纳米级加工授课课件
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纳米材料的制备与应用课件
Ag的纳米微粒具有五边形十面体形状。 纳米材料的制备与应用课件
纳米材料的制备与应用课件
纳米材料的制备与应用课件
2. 纳米微粒的物理特性
纳米微粒具有大的比表面积，表 面原子数、表面能和表面张力随粒径 的下降急剧增加，小尺寸效应，表面 效应、量子尺寸效应及宏观量子隧道 效应等导致纳米微粒的热、磁、光、 敏感特性和表面稳定性等不同于常规 粒子，这就使得它具有广阔的应用前 景。
2.4 表面活性和敏感特性
纳米微粒具有高的表面活性。金属纳米微 粒粒径小于5nm时，使催化性和反应的选 择性呈特异行为。 例如，用Si作载体的Ni纳米微粒作催化剂 时，当粒径小于5nm时，不仅表面活性好， 使催化效应明显，而且对丙醛的氢化反应 中反应选择性急剧上升，即使丙醛到正丙 醛氢化反应优先进行，而使脱羰引起的副 反应受到抑制。
纳米材料的制备与应用课件
美国国家纳米计划2000年和2001 年的部门预算
2000 年预算 2001 年预算 增长率
国家科学基金会 0.97 亿$ 2.17 亿$ 124%
国防部
0.70 亿$ 1.10 亿$ 57%
能源部
0.58 亿$ 0.94 亿$ 66%
航天航空
0.05 亿$ 0.20 亿$ 300%
纳米材料的制备与应用课件
1990年4月IBM 公司的 科学家用35个 氙原子排列 成“IBM”字样, 开创了人类 操纵单个原子 的先河.
纳米材料的制备与应用课件
（3）纳米生物方面：纳米科技可使基因 工程变得更加可控，人们可根据自己的 需要，制造出多种多样的生物“产品”。 （4）纳米微机械和机器人方面：可以利 用纳米微电子学控制形成尺寸比人体红 血球小的纳米机器人，直接打通脑血栓， 清出心脏动脉脂肪沉积物，也可以通过 把多种功能纳米微型机器注入血管内， 进行人体全身检查和治疗。药物也可制 成纳米尺寸，直接注射到病灶部位，提 高医疗效果，减少副作用。
纳米材料的制备与应用课件
纳米材料的制备与应用课件
2. 纳米微粒的物理特性
纳米微粒具有大的比表面积，表 面原子数、表面能和表面张力随粒径 的下降急剧增加，小尺寸效应，表面 效应、量子尺寸效应及宏观量子隧道 效应等导致纳米微粒的热、磁、光、 敏感特性和表面稳定性等不同于常规 粒子，这就使得它具有广阔的应用前 景。
2.4 表面活性和敏感特性
纳米微粒具有高的表面活性。金属纳米微 粒粒径小于5nm时，使催化性和反应的选 择性呈特异行为。 例如，用Si作载体的Ni纳米微粒作催化剂 时，当粒径小于5nm时，不仅表面活性好， 使催化效应明显，而且对丙醛的氢化反应 中反应选择性急剧上升，即使丙醛到正丙 醛氢化反应优先进行，而使脱羰引起的副 反应受到抑制。
纳米材料的制备与应用课件
美国国家纳米计划2000年和2001 年的部门预算
2000 年预算 2001 年预算 增长率
国家科学基金会 0.97 亿$ 2.17 亿$ 124%
国防部
0.70 亿$ 1.10 亿$ 57%
能源部
0.58 亿$ 0.94 亿$ 66%
航天航空
0.05 亿$ 0.20 亿$ 300%
纳米材料的制备与应用课件
1990年4月IBM 公司的 科学家用35个 氙原子排列 成“IBM”字样, 开创了人类 操纵单个原子 的先河.
