第五章 几种新型薄膜材料及应用要点
新型膜材料
新型膜材料随着科技的不断进步和人们对环境保护的重视，新型膜材料逐渐成为人们关注的热点。
新型膜材料具有许多优点，如高效、环保、可重复使用等，因此在各个领域都有广泛的应用。
一、新型膜材料的种类新型膜材料种类繁多，其中最常见的有以下几种：1. 纳米复合膜纳米复合膜是一种由纳米粒子和基础材料组成的薄膜。
它具有优异的物理和化学性能，能够有效地防止氧化、抗菌、防腐等。
2. 离子交换膜离子交换膜是一种具有特定功能的薄膜，能够对水中的离子进行选择性过滤和交换，广泛用于水处理、电子工业、化学工业等领域。
3. 超滤膜超滤膜是一种可过滤大分子物质的膜材料，能够有效地去除水中的细菌、病毒、有机物等，广泛应用于饮用水净化、食品加工等领域。
4. 氧化石墨烯膜氧化石墨烯膜是一种新型的膜材料，由石墨烯和氧化剂组成，具有高导电性、高透明度、高机械强度等优点，是制备透明电极、光电器件等的理想材料。
二、新型膜材料的应用新型膜材料在各个领域都有广泛的应用，以下是其中的几个例子： 1. 水处理新型膜材料可以有效地去除水中的有机物、重金属、细菌等，因此在水处理领域有着广泛的应用。
例如，超滤膜可以用于饮用水净化，离子交换膜可以用于海水淡化。
2. 食品加工新型膜材料可以用于食品加工中的分离、浓缩、纯化等过程。
例如，纳米复合膜可以用于果汁浓缩，超滤膜可以用于乳制品生产。
3. 医药新型膜材料可以用于医药领域中的分离、纯化等过程。
例如，离子交换膜可以用于制备生物制品，超滤膜可以用于血液透析。
4. 电子工业新型膜材料可以用于电子工业中的电解、膜分离、纯化等过程。
例如，离子交换膜可以用于电镀，氧化石墨烯膜可以用于制备透明电极。
三、新型膜材料的优点新型膜材料相比传统材料具有以下优点：1. 高效新型膜材料具有高效的分离、纯化等功能，能够有效地提高生产效率。
2. 环保新型膜材料可以对水、空气等资源进行有效利用，减少了对环境的污染。
3. 可重复使用新型膜材料具有较长的使用寿命，并且可以反复使用，降低了生产成本。
新型功能薄膜材料的研究与应用
新型功能薄膜材料的研究与应用当我们提到薄膜材料时，很多人可能会想到塑料袋或者保鲜膜，这些常见的薄膜材料在日常生活中具有广泛的应用。
然而，随着科技的进步，新型功能薄膜材料的研究与应用正在不断涌现，为各个领域带来了新的可能性。
一种广泛应用于电子产品和太阳能电池等领域的新型功能薄膜材料是透明导电薄膜。
传统的导电材料如金属，虽然导电性好，但是不透明，无法应用于透明电子产品中。
而透明导电薄膜则具有优异的导电性能和透明性，使得其在新型显示器、触摸屏等领域得到了广泛应用。
以柔性显示器为例，透明导电薄膜可以作为电极材料，使得显示器可以具备弯曲，可折叠的特性，更加符合人们对于便携式电子产品的需求。
此外，新型功能薄膜材料还应用于能源领域。
随着对可再生能源利用的追求，太阳能电池成为了一种重要的能源转换设备。
而透明导电薄膜的应用使得太阳能电池不再受限于面积和材料选择。
传统的太阳能电池需要使用银等材料作为电极，而透明导电薄膜可以取代银作为电极材料，不仅能够提高太阳能电池的光吸收效率，还能够减少材料成本和环境污染。
除了透明导电薄膜之外，还有其他一些新型功能薄膜材料在科技领域得到了广泛应用。
石墨烯是目前研究最热门的材料之一，它是由碳原子按照二维晶格排列形成的单层薄膜。
石墨烯具有极高的导电性和热导性，同时也具备优异的机械性能和化学稳定性。
这使得石墨烯在电子器件、传感器、储能装置等领域具有广泛的应用前景。
此外，具有光学功能的薄膜材料也受到了科学家们的关注。
光学薄膜是一种能够改变光的传播性质的材料。
通过调整薄膜的厚度和折射率，可以实现对光的反射、透射和吸收的控制，进而实现各种光学器件的设计和制备。
光学薄膜在激光加工、光学传感、显示技术等领域具有广泛应用，为光学领域的发展提供了新的思路。
综上所述，新型功能薄膜材料的研究与应用给各个领域带来了新的可能性。
透明导电薄膜在电子产品和能源领域发挥着重要作用，石墨烯等材料也成为了科研热点。
光学薄膜则为光学领域的发展提供了新的思路。
薄膜材料的应用及进展
薄膜材料的应用及进展薄膜材料是在一定的加工工艺下制成的厚度小于1毫米的材料。
随着科学技术的不断发展，薄膜材料已经被广泛应用于各个领域。
本文将从应用和进展两个方面介绍薄膜材料的发展现状。
一、应用：1、太阳能电池板：薄膜材料的应用最为突出的便是太阳能电池板。
通过采用热蒸发、电子束蒸发、溅射等技术，在底片上制成彩色薄膜太阳能电池板。
此外，薄膜太阳能电池板具有高效率、轻质化以及柔性等优点，成为新一代太阳能电池板的主要研究方向。
2、面板显示技术：另外，薄膜材料在面板显示技术中也有着广泛的应用，包括LED电视机、手机屏幕等。
甚至在手机屏幕领域，柔性薄膜技术也已经被开发出来，为顾客的应用带来更舒适的体验。
3、储能电池：在储能电池方面，薄膜材料也起到了重要的作用。
采用薄膜材料制成的锂离子电池，相比传统电池，具有更高的能量密度、更佳的稳定性和安全性，因此在大型储能设备、节能照明灯具、电动汽车等领域具有可观的市场前景。
4、靶材和涂层材料：此外，薄膜材料还在很多高科技领域中被用到。
比如在半导体行业，薄膜材料作为靶材和涂层材料，被广泛应用于制作金属薄膜、光学薄膜等，以满足集成电路和显示器等领域的制造需求。
二、进展：1、制备工艺的发展：为了应对不同的应用需求，薄膜材料的制备工艺也在不断优化和改进。
例如，采用热蒸发法制备太阳能电池板，可以提高太阳能电池板的转化效率；采用电镀法和溶胶凝胶法制备锂离子电池，可以提高锂离子电池的功率密度和循环寿命等。
2、薄膜材料的多元化：当前，一些新型薄膜材料正在被研究和开发，以满足更多领域的需求，比如大规模、高功率电池。
