物品,以防止发生电火花造成安全事故。
5. 严禁将手指或其他部位伸入机器运动部件内部,以免造成伤害。
6. 操作者应按照相关工艺流程操作,确保操作的准确性和安全性。
7. 禁止擅自修改、调整机器设备的工作参数,须经主管领导批准后方可进行。
8. 在操作过程中,如发现异常情况或设备故障,应及时停机并向主管报告,等待维修人员进行处理。
9. 操作完成后,应及时关闭相关设备电源并进行必要的清理工作,确保操作区域的整洁和安全。
二、紧急事故处理规程1. 发生急救情况时,操作员应立即停止操作并迅速呼叫急救人员,并在等待急救人员到来前进行相应的急救措施。
2. 发生火灾事故时,操作员应立即按下火灾报警器,并迅速疏散人员,距离火场适当远,并寻找灭火器材进行初步灭火。
3. 发生溢液事故时,应立即停止操作并采取相应的紧急处理措施,避免溶液外溢导致化学品泄露。
4. 发生机械故障事故时,应立即停机,切断电源,并进行相应的维修和处理措施。
5. 发生电气事故时,应迅速切断电源,并采取必要的急救和防护措施,确保人身安全。
6. 发生污染物泄漏事故时,应立即切断泄漏源,并尽快采取相应的清理措施,避免环境污染。
三、工器具使用和保养规范1. 工器具使用前应检查其是否完好,如是否存在缺陷、松动等情况,确保工器具的正常使用。
2. 工器具使用后应及时清洁,并妥善保管,避免遗失或损坏。
3. 工器具使用过程中,严禁将其用于非指定的工作任务,以免发生安全事故。
4. 工器具保养应按照规定的方法和周期进行,如定期加油、润滑等,以保证其正常使用寿命。
真空镀膜岗位安全操作规程范文(二篇)
![真空镀膜岗位安全操作规程范文(二篇)](https://img.taocdn.com/s3/m/ddee9f78a22d7375a417866fb84ae45c3a35c24c.png)
真空镀膜岗位安全操作规程范文一、目的本安全操作规程旨在规范真空镀膜岗位操作人员的行为,确保工作安全,防止事故发生,保障人员身体健康。
二、适用范围本规程适用于所有从事真空镀膜操作的岗位人员。
三、操作规程1. 人员准备(1)操作人员在进行真空镀膜前,必须穿戴个人防护装备,包括防护眼镜、防护手套、安全帽等。
个人防护装备应符合相关标准,且应在岗位前进行检查,并保证其正常使用。
(2)操作人员应熟悉真空镀膜设备的使用方法和操作步骤,了解相关安全知识。
2. 真空镀膜设备操作(1)操作人员在操作真空镀膜设备前,必须检查设备是否正常运转,如发现异常应立即报告维修人员处理。
(2)操作人员在启动设备前,应按照设备的要求进行预热,确保设备达到工作温度。
(3)操作人员在操作设备时,应严格按照操作步骤进行操作,不得擅自调整设备参数。
(4)操作人员在操作设备时,应保持设备周围的工作区域整洁,不得堆放杂物,以免影响设备运行或导致意外伤害。
(5)操作人员在操作设备时,应注意设备状态的变化,如设备发出异常声音或异味,应立即停止操作,并及时报告相关人员。
3. 物料处理(1)操作人员在处理物料之前,应详细了解物料的特性,遵循相关操作规程。
(2)操作人员在处理物料时,应戴好防护手套,避免直接接触有害物质。
(3)操作人员在处理物料时,应将废弃物分类存储,并按照要求进行处置。
4. 废液处理(1)操作人员在处理废液时,应戴好防护手套和护目镜,避免直接接触废液。
(2)操作人员在处理废液时,应按照操作规程进行处理,不得随意倒入下水道或大气中。
5. 紧急情况处理(1)操作人员在紧急情况发生时,应立即停止操作,保护自己的安全。
(2)操作人员在紧急情况发生时,应按照紧急预案的要求进行处理,并及时向上级汇报。
四、工作环境要求1. 通风要求(1)真空镀膜操作区域应具备良好的通风条件,以确保有害气体及粉尘的排除。
(2)设备应安装排气系统,以便将有害气体排出室外。
真空镀膜工安全操作规程
