黄光制程银浆

合集下载

黄光制程简介

黄光制程简介
TRACK
NH3
† Wave Length Control Additional
PreFilter
Improved AD chamber “Class100”
within100(0.5umUP)/f3(0.028m 3)
Litho
Definition:
Photo in-line process flow overview
Litho
涂胶的步骤
在晶圆上面涂上一层光阻. 共分成 6 大部步骤 第一步: 脱水 (DEHYDRATION),用加热法去掉晶 圆的水分.
俯视图
侧面图
Litho
涂胶的步骤
第 2 步: 粘附 (ADHERSION),用粘附济(HMDS)涂 在晶圆表面以增加粘附性.
HMDS
俯视图
侧面图
Litho
涂胶的步骤
It’s pattern printing process on the resist coated wafer by UV exposure and pattern designed mask(Reticle).
Resist Coat UV Exposure
hv Reticle Gas
[1] General Flow
Photolithography
Film Deposition
Developing
Etch
Film Wafer
Photo resist Film Wafer
Photo resist Film Wafer
Film Wafer
Wafer
Photo
JOB
Pattern Size Control Pattern Profile Control Align Control between layer

触控面板黄光制程工艺全解

触控面板黄光制程工艺全解

触控面板黄光制程工艺全解触控面板制造工艺之黄光工艺流程全解发布时间:2014-8-22作为目前电容式触摸屏最为主流的制造工艺,黄光制程一直备受关注。

技术发展到今天,已经拥有非常完善的工艺。

本文将从黄光制程的步骤入手,全面介绍制程中每个步骤及所需注意的事项。

1. PR前清洗A.清洗:指清除吸附在玻璃表面的各种有害杂质或油污。

清洗方法是利用各种化学浓剂(KOH)和有机浓剂与吸附在玻璃表面上的杂质及油污发生化学反应和浓解作用,或以磨刷喷洗等物理措施,使杂质从玻璃表面脱落,然后用大量的去离子水(DI水)冲洗,从而获得洁净的玻璃表面。

(风切是关键)B.干燥:因经过清洗后的玻璃,表面沾有水或有机浓剂等清洗液。

这样会对后续工序造成不良影响,特别是对后续光刻工艺会产生浮胶、钻蚀、图形不清晰等不良现象。

因此,清洗后的玻璃必须经过干燥处理。

目前常采用的方法是烘干法,而是利用高温烘烤,使玻璃表面的水分气化变为水蒸气而除去的过程,此方法省时又省力。

但是如果水的纯度不变,空气净化等不多或干燥机温度不够,玻璃表面残存的水分虽经气化为蒸气,但在玻璃表面还会留下水珠,这种水珠将直接影响后续工序的产品质量。

word编辑版.清洗机制程参数设定十槽清洗机PRC.℃,浸泡时间为5,温度为60±1---3槽KOH溶液为0.4~0.7N 温1.0N~1.6N,n. KOH溶度为/槽纯水溢流量为0.5±0.2㎡/2~3min磨刷传动速度为3.0~4.5m/min,喷洗压为0.2~1.0kgf/c㎡,5度为40±℃,℃,干燥5±0.2~1.0kg/c㎡,纯水温度为40转速为85~95rpm,压力为℃。

110℃±10机1.2.3段温度为溶KOH注:玻璃清洗洁净度不够之改改善对策,适当加入少许,溶液,经常擦拭风切口,喷洗等处,亦可调态清洗KOH液,改变速度,将传速度减慢。

机传动2.PR涂佈光刻是一种图像复印和化学腐蚀相结合的,综合性的精密表面加工技术。

触摸屏黄光制程介绍

触摸屏黄光制程介绍

触摸屏黄光制程介绍触摸屏黄光制程介绍高精度网印制版及印刷技术是触摸屏制程中的核心技术,随着触摸屏市场的迅猛发展,对触摸屏生产成本和技术的要求也越来越高,谁的成本低、技术精,谁就能抢先占领市场,这同时也给触摸屏厂家就选择什么制程更能符合公司长远发展提出了疑问,那么触摸屏厂家到底是选择黄光制程还是印刷制程呢?11. 51Touch:利满洋行主要从事滚筒印刷制程,是这方面的专家,请您就目前黄光制程和滚筒印刷制程的区别做一个详细的介绍吧。

