纳米技术与微电子技术啊
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• 2、微电子技术
• 2.1微电子技术是建立在以集成电路为核心 的各种半导体器件基础上的高新电子技术
• 特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作 速度快,微电子技术对信息时代具有巨大 的影响。
二、纳米技术在微电子学上的应用
• 纳米器件:单电子晶 体管、纳米发光二极 管、超微磁场探测器 、集成电路
• 纳米碳管:由石墨碳 原子层卷曲而成,径 向控制在100nm以下 。
(4)纳米导电浆料
• 纳米粉末制作导电浆料可显著地降低烧结 温度,提高材料性能。 • 应用:微电子工业中的布线、封装、连接 等。
(5)单电子器件及纳米量子器件
• 单电子器件:利用单电子效应,制作以具 有特定功能的器件,一个电子就是一个多 功能的器件。
• 纳米量子器件:利用量子特性制作的具有 特定功能的器件,单电子器件是其基础。 • 量子器件的特点:响应速度快、功耗低、 体积小
(2)制备金属/绝缘体多层膜的新方法
• 有机配位体所包裹的稳定的Ag纳米颗粒能 在栅格表面形成金属Ag和有机体分层有序 排列的多层膜结构。 • 特点:耗材低廉、易于实现
(3)纳米陶瓷基板
• 陶瓷基板技术是多芯片组件(MCM)的关键 技术之一 • 特性:高密度封装、降低元件失效率、改 善热导率、缩短延迟时间、轻量化、微小 型化
纳米材料与纳米技术
主题:纳米技术在微电子上的应用
一、纳米技术与微电子技术
• 1、纳米技wenku.baidu.com(nanotechnology)
• 1.1 纳米技术是用单个原子、分子制造物质 的科学技术。
• 1.2 纳米加工技术是实现纳米化的基础。
• 1.2.1纳米加工技术分类
• 按加工方式:切削加工、磨料加工(分固 结磨料和游离磨料)、特种加工和复合加 工四类。
(6)纳米吸波材料
• 吸波材料,也称隐身材料,金属纳米粉体 对电磁波有特殊的吸收作用。
• 应用:军事应用、民用应用
(7)超塑性的应用
• 纳米金属材料具备的“奇异”性能—室温 下的超塑性。 • 丝状纳米铜 • 作用:导线的精细加工、电子器件和微型 机械的制造
(8)纳米芯片
• 国际上各知名芯片厂商都争先加入了纳米 芯片技术的研发行业。 • 量子芯片:利用纳米结构中的各种量子效 应制作的芯片。
• 几种新兴的纳米加工技术:化学合成方法 、 聚焦离子束技术、准分子激光直写纳米 加工技术、纳米压印技术
• 1.3纳米电子学
• 1.3.1主要思想:基于纳米粒子的量子效应 来设计并制备纳米量子器件。
• 1.3.2最终目标:进一步减小集成电路,研 制出由单元子或单分子构成的在室温下能 使用的各种器件。
• 特点:尺寸小、速度快、功耗低
the end
谢谢!
• 清华大学的范守善教授利用碳纳米管,制成 Si3N4纳米线,其径向尺寸为4~40nm。 • 1997年,他们还制备出了GaN纳米线。 • 1998年该科研组与美国斯坦福大学合作, 在国际上首次实现硅衬底上碳纳米管阵列 的自组织生长。
(1)连接超高密度集成线路元件的 纳米导线
• 如今的晶体管仅有100多纳米,纳米导线连 接其中超高密度集成线路的元件。 • 特点:电子传输速度快,能耗更小。