1.RENA制绒工序作业指导书
RENA制绒09
冷却系统换水换冷冻剂步骤：
（1）当机器在工作的状态下，点击STOP，进入MODE MANUAL；
（2）进入chiller专区，排掉COOLING WATER；
（3）等冷却水排完后，打开冷却机后面的拧头（如图左），放出里面的液体；液体不可回收利用。
（4）关闭拧头，然后打开冷却机顶部的盖子，如图（右），加入15L的冷冻剂；
（5）原废液排完后可加水循环清洗，排掉后才能加冷冻剂及水；
（6）一切完毕后，filling；
的补液槽，左边三个就是它的三个感应传感器，，右边的是它的感应传感器；
尤其注意对碱槽的清洗：
步骤如下：
1.在主页面点机Manual键进入手动页面；
2.点机Alkaline键进入碱页面；
3.在进入此页面后，其步骤为：Mode
FillingChemcial键颜色变深色即可)—
“碱排液”：
当有液体时候，防漏传感器会感应到液体，会把信号传给此图的泵，这样就会把液体排掉；。
rena机常见的报警以及处理方法作业指导书
2）此报警是因为电导率的电导值超过了配方内设定的最大值3000，将冰水机里的水重新换掉，再添加16L乙二醇，若电导值降下来则报警消除，若电导值无变化，则需检查测量电导率的感应器是否损坏。
5.2.6氢氟酸供给1剂量瓶填充时间已过(Timeout filling)
1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；
2）此报警是因为氢氟酸供给的剂量瓶在设定时间内没有达到指定的液位（刚好达到第二个液位传感器），查看剂量瓶的液位管，如果液位低于第二个液位传感器位置，则需通知工艺，工艺要通知设施部人员，集中供液的氢氟酸消耗完了需更换。
5.2.7硝酸供给剂量瓶填充时间已过(Timeout filling)
5.4.2泵的干燥保护(Pump protection against dry running)
1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；
2）发生此报警的原因有：1，槽内漏液，少液，循环打不起来。若是此原因，则要查出少液的原因，漏液的话要找出漏点进行处理，处理完成后，通知工艺人员补液，报警可消除；2，滤芯堵塞，导致流量偏小，循环打不起来，若是此原因，则需排掉槽内药液，对滤芯进行更换；3，循环泵损坏，若是此原因，则需对循环泵进行更换。
5.2.10氢氟酸供给1剂量瓶排放装置的阀门闭塞了(Drain valve block)
1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；
2）此报警是因为自动添加氢氟酸的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀行处理；
2）此报警是因为自动添加氢氟酸的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。
制绒作业指导书
制绒作业指导书A1作业任务去除硅片表面的损伤层，在硅片的表面制作出均匀一致的金字塔形绒面,增加光的吸收。
2工艺控制标准初始参数3作业流程开机→配液→联动/单独→投片→转酸洗3.1开机3.1.1确认各空开都处于断开状态，没有物体阻碍机械臂正常运行，操作面板上“手动→单独→联动”选择开关处于手动位置。
确认高压空气、纯水、氮气等管道上的手动阀门均已打开；且压力正常，空压（0.5-0.6）MPa，N2（0.5-0.6）MPa，纯水（0.2-0.25）MPa。
3.1.2依次闭合控制底板上的空气开关QFO-14。
3.1.3将操作面板下方电源开关旋至“Ⅰ”位，系统处于手动状态开始自检。
3.2配液3.2.1在手动状态下，点击触摸屏，将相应的槽体盖子打开，点击注水，将所有工艺槽内注满水(注水停止为限)。
3.2.2准备好所需化学试剂，带上防护面具和长筒乳胶手套，将NaOH、Na2SiO3按量倒入相应槽内(由于Na2SiO3是块状，NaOH是细小颗粒状，配液时应先添加Na2SiO3，再加NaOH；另外在配液时，撒倒试剂时要缓慢、均匀，防止大量NaOH，Na2SiO3倒入，致使溶液飞溅，对人造成伤害)。
由于IPA在高温下具有很强的挥发性（沸点82.5℃），可在设备自动运行、载有硅片的片篮进QDR槽、制绒槽盖子打开时，加进制绒槽。
3.2.3 调节温控器将温度设定成工艺值，点击触摸屏上的加热按钮，给溶液加热。
3.3将设备运行状态启动成“联动”或“单独”状态。
3.3.1 当各温控器上的实际值达设定值时（室温升至80℃大约需要30分钟），点击“设备状态区”查看设备是否满足“单独”或“联动”运行条件。
3.3.2 当“设备状态区”条件满足时，点击“工艺选择区”，选择所需设定的工艺号；点击“工艺号”键。
利用弹出的键盘输入工艺号。
点击“工艺参数修改”键，进入请求密码屏，密码输入正确后进入更改工艺参数修改屏，点击各槽键设定相应槽的工艺参数，完毕后点击“确定”键然后再点击“返回”键，工艺设定完毕。
制绒工艺培训
Rinse2
Acidic Rinse
Rinse3
Dryer2
主操作界面
详细说明
程序内 的日期 和时间 模式、与PLC的 连接情况及登陆 的用户名 灯塔状 态 机器名称 厂家名称
报警的详细信息
登陆按扭
详细说明
机器的三种报警:严重的问题、机器本 身的问题和一般的警报
初始配槽时HF和水的体积
RENISE3功能 功能
RENISE3功能 功能
MODE MAN&MODE AUTO----自动运行时单个槽的 自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水（RENISE2的水是 RENISE3槽的水溢流过来的） DRAINING----整个槽排液 START PROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺 STOP----结束操作
RENA InOxSide设备构造
