tcos投影物镜的设计
广角微型投影镜头设计
广角微型投影镜头设计投影显示适应环境范围广,是一种对环境要求较低的投影显示技术,广泛应用于家庭会议、监控系统、教室教学等显示环境。
与平板和液晶显示相比,投影显示可以实现超大屏幕应用。
现今微电子产品的发展迅速,简便轻型的投影系统已经成为主流,面对这一需求,微型投影技术正在快速崛起,这种技术的核心部件就是广角微型投影镜头。
广角微型投影镜头具有焦距小、尺寸短、视场大等特点,与传统投影镜头相比,广角投影镜头可以在狭小的空间内投射出较大的的影像画面,从而适应不同的投影场所,如空旷的商业场所或狭小的家庭娱乐场所,也更方便携带。
本文设计了一种结构简单、外形尺寸小、清晰度高的广角微型投影镜头。
1.2初始结构选取微型投影镜头结构焦距短,光学总长较短,而且设计镜头的显示芯片尺寸为0.61 inch,尺寸较大,要有较大的视场,同时,在投影镜头与微显示器之间要放置偏振分束镜(PBS),因此要留出足够的空间。
這就要求系统具有较长的工作距离。
由于反远距镜头后工作距离大于系统焦距,具有焦距短、后截距长的特点,恰好能满足投影镜头的要求,故采用反远距型结构。
利用光学设计手册、期刊文献、美国CODE V光学设计软件等方式查找与参考指标接近的初始结构。
图1、图2分别为镜头初始结构图和调制传递函数(MTF)曲线图,系统焦距为9.25 mm,视场角为72°,F数为2.75,显示芯片尺寸为0.37 inch,与设计目标仍有较大的差距。
1.3优化设计设计投影系统时选择RGB三基色设计镜头,它们的波长分别为464,525,617 nm。
根据设计要求对光学系统的焦距进行缩放,使焦距为9.26 mm,将初始结构中的玻璃替换为成都光明环保玻璃,对初始结构进行优化设计。
投影镜头为远心结构,必须严格控制镜头的远心度,故用操作数RAID控制系统的远心度,使其为0°,使用FCGS、FCST控制像面弯曲进行优化。
添加操作数提高MTFT、MTFS值并给予适当的权重,用DIMX、AXCL、LACL操作数控制畸变场区和色差。
便携式投影仪投影物镜设计
第40卷 第2期 2019 年 3 月
文 章 编 号 :1002-2082(2019)02-0316-07
王 康 ,等 :便 携 式 投 影 仪 投 影 物 镜 设 计
·ห้องสมุดไป่ตู้317 ·
投影仪应运而生,其 具 有 智 能 化 程 度 高,续 航 能 力 长,功 耗 低,体 积 小,携 带 方 便 等 优 点。 传 统 的 投 影显示系统多是针对采用弧光灯光源的大中型投 影仪,占用空间较大,结 构 不 够 紧 凑,投 射 比 较 小, 因此并不适合便携式投影仪。便携式投影仪属于 微型投影仪,为满足 使 用 需 求,其 投 影 系 统 需 能 同 时满足结构紧凑,体 积 小,具 有 较 大 的 视 场 及 较 短 的有效焦 距 的 特 点。 本 文 根 据 以 上 需 求,结 合 相 关的设计 理 论,设 计 了 一 款 配 合 便 携 式 投 影 仪 使 用的投影光学系统。
应 用 光 学 Journal of Applied Optics
Vol.40 No.2 Mar.2019
便携式投影仪投影物镜设计
王 康1,段 洁1,2,周 见 红1,王 晨1,付 跃 刚1,2
(1.长春理工大学 光电工程学院,吉林 长春 130022; 2.长春理工大学 博士后流动站,吉林 长春 130022)