石墨烯和二硫化钼等材料的薄膜化制备技术也正在逐渐成熟。
3、柔性薄膜的研究与应用：柔性薄膜技术是近年来比较热门的研究方向，柔性薄膜的应用具有颠覆性的革新意义。
柔性薄膜材料在可穿戴电子设备、可折叠电视，以及挤压式传感器等领域具有广泛的应用前景。
总之，薄膜材料的应用和研究进展表明了其在很多领域中的重要作用。
新型薄膜材料的开发及应用研究
新型薄膜材料的开发及应用研究一、引言随着科技的飞速发展，新式薄膜材料成为材料科学领域中备受瞩目的研究方向。
新型薄膜材料具有不同以往常规材料所不具备的优势，例如高强度、高导电性和信息存储性能等，赋予其广泛的应用前景。
本文将从新型薄膜材料的开发及应用两个方面进行研究，旨在阐述这些新材料的优越性和潜在的应用领域。
二、新型薄膜材料的开发1.多元化生产方式通常情况下，生产新型薄膜材料需要结合多种成熟的生产方式，例如热化学气相沉积法、物理气相沉积法、离子束溅射法等，通过逐步改进和优化这些生产方式，新型薄膜材料生产的效率和质量得到极大的提升。
例如，卡尔文石这种新型薄膜材料生产通常采用物理气相沉积法，将合成的卡尔文石材料喷涂于物体表面形成薄膜，因为原材料的优异质量和优秀的制造工艺，这种材料在光学显微领域中具有广泛的应用。
2.原材料的革新新型薄膜材料的开发还需要结合原材料的不断革新与改进。
目前，原材料的天然资源日益短缺，致使薄膜材料的生产推向重要的转折点，如何充分利用现有的资源，及时发展新的替代品成为了未来的发展主流。
例如，在锂电池领域中，电极材料的研究是新型薄膜材料开发的重点领域，利用超纯水合物氧化镓是一种新型的均一化工艺，其制备的氧化镓纳米材料在锂离子电池中具有更加优秀的性能表现。
3.新型薄膜结构的创新除了在原材料的方面不断进行革新创新，新型薄膜材料的结构同样也需要不断创新。
新型薄膜材料的结构设计通常借助计算机模拟手段，评估不同的结构设计方案的优缺点，提高新型薄膜材料的强韧性和附着性。
例如，最新的薄膜材料研究中使用了木纤维素，用其来改善金属表面的性能。
经过实验验证，与普通薄膜相比，在木纤维素支撑薄膜中，使用的交联剂的性能可以得到更好的发挥，从而得以实现强度和可控制性的优化。
三、新型薄膜材料的应用研究1.先进硬件领域的应用新型薄膜材料在先进硬件领域中的应用非常广泛，例如在高清晰度的显示器领域，采用新型薄膜材料制造出的显示屏与普通屏幕相比，有更为准确的颜色还原和更加细腻的图像表现；在手机肖像事业中的应用，新型薄膜材料被用作触摸屏的表面涂料，可以起到防划痕和防油污的作用，扩大了其应用于生产需求量；在物联网领域中的应用，新型薄膜材料可以被应用于不同的传感器和信号输出器，以及一系列的设备跟踪甚至监控这一系列任务。
新型薄膜材料的合成和应用
新型薄膜材料的合成和应用薄膜材料是近年来材料科学领域的一个热门研究方向。
其应用广泛，包括在电子技术、光学、能源等领域。
新型薄膜材料的合成和应用也成为了当前的热点问题。
一、新型薄膜材料的合成1. 原位合成法原位合成法是指在化学反应中，化学物质在反应过程中自行形成薄膜材料。
在该方法中，选择合适的前驱体、溶剂和反应条件很关键。
该方法的优点是简单易操作，但是对温度、压力、反应物浓度等条件要求较高，需要有一定的实验经验。
2. 溶胶-凝胶法溶胶-凝胶法是把溶胶变成固胶，然后加热烧结成薄膜材料的方法。
该方法的优点是可以制备复杂的材料，但是需要较长的加热时间和高温处理，对仪器设备要求较高。
3. 等离子体沉积法等离子体沉积法是指利用等离子体对反应物产生激发、电离等作用，实现薄膜沉积的方法。
该方法具有高沉积速率、可制备高质量单晶膜、可沉积多种材料等优点，但是受到设备成本、能耗、工艺难度等限制。
二、新型薄膜材料的应用1. 电子技术电子技术是薄膜材料的重要应用领域。
例如，利用金属薄膜材料可制备可撕除电极，实现柔性电子器件的生产。
利用半导体薄膜材料可以制备高效的太阳能电池等。
2. 光学光学领域也是薄膜材料的重要应用领域。
例如，利用金属反射膜，可制备高反射率的镜片。
利用二氧化硅薄膜，可制备具有高透明度的玻璃。
3. 能源薄膜材料在能源领域也有着广泛的应用。
例如，利用钙钛矿薄膜材料可以制备高效率的光伏发电系统。
利用石墨烯薄膜材料可以制备高效的超级电池。
总结新型薄膜材料的合成和应用是当前材料科学领域的热点问题。
在新型薄膜材料的合成方面，有原位合成法、溶胶-凝胶法和等离子体沉积法等多种方法。
在应用方面，新型薄膜材料将为电子技术、光学和能源等领域带来更为广泛的应用前景。
未来，新型薄膜材料的研究也将更加深入，为各个领域的技术创新提供更好的支撑。
新型薄膜材料的制备与应用
新型薄膜材料的制备与应用新型薄膜材料指的是相对于传统的薄膜材料而言，具有新颖性和独特性的材料。
制备新型薄膜材料主要包括材料选择、制备方法和表征等方面，而应用方面则涵盖了电子器件、光电器件、传感器、能源存储与转换等领域。
本文将围绕新型薄膜材料的制备和应用这两个方面展开讨论。
首先，新型薄膜材料的制备主要包括材料的选择和制备方法的优化。
对于材料的选择，有机高分子材料、无机功能材料和复合材料等都具有很好的应用潜力。
有机高分子材料可通过溶液法、溶胶凝胶法、自组装等方法制备；无机功能材料可通过物理气相沉积、化学气相沉积、溶液法、热蒸发等方法制备；而复合材料则可通过复合共混、层状堆积等方法制备。
通过选择合适的制备方法，可以得到结构优化和性能优良的薄膜材料。
其次，新型薄膜材料的应用十分广泛。
首先，在电子器件领域，新型薄膜材料可以应用于柔性显示器、薄膜晶体管、透明导电膜等方面。
例如，利用有机高分子材料可以制备出柔性显示器，其具有轻薄、可弯曲等特点；透明导电薄膜则可以应用于触摸屏、太阳能电池等设备中。
其次，在光电器件方面，新型薄膜材料可用于太阳能电池、光电探测器等。