RENA InOxSide工艺步骤：边缘刻蚀 碱洗 →酸洗 吹干 工艺步骤： 酸洗→吹干 工艺步骤 边缘刻蚀→碱洗 酸洗 RENA InOxSide后清洗设备的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、 后清洗设备的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、 后清洗设备的主体分为以下七个槽 排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。 排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。
5 关于刻蚀槽flow（流量）报警 出现此类报警时，工艺人员需检查是否有碎片堵住药液入口。如 有碎片需取出后，将药液打入tank混匀溶液后重新将药液打入bath 中。如果流量不稳定报警，需要求设备人员检查相应传感器 6 关于overfilled（溶液过满）报警 出现此类报警时，工艺人员需要求设备检查液位传感器是否正常 工作。如果确实过满，则需要手动排掉部分药液，直到达到生产液 位要求。 7 关于 tank empty（储药罐空）报警 出现此类报警时，说明外围相应储药罐中的药品已空，需及时通 知外围人员添加药液。 8 关于 valve blocked（阀门被堵）报警 出现此类报警时，则有阀门被堵，必须立即通知设备人员处理。
RENA制绒工艺说明
RENA 制绒工艺主要包括三部分： 硝酸与氢氟酸混合液 → 氢氧化钾 → 盐酸与氢氟酸混合溶液 在制绒过程中，首先是硝酸在损伤层与缺陷处将硅片氧化，形成氧化硅，然后氢氟酸与氧化 硅反应生长 硅的络合物（H2SiF6）与水，这样去损伤层与制绒同时进行，从而缩短了工艺流程。 制绒之后的硅片经过 KOH 溶液去除硅片表面的多孔硅，再经过 DI 水冲洗去掉表面残留的碱液。 最后利用 HF 与 HCl 的混合溶液除去硅片表面的各种金属离子等杂质，并用 DI 水冲洗酸性表面，最后用 压缩空气将硅片表面吹干。 5.2 制绒过程的反应方程式如下： 1) Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O
2) SiO2+4HF=SiF4+2H2O 3) SiF4+2HF=H2SiF6 5.3 制绒工艺流程： 上料→HNO3、HF 制绒→风刀 1→冲洗 1→KOH 腐蚀→风刀 2→冲洗 2→HF、HCl 清洗→风刀 3 →冲洗 3→风刀吹干→下料。 5.4 注意事项： 1）、腐蚀槽的腐蚀速率会随着硅片清洗量的增加而改变，新换的药液反应速度慢，因此需要 降低带速以 保证腐蚀量在 4.6－4.8 微米，随着生产的进行要求每隔半小时测量一次腐蚀深度，及时调整带速（0.8 －1.1m/min)以保证腐蚀深度在规定范围内。当腐蚀速度稳定后每隔一个小时测量一次腐蚀深度。当腐蚀 深度偏离规定时最好不要更改溶液浓度、溶液比例，因为浓度、比例发生改变腐蚀速度也随之发生变化， 导致腐蚀后硅片表面微观结构发生改变。 2）、腐蚀槽的自动补液量的设定应保证每个班组的手动补液次数不大于 1 次（由工艺人员进行操作）。 3）、当工艺方案因随车间的工艺调整而变化时，工艺人员应当及时通知并做好相应的记录。 4）、制冷机与腐蚀槽之间的流量 Setpoint recirculation flow 不易设置的太小，因为如果流量过小， 会导致制冷机输出的溶液温度降低，不利于工艺的稳定。
01 RENA InTex制绒设备操作规程
1.目的为了让员工更熟练、安全、有效的掌握RENA InTex制绒设备的开关机流程。
2.适用范围适用于通威太阳能（合肥）有限公司所有电池车间的RENA InTex制绒设备的操作。
3. 规范性引用文件无4. 定义无5.职责权限所有RENA InTex制绒机的操作员工必须熟读并掌握该设备的开关机流程。
6.工作程序6.1 开机程序6.1.1 打开压缩空气、工艺冷凝水及纯水，自来水。
如下图是打开状态。
6.1.2打开电控柜总电源，开启电脑主机，点击“Login”显示图界面，输入用户名及密码，点击“OK”进入。
6.1.3 确认显示屏上各模块溶液显示Full DI 、FUII Chem 和设备门窗都关闭，Ecth Bath显示Not ready, Dryer1、Dryer2显示Ready.6.1.4 在设备背面处，确认KOH槽和酸槽的液面均达到第二液位感应器。
6.1.5 确认主界面中无报警信息6.1.6 点击“Manual”选项，进入手动控制模式。
随后点击“F4”三次进入传动系统。
6.1.7 选择“ALL Conveyor”，并点击“STOP”。
6.1.8 点击如图所示“F10”退回主界面。
6.1.9 点击如图所示“Mode Auto”，待界面上操作单元黄色转变绿色时设备将从Tank中向Etch Bath添加药液，待界面各槽温度稳定下方均显示为绿色Full chemie和绿色Ready.6.1.10 点击界面右下方的“Start”各模块自动运行，则可进行放片操作。
6.2 关机流程6.2.1 点击界面右下方的“Stop”选项。
6.2.2 各模块均停止工作后，点击“Manual”选项，进入手动控制模式。
随后点击“F4”三次，进入传动系统。
6.2.3 选择“ALL Conveyor”，并点击“Start”单击“F10”退回主菜。
6.2.4 进入Manual选项中Etch Bath,点击Drain bath,即把Etch bath 槽内的药液排到Tank 内。
电池片工艺流程
电池片工艺流程一、电池片工艺流程：制绒(intex)---扩散（diff）----后清洗（刻边/去psg）-----镀减反射膜（pecvd）------丝网、烧结（printer）-----测试、分选（tester+sorter）------包装（packing）二、各工序工艺了解：（一）前清洗1.rena前冲洗工序的目的：（1）去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤）（2）去除表面油污（利用hf）和金属杂质（利用hcl）（3）形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加对太阳光的吸收，在某种程度上增加了pn结面积，提高短路电流（isc），最终提高电池光电转换效率。
2、前冲洗工艺步骤：制绒→碱洗→酸洗→揉搓etchbath：刻蚀槽，用于制绒。
所用溶液为hf+hno3，作用：（1）.除去硅片表面的机械受损层；（2）.形成无规则绒面。
