扫描电镜和电子探针分析技术培训要点

扫描电镜和电子探针分析技术培训要点扫描电镜和电子探针分析技术培训要点目标

了解扫描电镜和电子探针的基本结构与原理,了解扫描电镜和电子探针检测/校准项目及相关要求,掌握国家标准中扫描电镜和电子探针的检测方法,掌握扫描电镜和电子探针测量数据的结果处理方法及测量结果不确定度评定的基础知识。

1、扫描电镜和电子探针分析技术基础

(1) 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析方法通则

(2) 扫描电镜的结构,电子束与固体样品的相互作用,表面形貌分析基础,X

射线能谱,EDX,分析基础,电子背散射衍射技术,EBSD,分析基础。 2、扫描电镜和电子探针分析技术的仪器设备操作技术

,1,扫描电镜的成像原理与基本构成～各部件的用途和操作技术。

,2,X射线能谱仪的结构与分析软件～测量前的准备、测量条件的选择～定量分析修正方法。

,3,EBSD系统附件的构成、工作条件、背景扣除、样品处理。 3、扫描电镜和电子探针分析技术的标准方法与应用技术

,1,GB/T 17359-1998, 扫描电镜和电子探针X射线能谱定量分析方法通则

,2,GB/T 16594-1996, 微米级长度的扫描电镜测量方法

,3,GB/T 19501-2004, 电子背散射衍射分析方法通则

,4,GB/T4930-93～电子探针分析标准样品通用技术条件

4、扫描电镜和电子探针分析技术的数据分析与处理

能谱成分分析案例