利满洋行:黄光制程和滚筒印刷制程就印刷制程而言,在成本和工艺上还是有很大区别的,我这里有一个比较详细的描述与大家分享一下:一、TP厂 : 黄光制程 vs 印刷制程黄光制程 vs 印刷制程二、黄光制程与滚筒网印的投资评估比较.1.) 黄光制程设备投资成本昂贵.- 黄光制程投资额由RMB 20M-70M不等,如卷对卷制式更不止此数,- 上下游工序、材料均须另作配合,- 樱井滚筒机的投资额相对是小巫见大巫了。

2.) 黄光制程设备占地面积较大, 影响生产厂使用的灵活性.任何工厂需要生产安排的灵活性,纵使黄光制程有其优点,而优点往往从接“大单“中才能反映出来,因其制程必须使用一定的蚀刻用化学剂,TP工厂接单的“单头量”直接影响每件成本,而现今电子产品讲求多花样,推陈出新是生存之道,所以TP厂的灵活性不是任何先进生产方式可以代替的。

樱井滚筒机设备摆放也不需要特定的楼层/位置, 而生产时只需要换网板就能马上生产不同尺寸的型号机种了。

3.) 制程设备投资与长远使用性风险评估.黄光制程是30多年前由MEMS 开始在半导体业界采用,20多年前TFT LCD厂家也开始使用,后来应用面扩展到PV 和TP,相对于PV 和TFT , TP结构比较有多变的空间,尤其各品牌都追求薄和轻,这趋势都直接引伸出不同的工艺模式,高昂的黄光制程投资额使投资风险一直成为决策的最大障碍。

在国内TFT 用黄光也不到10年,TP就更不用说了,但网印在国内累积了大量经验和人材,而TP厂的网印技术与人才皆是公司的重要资产,企业投资在现成和累积的资产上,使它延伸及增值,对长线企业发展最为有利。

黄光制程工艺流程

黄光制程工艺流程

黄光制程工艺流程黄光制程工艺是一种在半导体加工中常用的工艺流程,它主要用于芯片制造中的光刻步骤。

光刻是一种将芯片设计的图案转移到硅片表面的关键工序。

在黄光制程中,光刻胶和光罩的使用对于芯片的质量和性能起着至关重要的作用。

下面是关于详细的描述,以帮助读者更好地理解这个过程。

第一步:准备光罩首先,我们需要准备好用于光刻的光罩。

光罩是一种具有所需图案的透明薄片,其材料通常是玻璃或石英。

光罩上的图案由芯片设计师根据芯片功能需求制作。

光罩的制作通常使用电子束曝光或激光曝光等方法。

第二步:准备硅片准备好待加工的硅片。

这些硅片通常经过前期的清洗和抛光等处理。

在准备硅片时,必须确保其表面平整且干净,以便后续的光刻步骤可以获得最佳效果。

第三步:涂覆光刻胶将硅片放置在旋涂机上,然后将光刻胶均匀地涂覆在硅片表面。

光刻胶可以保护硅片表面不受氧化和污染物的侵蚀,并提供一个平坦的表面用于将图案转移到硅片上。

涂覆光刻胶后,通常使用烘烤等方法进行固化,以确保光刻胶的性能和稳定性。

第四步:对齐和曝光将准备好的光罩放置在光刻机上,并将其与涂覆了光刻胶的硅片对准。

通过微调光罩和硅片的位置,确保图案的精确对齐。

然后,使用紫外线或深紫外线等光源对光罩进行照射,以将图案转移到光刻胶上。

照射时间和强度的控制非常重要,可影响芯片的精度和分辨率。

第五步:显影曝光后,将硅片放入显影机中进行显影。

显影是使用显影液将未曝光的光刻胶部分溶解掉,从而暴露出硅片上的图案。

显影液的选择和浸泡时间需要根据光刻胶和芯片制造的要求进行优化。

第六步:清洗将经过显影的硅片进行清洗,去除残余的光刻胶和显影液。

清洗过程通常使用化学溶剂和超声波技术,以确保芯片表面的干净和平整。

第七步:检验和测量对清洗过的芯片进行检验和测量。

这可以包括检查图案的完整性和准确性,以及芯片上不同部分的厚度、尺寸和形状等参数的测量。

第八步:后续处理根据芯片的具体用途,可能需要进行一些附加的工艺步骤,如沉积金属层、刻蚀等等。

电容屏ITO黄光制程工艺

电容屏ITO黄光制程工艺

电容屏ITO黄光制程工艺流程第一步:ITO GLASS参数规格:长宽:14*16 厚度:0.55,0.7,1.1规格:普通,钢化等,特性:AR(抗反射),AG(防眩光),AS(防水防污),AF(防指纹)等电容玻璃:安可,冠华,正达,正太等。