纳米材料的制备与应用课件
（3）纳米生物方面：纳米科技可使基因 工程变得更加可控，人们可根据自己的 需要，制造出多种多样的生物“产品”。 （4）纳米微机械和机器人方面：可以利 用纳米微电子学控制形成尺寸比人体红 血球小的纳米机器人，直接打通脑血栓， 清出心脏动脉脂肪沉积物，也可以通过 把多种功能纳米微型机器注入血管内， 进行人体全身检查和治疗。药物也可制 成纳米尺寸，直接注射到病灶部位，提 高医疗效果，减少副作用。
《纳米技术》PPT课件
纳米技术
h
1
纳米
“纳米”是长度单位，1nm=10-9m
即1纳米等于十亿分之一米，大约等于10个氢原子并排起 来的长度，相当于万分之一头发的粗细。纳米正好处于原 子、分子为代表的微观世界和以人类活动空间为代表的宏 观世界的中间地带，被称为介观世界。
h
2
纳米技术
纳米科学技术是研究在千万分之一米(10-8m)到亿分之一米 (10-9m)内，原子、分子和其它类型物质的运动和变化的学 问；同时在这一尺度范围内对原子、分子或原子团、分子 团进行操纵和加工使其形成所需要的物质称为纳米技术。
费曼对纳米技术的最早梦想，成为一个光 辉的起点，人类开始了对纳米世界的探求。
h
6
科学家发现，在纳米的世界里，物质发生了质的飞 跃。比如硅晶体是不发光的，但纳米硅却会发光；陶瓷 在通常情况下是很硬、很脆的，如果采用纳米粉体制成 纳米陶瓷，它也可以具有韧性；纳米材料还具有超塑性， 室温下的纳米铜丝经过轧制，其长度可以从1cm延伸到 100cm，其厚度可以从1mm减小到0.01mm。
h
14
虽然纳米陶瓷还有许多关键技术需要解决，但其
优良的室温和高温力学性能、抗弯强度、断裂韧
性，使其在切削刀具、轴承、汽车发动机部件等
诸多方面都有广泛的应用，并在许多超高温、强
腐蚀等苛刻的环境下起着其他材料不可替代的作
用，具有广阔的应用前景。
返回
h
15
纳米级微电子元件
日本日立中心实验室利用半导体材料砷化镍， 率先开发新一代微电子元件。这些电子元件呈细长 的鬃状结晶形，粗仅20纳米，可使计算机的计算速 度、通讯用发光元件的效率数十、数百倍地提高。
h
16
超微型计算机
随着微电子技术的不断发展，集成度越来越 高，计算机信息存储芯片越来越小，而存储量却 越来越大，信息容量比现有光盘高100万倍，整个 美国国会图书馆的图书都能存储在一个糖块大小 的芯片中。
h
1
纳米
“纳米”是长度单位，1nm=10-9m
即1纳米等于十亿分之一米，大约等于10个氢原子并排起 来的长度，相当于万分之一头发的粗细。纳米正好处于原 子、分子为代表的微观世界和以人类活动空间为代表的宏 观世界的中间地带，被称为介观世界。
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2
纳米技术
纳米科学技术是研究在千万分之一米(10-8m)到亿分之一米 (10-9m)内，原子、分子和其它类型物质的运动和变化的学 问；同时在这一尺度范围内对原子、分子或原子团、分子 团进行操纵和加工使其形成所需要的物质称为纳米技术。
费曼对纳米技术的最早梦想，成为一个光 辉的起点，人类开始了对纳米世界的探求。
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6
科学家发现，在纳米的世界里，物质发生了质的飞 跃。比如硅晶体是不发光的，但纳米硅却会发光；陶瓷 在通常情况下是很硬、很脆的，如果采用纳米粉体制成 纳米陶瓷，它也可以具有韧性；纳米材料还具有超塑性， 室温下的纳米铜丝经过轧制，其长度可以从1cm延伸到 100cm，其厚度可以从1mm减小到0.01mm。
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虽然纳米陶瓷还有许多关键技术需要解决，但其
优良的室温和高温力学性能、抗弯强度、断裂韧
性，使其在切削刀具、轴承、汽车发动机部件等
诸多方面都有广泛的应用，并在许多超高温、强
腐蚀等苛刻的环境下起着其他材料不可替代的作
用，具有广阔的应用前景。
返回
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纳米级微电子元件
日本日立中心实验室利用半导体材料砷化镍， 率先开发新一代微电子元件。这些电子元件呈细长 的鬃状结晶形，粗仅20纳米，可使计算机的计算速 度、通讯用发光元件的效率数十、数百倍地提高。
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超微型计算机
随着微电子技术的不断发展，集成度越来越 高，计算机信息存储芯片越来越小，而存储量却 越来越大，信息容量比现有光盘高100万倍，整个 美国国会图书馆的图书都能存储在一个糖块大小 的芯片中。