例如，利用半导体纳米材料可以制备出高效率的太阳能电池；有机无机杂化材料则可应用于光电二极管、激光器等方面。
再次，在传感器领域，新型薄膜材料可以应用于气体传感器、生物传感器等方面。
例如，通过选择敏感材料和适当的制备方法，可以制备出高灵敏度和高选择性的气体传感器；利用生物材料和纳米技术，可以制备出具有生物相容性和高灵敏度的生物传感器。
最后，在能源存储与转换领域，新型薄膜材料可以应用于超级电容器、锂电池等方面。
例如，利用纳米材料和多孔结构可以制备出具有高比容量和长循环寿命的超级电容器；采用新型电极材料和电解液可以提高锂电池的能量密度和安全性能。
综上所述，新型薄膜材料的制备与应用是一个相对复杂和综合性的课题。
通过选择合适的材料和制备方法，可以得到结构优化和性能优良的薄膜材料。
材料科学中的新型薄膜材料研究及其应用
材料科学中的新型薄膜材料研究及其应用随着科技的发展，薄膜材料越来越受到人们的关注。
薄膜材料具有重量轻、质量高、结构紧密等优点，可广泛应用于电子、光电、能源、传感器、生物医学等领域。
在现有薄膜材料的基础上，科学家们不断探索新型的薄膜材料，以满足新领域应用的需求。
一、柔性透明导电薄膜传统的导电薄膜多采用氧化物、金属等材料，通常具有较好的导电性能，但缺乏柔性和透明度。
随着智能手机、移动电子设备等市场的兴起，越来越多的人开始关注柔性透明导电薄膜的研究。
近年来，石墨烯、碳纳米管等新型材料成为研究的热点。
石墨烯是一种单层碳原子以sp2杂化的形式排列而成的六边形晶体结构，具有良好的导电性和透明度，可用于制备柔性透明导电薄膜。
与传统的氧化物和金属材料相比，石墨烯具有更好的柔性和透明度，适合制作弯曲的电子设备。
除了石墨烯，碳纳米管也是一种优秀的导电薄膜材料。
碳纳米管具有极高的导电性、机械强度和柔韧性，可用于制作柔性的电子设备和透明电极。
其透明度在550纳米波长下可达到85%以上。
二、功能性膜材料除了导电薄膜外，功能性膜材料也是近年来的研究重点之一。
在生物医学、电子光电等领域，往往需要薄膜具有特定的功能性，如抗菌、自清洁、光敏等。
纳米材料的研究及其应用是功能性膜材料研究的重要方向之一。
研究人员通过不同的制备方法制备出具有特定功能的纳米膜。
例如，采用原子层沉积技术制备出具有抗菌和自清洁功能的氧化锌薄膜。
该氧化锌薄膜可广泛应用于生物医学、食品包装等领域。
另外，近年来石墨烯的研究也在功能性薄膜材料领域得到了应用。
石墨烯等二维材料具有极高的比表面积、柔韧性、高透明度等特点，可用于制备具有特定功能的薄膜材料，如刚性柔性转换器、高效光催化材料等。
三、能源材料领域除了上述的应用领域，薄膜材料在能源材料领域也具有重要的地位。
太阳能电池是一种将太阳能转化为电能的器件，其关键技术之一就是薄膜材料。
目前太阳能电池中常用的材料有硅、染料敏化太阳能电池等。
新型薄膜材料的制备与应用
新型薄膜材料的制备与应用随着科技的不断发展和进步，材料的种类和品质也不断地得到了改进和升级。
在材料科学领域里，新型薄膜材料是一种备受关注和研究的材料类型。
新型薄膜材料具备很多传统材料所不具备的优势，可以用于很多领域，如能源、电子技术、医疗、光学等等。
本文将重点介绍新型薄膜材料的制备和应用情况。
一、新型薄膜材料的概念与分类新型薄膜材料指的是在一定条件下制备得到的，厚度在纳米或微米级别以下的材料。
根据材料制备原理和性质特点的不同，新型薄膜材料可分为无机材料薄膜、有机材料薄膜和复合材料薄膜等几种类型。
无机材料薄膜主要包括氧化物、硝酸盐、硫化物、钙钛矿等等，而有机材料薄膜则以聚合物、碳纳米管、石墨烯为主。
二、新型薄膜材料的制备方法1、物理蒸发法物理蒸发法是指将物质通过加热升华成蒸汽，然后在基底表面沉积成薄膜的一种制备方法。
物理蒸发法是一种非常简单、适用范围广的制备方法。
但这种方法也存在着一些缺点，如薄膜厚度难以控制、生长速度慢等。
2、化学气相沉积法化学气相沉积法是指通过将反应物气体在基底表面化学反应形成薄膜。
这种方法能够实现高纯度、高效率的薄膜制备，其物质利用率也非常高。
但是化学气相沉积法在应用过程中需要注意控制反应条件，如反应压力、温度等。
3、离子激发法离子激发法是指利用高能离子束轰击目标表面，使目标表面物质脱离并在基底上形成薄膜的制备方法。
这种方法可以得到高质量、高稳定性的薄膜，具有较强的质谱分析实力。
但由于离子束轰击能使表面处于剧烈的变化过程中，所以离子激发法有时也会改变薄膜的性质，需要注意选择合适的基底材料。
三、新型薄膜材料的应用1、能源新型薄膜材料在能源领域里有着广泛的应用。
例如高效的太阳能电池中需要使用到薄膜材料，不仅能提高太阳能电池的光电转换效率，而且能够降低成本。
此外，薄膜材料在能量存储、环境保护等方面也有着广泛的应用。
2、电子技术新型薄膜材料在电子技术领域里也有着广泛的应用。
作为核心技术的半导体芯片，也需要使用到薄膜材料，以提高芯片的性能、稳定性和精度。
新型薄膜材料的制备及应用研究
新型薄膜材料的制备及应用研究新型薄膜材料的制备及应用研究摘要：薄膜材料的制备及应用一直是材料科学领域的研究热点。
本文介绍了几种常见的新型薄膜材料的制备方法，并列举了它们在不同领域的应用案例。
通过对新型薄膜材料的研究，我们可以进一步了解其特性和应用潜力，为材料科学领域的发展做出贡献。
关键词：薄膜材料、制备方法、应用案例、特性、潜力1.引言薄膜材料是指厚度在纳米到微米级范围内的材料。
与传统的材料相比，薄膜材料具有较大的比表面积、较高的可控性和较好的性能改善潜力。
因此，薄膜材料在能源、电子器件、生物医学等领域有广泛的应用前景。
2.薄膜材料的制备方法（1）溶液法：溶液法是最常用的薄膜材料制备方法之一。
其基本原理是将原料在溶剂中溶解后，通过蒸发、旋涂、喷涂等方法在基底上形成薄膜。