第二步:素玻璃参数规格:素玻璃:康宁,旭硝子等。

500*500规格第三步:清洗参数规格:1.将GLASS 表面的脏污,油污,杂质等去除并干燥。

2.将素玻璃表面的脏污,油污,杂质等去除并干燥,然后过镀膜线镀ITO 层形成GLASS。

第四步:背保丝印参数规格:膜厚:10-20μM,250-420 目聚酯网,此背保要求高,不能有一点脏污,油污,杂质等,要不回影响到在这面处理ITO 图案和银浆走线的附着力等。

日本朝日,丰阳等,热固型。

第五步:光刻胶整版丝印参数规格:膜厚:5-10μM,300-420 目聚酯网.需在温度20 度-25 度的范围和黄灯的环境下进行。

光刻胶:田菱THC-29(耐酸曝光显影型光刻胶)等。

第六步:前烘参数规格:让印有光刻胶的材料在一定的温度,时间下固化。

温度:80-90 度。

时间15-20 分钟。

第七步:曝光参数规格:通过紫外线和菲林的垂直照射,让光刻胶形成反应。

光能量:60-120MJ/C ㎡,时间:6-9s第八步:显影参数规格:用弱KOH 溶解液去除材料上被曝光过的光刻胶,留下没有曝光的光刻胶。

弱碱:0.05-0.2 MOL.温度:20±3 度,压力:0.02-0.05KG,速度:5.5±2.5M/MIN。

第九步:坚膜参数规格:让显影留下的光刻胶经高温处理,让光刻胶完全固化。

温度:120-150度,时间:20-30.第十步:蚀刻参数规格:酸度:3.5-6.5MOL,温度:45±5 度,压力:1-2KG,速度:0.8-1.5M/MIN。