纳米材料及其应用PPT课件
2000s
纳米材料在各个领域得到广泛应用，成为研 究热点。
1990s
纳米技术迅速发展，出现多种制备方法。
2010s至今
纳米技术不断创新，应用领域不断拓展。
02
纳米材料的制备方法
物理法
真空蒸发冷凝法
01
在真空条件下，通过加热蒸发物质，并在冷凝过程中形成纳米
粒子。
激光诱导法
02
利用高能激光束照射物质表面，通过激光能量使物质蒸发并冷
生物法
微生物合成法
利用微生物作为模板或催化剂，通过生物反应合成具有特定结构 和性质的纳米材料。
植物提取法
利用植物中的天然成分作为原料，通过提取和纯化得到纳米材料。
酶催化法
利用酶的催化作用合成具有特定结构和性质的纳米材料。
03
纳米材料的应用领域
能源领域
01
02
03
燃料电池
纳米材料可以提高燃料电 池的效率和稳定性，降低 成本。
纳米材料及其应用 ppt课件
目录
• 纳米材料简介 • 纳米材料的制备方法 • 纳米材料的应用领域 • 纳米材料面临的挑战与前景 • 纳米材料的应用案例分析
01
纳米材料简介
纳米材料的定义与特性
定义
纳米材料是指在三维空间中至少有一 维处于纳米尺度范围（1-100nm）或 由它们作为基本单元构成的材料。
凝形成纳米粒子。
机械研磨法
03
通过机械研磨将大块物质破碎成纳米级粒子，常见于金属、陶
瓷等硬质材料的制备。
化学法
化学气相沉积法
利用化学反应在加热条件下生成纳米粒子，通常需要使用气态反 应剂和催化剂。
溶胶-凝胶法
通过将原料溶液进行溶胶和凝胶化处理，再经过热处理得到纳米 粒子。
纳米材料在各个领域得到广泛应用，成为研 究热点。
1990s
纳米技术迅速发展，出现多种制备方法。
2010s至今
纳米技术不断创新，应用领域不断拓展。
02
纳米材料的制备方法
物理法
真空蒸发冷凝法
01
在真空条件下，通过加热蒸发物质，并在冷凝过程中形成纳米
粒子。
激光诱导法
02
利用高能激光束照射物质表面，通过激光能量使物质蒸发并冷
生物法
微生物合成法
利用微生物作为模板或催化剂，通过生物反应合成具有特定结构 和性质的纳米材料。
植物提取法
利用植物中的天然成分作为原料，通过提取和纯化得到纳米材料。
酶催化法
利用酶的催化作用合成具有特定结构和性质的纳米材料。
03
纳米材料的应用领域
能源领域
01
02
03
燃料电池
纳米材料可以提高燃料电 池的效率和稳定性，降低 成本。
纳米材料及其应用 ppt课件
目录
• 纳米材料简介 • 纳米材料的制备方法 • 纳米材料的应用领域 • 纳米材料面临的挑战与前景 • 纳米材料的应用案例分析
01
纳米材料简介
纳米材料的定义与特性
定义
纳米材料是指在三维空间中至少有一 维处于纳米尺度范围（1-100nm）或 由它们作为基本单元构成的材料。
凝形成纳米粒子。
机械研磨法
03
通过机械研磨将大块物质破碎成纳米级粒子，常见于金属、陶
瓷等硬质材料的制备。
化学法
化学气相沉积法
利用化学反应在加热条件下生成纳米粒子，通常需要使用气态反 应剂和催化剂。
溶胶-凝胶法
通过将原料溶液进行溶胶和凝胶化处理，再经过热处理得到纳米 粒子。
纳米材料及纳米技术应用PPT课件
02
03
生物检测
纳米材料可以作为药物的载体， 实现药物的精准传输和定向释放， 提高治疗效果并降低副作用。
纳米材料可以增强医学成像的效 果，提高诊断的准确性和可靠性。
纳米材料可以用于检测生物标志 物和病原体，快速、准确地诊断 疾病。
环境领域
空气净化
纳米材料可以用于空气过滤和净化，去除空气中的有 害物质和异味。
感谢您的观看
03 纳米技术的应用领域
能源领域
高效电池
01
纳米技术可以改善电池的能量密度和充电速度，提高电池的效
率和寿命。
太阳能利用
02
纳米结构可以增强太阳能电池的光吸收和光电转换效率，降低
成本并提高发电量。
燃料电池
03
纳米材料可以提高燃料电池的效率和稳定性，降低燃料电池的
重量和体积。
医疗领域
01
药物传输
医学成像
水处理
纳米技术可以用于水处理，去除水中的有害物质和杂 质，提高水质和安全性。
土壤修复
纳米材料可以用于土壤修复，去除土壤中的重金属和 有害物质，降低土壤污染的风险。
04 纳米材料的安全与伦理问 题
纳米材料对环境和生态系统的影响
纳米材料在环境中的迁移 和转化
纳米材料在土壤、水体和大气中的分布、转 化和归趋，可能对生态系统产生影响。
2000年代以后，随着技术的不 断进步和应用领域的扩大，纳 米科技逐渐成为全球科技领域 的研究热点。
02 纳米材料的基本特性
小尺寸效应
总结词
随着纳米材料尺寸的减小，其物理、化学和机械性能发生变化的现象。
详细描述
当物质尺寸减小到纳米量级时，由于量子尺寸效应和表面效应的影响，纳米材 料的物理、化学和机械性能会发生显著变化，表现出不同于常规材料的特性。