（2）物理气相沉积法：物理气相沉积法主要分为热蒸发法和磁控溅射法。
基本原理是通过加热或受激励电源，将材料蒸发或溅射，并在基底上生成薄膜。
（3）化学气相沉积法：化学气相沉积法利用气相反应来制备薄膜材料。
常用的方法包括化学气相沉积（CVD）和热反应气相沉积（MOCVD）。
（4）物理沉积法：物理沉积法主要包括电子束蒸发、离子束辐照和激光热解等方法。
其基本原理是将材料加热至蒸发温度，然后将蒸发的材料沉积到基底上形成薄膜。
3.新型薄膜材料的应用案例（1）柔性电子器件：新型薄膜材料具有良好的可拉伸性和透明性，非常适合用于柔性电子器件。
例如，使用柔性导电聚合物薄膜作为电极材料，可以制备出柔性有机太阳能电池和柔性可穿戴设备。
这些器件具有重量轻、可弯曲和可拉伸等特点，可以广泛应用于智能手机和健康监测等领域。
（2）光电器件：新型薄膜材料在光电器件方面也有着广泛的应用。
例如，利用钙钛矿薄膜材料可以制备高效率的太阳能电池。
此外，还可以利用二维薄膜材料的光电特性制备光电转换器件，如光电二极管、光敏电阻和光电导等。
（3）传感器：新型薄膜材料在传感器领域也有较大的应用潜力。
新型薄膜材料的制备与应用研究
新型薄膜材料的制备与应用研究随着社会生产力的不断发展，人们对于材料的需求越来越高，同时对于材料的性能和性质的要求也越来越高。
因为材料的性能直接决定了产品的质量，所以材料的研究变得越来越重要。
在材料的研究中，薄膜材料一直是一个热门的话题，因为薄膜材料在很多领域都有广泛的应用，例如光学、电子、生物医药等等。
而新型薄膜材料的制备和应用研究更是备受关注。
一、新型薄膜材料的特点与传统的薄膜材料相比，新型薄膜材料有以下几个特点：1. 越来越多的新材料涌现，使薄膜材料变得更加多样化。
例如，石墨烯、二维材料、半导体材料等等，这些新材料拥有独特的性质，可以在薄膜材料的制备中得到应用。
2. 制备新型薄膜材料的技术逐渐更新。
例如，化学气相沉积、磁控溅射、原子层沉积等技术的出现，大大提高了薄膜材料的制备效率和质量。
3. 新型薄膜材料的性能得到了进一步提升。
例如，制备出来的薄膜材料可以具有更高的导电性、更好的稳定性、更优秀的光学性能等等。
二、新型薄膜材料的制备方法1. 化学气相沉积技术化学气相沉积技术是一种制备薄膜材料的方法，这种方法将气体和液体化学反应产生的产物沉积在基底上制成薄膜。
化学气相沉积技术具有制备简单、反应条件容易调节、薄膜结晶性好、材料纯度高等优点，因此被广泛应用于薄膜材料的制备中。
2. 磁控溅射技术磁控溅射技术是一种利用离子束撞击靶材制备薄膜材料的方法。
利用磁场将离子束聚焦在靶材表面，靶材表面原子受到离子束的轰击而脱落，在真空环境下沉积在基底上形成薄膜。
3. 原子层沉积技术原子层沉积技术是一种制备薄膜材料的方法，通过以极短时间间隔交替沉积金属材料和氧化物，从而形成一层一层的薄膜。
这种方法能够制备薄膜材料的厚度精度高、组分均匀、质量稳定、结构紧密等优点。
三、新型薄膜材料的应用研究1. 电子领域电子元器件中需要用到电极材料、介质材料、传感器材料等等，新型薄膜材料具有较好的导电性、绝缘性、稳定性等特性，在电子领域得到了广泛应用。
各种薄膜的区别和应用
| PC、PET、PMMA、PI、PP等膜片材特性及应用一、PC薄膜1. 特性一种无定型、无臭、无毒、高度透明的无色或微黄色热塑性工程塑料，具有优良的物理机械性能，尤其是耐冲击性优异，拉伸强度、弯曲强度、压缩强度高、蠕变性小、尺寸稳定；具有良好的耐热性和耐低温性，在较宽的温度范围内具有稳定的力学性能、尺寸稳定性、电性能和阻燃性。
使用温度：-30～120℃，厚度：0.07～1.0mm，表面效果：光面、沙面、拉丝面2. 适用范围：艾柯特胶带阻燃PC薄膜广泛用于电子元器件、电器外壳、开关面板、接线盒及充电器外壳、汽车仪器仪表及有阻燃要求的面板印刷等。
印刷级磨砂PC薄膜适用于特种印刷、头盔、标牌、铭板、防护罩等。
防刮花PC薄膜应用于手机、MP3、MP4、DVD、背光源等电子产品的视窗镜片。
二、PET薄膜1. 特性PET膜又名耐高温聚酯薄膜。
具有优异的物理性能、化学性能及尺寸稳定性、透明性、可回收性。
机械性能优良，其强韧性是所有热塑性塑料中最好的，抗张强度和抗冲击强度比一般薄膜高得多，且挺力好，尺寸稳定，还具有优良的耐热、耐寒性和良好的耐化学药品性和耐油性。
使用温度：-60～120℃，厚度：0.125mm-0.35mm，表面效果：光面、沙面、拉丝面2. 适用范围：艾柯特胶带PET薄膜分为：PET热收缩膜、PET抗静电膜、PET高光亮膜、PET反光膜、化学涂布膜等，其中化学涂布膜主要是为了提高PET薄膜的表面性能，用丙烯酸乳液涂布可提高PET的印刷适性，用聚氨酯水溶液涂布能加强镀铝层与PET基膜的结合力；PET高光亮膜因其优异的机械性能和光学性能主要应用于高档真空镀铝产品和激光防伪基膜；PET反光膜因其优良的光学性能以及耐老化、热稳定好等特点，主要应用于反光广告牌、交通反光标识和工业安全标志等。
三、PMMA薄膜1. 特性PMMA膜又名聚甲基丙烯酸甲酯薄膜，无毒环保，具有良好的化学稳定性和耐候性。
良好的综合力学性能，在通用塑料中居前列，而且PMMA树脂在破碎时不易产生尖锐的碎片。
几种新型薄膜材料及应用
电介质的基本特征是，在外电场的作用下， 电介质中要出现电极化，即将原来不带电 的电介质置于外电场中，在其内部和表面 上将会感生出一定的电荷。
本节主要介绍用于混合集成电路、半导体 集成电路及薄膜元器件中的介质薄膜的制 作、性质及应用
5.2.2 氧化物电介质薄膜的制备及应用
1、氧化物电介质薄膜的制备