alkalinerinse：碱洗槽。
所用溶液为koh，促进作用：（1）.对形成的多孔硅表面进行清洗；（2）.中和前道退火后残余在硅片表面的酸液。
acidicrinse：酸洗槽。
所用溶液为hcl+hf，作用：（1）.中和前道碱洗后残余在硅片表面的碱液；（2）.hf可去除硅片表面氧化层（sio2），形成疏水表面，便于吹干；（3）.hcl中的cl-存有随身携带金属离子的能力，可以用作除去硅片表面金属离子。
3.酸制绒工艺涉及的反应方程式:hno3+si=sio2+nox↑+h2osio2+4hf=sif4+2h2osif4+2hf=h2[sif6]s i+2koh+h2o→k2sio3+2h24.前冲洗工序工艺建议（1）片子表面5s控制不容许用嘴巴片子的表片，必须很湿手套，防止蔓延后发生脏片。
（2）称重a.自噬体片子的腐蚀深度都必须检测，不容许捏造数据，混用批次等。
b.要求每批测量4片。
c.摆测量片时，把握住平衡原则。
例如第一批放到1.3.5.7道，下一批则放到2.4.6.8道，易于检测设备稳定性以及溶液的光滑性。
瑞纳机器 --操作 制绒设备
RENA InTex机器的操作手册byDr. Ihor MelnykAxel Herguth1.一般的規章• 在腐蝕性的化學製品工作需要足夠的防護衣，建議使用抵抗腐蝕性的蓋板/衣服，鞋，手套和护目镜。
此外确保自己如果发生事故,能找到適當的緊急事件冲冲洗設施。
• 決不在機器內單獨工作• 當時操作的機器請不要打開/ 除去蓋板，由於內部蒸汽有特別危险性的鹼或酸化學品2.RENA InTex機器正常操作时的要求化學供應和處理1.正規操作的RENA InTex须分別要求穩定的供應HF 15 (L/h)的， 15(L/h)HNO3，5 (L/h) HCl，3(L/h) KOH和DI water。
這些数值可以隨用量不同而變化。
另外， 建议有備用HF 150 L，HNO3 250 L，75L HCl和KOH 10 L 的给新的化学槽使用。
2.對化學製品的準確測量來說，至少要求7 L /min的流量。
对于使用的化学槽處理，提供適當化學品HF/HNO3供應给蝕刻槽,最大的體積是550 L。
壓縮空氣1.對RENA InTex機器的Air Knifes規定的操作压力要求至少4bar的氣壓。
如果Air Knifes不使用，壓力必須是6bar。
2.如果Air Knifes的氣壓不足， HF和來自蝕刻槽的HNO3可能發生不需要的流量， 導致alkaline bath蝕刻产生棕色污點，因此造成产品品質不良。
3.如果不足的氣壓在Air Knife 2 和3 wafers可能沒被正確地吹干， 將需要另外的清潔程序做其它的處理。
• 当Air Knife动作时請确认全部閥門都打開.3. 旧的蝕刻槽處理蝕刻槽1.選单為Manual >etch bathFigure 1: Manual > Etch bath: disposal of old bath2.“mode man.”，透過按按鈕選擇手控模式。
3. 按下system draining”蝕刻槽和tank的化学品將被排掉4.等化学品排放過程完成，圖表显示Empty(黃色)為蝕刻槽以及Tank准备下一道程序5.蝕刻槽以及Tank沖洗，按下“system rinsing” 沖洗(螢幕的左邊)。
制绒工艺工程师作业指导书
制绒工艺工程师作业指导书编制人：审核人：批准人：1 目的为了规范制绒车间工艺工程师的操作，统一各车间的作业模式；提高工作效率；更准确、快速、全面的传递各车间发生的问题及异常；特制定本标准。
2 范围本规范适用于制绒车间全体工艺工程师。
3 定义无4 职责制绒车间全体工艺工程师对此项工作负责。
5 基本作业流程5.1工程师职责5.1.1工作内容5.1.1.1保证生产在规定的工艺参数下进行，定期对设备的各工艺参数进行复检。
5.1.1.2每隔两小时巡视制绒车间的人员操作状况，当发现制绒车间人员违规操作时，要对其进行指正并做好记录。
5.1.1.3收集inline数据，并完成spc相关工作。
5.1.1.4对车间异常情况（黄斑片、减重、外观不良等）进行详细的记录并查找原因进行处理；完成上班未完成的异常处理。
5.1.1.5完成各种实验，为生产设定较佳的工艺参数；配合后段工序完成实验和质量控制。
5.1.1.6接受后段工序的工艺反馈，并查找本车间有无异常情况，积极配合后段工序查找异常原因。
5.1.1.7对制绒车间异常进行数据追踪。
5.1.1.8详细填写《工艺交接记录》、《设备异常记录表》，影响较大的异常必须写出异常报告。
5.1.2报告机制5.1.2.1当遇到的异常状况超出工艺部独自执行范围时，联系相关部门（如设备部，动力部等）解决。
5.1.2.2当遇到异常状况影响较大时，可寻找其他工艺工程师帮忙，并及时通知主管工程师。
5.1.3交接内容5.1.3.1详细填写《工艺交接记录》，按5w1h原则，有异常未处理完时，一定要当面交接清楚。
5.1.3.2交接内容A.生产异常（减重、反射率CPK达标情况等）B.设备异常C.主管工程师分配任务的完成情况D.实验的进展5.2 机台的操作5.2.1多晶湿法制绒机开关机操作步骤A.开机前的检查检查水（DI水、冷却水、City water）、电、气、化学药品是否正常供应。
B.开机步骤1.开总电源2.开UPS（电脑会跟着UPS开启而启动）3.用Operator用户名登陆Windows4.点击图标Start winLC RTX启动软件PLC5.开chiller(等待桌面PLC上run和on指示灯变成绿色)6.点Start REVIS会自动启动server和client7.输入相应的软件使用用户名和密码C.关机步骤a)关闭REVIS clientb)关闭REVIS serverc)点击图标shut down WinLC RTX关闭软件PLCd)关掉WinLC窗口e)关电脑f)关cheillerg)关设备总开关h)长按UPS开关大约3秒关掉UPS5.3异常处理流程5.3.1多晶异常处理流程5.3.1.1原料片异常处理通知质量部，由质量部确认后，封存。
RENA操作流程
RENA 制绒工序操作流程1 主题内容本文规定了多晶制绒工序的基本操作流程。
2 适用范围本规定适用于多晶制绒工序。