食品纳米技术ppt课件
26
可编辑课件PPT
典型的烹饪技术有：泡沫法和微胶囊法。
红酒泡沫
27
可编辑课件PPT
正在酝酿中的可食用膜制备技术：
12
可编辑课件PPT
纳米技术在食品科学领域的应用
13
可编辑课件PPT
14
可编辑课件PPT
食品纳米技术已经介入的领域
纳米食品包装材料 食品加工与贮藏 食品纳米标签 纳米技术监控食品 纳米食品添加剂 应用纳米技术运输活性物质
15
可编辑课件PPT
纳米材料在食品包装中的运用
（1） 纳米抗菌材料 （2） 纳米保鲜材料 （3） 纳米防伪包装材料 （4） 智能型纳米包装材料
食品纳米技术理论，是一门关于纳米物理、纳米化学、 生物学等学科在食品科学领域的交叉科学。目前国内外 市场上低端纳米产品如纳米茶粉等，属于依靠简单的物 理研磨技术；而主要的高端纳米产品，多为以传统胶体 化学为基础理论的多功能微胶囊类产品。
胶体化学理论的价值，主要在于以模型手段模拟真实 的体系，其内容主要有以下几方面：
检测物质
品质感应器
Four Steps
20
可编辑课件PPT
纳米材料在食品检测中的应用特性
特 表面反映活性高 催化效率高 吸附能力强
性 颗粒比表面积大
21
可编辑课件PPT
纳米材料在食品检测中的应用
利用纳米特性，将纳米颗粒引入到传感器研究 中，可大大增强传感器的灵敏度。生物纳米传感器 可检测食品中化学污染物并标记损失分子和病毒， 从而好更好控制、检测和分析生物结构纳米环境。
9
可编辑课件PPT
研究领域主要集中在： - 纳米工程 - 病毒污染 - 环境污染
食品包装和安全监测
纳米加工演讲ppt
在水泥配料中加入部分收集的 纳微米级粉尘，经均匀分散后， 水泥烧成温度降低，还有利于 改善水泥性能，提高水泥强度、 耐久性等一系列指标。 控制配料，还可获得一系列新 品种水泥，如弹性水泥、延性 水泥、太阳能水泥、远红外水 泥、环境友好水泥等。
纳米涂炭材料
涂料可以美化居室，但是传统材料由于耐洗刷性差，时间不长，墙壁 就变得斑驳陆离。纳米技术的应用，使涂料的许多指标都大幅度提高。 外墙涂料的耐洗刷性就可以由原来的一千多次提高到一万多次，寿命 也延长了两倍多。玻璃和瓷砖表面图上纳米薄层，可以制成自洁玻璃 和自洁瓷砖，任何粘在表面上的物质，包括油污、细菌等，在光的照
纳米技术的发展
• 据研究到2010年，纳米技术将成为仅次于 芯片制造的世界第二大产业，拥有数百亿 英镑的市场份额。为此，今年7月，英国贸 工部在新发表的科技与创新白皮书中，已 将纳米技术列为21世纪科技发展的重点， 加速该领域的发展。正如科学家预测：纳 米技术这一新兴的高科技领域，将成为21 世纪一颗新的科技明星.
谢谢观赏
– 纳米技术可将纤维素粉碎成单糖、葡萄糖和纤维二糖 等，使地球上丰富的有机物成为可利用的营养物质。 – 利用纳米技术，只要操纵DNA链上少数几种核苷酸甚至 改变几个原子的排列，就可培养出新的基因食品。
转基因食品 纳米破壁花粉
纳米毛巾
• 纳米毛巾纤维细度仅为头发丝的1/200，超细、 超柔软、超长寿命。是纳米级的高科技产品。 是时尚的更新换代性清洁日用品。 • 纳米毛巾的六大显著特点：高吸水性（比普 通毛巾多吸水30%）、去污强（能清洁皮肤毛 孔，可代替洗面奶产品）、易洗涤、不脱色、 不落毛、长寿命
纳米技术演讲
演讲人：123ຫໍສະໝຸດ 什么是纳米技术• 从迄今为止的研究状况看，关于纳米技术分为三种概念。 第一种，是1986年美国科学家德雷克斯勒博士在《创造的 机器》一书中提出的分子纳米技术。根据这一概念，可以 使组合分子的机器实用化，从而可以任意组合所有种类的 分子，可以制造出任何种类的分子结构。这种概念的纳米 技术未取得重大进展。?第二种概念把纳米技术定位为微 加工技术的极限。也就是通过纳米精度的“加工”来人工 形成纳米大小的结构的技术。这种纳米级的加工技术，也 使半导体微型化即将达到极限。现有技术即便发展下去， 从理论上讲终将会达到限度。这是因为，如果把电路的线 幅变小，将使构成电路的绝缘膜的为得极薄，这样将破坏 绝缘效果。此外，还有发热和晃动等问题。为了解决这些 问题，研究人员正在研究新型的纳米技术。?第三种概念 是从生物的角度出发而提出的。本来，生物在细胞和生物 膜内就存在纳米级的结构。
《纳米技术》课件
上形成薄膜或结构。
化学气相沉积
利用化学反应，将衬底上的材 料通过化学反应转化为固态薄
膜或结构。
纳米制造技术的应用
微电子器件制造
利用纳米制造技术可以制造出 更小、更快、更低功耗的微电
子器件。
生物医学应用
纳米制造技术可以用于药物输 送、组织工程和诊断试剂的制 备。
环境监测与治理
纳米制造技术可以用于环境监 测和治理领域，例如空气和水 的净化等。
纳米技术的研发和应用需要克服许多技术难 题，如纳米尺度下的控制和测量等。