SnO2晶体具有正四面体金 红石结构(a＝4.738Å， c=3.188 Å)，如图所示。 它是一种宽禁带半导体材 料，其禁带宽度Eg=3.6eV， 纯SnO2存在晶格氧缺位， 在禁带内形成ED＝-0.15eV 的施主能级，属于n型半导 体，一般处于简并或接近 于简并状态。
5.3.2 透明导电薄膜制备方法
③化学气相沉积法 将玻璃衬底加热至高温，并使其 表面吸附金属有机化合物的热蒸气，然后通过喷涂 在基片表面上引起分解氧化反应，由此析出金属氧 化物。金属有机化合物可用(CH3)2SnCl2等；并且， 还可以掺杂SbCl3。
④溅射法
锡掺杂的In2O3(tin-doped indium oxide，简 称ITO)薄膜是一种n型半导体材料，它具有 较宽的带隙（3.5eV～4.3eV）， 较高的载 流子密度（1021cm-3）。另外，ITO薄膜还 具有许多其它优异的物理、化学性能，例 如高的可见光透过率和电导率，与大部分 衬底具有良好的附着性，较强的硬度以及 良好的抗酸、碱及有机溶剂能力。因此， ITO薄膜被广泛应用于各种光电器件中，如 LCDs(Liquid Crystal Display)、太阳能电池、 能量转换窗口、固态传感器和CRTs。
目前，玻璃衬底电池上电极用的TCO膜是SnO2膜或 SnO2/ZnO复合膜，不锈钢衬底电池上电极用的 TCO膜为ITO膜。最近已经在聚酯（PET）薄膜衬 底上制备了透明氧化物导电薄膜。
材料科学中的新型薄膜材料研究及其应用
材料科学中的新型薄膜材料研究及其应用近年来，材料科学领域涌现出许多新型薄膜材料，这些材料具有独特的结构和性能，得到了广泛的关注和研究。
新型薄膜材料在能源、光电、传感器、电子器件等领域具有重要的应用前景，为我们生活的各个方面带来了新的可能性。
一类新型薄膜材料是二维材料，如石墨烯、二硫化钼等。
二维材料具有单原子厚度的特点，具备了独特的电学、热学和力学等性质。
石墨烯是由单层碳原子排列而成的材料，具有极高的导电性和热导率，因此被广泛应用于电子器件、能源储存和传感器等领域。
二硫化钼在光电器件中表现出优异的光电性能，被用于太阳电池、光电探测器等。
除了二维材料，还有一类新型薄膜材料是有机-无机杂化材料。
这类材料结合了有机材料和无机材料的优点，具有高度可调控性和多功能性。
例如聚合物-无机杂化薄膜，结合了聚合物的加工性和无机材料的稳定性，广泛应用于光电器件中。
另外，钙钛矿材料也是一类有机-无机杂化材料，具有优异的光电性能，被用于太阳能电池、光电探测器等方面。
此外，新型薄膜材料还包括纳米复合薄膜和多孔薄膜。
纳米复合薄膜是由不同材料的纳米颗粒形成的复合结构，具有多种结构和性能的协同效应，广泛应用于催化、传感器等领域。
多孔薄膜具有大量孔隙和高比表面积，可以用于分离、过滤和催化等方面。
新型薄膜材料在各个领域的应用十分广泛。
在能源领域，新型薄膜材料可以用于太阳能电池、燃料电池和储能设备等，提高能源的转换效率和储存密度。
在光电器件中，新型薄膜材料可以用于光电探测、光学传感和显示等，提高光电转换效率和器件的稳定性。
在传感器领域，新型薄膜材料可以用于生物传感、气体传感和化学传感等，提高传感器的灵敏度和选择性。
此外，新型薄膜材料还可以应用于涂层、防护和微纳加工等方面。
总之，新型薄膜材料的研究和应用是材料科学的前沿领域，对于推动科技创新和社会发展具有重要的意义。
在未来，随着科学技术的不断进步，新型薄膜材料将会有更广泛的应用，为我们带来更多的发展机遇和改善生活的可能性。
13种薄膜材料概述(doc 7页)
13种薄膜材料介绍薄膜具有良好的韧性、防潮性和热封性能，应用非常广泛；PVDC薄膜适合包装食品，并能长时间保鲜；而水溶性PVA薄膜不必开封直接投入水中即可使用；PC薄膜无味、无毒，有类似玻璃纸的透明度和光泽，可在高温高压下蒸煮杀菌。
本文将主要介绍几种塑料薄膜的性能及其使用。
从商品生产到销售，再到使用，包装件要经过储存、装卸、运输、货架陈列以及在消费者手中存放，这个过程中即可能遇到严寒、酷暑、干燥、潮湿等恶劣的自然气候条件，也要遭受振动、冲击和挤压等各种机械破坏，甚至还有微生物和虫类的侵害。
要保证商品的质量，主要依靠包装材料来保护，所以包装材料非常重要。
塑料薄膜是最主要的软包装材料之一，塑料薄膜的种类繁多，特性各异，根据薄膜的不同特性，其用处也不同，下面介绍几种常见的塑料薄膜：聚乙烯薄膜PE薄膜使用大量最大的塑料包装薄膜，约占塑料薄膜总耗用量的40%以上。
PE薄膜虽然在外观、强度等方面并不十分理想，但它具有良好的韧性、防潮性和热封性能，且加工成型方便，价格便宜，所以应用非常广泛。
1、低密度聚乙烯薄膜。
LDPE薄膜主要采用挤出吹塑法和T模法生产的LDPE薄膜是一种柔韧而透明的薄膜，无毒、无嗅，厚度一般在0.02～0.1㎜之间。
具有良好的耐水性、防潮性、耐旱性和化学稳定性。
大量用于食品、药品、日用品及金属制品的一般防潮包装和冷冻食品的包装。
但对于吸湿性大，防潮性要求较高的物品，则需要采用防潮性更好的薄膜和复合薄膜包装。
LDPE薄膜的透气率大、无保香性且耐油性差，不能用于易氧化食品、风味食品和含油食品的包装。
但透气性好使它能用于水果、蔬菜等新鲜物品的保鲜包装。
LDPE薄膜的热粘合性和低温热封性好，因此常用作复合薄膜的粘合层和热封层等，但由于其耐热性差，故不能用作蒸煮袋的热封层。
2、高密度聚乙烯薄膜。
HDPE薄膜是一种韧性的半透明薄膜，其外观为乳白色，表面光泽度较差。
HDPE薄膜的抗张强度、防潮性、耐热性、耐油性和化学稳定性均优于LDPE薄膜，也可以热封合，但透明性不如LDPE。
新型膜材料的研究和应用
新型膜材料的研究和应用随着科技的不断发展，膜材料也在不断地发展变化，各种新型膜材料不断涌现。
新型膜材料在污水处理、气体分离、海水淡化等领域得到了广泛应用。
本文将重点探讨新型膜材料的研究和应用。