![真空镀膜工安全操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/b64926d2f9c75fbfc77da26925c52cc58bd690c3.png)
真空镀膜工安全操作规程真空镀膜工是一项高风险、高技术含量的工作,必须遵循严格的安全操作规程以确保工作人员的身体健康和设备的安全运行。
本文档阐述了真空镀膜工的安全操作规程,以供参考。
工作前准备在进行真空镀膜工作之前,需要做好以下准备:1.检查设备是否完好,是否存在故障或漏洞等情况。
必要时修复或更换设备,确保设备安全运行。
2.检查镀膜材料是否充足,需要提前准备好所需的镀膜材料与工具,以确保工作顺利进行。
3.准备好个人防护装备,包括防护面罩、手套、防护服、安全鞋等。
确保个人安全和卫生。
4.了解现场应急预案,熟悉应急处理流程,以便需要时及时采取措施应对突发事件。
操作流程真空镀膜工作流程如下:1.打开真空镀膜室门并进入室内。
确保门紧闭后,操作者需要按下真空开关,减少压力,确保真空室内安全。
2.打开度规,确保设定好的膜层厚度准确无误。
根据相应的厚度设置真空度、电流等参数,在设备上进行相应调节。
3.选择所需的镀膜材料,打开加热器,聚焦电子枪以进行喷射。
在此期间,还需要对镀膜随时控制电流和其他参数,以保证镀膜质量。
4.将已制作好的样品放入真空室中进行镀膜,注意样品的定位和留空,确保镀膜质量和完整性。
5.镀膜完成后,将样品从真空室中取出。
关闭所有设备,清理残留物,清洁真空室,确保设备处于安全状态。
安全注意事项在进行真空镀膜工作的过程中,需要格外注意以下事项,以确保设备的安全运行:1.不得在真空室内残留任何材料或杂质,否则会影响镀膜的质量。
需要定期清理真空室,清洁设备的表面和内部。
2.操作者需要佩戴个人防护装备,并保持设备上的警示标志和指示标记清晰可见。
操作前必须检查设备是否完好,避免因为设备损坏造成人身伤害。
3.避免在真空室内进行运动或拖动重物,避免损坏真空室。
4.避免在真空室内引入可燃物品或液体等物质,这可能会引发火灾或爆炸。
5.操作结束后,应及时关闭设备并清理真空室,以免产生残留物质或是使设备损坏。
总结以上是针对真空镀膜工的安全操作规程,需要操作者遵循。
真空镀膜岗位安全操作规程
![真空镀膜岗位安全操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/9b681c89a0c7aa00b52acfc789eb172ded63990f.png)
真空镀膜岗位安全操作规程一、岗位背景介绍真空镀膜是一种在加热条件下,将金属和非金属材料蒸发成薄膜,附着在基材表面的工艺。
该工艺用于制造光学薄膜、电子元件薄膜等高科技产品。
由于真空镀膜涉及较高的温度、压力和腐蚀性物质的使用,操作时需要严格按照安全操作规程进行操作,以确保人身安全和产品质量。
二、操作前的准备工作1. 检查设备的安全性能和工作状态,如设备是否有漏电现象,真空泵是否正常运转等。
2. 检查相关耗材和原材料是否准备齐全,如薄膜材料、腐蚀性液体等。
3. 确认操作人员已经具备相关安全知识和操作技能,并穿戴好个人防护装备。
三、操作时的安全措施1. 穿戴个人防护装备,如防护眼镜、手套、防护服等。
2. 确保操作区域通风良好,开启排风设备,并保持操作区域干燥。
3. 操作前,将涉及到的液体和固体物料妥善安置,避免遗漏和碰撞造成的安全隐患。
4. 操作时,严禁穿戴松散的衣物或饰物,以防止其被夹入设备内导致意外事故。
四、真空蒸镀操作流程1. 开机操作- 打开设备电源,确保真空泵正常启动。
- 检查真空室内部的密封性能,确保没有气体泄漏。
- 检查蒸发源和基板的准备情况,确保符合要求。
2. 真空泵抽真空- 打开真空泵,逐渐将设备内部的气体抽出。
- 检查真空度是否达到要求,如需更高真空度,可按照规定的程序进一步抽气。
3. 加热操作- 将蒸发源放置在加热器中,并设定加热温度。