02
01
成本问题
纳米技术的研发和应用需要大量的资金和资 源投入，成本较高。
04
03
如何应对纳米技术的挑战
加强监管
建立完善的监管体系， 对纳米技术的安全性和 伦理问题进行评估和管 理。
促进合作
加强国际合作和交流， 共同推进纳米技术的研 发和应用。
医疗领域
用于药物输送、肿瘤诊 断和治疗、生物成像等 。
环境领域
用于水处理、空气净化 、土壤修复等。
电子信息领域
用于制造高灵敏度传感 器、超高速集成电路、 高精度光学器件等。
03 纳米制造技术
纳米制造技术的定义与分类
定义
纳米制造技术是指通过控制原子、分 子等微观粒子，在纳米尺度上制造物 质和器件的工艺和技术。
利用纳米技术提高太阳能电池、燃料电池和 储能设备的效率和性能。
环境
利用纳米技术检测和治理环境污染，如水处 理和空气净化。
D
纳米技术的发展历程
1986年，扫描隧道显微镜的 发明，使科学家能够直接观 察到原子和分子的排列。
1989年，碳纳米管的发现， 为纳米材料的研究和应用开 辟了新的领域。
化学气相沉积
利用化学反应，将衬底上的材 料通过化学反应转化为固态薄
膜或结构。
纳米制造技术的应用
微电子器件制造
利用纳米制造技术可以制造出 更小、更快、更低功耗的微电
子器件。
生物医学应用
纳米制造技术可以用于药物输 送、组织工程和诊断试剂的制 备。
环境监测与治理
纳米制造技术可以用于环境监 测和治理领域，例如空气和水 的净化等。
纳米技术的研发和应用需要克服许多技术难 题，如纳米尺度下的控制和测量等。
02
01
成本问题
纳米技术的研发和应用需要大量的资金和资 源投入，成本较高。
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03
如何应对纳米技术的挑战
加强监管
建立完善的监管体系， 对纳米技术的安全性和 伦理问题进行评估和管 理。
促进合作
加强国际合作和交流， 共同推进纳米技术的研 发和应用。
医疗领域
用于药物输送、肿瘤诊 断和治疗、生物成像等 。
环境领域
用于水处理、空气净化 、土壤修复等。
电子信息领域
用于制造高灵敏度传感 器、超高速集成电路、 高精度光学器件等。
03 纳米制造技术
纳米制造技术的定义与分类
定义
纳米制造技术是指通过控制原子、分 子等微观粒子，在纳米尺度上制造物 质和器件的工艺和技术。
利用纳米技术提高太阳能电池、燃料电池和 储能设备的效率和性能。
环境
利用纳米技术检测和治理环境污染，如水处 理和空气净化。
D
纳米技术的发展历程
1986年，扫描隧道显微镜的 发明，使科学家能够直接观 察到原子和分子的排列。
1989年，碳纳米管的发现， 为纳米材料的研究和应用开 辟了新的领域。
《精密超精密加工》课件
04
精密超精密加工材料
金属材料
01
02
03
钢铁
常用的金属材料，具有高 强度、耐磨性和耐腐蚀性 ，适用于各种精密超精密 加工应用。
铜合金
具有良好的导热性和导电 性，广泛用于电子和通信 行业。
钛合金
具有高强度、轻质和耐腐 蚀性，常用于航空和医疗 领域。
非金属材料
陶瓷
具有高硬度、耐高温和化学稳定性，适用于高精度和 高硬度的加工需求。
详细描述
防止加工过程中的损伤需要从多个方面入手，包括优化刀具设计、选择合适的切削参数 、加强刀具管理和维护等。此外，采用新型的涂层技术和刀具材料也是防止损伤的有效
手段。
06
பைடு நூலகம்
精密超精密加工的应用案例
航空航天领域的应用案例
总结词
精密超精密加工技术在航空航天领域的应用广泛，涉 及发动机叶片、涡轮盘、航空仪表等关键部件的制造 。
这些技术包括离子束加工、电子束加工、激光束加工等。这些技术通常具有更高的加工精度和更广泛 的适用范围，可以应用于各种不同的材料和领域。
03
精密超精密加工设备与工具
超精密切削加工设备
01
超精密切削加工设备主要用于高 精度零件的切削加工，其特点是 切削精度高、加工表面质量好、 加工效率高。
02
常见的超精密切削加工设备包括 数控机床、激光切割机、水切割 机等。
汽车工业领域的应用案例
总结词
精密超精密加工技术在汽车工业领域的应用主要涉及 汽车发动机、变速器、制动系统等关键零部件的制造 。
详细描述
在汽车工业领域，精密超精密加工技术主要用于制造汽 车发动机、变速器、制动系统等关键零部件。这些零部 件的性能对汽车的性能和安全性有重要影响。精密超精 密加工技术能够提高零部件的精度和耐磨性，降低摩擦 和阻力，提高燃油经济性和排放性能。同时，还能缩短 产品研发周期，提高生产效率，降低制造成本。
第三讲 纳米制造