Abstract:In view of the shortcomings of current projectors such as large light source power consumption,poor light projection stability and large system structure,using Zemax software, a large field of view (FOV),short focal length and compact projection system for portable projectors was designed.After optimization,the design structure was finally obtained with good imaging quality.At the spatial frequency of 80lp/mm,the central FOV modulation transfer function(MTF)is≥ 0.7,the 0.8FOV MTF is≥ 0.6,the edge FOV MTF is≥ 0.48,and the distortion is less than 3% ,which can satisfy the design indicators given.Moreover,the energy concentration is greater than 85% in the specified and required pixel size range,the overall illumination curve is higher than 90% within 0.8FOV,the energy concentration is high,and the illumination uniformity is good,which can be well matched with the portable projector for use. Key words:short-focus;Zemax ;wide field ;projection optics
光学设计第16章显微镜物镜设计
光学设计第16章显微镜物镜设计在显微镜中,物镜是显微镜的一个重要组成部分,它决定了显微镜的分辨率和放大倍数。
物镜设计的优劣直接影响显微镜的成像效果。
本章将重点介绍显微镜物镜的设计原理和常见的设计方法。
1.物镜设计原理物镜是显微镜中用于放大样品的光学元件,主要由凸透镜和凹面镜组成。
通过透镜的折射和反射,物镜能够将样品的细节放大并投射到目镜上。
物镜的设计目标是实现高分辨率和高放大倍数。
分辨率决定了物镜能够显示的最小细节,而放大倍数则决定了物镜能够放大的程度。
为了实现高分辨率,物镜需要具有较小的焦距和较高的数值孔径。
而为了实现高放大倍数,物镜需要具有较长的焦距和适当的放大倍数。
2.物镜设计方法物镜设计的一般步骤如下:1)确定显微镜的要求:首先需要确定显微镜的分辨率和放大倍数要求,以及工作距离等参数。
2)选择初设参数:根据显微镜的要求和已知条件,选择合适的初设参数,例如放大倍数和镜片曲率半径。
3)初设设计:根据选择的初设参数,在设计软件中建立物镜的初设模型,并对其进行光学评估。
根据评估结果,对初设模型进行调整和优化。
4)优化设计:通过光机设计软件对初设模型进行优化,使得物镜的性能达到要求。
优化的方式可以是参数优化、智能优化或复合优化等。
5)光机制造:根据优化的设计结果,进行物镜的光机制造。
这包括选择合适的材料和成型方式,以及进行镀膜和组装等工艺过程。
6)测试验证:利用测量仪器对物镜的性能进行测试和验证。
这包括分辨率测试、光学畸变测试和像差测试等。
7)调整优化:根据测试结果,对物镜进行调整和优化,以达到设计要求。
3.物镜设计的注意事项在进行物镜设计时,需要注意以下几个方面:1)数值孔径的选择:数值孔径是物镜中一个重要的参数,它决定了物镜的分辨率和光通量。
因此,在物镜设计中需要根据实际需求选择合适的数值孔径。
2)焦距的选择:焦距决定了物镜的放大倍数和工作距离。
较长的焦距可以实现较高的放大倍数,但也会增加工作距离。
投影光刻物镜的光学设计与像质补偿的开题报告
投影光刻物镜的光学设计与像质补偿的开题报告一、选题背景投影光刻是半导体工业中的一项重要技术,其主要应用于芯片制造中。
而投影光刻中使用的物镜是将芯片图案投射到硅片上的核心部件,物镜的光学设计和像质补偿是影响投影光刻质量的重要因素。