3 内容3.1 生产准备3.1.1 进入车间室时必须穿好工作服、工作鞋，戴工作帽、手套和防尘口罩，衣着标准严格按照6S 执行，不得穿着工作服在车间外活动，进入车间必须走风淋门。
3.2 操作流程3.2.1 上料3.2.1.1用小推车将硅片运至RENA 机上料处3.2.1.2去除硅片内包装（如果有），将硅片放入专用泡沫箱中。
每一百片硅片一组隔开放置，3.2.1.3 取一摞（100片）硅片检查有无缺角隐裂碎片崩边油污等不良片，然后将硅片按规定的线痕方向承载盒中，双手提起承载盒将其放入上料机。
用气枪在平行于硅片表面方向将硅片吹开防止叠片。
3.2.1.4 点击“吸完为止”使其变红，点选与RENA 匹配的带速按钮，按下工艺启动按钮待机械臂行至原点后再次按下工艺启动按钮开始生产3.2.2 测腐蚀量取10至15片硅片使用电子天平依次称重记录，将称好的硅片按称量顺序放入腐蚀量专用花篮中，拿到上料处。
开始生产前取一片称好硅片放在RENA 机第三道待其流出后称重计算出腐蚀量，合格后开始生产，如果不合格通知工艺人员调整制绒液浓度。
3.2.3 下料3.2.3.1 将花篮按箭头向上的方式放在下料机花篮缓冲区传送带上，缓冲区最多放三个花篮。
3.2.3.2点选与RENA匹配的带速按钮，按下工艺启动按钮启动下料机。
3.2.3.3 待花篮插满硅片后，将花篮自下料处拿起放到货架上，非制绒面朝向下料人。
3.3 仪器/工具/材料3.3.1 仪器：启天上下料机，RENA制绒机3.3.2 工具：承载盒、花篮。
3.3.3 材料：硅检后硅片3.4 注意事项：3.4.1 注意观察上料处如有碎片、叠片将碎片叠片及时取出。
3.4.2 开始生产后每500片测腐蚀量一次。
生产2000片后每2000片测腐蚀量一次。
3.4.3 rena机临时停机后复产需降低带速，腐蚀量正常后逐步提高带速3.4.4 检验硅片时严禁用裸手直接接触硅片。
单晶制绒(RENA)作业指导书
1. 目的为LDK电池生产线单晶制绒工序的作业提供标准的操作指导，使单晶制绒工序的生产操作管理规范化、标准化。
2. 范围适用于LDK电池生产线单晶制绒工序，从单晶制绒作业准备至结束所有生产操作步骤和要求。
3. 职责3.1工艺技术人员3.1.1负责单晶制绒工序生产工艺运行的正常性、稳定性。
3.1.2负责部门内工艺运行原始资料的累积、保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。
3.1.3负责应对单晶制绒设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。
3.2设备技术人员3.2.1负责单晶制绒设备开关机、故障分析、设备维护及检修。
3.2.2如有工艺需求，积极配合工艺人员调整设备硬件设置。
3.2.3 负责部门内设备运行原始资料的累积，保管，随时检查设备运行状态，并记录异常，积极跟踪异常情况，处理设备故障；3.3生产人员3.3.1负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保操作安全、人身安全。
3.3.2细心总结操作经验，发现新问题或改善建议，及时向工艺技术员汇报。
3.3.3配合、协助设备的日常维护工作。
4. 单晶制绒工序标准作业流程4.1 单晶制绒目的4.1.1 在硅片表面通过化学腐蚀形成“金字塔”结构，通过陷光原理增加对太阳光吸收。
4.2 生产准备4.2.1 按照着装标准正确穿戴无尘服，正确佩戴口罩及手套。
4.2.2 确保手套没有粘有油脂性物质，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。
4.2.3生产前检查的设备外围、供电、及工艺参数是否正确4.2.4确保生产用工具配齐4.3 生产操作过程4.3.1检查外包装箱子是否有破损，检查配料单和Qc检验入库信息是否一致，同时核对外包装箱上的数量合计是否与配料单一致。
4.3.2 搬动一箱硅片在电子秤上称重，检查包装箱上的重量是否与电子秤是否一致，如一致，将秤的重量写在装片记录上，称完重量的硅片立即从称上取下，电子称上严禁长时间放置物品。
RENA操作
2 关于temperature（温度）报警
出现此类报警时，需确认coolingunit在工作，确认有 循环流量，然后等待并观察温度是否降低。
41
3 关于pump（泵）报警
出现此类报警时，需确认报警槽的溶液量是否达到 液位要求，循环是否正常。如有异常，补加药液并手动打 开槽体循环。检查该槽喷淋滤芯是否正常。
37
硅片表面未洗干净
手指印及其 他人为污染 非扩散面有明 显大面积脏污 停止 查看各槽循环 正常 严格遵守生 产操作规范 异常 通知设备 停止 打开循环 通知设备 清理喷淋 及风刀 有效 硅片表面发黄
查看碱槽循环 正常
查看各槽喷淋 及风刀
正常 刻蚀槽补药
异常 查看碱槽喷淋及 风刀 正常 增大碱槽流量
6
主操作界面
7
带数
带数
刻蚀槽温度
碱槽温度
风刀功率 循环流量 刻蚀槽寿命 酸、碱槽寿命
8
Manual界面
9
注：管路图，其中黄色为酸管路，紫色为碱管路， 绿色为水管路，灰色为压缩空气
10
Etch bath 刻蚀槽，是整个设备的核心部分，作用是去除背结、边缘 绝缘；主要含有DI水、H2SO4、HF、HNO3、按一定比例混合均匀后配 成。反应温度通常在5～8度。 主要反应方程式有： 1: Si + 4HNO3 = SiO2 + 4NO2 + 2H2O 2: SiO2 + 4HF = SiF4 + 2H2O 3: SiF4 + HF= H2SiF6
是
通知设备人员处 理
39
RENA设备常见报警信息
40
1 关于waferjam（叠片）报警
出现此类报警时，设备人员调整滚轮并取出碎片。如果 是滚轮原因造成上述报警，同时上级决定暂时不能停机， 可选择不在报警道投片，待工艺换药或设备PM时进行相应 调整。此外可要求生产人员不定时检查各段滚轮是否正常 工作，设备中是否出现卡片、碎片。如果出现上述异常， 需及时调整片间距，减少叠片的发生。
RENA制绒工序工艺控制
恢复生产时生产员工需先把8道减薄量先称出来，正常生产后应每隔2小时测量一次减薄量，并在电脑软件上填写相应记槽换液周期为3.5天。
6.异常反馈
6.1减薄量异常
当发现减薄量异常时，如可通过带速调整，生产部工序长可以调整带速以控制减薄量；当调整带速不能控制减薄量时必须第一时间通知到值班工艺人员，由工艺人员调整确认后才能继续生产。