HNO3的作用 可见，阳极反应需要空穴，这可由 可见，阳极反应需要空穴，这可由HNO3在局域阴极处被 还原而产生。 杂质存在时， 还原而产生。在HNO2杂质存在时，反应按下式进行 HNO2+HNO3 → N2O4+H2O N2O4 → 2NO2 2NO2 → 2NO2-+2e+ 2NO2-+2H+ → 2HNO2 最后式中所产生的HNO2再按第一式反应，反应生成物则自身促 再按第一式反应， 最后式中所产生的 进反应，因此这是自催化反应。第一式反应是可逆控制反应， 进反应，因此这是自催化反应。第一式反应是可逆控制反应， 故有时加入含有NO2-的硝酸铵以诱发反应。因为 的硝酸铵以诱发反应。因为NO2-在反应中 故有时加入含有 是再生的，所以氧化能力取决于未离解的HNO3的数量。 的数量。 是再生的，所以氧化能力取决于未离解的 整个刻蚀反应有一个孕育期，孕育期间HNO2开始自催化， 开始自催化， 整个刻蚀反应有一个孕育期，孕育期间 紧接着是HNO2的阴极还原反应，它不断提供空穴参加氧化反应。 的阴极还原反应，它不断提供空穴参加氧化反应。 紧接着是 氧化产物在HF中反应 形成可溶性络合物H 中反应， 氧化产物在 中反应，形成可溶性络合物 2SiF6。所有这些过 程都发生在单一的腐蚀混合液中， 程都发生在单一的腐蚀混合液中，整个反应式为 Si+HNO3+6HF → H2SiF6+HNO2+H2O+H2
HF、HNO3可用 2O或CH3COOH稀释。在HNO3 、 可用H 或 稀释。 稀释 溶液中HNO3几乎全部电离，因此 +浓度较高，而 几乎全部电离，因此H 浓度较高， 溶液中 CH3COOH是弱酸，电离度较小，它的电离反应为 是弱酸， 是弱酸 电离度较小， CH3COOH ↔ CH3COO- + H+ 溶液中， 在HNO3+CH3COOH溶液中，虽然因有 溶液中 虽然因有HNO3而 离子浓度较高，但在加入CH 之后， 使H+离子浓度较高，但在加入 3COOH之后，H+与 之后 CH3COO-发生作用，生成 3COOH分子，而且 发生作用，生成CH 分子， 分子 CH3COOH的介电常数 的介电常数(6.15)低于水的介电常数 低于水的介电常数(81)， 的介电常数 低于水的介电常数 ， 混合液中的H 因此在HNO3+CH3COOH混合液中的 +离子浓度低， 混合液中的 离子浓度低， 因此在 与水相比， 与水相比，CH3COOH可在更广的范围内稀释而保持 可在更广的范围内稀释而保持 HNO3的氧化能力，因此腐蚀液的氧化能力在使用期内 的氧化能力， 相对稳定。同时，减小H 离子浓度使阴极反应变慢， 相对稳定。同时，减小 +离子浓度使阴极反应变慢， 整个刻蚀速率也随之变慢，便于控制。 整个刻蚀速率也随之变慢，便于控制。
纳米加工技术ppt课件
❖ 微观操作
❖ 引发化学反应
❖ STM在场发射模式时，针尖与样品仍相 当接近，此时用不很高的外加电压（最低可 到10V左右）就可产生足够高的电场，电子 在其作用下将穿越针尖的势垒向空间发射。 这些电子具有一定的束流和能量，由于它们 在空间运动的距离极小，至样品处来不及发 散，故束径很小，一般为毫微米量级，所以 可能在毫微米尺度上引起化学键断裂，发生 化学反应。
纳米加工分类
❖ 包括切削加工（精密切削等）、化学腐蚀(电 化学等）、能量束加工（电子束、离子束 等）、复合加工、扫描隧道显微技术加工等 多种方法
严格执行突发事件上报制度、校外活 动报批 制度等 相关规 章制度 。做到 及时发 现、制 止、汇 报并处 理各类 违纪行 为或突 发事件 。
纳米加工关键技术
严格执行突发事件上报制度、校外活 动报批 制度等 相关规 章制度 。做到 及时发 现、制 止、汇 报并处 理各类 违纪行 为或突 发事件 。
国外纳米技术进展
❖ 朗讯公司和牛津大学: 纳米镊子 ❖ 碳纳米管“秤”，称量一个病毒的重量 ❖ 称量单个原子重量的“纳米秤”
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❖ 纳米压印技术 于20世纪90年代中叶诞生的纳米压印
(naIloimprim limography，NIL)技术，最近被 国外称为 “将改变世界的十大新兴技术”之 一。NIL技术的概念 可说是源自于我们日常 生活中盖印章的行为，此动作可 将原来在印 章上的图形压印到另外一件物体表面上。
❖ 引发化学反应
❖ STM在场发射模式时，针尖与样品仍相 当接近，此时用不很高的外加电压（最低可 到10V左右）就可产生足够高的电场，电子 在其作用下将穿越针尖的势垒向空间发射。 这些电子具有一定的束流和能量，由于它们 在空间运动的距离极小，至样品处来不及发 散，故束径很小，一般为毫微米量级，所以 可能在毫微米尺度上引起化学键断裂，发生 化学反应。
纳米加工分类
❖ 包括切削加工（精密切削等）、化学腐蚀(电 化学等）、能量束加工（电子束、离子束 等）、复合加工、扫描隧道显微技术加工等 多种方法