因此,对投影光刻物镜的光学设计与像质补偿进行研究,对于提高投影光刻质量具有重要意义。
二、研究目的本课题旨在通过对投影光刻物镜的光学设计与像质补偿的研究,探讨影响投影光刻质量的关键因素,提高投影光刻质量。
三、研究内容本课题主要的内容包括:1. 投影光刻物镜的基本原理与结构设计;2. 投影光刻物镜的光学设计方法,包括从光学性质和成像要求出发的光学设计和采用反向工程方法的光学设计;3. 像质补偿方法的研究,包括基于有限元法的线性像质补偿和非线性像质补偿算法。
四、研究意义在半导体工业中,投影光刻是一个非常重要的制造过程。
而物镜是影响投影光刻质量的关键因素,在光学设计和像质补偿方面的优化研究可以提高投影光刻的分辨率和生产效率。
因此,本课题的研究结论将有助于提高投影光刻的质量和效率,促进半导体工业的发展。
五、研究方法本课题采用的研究方法主要包括:1. 理论分析法:通过对投影光刻物镜的基本原理、光学性质和成像要求等的分析,探讨物镜光学设计的原理和方法。
2. 数值模拟法:利用光学仿真软件对投影光刻物镜的成像特性进行模拟,验证物镜设计的可行性和优化效果。
3. 实验验证法:通过搭建实验平台,对物镜的成像质量进行测试和分析,验证模拟结果的准确性。
六、预期成果本课题的预期成果主要包括:1. 投影光刻物镜的光学设计方法:通过探讨不同的光学设计方法,提出一种最优的物镜设计方案。
2. 像质补偿算法:开发一种有效的像质补偿算法,能够提高投影光刻的分辨率和精度。
3. 实验结果:验证物镜设计的可行性和优化效果,并对实验结果进行分析和总结。
四、研究计划一年的研究时间周期内,我们计划按以下时间表开展研究工作:第一阶段(1-4月):对投影光刻物镜的原理、光学设计方法和像质补偿算法进行归纳总结和文献回顾。
短焦距投影光学模组的设计
短焦距投影光学模组的设计超短焦距微型投影物镜的系统特点是要求在很近的距离内投射出大的画面,本文设计的一款结构简单的光学模组就能满足这种要求。
此模组采用TI的DLP470TP 芯片作为显示成像界面,投射比为0.446:1。
整个投影物镜结构由2个非球面镜片、3个球面镜片和2个胶合镜片及一个TIR棱镜组成。
投影物镜总长度116mm,焦长4.50mm,相对数值孔径1:2.2,全视场角约120o。
成像质量上全场的MTF≥0.35,相对畸变<3%。
光学模块里的显示芯片均匀照明系统部分由三组R、G、B的LED发光芯片及7个球面镜片、1个复眼透镜、一个全反射透镜和两个二向色镜片组成。
均匀照明光学系统和物镜系统共用TIR棱镜、平面镜片和显示芯片。
标签:光学设计;超广角物镜;非球面透镜;复眼透镜;TIR棱镜引言一般大视场大孔径的超短焦距光学系统结构复杂,像面的清晰度和畸变很难控制在小的范围内。
本系统借助于两个非球面镜片有效的控制了整体系统的像差及长度,使用结构短巧,性能卓越。
这个光学系统由多个部分组成:其中光学镜片组成及排列属于光学部分,照明光源的选型与驱动属于电学部分,而支撑镜片组合并保证系统整体性的外壳属于机械部分。
本文设计的整套光学模组不仅結构简单,而且成像性能很好。
1.投影物镜的设计指标2.物镜光学系统的设计设计要求物镜100%的偏轴率,因此显示芯片的中心应落在物镜像面的上半部分的位置,与光学系统的光轴不能重合。
另外,投影物镜要求把小画面放大,即将0.47英寸显示芯片呈现的画面清晰的放大106倍后投射在0.5米远的接受屏幕上。
因此,物镜光学系统的结构如图1所示:式中c=1/R,R为非球面定点的曲率半径,k为二次曲面常量,A为镜片表面的4阶非球面系数,B为6阶非球面系数,C为8阶非球面系数,D为10阶非球面系数,E为12阶非球面系数,以此类推。
本镜片表面最高非球面系数是10阶;光学系统中的第二、三、四和第七个镜片都是普通的球面镜片。
共轴极紫外投影光刻物镜设计研究共3篇
