扩散常见问题解决方法
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48所扩散过程中问题解决方案
Tempress扩散过程中问题解决方案
方块电阻不在规定范围内：1.轻微超出范围要求重新扩散，严重超出要求重新制绒。2.低于范围要求从新制绒。氧化发蓝：去PSG工序，反面扩散。
色斑等由硅片表面问题引起的玷污：去PSG后从新制绒。
偏磷酸：去PSG后，重新制绒。