不同真空范围内的抽气时间计算

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

不同真空范围内的抽气时间计算

根据真空系统的使用目的而决定所需的真空度和抽气时间，然后选择

合适的真空泵。本节介绍不同真空范围内的抽气时间计算。

1、大气压-低真空领域的抽气时间计算这里所指的低真空领域，是指真

空度在100 KPa 至0.2 KPa，低真空领域真空腔体和泵的连接管内，气体分子是黏性流时，抽气时间可以通过初期压强p1、到达压强p2、抽气速度S 和容积

V(含配管)来计算。

式中p1 初期压强(大气压)[Pa]；

p2 到达压强[Pa]；

t 抽气时间[min]；

V 容积[L]；

Se 实际抽气速度[L/min]。

考虑到导管和阀门的瓶颈效应，实际抽气速度大致可以估算为理论抽气

速度的80%。

2、中真空领域的抽气时间计算这里所指的高真空至超高真空领域，是指

真空度在200 Pa 至0.2Pa 之间，中真空领域导管内的气体分子，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面第三章节讲解的高真空那样简

单地计算。通常情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大

的结果。

真空抽气要考虑的要素：

(1)到达真空度；

(2)抽气速度；