碱度:0.5-0.8MOL,温度:35±5 度,压力:1-2KG,速度:1.5-3.5M/MIN。

光伏电池银浆工艺

光伏电池银浆工艺

光伏电池银浆工艺一、银浆成分光伏电池银浆主要由银粉、玻璃粉、有机载体和其他添加剂组成。

其中,银粉是导电的主要成分,玻璃粉则起到粘合和导电的作用,有机载体是银浆的主要溶剂,而添加剂则用来调节银浆的印刷性能和使用寿命。

二、浆料制备浆料制备是光伏电池银浆工艺的重要环节,主要包括配料、混合、研磨和搅拌等步骤。

在制备过程中,需要严格控制各成分的比例、混合均匀度以及浆料的粘稠度等参数,以确保银浆的质量和稳定性。

三、丝网印刷丝网印刷是光伏电池银浆的主要应用方式,其工艺过程包括印刷、烘干、烧结等步骤。

印刷时,需根据电池板的结构和规格,选用合适的丝网和刮刀,控制印刷的厚度和均匀度。

烘干是为了去除银浆中的有机溶剂,烧结则使银浆固化在电池表面,形成导电膜层。

四、烧结工艺烧结工艺是银浆附着在光伏电池表面并形成导电膜层的关键步骤。

在烧结过程中,需要控制烧结温度、时间和气氛等因素,以保证银浆与电池表面良好的附着力和膜层的导电性能。

五、品质检测品质检测是确保光伏电池银浆质量的重要环节,包括外观检测、性能测试等步骤。

外观检测主要检查银浆的色差、颗粒度等外观指标,性能测试则主要测试银浆的导电性能、附着力等关键性能指标。

六、包装储存为了确保银浆的质量和稳定性,需要采用密封性好、防潮、防晒的包装材料对银浆进行包装储存。

同时,需存放在干燥、阴凉的环境中,避免阳光直射和高温。

七、环境控制在银浆的生产和使用过程中,需严格控制环境温度和湿度,保持生产车间的清洁卫生,防止杂质的混入。

此外,对于丝网印刷环节,还需要控制丝网的目数和质量,以及刮刀的角度和压力等参数,以确保印刷质量和效率。

八、安全防护由于银浆中含有金属粉末和其他可燃物质,因此在生产和使用过程中需要注意安全防护。

操作人员需穿戴防护服、口罩和手套等个人防护用品,同时车间应配备消防器材和通风设施,以防止火灾和吸入有害气体等意外事故的发生。

黄光制程银浆

黄光制程银浆

黄光制程银浆1. 引言黄光制程银浆是一种在半导体制造过程中广泛使用的材料,用于制作电子器件中的导电线路。

本文将详细介绍黄光制程银浆的定义、制备方法和应用领域,以及该材料的特性和优势。

2. 黄光制程银浆的定义黄光制程银浆是一种含有银颗粒的浆料,通过黄光制程技术在半导体器件制造过程中进行图案化。

黄光制程是一种光刻技术,通过光刻胶和光罩的配合,将银浆在半导体表面形成所需的导电线路图案。

3. 黄光制程银浆的制备方法黄光制程银浆的制备方法主要包括以下几个步骤:3.1 原料准备制备黄光制程银浆的原料主要包括银颗粒、有机溶剂、分散剂和胶凝剂等。

银颗粒是黄光制程银浆的主要成分,其粒径和分布对黄光制程的性能有重要影响。

3.2 混合和分散将银颗粒与有机溶剂、分散剂和胶凝剂等原料混合,并在适当的条件下进行搅拌和分散,以保证银颗粒均匀分散在溶剂中。

3.3 过滤和脱泡将混合的浆料通过过滤器进行过滤,去除其中的杂质和颗粒团聚物,以得到纯净的银浆。

同时,通过脱泡处理去除浆料中的气泡,以提高黄光制程的质量。

3.4 调整黏度和粘度根据具体应用的要求,调整银浆的黏度和粘度,以便在黄光制程过程中得到理想的涂布性和刻蚀性能。

3.5 包装和贮存将制备好的黄光制程银浆进行包装,并在适当的条件下进行贮存,以保证其稳定性和使用寿命。

4. 黄光制程银浆的应用领域黄光制程银浆广泛应用于各种电子器件的制造过程中,包括集成电路、平板显示器、太阳能电池等领域。

其主要应用包括以下几个方面:4.1 导电线路黄光制程银浆可用于制作导电线路,将其涂布在半导体表面,经过黄光制程后形成所需的导电线路图案。

4.2 电极黄光制程银浆可用于制作电极,如太阳能电池中的电极。

银浆具有高导电性和良好的光电特性,能够提高器件的性能和效率。

4.3 封装材料黄光制程银浆可用于制作封装材料,如集成电路中的封装材料。

其具有良好的粘附性和耐高温性能,能够有效保护器件并提高其可靠性。

5. 黄光制程银浆的特性和优势黄光制程银浆具有以下特性和优势:5.1 高导电性银颗粒是黄光制程银浆的主要成分,具有极高的导电性,能够满足各种电子器件对导电性能的要求。

黄光制程介绍

黄光制程介绍

100
NA
NA
1000
7
NA
10000
70
NA 100000 700
我們的無塵室規格
❖落塵量 :每一立方英尺的空間裡直 徑0.5微米的灰塵或顆粒 數目小於10000個. (10000級)
❖溫 度 : 21℃-25℃ ❖溼 度 : 相對溼度 50﹪-70﹪ ❖靜電限制: 低於100 伏特
10/22
干膜光阻
3/21
模版式 移印式 印刷式 黃光轉移
通過干膜的光照反 應、化學反應發生 分解,達成非接觸
式轉移圖形
制程簡介
表面清潔
4/22
壓膜 去膜
曝光 顯 影
蝕刻
黃光區域
黃光燈:由于感光性的原料,對紫外光或可見 光敏感,如果采用含紫外線的普通白光燈照明 ,結果是電阻圖形邊緣模糊,從而降低產品的 質量,所以必須使用防紫外線燈,目前我們使 用的燈波長是大于365nm.
Hale Waihona Puke 黃光制程介紹前言黃光制程是通對涂覆在物件表面的光敏 性物質(又稱光刻膠或光阻),經曝光、顯 影后留下的部份對底層起保護作用,然后進 行蝕刻去膜,最終獲得永久性圖形的過程。
1/22
目錄
❖ 制程簡介 ❖ 黃光區域 ❖ 無塵室 ❖ 干膜光阻
2/22
❖ 曝光 ❖ 顯影 ❖ 蝕刻 ❖ 去膜
制程簡介
圖 形 轉 移 技 術
2 表示正在品質驗證的阻值
MS生產設備
21/22
小結
黃光制程是一種產品制造技術,并不 限于生產一種產品,目前的認知是可以在 平面物件上做出圖形,可以將銅合金制作 成需要的形狀,各制程如有新品的試制可 以采用。
23 22/22
12/22