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纳米加工关键技术
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国外纳米技术进展
❖ 朗讯公司和牛津大学: 纳米镊子 ❖ 碳纳米管“秤”，称量一个病毒的重量 ❖ 称量单个原子重量的“纳米秤”
严格执行突发事件上报制度、校外活 动报批 制度等 相关规 章制度 。做到 及时发 现、制 止、汇 报并处 理各类 违纪行 为或突 发事件 。
严格执行突发事件上报制度、校外活 动报批 制度等 相关规 章制度 。做到 及时发 现、制 止、汇 报并处 理各类 违纪行 为或突 发事件 。
❖ 纳米压印技术 于20世纪90年代中叶诞生的纳米压印
(naIloimprim limography，NIL)技术，最近被 国外称为 “将改变世界的十大新兴技术”之 一。NIL技术的概念 可说是源自于我们日常 生活中盖印章的行为，此动作可 将原来在印 章上的图形压印到另外一件物体表面上。
纳米材料的制备方法及其应用ppt课件
严 格 执 行 突 发事件 上报制 度、校 外活动 报批制 度等相 关规章 制度。 做到及 时发现 、制止 、汇报 并处理 各类违 纪行为 或突发 事件。
（7）电阻加热法
图 电阻加热制备纳米微粒的实验装置图
严 格 执 行 突 发事件 上报制 度、校 外活动 报批制 度等相 关规章 制度。 做到及 时发现 、制止 、汇报 并处理 各类违 纪行为 或突发 事件。
（6）电子束照射法
是利用高能电子束照射母材(一般为金属氧化 物如Al2O3 等)，表层的金属-氧(如Al-O键)被高 能电子“切断”，蒸发的金属原子通过瞬间 冷凝、成核、长大，最后形成纳米金属(如Al) 粉末。 ❖ 目前该方法仅限于获得纳米金属粉末。
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1、沉淀法
它是将沉淀剂（OH－、CO32－、SO42－等）加入到金 属盐溶液中进行沉淀处理，再将沉淀物过滤、干燥、 煅烧，就制得纳米级化合物粉末，是典型的液相法。 主要用于制备纳米级金属氧化物粉末。它又包括均相
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热蒸镀法制备的纳米Si粒子 在GaSb基板以自组成法制成的粒子
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纳米技术及材料PPT课件
农业食品
纳米肥料、纳米农 药、纳米食品包装 等。
纳米技术的发展历程
1986年，IBM阿尔马登研究中心的科 学家发明了扫描隧道显微镜（STM）， 使人类第一次能够直接观察并操纵单 个原子。
1990年代初，美国政府和欧洲委员 会分别设立了针对纳米的科研计划， 推动了全球范围内的纳米技术研究和 应用。
1989年，美国贝尔实验室的科学家 发明了原子力显微镜（AFM），可以 观察和操纵单个原子和分子。
对未来的展望与建议
政府和企业应加大对纳米技术 研发和应用的投入，推动其快
速发展。
建立完善的法规和标准体系， 确保纳米技术的安全可控和可
持续发展。
加强国际合作和交流，共同推 动纳米技术的发展和应用。
提高公众对纳米技术的认知和 理解，促进其广泛应用和社会 接受度。
THANKS
感谢观看
燃料电池
纳米材料可以改善燃料电池的电极 性能和催化剂活性，提高燃料电池 的效率和稳定性。
医学领域
药物输送
生物传感器
纳米材料可以作为药物载体，实现药 物的定向输送和控释，提高药物的疗 效和降低副作用。
纳米材料可以用于构建高灵敏度和特 异性的生物传感器，用于检测生物分 子和细胞活性。
医学成像
纳米材料可以提高医学成像的分辨率 和灵敏度，为疾病的早期诊断和治疗 提供帮助。
环境领域
空气净化
纳米材料可以用于空气过滤和净 化，去除空气中的有害物质和异
味，改善室内空气质量。
水处理
纳米材料可以用于水过滤和消毒， 去除水中的细菌、病毒和有害物
质，提供清洁的饮用水。
土壤修复
纳米材料可以用于土壤修复和治 理，吸附和固定重金属和有害物
质，降低土壤污染风险。
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某些精密机械零件 的个别关键尺寸
超大规模集成电路 制造过程中要求的
重复定位精度
精密轴和孔的圆度和圆柱度；精密球（如陀螺球、 计量用标准球）的球度；制造集成电路用的单品 硅基片的平面度；光学、激光、X射线的透镜和反 射镜、要求非常高的平面度或是要求非常严格的 曲面形状。这些精密零件的几何形状直接影响其 工作性能和工作效果。
纳米级加工技术
纳米加工的分类 纳米加工的关键技术 纳米加工的物理实质 纳米加工精度