- 加热器启动后,逐渐升温至所需温度。
- 确保加热过程中监测设备温度,如出现异常,应及时采取措施终止加热。
4. 蒸发镀膜- 加热至设定温度后,将蒸发源蒸发出的物质冷凝在基板表面上。
- 控制蒸发源的蒸发速率和时间,以保证膜层的均匀性和质量。
5. 复盖反应器- 在蒸发结束后,及时关闭加热器和真空泵。
- 等待反应器温度降至安全温度后,打开反应器门。
- 清理反应器内残留的固体或液体,并按照规定的程序进行处理。
六、操作后的安全措施1. 关闭设备电源,切断电源供应。
山东真空镀膜机操作规程
![山东真空镀膜机操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/b9ebab2926d3240c844769eae009581b6bd9bdba.png)
山东真空镀膜机操作规程
《山东真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确认设备及工具完好无损,必要时进行维修及更换。
2. 检查真空镀膜机的电源及周围环境,确保安全使用。
3. 穿戴好防护用具,如手套、护目镜等。
二、操作步骤
1. 打开真空镀膜机的电源,根据设备要求设定好相应的工作参数。
2. 将待处理材料放置于真空镀膜机的工作台上,注意放置位置及稳定度。
3. 启动真空镀膜机,观察真空度及工作状态,确保正常运行。
4. 根据需要,进行镀膜的预处理,如清洗、打磨等。
5. 将镀膜材料放置于真空镀膜机内,注意操作时避免碰触到内部设备。
6. 根据具体要求,进行镀膜操作,注意控制镀膜层厚度及均匀度。
7. 镀膜完成后,关闭真空镀膜机,将待处理材料取出,进行必要的后续处理。
三、操作注意事项
1. 操作人员需熟悉真空镀膜机的工作原理及操作要点,严格按
照规程进行操作。
2. 避免在真空镀膜机运行过程中对设备进行擅自操作,以免造成意外伤害。
3. 定期进行真空镀膜机的维护保养,确保设备的正常运行。
4. 操作结束后,做好设备清洁及安全关闭工作,及时进行设备及工具的归位整理。
以上即为《山东真空镀膜机操作规程》,希望操作人员严格遵守并按规定进行操作,确保设备的正常使用及工作安全。
真空覆膜机安全操作规程(三篇)
![真空覆膜机安全操作规程(三篇)](https://img.taocdn.com/s3/m/2823def20129bd64783e0912a216147916117e10.png)
真空覆膜机安全操作规程第一章总则第一条为确保真空覆膜机操作过程中的安全,减少事故的发生,保障人员的生命财产安全,制定本安全操作规程。
第二条本规程适用于真空覆膜机的操作人员及相关人员,必须严格遵守。
第三条操作人员在操作真空覆膜机前,必须经过相关培训,并获得相关证书方可操作。
第四条操作人员在操作真空覆膜机过程中,必须严格按照相关操作规程和标准操作,严禁违规操作。
第二章安全操作规程第五条操作前的准备工作1. 操作人员应确认真空覆膜机的工作环境是否符合操作要求,如有异常情况应及时上报相关部门处理。
2. 操作人员应了解真空覆膜机的操作说明书,熟悉设备的结构和性能。
3. 操作人员应确保真空覆膜机的供电和接地正常,不存在漏电等安全隐患。
4. 操作人员应戴好个人防护用品,包括安全帽、防护眼镜、防尘口罩、耐酸碱手套等。
第六条操作时的注意事项1. 操作人员应认真核对真空覆膜机的电气设备和气体设备的开关状态,确认正常后方可操作。
2. 操作人员应按照规定的操作程序进行操作,严禁随意更改或跳过任何步骤。
3. 操作人员应认真查看真空覆膜机的工作状态,如发现异常情况,应及时停机检修。
4. 操作人员应随时注意真空覆膜机的运行情况,如发现任何异常响声、异味或温度升高等情况,应及时报告上级。
第七条操作后的处理工作1. 操作人员在操作结束后,应及时关闭真空覆膜机的电源开关,切断电源。
2. 操作人员应清理真空覆膜机及周围环境的杂物,保持设备的清洁卫生。