6.2报警异常
发现报警信息时及时查看，能消除报警信息即消除报警；如报警信息无法消除，及时反馈给工艺、设备人员。
5.附录
(a)绒面过小(b)绒面过大
(c)正常绒面
编制/日期:
审核/日期:
批准/日期:
1.目的
去除硅片表面的机械损伤层，在硅片表面形成绒面，清除表面油污和金属杂质，稳定设备、生产、工艺的正常运作。
2.范围
5-8线制绒工序。
3.职责
3.1所有操作人员都必须严格按照本档进行操作；
3.2在操作过程中遇到问题应及时向工艺人员反应，工艺人员及时提供帮助。
4.工艺控制规范
4.1减薄量工艺控制规范
减薄量工艺控制范围：0.45-0.55g/pc(正常片)，0.15-0.3片(返工片)。
4.2带速工艺控制规范
带速工艺控制范围：1.2-1.4m/min，建议带速1.3m/min。
4.3制绒槽温度工艺控制规范
温度工艺控制范围：6-9℃
4.4循环流量工艺控制规范
循环流量工艺控制范围：100-160L/min
制绒工序作业指导书
RENA制绒工序作业指导书1 目的指导电池车间制绒工序人员的正常生产操作。
2 适用范围100MW电池车间制绒工序工作人员。
3 定义无4 职责权限4.1 生产员工：若无工艺工程师许可严禁擅自对任何工艺参数进行修改与调整。
4.2 操作员4.2.1 在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进行调整。
在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。
4.2.2 协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，当发现工艺参数发生变化时应及时通知班组长，由班组长通知工艺工程师。
4.3 班组长4.3.1 班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。
4.3.2 当工艺工程师不在现场，且制绒后硅片的腐蚀深度、表面状况出现异常的时对腐蚀温度、带速、风刀频率、溶液浓度、溶液配比在一定范围内进行微调。
当微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行调整。
4.3.3 当硅片出现异常，班组长应立即通知工艺人员。
班组长在未得到工艺工程师的授权时，不得对制绒的工艺参数以及清洗机的清洗工艺进行任何调整。
4.3.4 班组长应该配合工艺人员严格按照实验要求完成各项实验。
4.3.5 协助工艺人员对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时应及时通知工艺人员，由工艺人员进行确认处理。
4.4 工艺工程师：4.4.1 保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产质量时，应该及时采取相应的解决措施。
4.4.1.1 工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行；4.4.1.2 当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与主管工程师讨论确认方案的可行性，然后请求生产部协助，按计划进行实验。
4.4.1.3 工艺人员的实验在没有成熟时不得进行大批量生产。
4.4.2 在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数；4.4.3 巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理；4.4.4 保证超净间各个工艺在规定的工艺参数下进行，对设备的各工艺参数进行定期复查，完成SPC相关工作；4.4.5 配合其他车间工艺人员完成各项实验和质量控制。
InTex_InOxside中文操作手册
1. 在这个部分里，你将找到新HF/HNO 的充填方法指示。机器的状态应该 是，蚀刻槽以及储液罐水被排干并且清洁。 2. 选择想要的recipe 从menu “Parameter > Parameter Administration”. 3. 检查化学品的比例和第一次充填的体积在menu “Parameter > Parameter2”
Draft Version
Page 9 version :1.0
RENA InTex 操作指南
Figure 6: Parameter > Parameter 2: Setup for new etch bath 3. 确认首次配液时各化学品的浓度配比，在“Manual > Etch Bath” named “Setvolume firstfill” 4.检查化学供应，特别是药房各化学品的余量 5.在选单menu “manual > etch bath”,点击 “mode man.”将槽更改为手动模式
2.2.20 若门未正确地调整好位置，Alert 警报会出现。再次登录，调整好门的位置，按 F1 消除警报，再登 出。 2.2.21 关掉设备的显示，关闭电源。
3. 槽的清洗及药液更换
3.1 旧药液槽的处理
3.1.1 蚀刻槽（Etch bath） 1.选择菜单Manual >etch bath
Draft Version
纯水：
纯水压力应在 4Bar，温度在 20 摄氏度
冷却水：
进水温度应在 20 摄氏度以下，进水回水压力差应在 3Bar 以上
化学品供应： 在软件界面下，点击Ｆ10 查看各 Media Supply 均正常供应（尖头均为绿色） 图片 1
制绒作业指导书
1加工工艺及技术工艺要求制作绒面主要是通过化学腐蚀的方法去除硅片表面的损伤层和杂质，并使硅片表面形成金字塔状,减少对光的反射.整个制绒工艺过程如下所示：相关化学反应方程式：2NaOH + SiO 2 = Na 2SiO 3 + H 2O 2NaOH + Si + H 2O = Na 2SiO 3 + 2H 2 NaOH + HCl = NaCl + H 20硅片的总减薄量通常控制在10－50μm 的范围内。