黄光制造部工艺流程培训

黄光制造部工艺流程培训

黄光制造部工艺流程应知应会手册一、黄光各结构产品工艺流程1.1 MITO结构1.1.1单层1.1.2双层1.2 ITO+AG结构1.2.1单层1.2.2双层1.3 跳线结构二、各工序技术解析2.1老化工序2.1.1原理ITO 膜通过高温烘烤排除ITO 膜中所含水份、气体,进一步调整基材内部的原子位置和分子结构,消除各种材料内部的和各种材料相互之间的物理应力,降低材料方阻,和后续的生产加工过程中及产品使用过程中,得到更稳定的物理尺寸、化学性能。

2.1.2 ITO导电膜1)常见ITO有高阻值膜(老化后表面方阻400±100欧姆)和低阻值膜(老化后表面方阻150±50欧姆),厚度50um、125um、175um。

现我司使用方阻为150±50欧姆,厚度为50um和125um。

2)ITO膜主要由PET(背面保护)、Back coating层(硬化)、Polyethyleneterephthalate 层(基材)、Under coating层(消影)、ITO层组成。

图2.1 ITO导电膜结构示意图3)材料基本性能表2.1 材料基本性能2.1.3管控重点1)参数管控①老化温度:ITO膜通过高温烘烤,若温度高时,材料变形;温度偏低或老化时间短,材料不能充分调质,表面阻值达不到规格内;老化温度不均匀时,老化后材料表面阻值不均匀。

②老化时间:老化过程时间短,ITO表面不能充分调质,导致阻值不均匀。

2)生产管控①清洁:老化车间每天上班做好整个车间卫生清洁。

老化过程中,若有异物落到材料上,烘烤后会形成异物点或大的异物在材料表面卷绕后形成凹凸点(清洁频率1天/一次)。

2.1.4主要不良、缺陷表2.2 工艺不良及原因分析表2.2压膜工序2.2.1原理利用温度、压力将感光材料(光阻/干膜)与导电膜(ITO膜或铜膜)压合在一起。

2.2.2材料特性1)金属铜膜:主要由PET(背面保护)、Back coating层(硬化)、PET层(即Polyethyleneterephthalate层基材)、Under coating层(消影)、ITO层、Cu层、Cu-Ni-Ti 层(防氧化层)组成(图1),基本性能要求以现有日东材料TC150-O2FLC5为例,具体见表。

TP制程详细介绍解析

TP制程详细介绍解析

设备照片
制程作用
通过UV光照射使耐酸层固 化,稳定耐酸层化学特性
通过UV光照射使耐酸层固 化,稳定耐酸层化学特性
通过紫外光照,在干膜上 曝光所需要的ITO图案
注意事项 Direct Yield
耐酸干燥不完全、材料变 形
100%
耐酸干燥不完全、材料变 形
100%
异物会造成ITO残留
100%
制程设备简介
前段 Process Follow
普通印刷(G510) ITO开料 镭射(U9900) 黄光+感光银 (G730)
ITO开料 OVER缩水
耐酸印刷 耐酸固化 ITO蚀刻 银浆印刷 银浆烘烤 银浆镭射雕刻 IR自动线缩水 干膜贴覆
OVER缩水
耐酸印刷 耐酸固化 ITO蚀刻 银浆印刷 银浆烘烤
曝光
显影/蚀刻 感光银印刷 感光银浆烘烤 银浆曝光、显影、固化 上下OCA贴合 PET开槽 上下线贴合 外形冲切 功能/外观检验
100%
100%
100%
制程设备简介
普通印刷Process
制程名称 /
镭射Process
镭射雕刻
黄光+感光银Process
银浆曝光、显影、固化
设备照片
/
制程作用
/
将银浆线路通过激光雕刻的方 式加工成所需要的线宽线距 (40/40um)
通过光罩曝光,使之前印刷的 整块银浆形成更窄的线宽线距 通过显影蚀刻掉多余的银浆, 最终形成所需要宽度的银线 (30/30um以下) 显影不完全造成银线连线
在ITO层印刷银浆线路形成导 电回路 线路为整块状,需要使用镭射 将线路雕刻成更窄的(线宽线 距约40/40um)
在ITO层印刷银浆线路形成导 电回路 线路为整块状,需要经过曝光 显影后使线路形成更窄的(线 宽线距约30/30um以下)