一、新型膜材料的种类1.1 有机膜材料有机膜材料是介于无机和聚合物之间的新型膜材料，可以分为纳米孔膜、层状材料及有机无机复合材料等。
比较典型的纳米孔膜材料有聚醚酮膜、聚酰胺膜、聚对苯二甲酸酯膜等。
1.2 硅排阻膜硅排阻膜是一种常见的有机无机复合材料，由有机物和无机物组成的复合材料，具有优异的化学稳定性、耐高温性能等特点。
硅排阻膜广泛应用于海水淡化、饮用水净化等领域。
1.3 碳纳米管碳纳米管是一种新型膜材料，具有高强度、高导电性、优异的机械性能和独特的分子筛特性。
碳纳米管膜具有良好的气体分离性能，在气体分离、有机溶剂分离等领域具有广泛应用前景。
二、新型膜材料的应用2.1 污水处理新型膜材料在污水处理中具有广泛的应用前景。
随着城市化进程的不断加速，城市生活垃圾的增多和工业污染物的排放，都会给环境造成严重污染。
污水处理是一个既紧迫又重要的问题，可采用新型膜材料进行处理。
新型膜材料采用分离膜技术，可以有效地过滤出一些致癌物质和有毒物质，使得废水在经过处理后达到国家标准。
2.2 气体分离不同分子体积大小导致气体分子运动速度的不同，从而可以通过新型膜材料的分离效应对气体进行分离。
气体分离可以应用于天然气纯化、空分等领域。
碳纳米管和硅排阻膜等新型膜材料的气体分离性能较为出色，尤其在石油、化工等行业经济性能更佳。
2.3 海水淡化海水是水资源的重要组成部分，但是在这个日益紧缩的水资源环境下海水淡化技术的应用愈来愈广泛。
新型膜材料在海水淡化的应用中具有优良的性能。
特别是硅排阻膜，它具有优异的化学稳定性和耐盐度高的特点，在带动海水淡化产业发展的同时也极大地缓解了世界范围内的淡水资源紧张压力。
总之，新型膜材料的发展和应用正是当今水资源、污水处理等领域的热点问题之一。
七大塑料薄膜产品的特性及用途分析
七大塑料薄膜产品的特性及用途分析塑料薄膜是一种在工业和日常生活中广泛使用的材料，具有轻便、耐用、透明、柔韧、防水等优点。
以下将分析七大常见的塑料薄膜产品的特性及用途。
1.聚乙烯薄膜（PE薄膜）：聚乙烯薄膜分为高密度聚乙烯（HDPE）、低密度聚乙烯（LDPE）和线性低密度聚乙烯（LLDPE）三种。
PE薄膜具有良好的机械性能和耐候性，可用于包装、农膜、垃圾袋等。
2.聚丙烯薄膜（PP薄膜）：聚丙烯薄膜具有优良的耐高温性能和抗拉强度，适用于食品包装、农膜、医药包装等领域。
3.聚酯薄膜（PET薄膜）：聚酯薄膜具有优良的透明性、柔韧性和机械性能，广泛应用于食品包装、电子产品保护膜等。
4.聚氯乙烯薄膜（PVC薄膜）：聚氯乙烯薄膜是一种硬质的塑料薄膜，具有优良的耐化学性和电绝缘性，可用于电线电缆绝缘层、广告宣传、建筑材料等领域。
5.聚苯乙烯薄膜（PS薄膜）：聚苯乙烯薄膜具有良好的透明性和柔韧性，广泛应用于食品包装、医药包装等领域。
6.聚氯仿膜（PVDC薄膜）：聚氯仿膜是一种高透明、高阻隔性的薄膜，具有出色的阻氧性、保鲜性和保湿性，常用于食品包装、医药包装等。
7.聚乙烯醇薄膜（PVA薄膜）：聚乙烯醇薄膜是一种可降解的薄膜，具有良好的可液化和溶融性，广泛应用于包装、农膜等，可实现环保的效果。
总结而言，塑料薄膜产品在包装、农膜、医药包装等多个领域具有广泛的应用。
不同类型的塑料薄膜产品根据其特性在不同领域有不同的用途。
例如，PE薄膜适用于垃圾袋、农膜等；PP薄膜适用于食品包装和医药包装；PET薄膜适用于电子产品保护膜等。
因此，在选择使用塑料薄膜产品时，需要根据具体的需求和用途来选择适合的材料。
新型薄膜材料的研究与应用
新型薄膜材料的研究与应用一、引言随着现代科技的不断发展，新型材料的研究和应用越来越受到人们的关注。
薄膜材料作为一种新型材料，因其轻薄、柔性、透明、低成本等特点，已经被广泛应用于太阳能电池、LED显示屏、智能手机、液晶显示器等诸多领域。
本文将针对新型薄膜材料的研究现状及其在各领域中的应用进行探讨。
二、新型薄膜材料的研究1. 现阶段研究热点材料随着科技的发展，新型材料的种类也在不断增多。
目前，一些研究人员正在关注的新型薄膜材料有：2. 研究方法在新型薄膜材料的研究方面，以下是目前主要的研究方法：三、新型薄膜材料的应用1. 太阳能电池随着国际社会对环境问题越来越关注，太阳能电池作为一种新型、清洁的能源正在逐渐替代传统的化石能源。
而新型薄膜材料的低成本、轻薄等特点使得其在太阳能电池中应用得到了推广。
例如，硅基柔性薄膜太阳能电池，其厚度一般在几微米之内，与普通硅片相比，光电转换效率有所降低，但优势是轻薄、柔性，便于应用在户外设备中。
2. LED显示屏LED显示屏是目前市场上非常常见的显示器之一。
薄膜材料的柔性特点在LED显示屏中的应用尤其重要。
柔性薄膜材料可以使得LED显示器更加便携、更适合用于弯曲的表面。
同时，由于其轻薄的特点，硅基柔性薄膜材料也被广泛应用于LED封装材料中。
3. 智能手机近年来，智能手机在市场上的表现越来越注重轻薄化、便携化等特点。
而新型薄膜材料的研究应用正是促进智能手机制造商实现其需求的重要手段之一。
例如，按下手机屏幕时所触摸到的玻璃薄膜等柔性薄膜材料应用在手机中时，能够使得整个屏幕变得更加柔软，不仅可以防止碎裂，同时也能便于用户的操控。
4. 液晶显示器新型薄膜材料应用在液晶显示器中，旨在解决传统液晶显示器晶体的厚度和重量问题。
相比其它材料，薄膜材料制造的液晶显示屏能够更好的减少力度和重量，因为薄膜材料的风阻小，同时经过柔性及其弯曲处理后，具有非常出色的抗碎裂、抗压迫及抗摩擦等能力。
13种薄膜材料概述
13薄膜材料介绍该膜具有良好的韧性，耐湿性和热封性能，被广泛使用；直流电压薄膜适合包装食品，可以长时间保鲜；而水溶性聚乙烯醇无需打开密封条并将其放入水中即可直接使用该薄膜；个人电脑该膜无味，无毒，具有与玻璃纸相似的透明性和光泽度，可以在高温和高压下进行蒸煮和灭菌。