2 基本操作流程 2.1 开机流程2.1.1开启水,电,气阀.如_图所示.2.1.2超声波开机流程2.1.2.1打开超声波电闸,如_图所示.2.1.2.2按下电源开关,灯亮为上电,如_图所示.2.1.2.3打开进水阀,使槽内注入水,如_图所示.2.1.2.4打开加热开关,使其加热到设定温度,如_所示.2.1.3减薄槽开机流程2.1.3.1按下减薄槽电源按钮,灯亮为上电,如_所示.2.1.3.2将槽中注入一定量的水,打开加热, 使其加热到设定温度,如_所示.2.1.4制绒槽开机流程2.1.4.1按下制绒槽电源按钮,灯亮为上电,如_所示.2.1.4.2将槽中注入一定量的水,打开加热, 使其加热到设定温度,如_所示.2.1.5离心机开机流程2.1.5.1按下电源按钮,灯亮为上电,如_图所示,程序自动开启.2.1.5.2按下显示屏右侧“加热关”按钮,开启后即显示“加热开”.如_图所示.待其加热至设定温度.2.1.5.3按下显示屏下方“自动”按钮,开启后即显示自动状态.如_图所示.2.2生产前的准备2.2.1领取硅片:按生产通知单上规定的编号领取硅片.2.2.2从硅片箱中取出泡沫盒,若领取的原料中有不同型号的硅片,则应按照从厚到薄,从正常片到单面线痕再到双面线痕的顺序生产.2.2.3戴上PVC手套.2.2.4将泡沫盒放到工作台上的指定位置,如_图所示.用刀片轻轻划开泡沫盒上的胶带,如_图所示.2.2.5取下泡沫盒盖,用刀片轻轻划开硅片上的塑料包装纸,取下塑料包装纸及硅片上的垫板,如_图所示;然后将每两个泡沫盒盖重新组合,并将取下的垫板放入其中,如_图所示,最后将空的泡沫盒放回纸箱中. 2.3装片2.3.1将花篮放在工作台上的指定位置,花篮下垫上海绵,如_图所示.2.3.2从盒中取出一定数量的硅片,用左手轻轻握住,再用左手拇指依次将硅片推出,如_图所示,然后用右手轻轻抽出硅片.若硅片之间相互吸引力较大,则最好先将硅片展开,如_图所示,再将硅片抽出.2.3.3将硅片竖直插入花篮中,如_图所示.若硅片表面具有缺陷,应将具有缺陷的一面统一朝花篮尾(如_图所示)摆放.2.3.4对装满25片硅片的小花篮安装扣条,安装顺序是先扣花篮尾(如_图所示),再扣花篮头(如_图所示).装满4个小花篮,即一批后可开始工艺.2.3.5换液后以及每清洗四批硅片后需要测试减薄量,此时应将测试片(测试片即由质检人员测试其每道工艺前后参数的硅片)装入其中,通常每批放入1-2片测试片,测试片应放在小花篮靠花篮头的位置,如_图所示.2.4工艺过程2.4.1操作人员全部佩戴好防酸碱手套,围兜,防酸碱鞋及口罩,如_图所示.2.4.2将一批硅片放入超声波清洗机右边的清洗槽中,如_图所示. 对于装有测试片的批次,应将装有测试片的小花篮放在右下角,如_图所示.2.4.3开启超声按钮及摆动按钮,自动开始计时.如_图所示.2.4.4在系统自动运行的同时继续装片并填好流程卡.2.4.5操作人员需时刻观察运行时间,到工艺时间后取出硅片放入左边清洗槽中,开启超声按钮及摆动按钮,自动开始计时.如_图所示.2.4.6超声波计时到后,将硅片连同流程卡一并送至减薄工艺处.2.4.7将一批硅片放入减薄槽中,同时开启已设定好时间的计时器,如_图所示,槽顶部信号绿灯亮起,如_图所示.2.4.8计时时间到,控制柜及顶部信号红灯均亮起,如_图所示,此时立即将小花篮拿出减薄槽,放入梯形槽依次从低到高清洗,每个槽中清洗2-5分钟,如_图所示.然后取出硅片连同流程卡一并送至制绒工艺处.2.4.9将一批硅片放入制绒槽中,同时开启已设定号时间的计时器,如_图所示,槽顶部信号灯亮起,如_图所示.2.4.10计时时间到,控制柜及顶部信号红灯均亮起,如_图所示,此时立即将小花篮拿出制绒槽,放入梯形槽依次从低到高清洗,每个槽中清洗2-5分钟,如_图所示.然后取出硅片连同流程卡一并送至酸洗工艺处。
1.RENA制绒工序作业指导书
1.RENA制绒工序作业指导书文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。
2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。
3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。
3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。
4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。
4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。
4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。
4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。
4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。
4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。
4.7产线异常控制作业指导书，见21页。
4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。
5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。
6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。
6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。
制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。
2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。
制绒标准作业指导书
制绒标准作业指导书共10页第1页目录一、制绒目的 (2)二、制绒原理 (2)三、适用范围 (2)四、职责 (2)五、操作流程 (2)1. 开机 (2)2. 关机 (3)3. 生产 (3)4. 配液 (3)5. 补液 (3)6. 配液操作 (4)六、检测内容及技术要求 (4)七、关键控制点和检查频次 (4)八、设备及物料清单 (5)九、具体规范图示 (5)十、注意事项 (10)制绒标准作业指导书共10页第2页一、制绒目的1.去除硅片表面的机械损伤层；2.在硅片表面形成金字塔状绒面以减少反光率；3.酸洗去除硅片表面的硅酸钠、氧化层及金属离子。