3. 操作人员应及时上报真空覆膜机的使用情况和运行问题,并做好相关记录。
第八条紧急情况的处理1. 在发生火灾、爆炸、漏电等紧急情况时,操作人员应立即切断电源和气源,并迅速撤离现场。
2. 在发生人员伤害或其他事故时,操作人员应立即拨打急救电话,并进行必要的紧急救助。
第九条违规操作的处理1. 对于违规操作的人员,应依照公司的相关规定进行处罚和纪律处分。
2. 对于因违规操作引发的事故,责任人应承担相应的法律和经济责任。
镀膜岗位安全操作规程(3篇)
![镀膜岗位安全操作规程(3篇)](https://img.taocdn.com/s3/m/c86339ef85868762caaedd3383c4bb4cf7ecb7d3.png)
第1篇一、总则为了确保镀膜岗位的安全生产,保障员工的生命财产安全,根据《中华人民共和国安全生产法》及《企业安全生产标准化基本规范》(AQ/T9006—2010)等相关法律法规,结合本企业实际情况,特制定本规程。
二、适用范围本规程适用于本企业所有从事镀膜工作的员工及相关部门。
三、安全操作规程1. 作业前的准备- 工作人员上岗前应接受专业培训,熟悉镀膜工艺流程、设备操作、安全注意事项等。
- 检查镀膜设备是否完好,电源、气源是否正常,安全防护装置是否齐全有效。
- 确认工作区域环境清洁,无易燃易爆物品,通风良好。
2. 操作规范- 操作人员必须穿戴好个人防护用品,如防护眼镜、手套、防尘口罩等。
- 严格按照操作规程进行操作,不得擅自更改工艺参数。
- 操作过程中,注意观察设备运行状态,发现异常立即停机检查。
- 避免直接接触腐蚀性液体,如需接触,应使用防护手套和防护服。
3. 物料管理- 储存化学原料的容器应标识清晰,分类存放,避免混淆。
- 定期检查化学原料的有效期,确保使用安全。
- 使用化学原料时,严格按照规定的浓度和比例进行调配。
4. 设备操作- 启动设备前,确保所有操作人员已就位,并确认安全。
- 操作过程中,严禁无关人员进入操作区域。
- 设备运行时,不得随意调整参数,发现异常立即停机处理。
5. 异常情况处理- 发生设备故障或事故时,立即停机,切断电源,并报告相关部门。
- 针对不同的异常情况,采取相应的应急措施,如泄漏、火灾等。
- 确保人员安全后,再进行事故调查和处理。
四、安全检查与维护1. 定期对镀膜设备进行安全检查和维护,确保设备运行正常。
2. 检查电气线路、管道等是否存在安全隐患,及时整改。
3. 对操作人员进行安全教育和培训,提高安全意识。
五、附则1. 本规程由安全生产管理部门负责解释。
2. 本规程自发布之日起实施。
六、注意事项- 操作人员必须遵守本规程,不得违反安全操作规程进行作业。
- 发现违反本规程的行为,应及时制止并报告。
真空镀膜机操作规程
![真空镀膜机操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/3276f27e3868011ca300a6c30c2259010202f3c5.png)
真空镀膜机操作规程
《真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确保真空镀膜机各部件状态正常,无故障。
2. 根据需要选择合适的膜材料和工艺参数。
3. 做好个人防护措施,穿戴好工作服、手套和防护眼镜等。
二、开机操作
1. 按照机器说明书进行正确的电源连接和开机操作。
2. 检查真空镀膜机的真空泵及抽气装置是否正常运转。
3. 启动控制面板,设置相关参数并进行预热。
三、装载工件
1. 选择适当的工件夹具,将工件放置在夹具上。
2. 将工件夹具安装到真空室内的装载平台上。
四、真空镀膜过程
1. 关闭真空室门,启动真空抽气系统。
2. 当真空度达到要求后,开始进行镀膜过程。
3. 根据工艺要求,控制镀层的厚度和均匀度。
五、结束操作