黄光制程工艺流程

黄光制程工艺流程

根据光敏材料的性质,选择合适的光 源波长和功率。
显影设备
显影设备
用于将光固化后的膜进行显影,去除未固化的材 料。
显影方式
可以采用浸泡显影、喷淋显影等方式。
显影剂选择
根据光敏材料的性质,选择合适的显影剂。
蚀刻设备
1 2
蚀刻设备
用于对硅片进行蚀刻处理,形成电路和图形。
蚀刻方式
可以采用化学蚀刻、物理蚀刻等方式。
技术挑战
光刻机精度要求高
黄光制程需要高精度的光刻机,以确保图案的精确复制和加工。
制程控制难度大
黄光制程涉及多种材料和复杂的化学反应,对制程参数和环境条件 要求极高,控制难度较大。
设备维护与升级成本高
黄光制程设备昂贵且维护成本高,同时随着技术更新换代,设备升 级也面临较大压力。
环境影响与可持续发展
特点
黄光制程具有高精度、高稳定性和高效率的特点。在微电子、精密机械、光学 等领域中,黄光制程广泛应用于表面处理、光刻、曝光等关键工艺环节。
黄光制程的重要性
提高产品质量
黄光制程能够有效地提高产品的质量和性能,降低不良率,提高 生产效率。
满足高精度需求
随着科技的发展,产品对精度的要求越来越高,黄光制程能够满足 高精度、高稳定性的制造需求。
03
聚酯
聚酯是一种常用的高分子材料,具有良好的透明性和机械性能,常用于
制造中低端光掩膜和光刻胶。
光敏材料
光敏材料
光敏材料是黄光制程中的核心材料之一,用于制造光掩膜和光刻胶。它们在受到特定波长 的光线照射后,会发生化学反应,从而产生交联或降解等变化。
光刻胶
光刻胶是光敏材料的一种,分为正性胶和负性胶两种类型。正性胶在受到光线照射后会变 得可溶,而负性胶则会变得不溶。它们在光刻工艺中起到关键的作用。

黄光制程工艺流程

黄光制程工艺流程
黄光制程
总 流 程 图
2
Glass BM制程 ITO1制程 OC1制程 ITO2制程 MAM制程 OC2制程
黄光制程:通过对涂覆在玻璃表面的光敏性物 质(又称为光刻胶或光阻),经曝光、显影后留 下的部分对底层起保护作用,然后进行蚀刻脱 膜并最终获得永久性图形的过程。
3
制 程 流 程
4
Glass Clean Sputter Clean IR/UV/CP
EXPO
Exposure
16
曝光波长:i线(365nm), h线(405nm), g线(436nm)。
Mask:也叫掩膜板。电路图即是通过曝光从 Mask上转移到玻璃上。
高压汞灯发光原理:在真空的石英管中加入 定量的高纯汞,通过对两端电极提供高电压 差,产生高热,将汞汽化,汞蒸气在高电位 差下,受激发而放电,从而产生紫外线辐射。 内部的卤素元素,就有催化及保护的功用。
13
BM&OC1用的是Inkjet印刷,而OC2用的是APR凸版 印刷。
Pre-bake
Pre-Bake
Pre-Bake :也叫soft bake。将光阻中的大部 分有机溶剂烘烤到4%~7%,使原本液态的光 阻固化。
主要控制参数:烘烤时间,烘烤温度,烘烤 热板Pin高度。 主要品质异常:玻璃受热不均,使光阻局部 过烤或烘烤不足,造成后续的显影不净或显 影过显。
主要控制参数:Roller的前挤量及下压量,涂布速度,
抽泵频率,抽泵强度。
主要参考参数:膜层厚度(属过渡光阻,膜厚1.4~2.3um),
膜层均匀性。
主要品质异常:涂布针孔、涂布箭影。
12
CT
Coating
Coater一般分为Roll Coater,Slit Coater,Spin

黄光制程银浆

黄光制程银浆

黄光制程银浆摘要:1.黄光制程银浆的概述2.黄光制程银浆的应用领域3.黄光制程银浆的制备方法4.黄光制程银浆的优势与不足5.我国在黄光制程银浆领域的发展现状与前景正文:一、黄光制程银浆的概述黄光制程银浆,又称为黄光显影银浆,是一种在微电子制造领域中应用的特殊材料。