共轴极紫外投影光刻物镜设计研究共3篇共轴极紫外投影光刻物镜设计研究1共轴极紫外投影光刻物镜设计研究背景随着微纳技术的发展,芯片制造工艺不断更新换代,由于光刻技术在微电子工业中具有不可替代的地位,因此光刻技术的研究和发展一直处于微电子领域的重要研究方向之一。
近年来,随着芯片制造工艺转向微纳米级,传统的紫外光刻技术已经无法满足高精度、高分辨率、大面积等要求。
共焦偏振干涉(SPIL)测量技术以及矢量场光学(VCO)技术的不断发展,将极紫外(EUV)光刻技术发展起来,也成为了未来芯片制造工艺的重要方向。
因此,共轴极紫外投影光刻技术成为了今后极紫外光刻技术的重要研究方向之一。
研究目的共轴极紫外投影光刻物镜设计研究的目的是通过设计一种新型的物镜,来提高极紫外光刻技术的分辨率和成像能力。
研究方法1. 设计物镜光学结构:主要包括凸透镜、抛物面镜、共轴式算法设计等。
2. 光学模拟:采用Zemax、Code V等光学模拟软件进行模拟实验,其中主要包括成像质量分析、衍射效应分析等。
3. 光刻胶薄膜厚度分析:对光刻胶薄膜厚度进行详细的分析,主要目的是减少胶薄膜的不均匀性及浸没效应。
研究进展共轴极紫外投影光刻物镜是一种集成式的设计,主要由凸透镜、抛物面镜等光学元件组成。
在保证高分辨率的同时,共轴极紫外投影光刻物镜还可以有效的解决胶薄膜的不均匀性及浸没效应等问题。
并且,由于采用共轴式算法设计,使得光路比较简明,也可以大大减小反射率。
研究成果及应用前景目前的研究成果表明,共轴极紫外投影光刻物镜设计可以降低胶薄膜厚度的不均匀性及浸没效应,从而使得投影图案的精度和分辨率更高,相比传统紫外光刻技术有了非常明显的优势。
此外,共轴极紫外投影光刻物镜设计还具有制造成本低、生产效率高、制造周期短等优点。
因此,共轴极紫外投影光刻物镜设计有非常广阔的应用前景,将会促进微电子工业的持续创新和发展共轴极紫外投影光刻物镜作为一种新型物镜设计,可以有效提高极紫外光刻技术的分辨率和成像能力,解决传统紫外光刻技术的不足。
投影物镜设计
投影物镜是将物体进行放大成像并投影在屏上的物镜。
投影仪的物镜、幻灯机和电影放映机上的投影物镜统称为投影物镜。
投影物镜的作用是将光源照明的投影物体成像在较大的屏幕上,从而得到一幅放大的图像,其作用相当于倒置的照相物镜。
两者相异之处是:照相物镜为缩小成像,而投影物镜为放大成像。
描述一个投影物镜光学特性的参数是:共轭距、焦距、放大率、视场、
相对孔径和工作距离。
放映物镜的像质要求,着眼于轴上点的像差(即球差和色差),轴外像差的校正主要是影响清晰度的慧差和像散。
这样的设计思想即考虑了投影物镜大孔径的特点,也考虑了它的应用特点。
简单的放映物镜是由两片透镜组成的,其中一个是正透镜,另一个是负透镜。
假如设计时注重玻璃的选择,就可以使这种结构在校正了色差和球差的基础上,同时校正正弦差。
由于轴外像差没有校正,这种结构只
能用在小视场的投影仪器中。
如果成像质量的要求高一些,可以用两个不晕的透镜组成投影物镜,这也是小视场投影仪器中使用的结构。
在投影仪器中最常用的投影物镜是匹兹万照相物镜,把它倒过来使用。
当投影仪器所要求的视场再大时,就要采用消像散的结构。
科克物镜和天塞物镜,甚至是双高斯物镜,都
可以用做投影物镜。
下面给一个10倍投影仪物镜,线视场30mm,其镜头数据如下:
其2DLayout如下:
投影物镜跟显微物镜一样据需要反向设计,基本上物距远小于像距时需
要反向设计。
变焦投影物镜光学系统设计
Ch a n g c h u n 1 3 0 0 1 2 , C h i n a )
Ab s t r a c t : Z o o m p r o j e c t i o n l e n s a r e d e s i g n e d t o me e t r e q u i r e me n t s o f d i f f e r e n t s c r e e n s i z e wi t h s a me o p t i c a l e n g i n e a n d s c r e e n p o s i t i o n .F o c a l l e n g t h o f z o o m p r o j e c t i o n l e n s r a n g e s f r o m 2 2