复合加工
切削加工
纳米加 工分类
化学腐蚀
扫描隧道 显微技术
加工
能量束加 工
扫描隧道显微技术
• 基于隧道效应所研制的STM的原理如图所示。在试件与探针 之间的间隙δ形成一个势垒，在两者之间的偏压驱动下，有 微地量依电赖流于穿间过隙间δ的隙大（小势，垒也）就，是形依成赖隧于道势电垒流的Is高。度Is极：其每敏当锐δ增 加这一0.1特n性m而时工，作Is将的减。小在一工个作数中量，级由。压S电T陶M瓷正驱是动巧探妙针地在应工用件了 表面进行纳米级分辨率的扫描，同时逐点记录其隧道电流的 大小，然后由计算机成像。
纳米级加工的物理实质就是要切断原子间的结 合，实现原子或分 结合能 备注 材料 结合能/J·cm-
/J·cm-3
3
Fe 2.6 x 103 拉伸 SiC 7.5 x 105
备注 拉伸
SiO2 5 x 102 剪切 B4C 2.09 x 106
拉伸
Al Al2 O3
3.34 x 102
6.2 x 105
剪切 CNB 拉伸 金刚石
2.26 x 108
5.64 x 108 — 1.02 x 107
拉伸
晶体的各 向异性
纳米级加工 精度
纳米级尺寸精 度
纳米级几何形 状精度
纳米级表面质 量
纳米尺寸的绝对 精度
较大尺寸的相对 精度或重复精度 微小尺寸加工
很难达到纳米级
某些高精度孔和轴 的配合
扫描隧道显微镜从高定向石墨表面测得的原子图像
纳米加工关键技术
机床及 工具
检测技 术
纳米加工 关键技术
环境条 件控制
纳米级加工的物理实质
欲得到1cm的加工精度，加工的最小单位必然 在亚微米级。由于原子间的距离为0.1~0.3nm， 纳米级加工实际上已经到了加工精度的极限。 纳米级加工中，试件表面的一个个原子或分子 将成为直接加工对象。
表面质量不仅仅指它的表面粗糙度，而且包含其 内在的表层物理状态。例如，制造大规模集成的 单晶硅基片，不仅要求很高的平面度、很小的表 面粗糙度值和无划伤，而且要求无表面变质层 （或极小的变质层）、无表面残留应力、无组织 缺陷。高精度反射镜的表面粗糙度、变质层会影 响其反射率。微型机械和超微型机械的零件对其 表面质量亦有极严格的要求。
超大规模集成电路 制造过程中要求的
重复定位精度
精密轴和孔的圆度和圆柱度；精密球（如陀螺球、 计量用标准球）的球度；制造集成电路用的单品 硅基片的平面度；光学、激光、X射线的透镜和反 射镜、要求非常高的平面度或是要求非常严格的 曲面形状。这些精密零件的几何形状直接影响其 工作性能和工作效果。
纳米级加工技术
纳米加工的分类 纳米加工的关键技术 纳米加工的物理实质 纳米加工精度
复合加工
切削加工
纳米加 工分类
化学腐蚀
扫描隧道 显微技术
加工
能量束加 工
扫描隧道显微技术
• 基于隧道效应所研制的STM的原理如图所示。在试件与探针 之间的间隙δ形成一个势垒，在两者之间的偏压驱动下，有 微地量依电赖流于穿间过隙间δ的隙大（小势，垒也）就，是形依成赖隧于道势电垒流的Is高。度Is极：其每敏当锐δ增 加这一0.1特n性m而时工，作Is将的减。小在一工个作数中量，级由。压S电T陶M瓷正驱是动巧探妙针地在应工用件了 表面进行纳米级分辨率的扫描，同时逐点记录其隧道电流的 大小，然后由计算机成像。
纳米级加工的物理实质就是要切断原子间的结 合，实现原子或分 结合能 备注 材料 结合能/J·cm-
/J·cm-3
3
Fe 2.6 x 103 拉伸 SiC 7.5 x 105
备注 拉伸
SiO2 5 x 102 剪切 B4C 2.09 x 106
拉伸
Al Al2 O3
3.34 x 102
6.2 x 105
剪切 CNB 拉伸 金刚石
2.26 x 108
5.64 x 108 — 1.02 x 107
拉伸
晶体的各 向异性
纳米级加工 精度
纳米级尺寸精 度
纳米级几何形 状精度
纳米级表面质 量
纳米尺寸的绝对 精度
较大尺寸的相对 精度或重复精度 微小尺寸加工
很难达到纳米级
某些高精度孔和轴 的配合
扫描隧道显微镜从高定向石墨表面测得的原子图像
纳米加工关键技术
机床及 工具
检测技 术
纳米加工 关键技术
环境条 件控制
纳米级加工的物理实质
欲得到1cm的加工精度，加工的最小单位必然 在亚微米级。由于原子间的距离为0.1~0.3nm， 纳米级加工实际上已经到了加工精度的极限。 纳米级加工中，试件表面的一个个原子或分子 将成为直接加工对象。
表面质量不仅仅指它的表面粗糙度，而且包含其 内在的表层物理状态。例如，制造大规模集成的 单晶硅基片，不仅要求很高的平面度、很小的表 面粗糙度值和无划伤，而且要求无表面变质层 （或极小的变质层）、无表面残留应力、无组织 缺陷。高精度反射镜的表面粗糙度、变质层会影 响其反射率。微型机械和超微型机械的零件对其 表面质量亦有极严格的要求。