本文将主要介绍几种塑料薄膜的性能和用途。
从产品生产到销售，再到使用，包装必须在消费者手中进行存储，装卸，运输，货架展示和存储。
在此过程中，可能会遇到严酷的自然天气条件，例如严寒，高温，干燥和潮湿。
它还遭受各种机械损伤，例如振动，冲击和挤压，甚至微生物和昆虫。
为确保商品质量，主要依靠包装材料进行保护，因此包装材料非常重要。
塑料膜是最重要的软包装材料之一。
有许多不同特性的塑料薄膜。
根据胶片的不同特性，其用途也不同。
以下是一些常见的塑料薄膜：聚乙烯薄膜聚乙烯该薄膜使用了大量最大的塑料包装薄膜，约占塑料薄膜总消耗量40％以上。
聚乙烯尽管该膜在外观和强度方面不是很理想，但是它具有良好的韧性，耐湿性和热封性，并且易于加工和形成，并且价格便宜，因此被广泛使用。
1个，低密度聚乙烯薄膜。
低密度聚乙烯薄膜主要采用挤出吹塑成型方法，Ť模压生产低密度聚乙烯薄膜是柔性透明薄膜，无毒，无味，厚度一般0.02〜0.1之间。
它具有良好的耐水性，耐湿性，耐旱性和化学稳定性。
它广泛用于食品，药品，日用品和金属制品的常规防潮包装以及冷冻食品的包装。
然而，对于具有高吸湿性和高耐湿性要求的物品，包装需要具有更好的耐湿性的膜和复合膜。
低密度聚乙烯该膜具有高的透气性，没有香气滞留性和差的耐油性，并且不能用于包装易氧化食品，调味食品和油性食品。
但其良好的透气性使其适合包装水果和蔬菜等新鲜物品。
低密度聚乙烯该膜具有良好的热粘合性和低温热封性，因此常被用作复合膜的粘合层和热封层，但是由于其耐热性差，因此不能用作热封层。
蒸煮袋。
2，高密度聚乙烯薄膜。
高密度聚乙烯该膜是坚韧的半透明膜，具有乳白色外观和差的表面光泽。
第五章 薄膜材料的应用in
类金刚石薄膜的制备方法
类金刚石薄膜的制法可以分为三类： ①等离子体化学气相沉积法； ②离子束法； ③溅射法。
类金刚石薄膜的性能
DLC的电阻率变化范围较宽(102~1014），一般 含H的DLC的电阻率比不含H的DLC高，这或许是 H稳定了sp 3 键的缘故。 各种沉积法制备的DLC的硬度，变化范围是很大 2 的（ H v 1500~ 10000kg/mm ）。 内应力和黏会力决定着薄膜与基体结合的稳定性和 薄膜的寿命。内应力产生于沉积过程中的热膨胀差 别或由于杂质掺入界面，结构排列不完整或结构重 排而致的本征应力。DLC中一般都存在较大的压 应力（GPa量级），影响内应力的因素很多，如 DLC中的H含量、膜厚均匀性、膜层周围气氛等。
3
+++
速率高
面积小，不稳定
微波等离子体法 （0.9~2.45GHz）
微波等离子体法 （ECR2.45GHz）
1（低压） 30（高压）
0.1
40
〈40
+++
-/+
氧化硅， Mo ,Si,WC
晶质好，稳定性 好
低压，面积适中
速率低、面积小
速率低，质量不太 好
低压合成金刚石薄膜的机理
金刚石可以不在碳相图的稳定区内生成，而 在金刚石的亚稳态区生成，这已由大量的实 验所证实。 近三十多年的研究大多是成膜技术和制备工 艺，对低温低压形成金刚石的机理还没有搞 清楚。为了给制备高质量的金刚石薄膜提供 理论指导，世界上已提出许多模型或学说。 这些学说大致可分为三大类：①动力学学说； ②基团反应学说；③热峰学说。
加入大量的氢有利于金刚石的形成
有利于形成生长金刚石的CH3等活性基团，如； H CH 4 CH 3 H 2 可使石墨六边格子发生扭曲，形成具有金刚石的结构； 林彰达等认为H原子的作用是饱和表面C原子的悬键， 使表面金刚石结构稳定； 许多人认为原子氢的作用是腐蚀石墨，而不腐蚀（或 很弱腐蚀）金刚石表面； Frenklack M认为氢的关键作用是抑制气相中芳香 组分的形成，从而抑制非金刚石成分（如石墨）的形 成和生长。
第五章__几种新型薄膜材料及应用教材
④溅射法
锡掺杂的In2O3(tin-doped indium oxide，简 称ITO)薄膜是一种n型半导体材料，它具有 较宽的带隙（3.5eV～4.3eV）， 较高的载 流子密度（1021cm-3）。另外，ITO薄膜还 具有许多其它优异的物理、化学性能，例 如高的可见光透过率和电导率，与大部分 衬底具有良好的附着性，较强的硬度以及 良好的抗酸、碱及有机溶剂能力。因此， ITO薄膜被广泛应用于各种光电器件中，如 LCDs(Liquid Crystal Display)、太阳能电池、 能量转换窗口、固态传感器和CRTs。
D(H2)=2.2×10-8cm2s-1。H2O在SiO2薄膜中的溶解 度还比氧气大几百倍，从而使前者的浓度梯度大得
多。由此可见，湿法氧化比干氧氧化要快的多，相 应的湿法氧化温度可以低一些。
Si3N4薄膜和SiO2薄膜类似，它也可以在集成 电路中起钝化作用。它还是MNOS型（N为 氮化物）非易失存储器的组成部分。 Si3N4薄 膜的最成熟的制备方法是CVD方法，例如用 硅烷和氨热分解形成Si3N4薄膜。
第五章 几种新型薄膜材料及应用
5.1 铁电薄膜材料及其应用
5.1.1 铁电材料的研究发展 铁电体是一类具有自发极化的介电晶体，且 其极化方向可以因外电场方向反向而反向。 存在自发极化是铁电晶体的根本性质，它来 源于晶体的晶胞中存在的不重合的正负电荷 所形成的电偶极矩。 具有铁电性，且厚度在数十纳米至时微米的 薄膜材料，叫铁电薄膜。
SiO2薄膜的生长经常采用硅单晶表层氧化的方法， 这种方法是一种反应扩散过程。硅的热氧化有干氧
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表5-1给出这四种主要制膜技术的发展现状。 ⑴溅射法 ⑵MOCVD技术 ⑶Sol-Gel法 ⑷PLD法
表5-1
项目
附着力 复杂化合物沉积 沉积速率 均匀性 显微结构 化学计量比控制
铁电薄膜四种主要制备技术的对比
溅射法