该 变焦投影 物镜 的 焦距 变化 范围为 2 2 mm ̄3 7 mm, 视 场 角为 4 6 。 ~7 5 。 , F数 为 2 . 8 。考 虑 设计 的光 学 系统要 求 相对孔 径较 大, 具有 大视 场 角和 小 变焦倍 比 , 根 据 变 焦理 论 , 采 用 正组 补偿 的机
械 补偿 法 , 并对 变倍 组 、 补 偿组 进行 合 理 的倍 率选 段 , 求 出高斯 解 ; 然后 对 各 组元 分 别 选 用 合 理
的初 始结 构 , 利用 Z e ma x光 学设 计 软件进 行优 化设 计 , 适 当添加 非球 面 。采 用二 、 四组元 运 动 的 机 械补 偿 法解 决 了大视 场 变焦 系统 畸 变难 以控制 的 问题 , 并利 用调 制 传递 函数 综 合评 价 了整 个 光 学 系统 。设计 结 果表 明 : 该 变焦投 影物 镜 系统 的 光 学 结构 和 成 像 质 量均 符 合 设 计 指 标要 求 ,
实验十投影实验的设计
实验十投影实验的设计1.实验目的本实验的目的是研究光学投影技术的原理和应用,通过设计和搭建投影实验,探讨光学投影的工作原理,了解光学投影在实际生活中的应用,并通过实验数据的分析和处理,提高学生对光学投影技术的理论和实验操作能力。
2.实验原理光学投影技术是利用光的折射和反射原理,将图像通过物体上的透镜或反射面形成较大的投影图像。
投影仪通常由光源、光学系统、成像系统和电子控制系统等组成。
光源发出的光通过透镜或反射面经过调整和成像,最终在幕布或者其它投影平面上形成放大的图像。
3.实验器材投影仪、幕布或白板、卡尺、水平仪、遮光板、测量仪器(如万用表)。
4.实验操作步骤(1)实验前准备:搭建实验平台,将投影仪放在与幕布正对的位置上,确保距离适宜,并使用水平仪进行调平。
将投影仪连接到电源,并打开电源开关,开启光源。
(2)调整光源亮度:根据实际需求,调整投影仪的亮度,确保投射图像的清晰度和明亮度。
(3)测量投影仪与幕布距离:使用卡尺或测距仪测量投影仪与幕布的实际距离,并记录下来。
(4)测量投影图像的尺寸:使用卡尺测量投影图像在幕布上的宽度和高度,进行记录。
(5)调整投影图像的焦距:根据实验需求,调整投影仪的焦距,使得投影图像清晰度最佳。
5.数据处理与分析(1)通过实验测得的投影仪与幕布的距离和投影图像的尺寸,可以计算出投影图像的放大倍数。
(2)利用以上数据,可以绘制出投影图像尺寸与距离的函数图像,研究投影图像尺寸随距离的变化规律。
(3)讨论投影图像在不同距离下的清晰度和明亮度变化情况,探究其原因并给出相应的解释。
(4)分析投影图像在不同焦距下的成像效果,分析透镜的成像原理和焦距的影响。
6.实验注意事项(1)实验操作时要轻拿轻放,避免对投影仪和相关器材造成损坏。
(2)实验过程中要注意使用遮光板来遮挡环境光的干扰。
(3)在实验过程中要注意观察投影图像的清晰度和明亮度变化情况,及时记录和分析数据。
(4)实验结束后要适当清理实验区域,关闭电源并搬运实验仪器设备。
轻小型广角投影物镜的设计
轻小型广角投影物镜的设计
陈琛;刘宵婵;李维善;张禹;刘红军
【期刊名称】《光子学报》
【年(卷),期】2011(40)8
【摘要】为实现数字投影机的小型化和轻量化,设计了一款适用于0.55inch数字微反射镜芯片的小型广角投影物镜.该投影物镜总长69mm,全口径25mm,由5片玻璃透镜,2片塑料透镜(4个非球面)组成.系统采用像方远心的反远距结构形式,用Zemax软件实现优化设计.F数为F/2.4,投射比为0.73∶1,即60cm处可投射出40inch的画面,全视场畸变低于1%,在极限空间频率66lp/mm处,中心视场光学传函达到0.75,边缘视场光学传函达到0.42.该镜头具有小口径、大视场、低成本、结构简单和易加工等优点.