二、制绒原理1. 在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。
2. 化学反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑。
三、适用范围本作业指导书适用于单晶车间内，制绒工段所有工作人员。
主要设备为台州强丰清洗制绒机。
四、职责1.操作员负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保人身安全、操作安全。
2.在操作过程中遇到工艺或设备问题应及时向工艺或设备人员反映，相关人员须及时提供帮助，解决问题。
五、操作流程1. 开机a.检查确认纯水、电、压缩空气、氮气是否供应正常；b.检查确认设备排风是否正常；c.开机，打开位于设备后配电箱内的电气开关并确认二级开关全部打开；d.登录，点击触摸屏，确定登录；e.切换为手动模式，在手动模式下打开所有槽盖，确认各槽溶液是否正常，确认各槽内无花篮无杂物；f.将设备切换为自动模式，各槽开始自动升温；g.待温度达到设定值后，开始试片投产。
制绒标准作业指导书共10页第3页2. 关机a 在手动模式下打开所有槽盖，检查确认各槽内有无花篮，待所有花篮都取出后方可进行关机操作；b 关闭所有槽盖；C.关机，关闭位于设备后的电气开关。
3. 生产生产过程A. 装片, 将仓库领来的硅片从箱子中取出，然后小心插入小花篮中，并以200片为一生产批次并做好所有相关记录，；B 进篮。
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文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。
2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。
3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。
3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。
4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。
4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。
4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。
4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。
4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。
4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。
4.7产线异常控制作业指导书，见21页。
4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。
5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。
6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。
6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。
制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。
2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。
3．制绒工序生产前设备状态检查(设备)（供（最，压缩空气阀（供整机气动元件用，下0.检查纯水压力是否正常，并且纯水进水压，和氢）中液4.1 打开电控柜电源，然后打开主机及PLC 电源。
4.2 打开灯，开关位于灰色的电气箱“0”—“1”。
4.3 打开机器上的显示器，并打开冷却系统4.4 开始登录程式。
点击屏幕右上角的“login”。
4.5 填入帐号和密码，按“Login，进入操作界面，并选择手动模式（mode Manual）。
4.6 把产量清0，待各工艺槽准备好后（屏幕上各槽位显示Ready，为绿色），将滚轮关掉。
4.7 将手动模式切换为自动模式，并点击屏幕右下方的“start”，即完成开机。
4.8 如果出于放假或者设备维修需要关闭电源时，关闭电控柜电源。
5．操作注意事项5.1 每个班次生产结束后交接班前擦拭上下料滚轮，并将下面的碎片清理干净。
在换液时清理各工艺槽处滚轮上粘着的碎片。
5.2 每个班次生产结束后交接班前保证清洗机各个面、显示屏干净、无污物，用白布擦拭无污迹，上下料区无明显渣滓和积水，操作平台走廊表面、清洗机底部、后面底部无明显污物。
5.3 每个班次生产前保证上料桌和下料桌干净、无污物，用无尘布擦拭无明显污迹。
冷却系统、检验台等与洁净硅片接触的设备表面洁净，用无尘布擦拭无污迹。
5.4 停产时间超过24 小时（包括24 小时），应将干燥机以后的滚轮用酒精无尘布擦干净，特别是有橡皮胶圈的地方，以免生产时出现滚轮印。
5.5 停机时间超过1 小时（包括1 小时），应冲洗RENA 机碱槽的风刀，以免停机时间过长导致风刀堵塞。
5.6 生产过程中风刀压力要充足，保障吹干硅片（硅片表面及后边缘无明显水珠），如发现硅片不能吹干，应及时告知设备或工艺人员处理。
5.7 制绒槽和碱洗槽的温度出现高低温报警时立即停止生产，待温度恢复正常后再上片。
5.8 出现叠片或碎片现象，将叠片或碎片的轨道停止放片，立即通知设备人员进行检查，产线员工应协助检查，检查完毕并排除异常后方能放片。
叠片必须予以返工处理, 不得自行擦干流入下一个工序。
5.9 一旦发现工艺槽中有叠片不能出来，立即要求停止上料，将制绒槽的溶液排下，等设备中的硅片全部出来后，停止滚轮，处理叠片。