很好 不好 一般 好 好 较好
PLD法
好 很好 好 好 好 好
c T T 0
式中，c为居里常数(Curie constant )，T为绝对温 度，To为顺电居里温度，或称为居里-外斯温度， 它是使 时的温度。对于二级相变铁电体，T0 ＝Tc，对于一级相变铁电体To<Tc（居里点TC略大 于T0）。
5.1.2 铁电薄膜及其制备技术的发展
电介质的基本特征是，在外电场的作用下，
电介质中要出现电极化，即将原来不带电 的电介质置于外电场中，在其内部和表面 上将会感生出一定的电荷。 本节主要介绍用于混合集成电路、半导体 集成电路及薄膜元器件中的介质薄膜的制 作、性质及应用
5.2.2 氧化物电介质薄膜的制备及应用 1、氧化物电介质薄膜的制备 氧化物介质薄膜在集成电路和其它薄膜器件中有广 泛的应用，例如SiO2薄膜的生长对超大规模集成电 路平面工艺的发展有过重要的贡献。SiO2薄膜是MOS 器件的重要组成部分，它在超大规模集成电路多层 布线中是隔离器件的绝缘层，并且能阻挡杂质向硅 单晶的扩散。 二氧化硅可见光区折射率1.46，透明区域从0.18～8 mm。
一般 一般 较少 较少
5.2 电介质薄膜及应用
5.2.1 概述 通常人们将电阻率大于1010Ω·cm的材料称为“绝缘 体”，并且简单地认为电介质就是绝缘体，其实这是 不确切的。严格地说，绝缘体是指能够承受较强电场 的电介质材料，而电介质材料除了绝缘特性外，主要 是指在较弱电场下具有极化能力并能在其中长期存在 （电场下）的一种物质。与金属不同，电介质材料内 部没有电子的共有化，从而不存在自由电子，只存在 束缚电荷，通过极化过程来传递和记录电子信息，与 此同时伴随着各种特征的能量损耗过程。因此，电介 质能够以感应而并非传导的方式来传递电磁场信息。
图5-1 铁电体电滞回线示意图
铁电体的基本性质就是铁电体的极化方向随外电场方 向反向而反向。极化强度与外电场的关系曲线如图51所示，此曲线即电滞回线（hysteresis loop）。图 中PsA是饱和极化强度， Pr是剩余极化强度， EC是矫 顽场。 由于晶体结构与温度有密切的关系，所以铁电性通常 只存在于一定的温度范围内。当温度超过某一特定的 值时，晶体由铁电(ferroelectric)相转变为顺电 （paraelectric）相，即发生铁电相变，自发极化消 失，没有铁电性。这一特定温度Tc称为居里温度或居 里点(Curie Temperature)。
MOCVD法
好 不好 好 很好 好 很好
Sol-Gel法
好 好 一般 很好 很好 很好
退火温度
掺杂难度 厚度控制
低
困难 容易
较低
一般 容易
较低容易 容易来自较高容易 困难
重复性
沉积外延膜 工艺开发要求 设备耗资 扩大规模的难度和成本
一般
好 一般 较大 较高
较好
好 一般 较大 一般
好
好 较高 一般 较少
好
在居里点附近铁电体的介电性质、弹性性质、光
学性质和热学性质等，都要出现反常现象，即具 有临界特性。在Tc时，介电系数、压电系数、弹 性柔顺系数、比热和线性电光系数急剧增大。例 如：大多数铁电晶体，在Tc时介电常数可达104～ 105，这种现象称为铁电体在临界温度附近的“介 电反常”。
当温度高于Tc时，介电系数与温度的关系服从居里 －外斯定律(Curie-Weiss Law)：
SiO2薄膜的生长经常采用硅单晶表层氧化的方法， 这种方法是一种反应扩散过程。硅的热氧化有干氧 和湿氧之分。前者利用干燥的氧气，后者利用水汽 或带有水汽的氧气。1050℃下O2，H2O，H2在SiO2 中的扩散系数分别为D(O2)=2.82×10-14cm2s-1、 D(H2O)=9.5×10-10 cm2s-1、 D(H2)=2.2×10-8cm2s-1。H2O在SiO2薄膜中的溶解 度还比氧气大几百倍，从而使前者的浓度梯度大得 多。由此可见，湿法氧化比干氧氧化要快的多，相 应的湿法氧化温度可以低一些。
第五章 几种新型薄膜材料及应用
5.1 铁电薄膜材料及其应用
5.1.1 铁电材料的研究发展 铁电体是一类具有自发极化的介电晶体，且 其极化方向可以因外电场方向反向而反向。 存在自发极化是铁电晶体的根本性质，它来 源于晶体的晶胞中存在的不重合的正负电荷 所形成的电偶极矩。 具有铁电性，且厚度在数十纳米至时微米的 薄膜材料，叫铁电薄膜。
Si3N4薄膜和SiO2薄膜类似，它也可以在集成
电路中起钝化作用。它还是MNOS型（N为 氮化物）非易失存储器的组成部分。 Si3N4薄 膜的最成熟的制备方法是CVD方法，例如用 硅烷和氨热分解形成Si3N4薄膜。
2、氧化物电介质薄膜的应用
（1）用作电容器介质 在薄膜混合集成电路中，用作薄膜电容器介质的 主要有SiO、SiO2、Ta2O5以及Ta2O5 -SiO(SiO2) 复合薄膜等。一般情况下，若薄膜电容器的电容 在10～1000pF范围，多选用SiO薄膜和Ta2O5 SiO复合介质薄膜；在10～500pF范围多选用 SiO2介质，在500～5000pF范围多选用Ta2O5介 质。 （2）用作隔离和掩膜层 在半导体集成电路中，利用杂质在氧化物（主要 是SiO2介质）中的扩散系数远小于在Si中的扩散 系数这一特性，SiO2等氧化物常用作对B、P、As、 Sb等杂质进行选择性扩散的掩蔽层。
（3）表面钝化膜 薄膜电子元器件的性能及其稳定性与所用半导体材 料的表面性质关系极大，而半导体或其它薄膜材料 的表面性质又与加工过程及器件工作环境密切相关。 为了避免加工过程及工作环境对器件性能（含稳定 性、可靠性）的影响，需要在器件表面淀积一层介 质钝化膜。 常用的钝化膜主要有：在含Cl气氛中生长的SiO2膜、 磷硅玻璃（PSG）膜、氮化硅膜（Si3N4），聚酰亚 胺，氮化铝膜和三氧化二铝膜（Al2O3）等。