1. 镀膜完成后,停止镀膜系统的工作,等待真空室内气压恢复至正常压力。
2. 打开真空室门,将工件夹具取出,检查镀膜质量。
3. 关闭真空镀膜机,进行清洁和维护工作。
六、安全注意事项
1. 操作人员需熟悉机器的性能和操作流程,严格按照规程操作。
2. 操作过程中要注意保持机器和周围环境的清洁整洁。
3. 遵守相关安全标准和操作规范,确保人身和设备安全。
七、其他
1. 出现紧急情况时,应立即停止操作并报告相关人员。
2. 遵守环保法规,妥善处理废弃的膜材料和废气废水等。
3. 对真空镀膜机进行定期的维护保养,确保设备的长期稳定运转。
以上就是《真空镀膜机操作规程》,希望操作人员能够严格按照规程进行操作,确保镀膜工艺的质量和安全。
真空镀膜机安全操作规程
![真空镀膜机安全操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/31de8b5b876fb84ae45c3b3567ec102de2bddfa6.png)
真空镀膜机安全操作规程
《真空镀膜机安全操作规程》
一、操作前的准备
1. 操作人员应穿着符合安全要求的工作服和防护装备,包括工作鞋、手套、护目镜等。
2. 在进行操作前,需对真空镀膜机进行检查,确保设备运行正常,无漏电、漏水等情况。
3. 检查工作环境是否干燥清洁,防止操作中发生火灾或其他意外事故。
二、操作过程中的注意事项
1. 操作人员应熟悉真空镀膜机的操作流程和安全规程,遵守操作规范,不得擅自进行非法操作。
2. 在操作过程中,需随时关注设备运行状态,发现异常情况应立即停机并及时报告。
3. 操作人员需注意保持机器周围的清洁,不得将杂物堆积在设备周围,防止影响设备运行。
4. 禁止在设备运行中进行过多的人员进出,以免发生意外伤害。
三、操作后的处理
1. 操作结束后,需要对设备进行清洁和维护,确保设备在下次使用前处于良好状态。
2. 关闭设备电源并进行安全检查,确保设备处于安全状态。
3. 对设备进行定期维护和检查,保证设备稳定可靠地运行。
四、紧急情况的处理
1. 在使用过程中,如突发火灾、漏电、短路等紧急情况,应及时采取应急措施并报告相关人员。
2. 在发生设备故障或其他紧急情况时,应立即停机并通知维修人员进行处理,确保安全。
以上为《真空镀膜机安全操作规程》,请操作人员严格遵守规定,确保设备和人员安全。
真空镀膜岗位安全操作规程
![真空镀膜岗位安全操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/d78706e8dc3383c4bb4cf7ec4afe04a1b171b07d.png)
真空镀膜岗位安全操作规程第一章总则第一条为了确保真空镀膜岗位操作人员的人身安全,预防事故的发生,保障岗位安全生产,依据《劳动法》等相关法律法规,结合本企业实际情况制定本规程。
第二条适用范围:本规程适用于真空镀膜岗位操作人员,涵盖各种真空镀膜设备的操作工作。
第三条安全管理原则:(一)安全第一,预防为主;(二)责任明确、管理到位;(三)技术导向,规程规定;(四)综合防护,安全标准;(五)安全教育,居民共建。
第二章岗位安全操作规程第四条制度意识:所有真空镀膜岗位操作人员必须理解并落实下列原则:(一)不离岗位,不离岗责;(二)事故责任,岗位负责;(三)有事必报,无事必反。
第五条安全人员的责任:(一)熟悉本岗位的操作流程和操作规程;(二)按照操作规程进行操作;(三)熟悉岗位安全设施的使用;(四)及时反馈异常情况和报警信息;(五)参与岗位安全教育和培训。
第六条安全设备和防护用品:(一)配备必要的安全设备,包括但不限于安全护目镜、耳塞、防护手套等;(二)佩戴必要的防护用品,根据实际工作需要佩戴对应的安全帽、防护服等;(三)及时更换损坏的安全设备和防护用品。
第七条作业环境安全要求:(一)确保作业环境通风良好,避免有害气体积聚;(二)确保照明设备正常工作,保证作业场所明亮;(三)禁止在作业环境中进行吸烟和使用明火;(四)保持作业环境整洁,防止绊倒和滑倒。