5.10 接触到氢氧化钾时立即使用清水冲洗接触位置，直到冲洗干净为止以免烧伤，严重时立即就医。
当接触到氢氟酸和盐酸时，立即用大量水冲洗，严重时就医。
5.11手动放片时，从片盒中取出原硅片，每次取片不超过50pcs，片子底部放一块中空板。
5.12 制绒到扩散的留存时间：制绒后的片子必须放在传递窗或者扩散间, 不得滞留在制绒暂存台。
硅片不允许裸露在空气中超过1h，时间过长硅片会污染氧化，容易导致扩散炉管污染。
RENA 制绒上料操作作业指导书（多晶）操作步骤：好无尘服、工作鞋手套和帽子。
操作步骤：片箱子轻放在地上，将硅片从箱子中取出，用美工刀打开硅片包装盒，美工刀尖插进包装盒不超过划伤硅片。
拆开包装。
注意检查隐裂片和碎片。
注意事项：头发不要外露。
注意事项：美工刀尖插进包装盒不超过防护用品：无防护用品：无(1)着装 所需工具：无尘服、口罩、帽子(2)拆箱操作步骤：将硅片拆开包装，整齐地放在上料台。
题片挑出（碎片、隐裂、崩边、缺角片等）来料标注放置于专门的承载盒，可退库的和碎片分开放置。
注意事项：严禁裸手直接接触硅片。
防护用品：无(3) 取片到上料台 所需工具：无(4)上料取片 操作步骤：（如果发现硅片上有泡沫屑时用无尘布擦干净再开始上料注意事项：严禁裸手直接接触硅片防护用品：无（5）检查擦拭硅片 （6）上料动作操作步骤：（距：放片要保证片间距大于1cm保证均匀的放片间距。
注意事项：保证片间距大于1cm防护用品：无（7）保持放片间距所需工具：无RENA制绒流程操作作业指导书（多晶）指示灯全部为绿色。
清零输入数和输出数。
按下开始生操作步骤（薄量：要求道各测一片。
减重控制在0.37g-0.41g0.35g-0.43g在21%-23%注意事项：无防护用品：无（1）设备状态确认（2）生产前测量减薄量操作步骤滚轮速度限制：生产过程中滚轮速度不得超过操作步骤生产作业员需要每小时测量减薄量，每次测量道和在表。
注意事项：无注意事项：无防护用品：无防护用品：无（3）滚轮速度限制所需工具：无（4）过程减重监测所需工具：无操作步骤确认报警信息：当生产过程中出现报警，按F2如是严重警告需要通知工艺和设备人员。
操作步骤上下班交接班和吃饭时间停机后要求生产员工用水枪对碱槽后风刀进行冲洗。
注意事项：无注意事项：无防护用品：无防护用品：无（5）确认报警信息所需工具：无（6）冲洗碱槽风刀所需工具：无操作步骤（）下料观察硅片：下料处检查硅片绒面和吹干情况。
若有油污，手印等外观不良挑出返工。
操作步骤（停产一小时后或者不可预计的长时间停产将刻蚀槽药液由槽排放到罐。
注意事项：发现异常通知工艺员。
注意事项：无防护用品：无防护用品：无（7）下料观察硅片 所需工具：无（8）停机操作 所需工具：无操作步骤（求填写片源批号厂家数量时间减重和反射等流程单相关信息，填写人签字。
注意事项：无防护用品：无（9）填写流程单所需工具：圆珠笔RENA制绒下料操作作业指导书（多晶）操作步骤：下料观察硅片：观察硅片表面是否有黑绒和抛光；观察表面有无液体残留，将未吹干的硅片取出，若有油污或手印片，挑出做返工处理。
操作步骤：（摆放方向按左图所示：篮开口大的一面朝向下料操作人员，垫。
注意事项：取片时注意安全注意事项：无防护用品：无防护用品：无(1)下料观察硅片所需工具：无（2）下料花篮的摆放所操作步骤：（）下料拿片动作：收片时用双手夹住硅片两边。
为了防止对硅片正面造成污染，禁止单手收片。
操作步骤：（作：花篮，遇到插不正的情况时，不允许手对硅片有向下的压力，的力，靠重力插入花篮。
注意事项：禁止单手收片。
注意事项：向下的压力。
防护用品：无防护用品：无（3）下料拿片动作所需工具：无（4）下料插片动作所需工具：海绵垫操作步骤：（）装满的花篮放于周转车：将下料装好的片篮放于周转车，片篮中制绒方向朝向同一个方向，每1200片为一个批次。
操作步骤：（程单：批号厂家数量时间减重和反射，同颜色的流程单。
注意事项：无注意事项：流程单的类型防护用品：无防护用品：无（5）装满的花篮放于操作步骤：转车推到传递窗前，放于指定区域。
及时关闭传递窗，必须互锁，不能同时与扩散开启，因为制绒是酸性环境，扩散洁净度要求较高。
注意事项：传递窗不能同时开启防护用品：无(8)传递硅片所需工具：无减薄量测试作业指导书操作步骤：取片：从不同泡沫盒中分别取片原硅片，在片子底部放一块中空板。
操作步骤：开天平电源开关，机”键 注意事项：在片子底部放一块中空板注意事项：无防护用品：无防护用品：无 所需工具：电子天平所需工具：电子天平 操作步骤：测量前按（中间第二个键）调试天平，显示为零时方可测量。
操作步骤：右侧窗口。
注意事项：无注意事项：无防护用品：无防护用品：无所需工具：电子天平所需工具：电子天平操作步骤：将硅片轻放轻拿，硅片不要触碰天平四壁，关闭右侧窗口，及时记录称量数据。
操作步骤：次进行称量。
注意事项：无注意事项：无防护用品：无防护用品：无所需工具：电子天平所需工具：电子天平 操作步骤：记录数据：将制绒前后数据记录在《制绒减薄量测量记录表》上，减薄量范围控制在0.28-0.32g 超出范围通知工艺员。
操作步骤：量员。
注意事项：无注意事项：分清制绒面防护用品：无防护用品：无返工片操作作业指导书操作步骤：返工片镀膜面朝开口小的一面插入花篮。
注意事项：插片时花篮下垫上海绵垫。
防护用品：无(1)插片所需工具：花篮、海绵垫（2)开返工单所需工具：无将操作步骤：（间：槽酸洗注意事项：酸洗时间不小于防护用品：无（3)返工片上料所需工具：篮扣、母篮（4)清洗时间所需工具：无操作步骤：（清洗后确认（工艺）：烘干后工艺员确认是否洗干净，没洗干净重新洗干净后才能继续下步骤。
操作步骤：（绒：确认干净后用槽式6#50上料等待时间要大于120注意事项：无注意事项：无防护用品：无防护用品：无（5)清洗后确认所需工具：无（6)重新制绒所需工具：无操作步骤：（重新制绒后用小车送扩散正面重扩。
注意事项：无防护用品：无（7)传递硅片所需工具：周转车操作步骤：将扩散异常返工片扩散面朝开口小的一面插入花篮操作步骤：（艺员）：将返工片插好后放在小车上，开返工单写明返工类型异常情况和数量后送清洗返工。
注意事项：插片时花篮下垫上海绵垫注意事项：写明返工类型防护用品：无防护用品：无(1)插片所需工具：海绵垫（2)开返工单所需工具：无操作步骤：（料：将花篮扣上篮扣放入母篮。