它是一种光敏树脂,通过黄光照射固化,能够在基材上形成一层具有高度分辨率的图案。

这种材料广泛应用于微电子制造、印刷电路板、液晶显示器等领域。

二、黄光制程银浆的应用领域1.微电子制造:在微电子制造领域,黄光制程银浆被用于制造集成电路、光电子器件等高精度电子产品。

2.印刷电路板:黄光制程银浆在印刷电路板制造中的应用,可以提高电路板的分辨率和可靠性。

3.液晶显示器:黄光制程银浆在液晶显示器制造中,主要用于制作显示器的像素结构,以提高显示效果。

三、黄光制程银浆的制备方法黄光制程银浆的制备方法主要包括光引发剂、树脂、溶剂和添加剂等原料的配制。

其中,光引发剂是决定银浆固化速度和效果的关键因素,树脂则是决定银浆性能的主要成分。

在制备过程中,需要将光引发剂、树脂、溶剂和添加剂按照一定的比例混合,并进行充分搅拌,以保证银浆的性能和稳定性。

四、黄光制程银浆的优势与不足优势:黄光制程银浆具有高度的光敏感性,能够在黄光照射下迅速固化,形成高度分辨率的图案。

同时,它还具有较好的耐热性、耐化学腐蚀性和电绝缘性。

不足:黄光制程银浆的制备过程较为复杂,对原料的比例和搅拌条件要求较高,制备难度较大。

此外,其固化后的银浆硬度相对较低,容易受到机械损伤。

五、我国在黄光制程银浆领域的发展现状与前景我国在黄光制程银浆领域的研究与应用已经取得了一定的成果。

目前,我国已经成功研发出多种黄光制程银浆产品,并广泛应用于微电子制造、印刷电路板和液晶显示器等领域。

  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

黄光制程银浆
摘要:
一、黄光制程银浆概述
二、黄光制程银浆的制备方法
三、黄光制程银浆的应用领域
四、黄光制程银浆的优势与未来发展前景
正文:
一、黄光制程银浆概述
黄光制程银浆,又称黄光蚀刻银浆,是一种在微电子制造领域中应用广泛的材料。

它是一种以银为主要成分的浆料,通过黄光制程技术,能够在特定波长的黄光照射下,实现对银膜的高精度蚀刻。

这种技术在现代微电子制造中起着举足轻重的作用,尤其在平板显示器、触摸屏、太阳能电池等领域具有广泛的应用。

二、黄光制程银浆的制备方法
黄光制程银浆的制备方法通常分为以下几个步骤:
1.配料:将银粉、有机溶剂、添加剂等原材料按照一定的比例混合在一起。

2.研磨:将混合好的材料进行充分研磨,使得银粉粒子达到所需的尺寸分布。

3.分散:将研磨好的浆料进行分散处理,使得银粉能够在有机溶剂中形成稳定的悬浮液。

4.过滤:对浆料进行过滤,去除可能影响蚀刻效果的杂质。

5.调光:通过调整黄光源的波长和强度,使得银浆在特定波长的黄光照射下能够实现高精度蚀刻。

三、黄光制程银浆的应用领域
黄光制程银浆在微电子制造领域具有广泛的应用,主要包括以下几个方面:
1.平板显示器:在生产平板显示器时,黄光制程银浆可用于制作薄膜电极、导线等部件。

2.触摸屏:在触摸屏制造过程中,黄光制程银浆可用于制作触摸感应器、电极等关键部件。

3.太阳能电池:在太阳能电池生产中,黄光制程银浆可用于制作电极、反射层等组件。

4.电子标签:在电子标签制造领域,黄光制程银浆可用于制作天线和导电图案等部分。

四、黄光制程银浆的优势与未来发展前景
黄光制程银浆具有以下优势:
1.高精度蚀刻:黄光制程银浆在特定波长的黄光照射下,能够实现对银膜的高精度蚀刻,满足微电子制造领域对精细度的要求。

2.良好的稳定性:黄光制程银浆具有良好的稳定性,能够在一定程度上降低生产过程中出现的不良品率。

3.环保性能:相较于传统化学蚀刻方法,黄光制程银浆具有较好的环保性能,有利于实现绿色生产。

随着科技的不断发展,微电子制造领域对黄光制程银浆的需求将持续增
长。

相关文档
最新文档