第八条操作规程:(一)确保设备处于停止状态,防止误操作;(二)按照正确的操作顺序进行工作,禁止乱拉乱扯操作;(三)掌握正确的设备操作方法和技巧,禁止未经培训的人员操作;(四)熟悉设备工作原理和结构,及时处理设备故障。
第九条操作风险控制:(一)严禁未授权人员进入设备操作区域;(二)严禁操作人员擅自更改设备参数;(三)严禁私人物品放置在设备工作区域;(四)严禁跳跃、奔跑等危险行为。
第十条火灾和爆炸防控:(一)禁止在设备附近堆放易燃易爆物品;(二)设备工作过程中严禁使用明火和电焊等火源;(三)设备停止运行后,及时关闭电源和气源。
江西真空镀膜机操作规程
![江西真空镀膜机操作规程](https://img.taocdn.com/s3/m/63ee5957c4da50e2524de518964bcf84b8d52d50.png)
江西真空镀膜机操作规程1. 引言本文档旨在详细说明江西真空镀膜机的操作规程。
真空镀膜机是一种常用的表面处理设备,用于在不同材料表面形成镀层,提高材料的耐磨性、耐腐蚀性和外观质量。
正确的操作和维护能够确保设备的稳定运行,并且可以获得理想的镀层效果。
2. 设备概述江西真空镀膜机是一种高真空设备,包括真空室、镀膜源、抽气系统、温度控制系统等部分。
在操作之前,需要确保设备正常运行并具备以下条件: - 真空室内无杂质、水分和油脂; - 抽气系统正常工作; - 温度控制系统稳定。
3. 操作流程3.1 准备工作1.穿戴防护服、手套和护目镜,确保人身安全。
2.检查真空室内是否有杂质、水分和油脂,清洁内部表面。
3.打开抽气系统,排除真空室内的气体,待抽气系统达到所需真空度后关闭。
4.打开温度控制系统,设定所需温度。
3.2 将待处理材料装载至真空室1.将待处理材料放置于真空室内,并确保材料表面清洁。
2.关闭真空室门,并确保密封完好。
3.3 开始真空镀膜1.打开镀膜源,并将膜材料放置于源上。
2.通过控制镀膜源的加热功率和温度,使膜材料升华,形成蒸气。
3.控制真空室内的气压,将蒸气沉积在待处理材料表面,形成镀层。
4.根据材料类型和所需镀层厚度,设定合适的镀膜时间。
3.4 结束操作1.关闭镀膜源,并等待蒸气完全停止。
2.打开抽气系统,排除真空室内气体,降低气压至大气压。
3.打开真空室门,取出已处理材料。
4.清洁真空室内表面,并关闭设备。
4. 操作注意事项1.操作人员应接受必要的培训,并了解设备的正常操作方法。
2.操作人员应遵守相关安全操作规范,佩戴个人防护装备。
3.在操作之前,必须确保真空室内无杂质、水分和油脂,以免影响镀层质量。
4.镀膜源使用过程中要小心,避免碰撞和损坏。
5.温度控制系统应保持稳定,避免过高或过低的温度对材料造成损伤。
6.操作结束后,必须彻底清洁设备,及时检修和维护设备。
5. 维护保养1.定期检查和清洁真空室内的各个部件。
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真空镀膜操作规程精选
文档
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真空镀膜操作规程
一、准备:
1、开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正
常:370—440V;
2、开启电容补偿器;
3、确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水
泵;
4、根据工艺要求,确定是否需要启动冷水机以及启动
几台冷水机;启动前应确认冷水机入口水压-3kg,内部增压泵旋转正常,可采用自动或手动方式启动;
5、确认各部分冷却水循环系统完好,确认扩散泵循环
水工作正常,紧急冷却系统准备就绪;
6、确认工艺气体气压不低于20个大气压
7、装基膜:
A、领膜:镀膜工按生产任务单要求,从净化室中领到
基膜时,应立即检查该膜是否合格,有无花纹、斑
点、划伤、污迹,收卷是否整齐等直接观测到的问
题,如有应立即向生产主管报告,以决定是否采用;
B、装轴:操作时必须带手套,将合格的基膜放在专用
膜托架上,取一对尺寸相同的轴安装好,安装时请注
意膜的正反面,确认一切准备就绪了,即可吊装。
吊
装时必须轻拿轻放,严禁碰撞,必须保持基膜水平,
以免膜打滑引起螺纹状;
C、装膜:确认冷辊无冷凝水后,即可装膜,装膜时不
要对着膜讲话,以保持膜面干净。
注意不要碰透过率
分析仪的探头,装膜时应保证膜在冷辊的中心;
D、按任务书车速要求设置镀膜速度、张力;
E、试卷:引膜完成后,手动预卷几圈,打开张力控制
器,启动冷辊、收卷、卷膜(其中ITO膜卷1—2m,
前档膜和建筑膜卷20m)。
仔细观察膜是否走正,启
动是否容易,冷辊是否与膜同步,走速是否平稳,膜
是否变形、起皱、划伤等等,并及时处置,最后用记
号笔在放料端画起始标志线;
8、按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配
置正确,靶材量充足,确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上,关闭真空室;
二、抽真空
1、扩散泵预加热(约需40分钟):启动维持泵,确认运转
正
常后,打开维持阀(灯亮),逐一打开扩散泵;
2、低抽:确认真空室门已关闭启动计算机,进入镀膜系统监
控程序,充气阀关闭,启动机械泵(1、2),确认机械泵正常运行后,开预抽阀,五分钟后打开复合真空计,打开罗茨泵开关,。
(当真空达到1500Pa时,罗茨泵允许信
号灯(红灯)亮,再延迟25秒后,罗茨泵自动启动);
3、高抽:当罗茨泵启动五分钟后,打开热偶真空计,当真空
度达到5Pa时,开高阀允许信号灯(红灯)亮,此时确认扩散泵预热已完成(加热40分钟或油窗油面达到规定位
置情况下),关闭预抽阀,依次打开各前级阀,关维持
阀、关维持泵。
依次打开各路高阀,确认到位开关灯亮,开始高抽。
真空度进入10-2Pa后,打开电离真空计测量高真空,直到工艺规定的背景真空,真空进入6×10-3Pa
后,打开靶电源总开关及透过率分析仪预热,与计算机系统完成通讯连接;
三、镀膜:
1、确认已达背景真空,关闭电离真空计,打开冷辊、
隔离槽、靶电源、冷却水,确认工作正常;
2、打开所需各路供气电磁阀,抽取残留杂质气体,确
认
到达背景真空,按工艺要求设置各路气体流量,打开
总气阀、减压阀、气体控制器开关,用中真空计观察
工艺气体总压,稳定后进行透过率分析仪初始化整定
(此时需关闭真空室照明灯);
3、镀膜:
启动传动系统,确认收放卷工作正常,按靶1—靶5依次
设置各靶镀膜功率,关照明灯,观察记录透过率变化情
况,开照明灯,观察镀膜后剩余反射光、外观、颜色、质量是否符合工艺要求,在稳定工作的情况下,做好工艺记录,不断巡查设备运转状况,合理处置各种随机问题,镀膜结束时,依次关闭传动、靶电源,工艺气体、冷却水、(扩散泵水除外),依次关闭各路高阀,启动维持泵,开维持阀,依次关各路前级阀、罗茨泵、机械泵、各真空测量仪,对冷辊升温,如不继续镀膜,关闭扩散泵,保持冷却水,降温3小时后,关维持阀和维持泵;
四、恢复大气压力:
确认冷辊高于露点温度后,打开充气阀,充气完成后,打开真空室门;
五、质量检验:在收卷一侧压紧辊处用记号笔标记镀膜终止位
置横线,对镀膜质量进行必要的观测检验记录;
六、卸膜:
将镀膜剩余引膜收卷完毕,用吊车小心将成品膜吊装到专用托架上,送交净化室;
七、分卷、分切、入库保存;
八、包装、出库、运输;
九、特别提示:
当系统发生故障或供电系统问题引起突然停电时,应立即启动扩散泵紧急冷却系统,方法是:关闭扩散泵主循环阀,打开自来水总开关,对炉盘强制冷却,冷却后应在下一次使用前用气管将急冷水吹干。