【总页数】4页(P1266-1269)
【关键词】光学设计;广角投影镜头;数字微反射芯片
【作者】陈琛;刘宵婵;李维善;张禹;刘红军
【作者单位】秦皇岛视听机械研究所
【正文语种】中文
【中图分类】O439
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学术论文:【毕业论文】双筒棱镜望远镜的物镜和目镜的选型和设计
【毕业论文】双筒棱镜望远镜的物镜和目镜的选型和设计毕业论文(设计)课题名称:双筒棱镜望远镜的物镜和目镜的选型和设计题目类型:毕业设计学生姓名:院(系):物理科学与技术学院专业班级:指导教师:辅导教师:时间:目录毕业设计〔论文〕任务书I毕业设计〔论文〕开题报告Ⅳ毕业设计〔论文〕指导教师审查意见Ⅺ毕业设计〔论文〕评阅教师评语Ⅻ毕业设计〔论文〕辩论会议记录ⅩⅢ中文摘要ⅩⅣAbstract ⅩⅤ1 引言12 目视光学系统成像原理12.1 目视光学系统的特点12.2 望远镜系统成像原理12.3 显微镜系统成像原理23 光学自动设计方法33.1光学设计根本步骤33.2光学自动设计概述44 望远镜系统的选型与设计54.1 设计技术要求54.2 系统外型结构参数的理论计算64.3 望远镜结构元件的选型94.3.1 望远镜物镜的选型94.3.2 望远镜目镜的选型94.3.3 转向棱镜的选型104.4 应用TCOS光学设计软件对结构元件进行设计12 4.4.1 物镜设计过程124.4.2 目镜设计过程154.5 设计图纸184.5.1 系统结构图纸184.5.2 系统元件设计图纸185 显微镜系统的选型和设计185.1 设计技术要求185.2 系统外型结构参数的理论计算195.3 显微镜结构元件的选型205.3.1 显微镜物镜的选型205.3.2 显微镜目镜的选型205.4 应用TCOS光学设计软件对结构元件进行设计215.4.1 物镜设计过程215.4.2 目镜设计过程245.5 设计图纸285.5.1 系统结构图纸285.5.2 系统元件设计图纸286 设计体会28参考文献30致谢31附录32XIVXIII长江大学毕业设计〔论文〕任务书学院〔系〕物理科学与技术学院专业应用物理学班级应物2042学生姓名指导教师/职称 /教授⒈毕业设计(论文)题目双筒棱镜望远镜的物镜和目镜的选型和设计⒉毕业设计(论文)起止时间:2021年1月~2021年6月⒊毕业设计(论文)所需资料及原始数据〔指定教师选定局部〕参考文献:康玉思, 刘伟奇, 冯睿. Cook 结构补偿镜的球面折反型望远系统[J]. 光学精密工程, 2021,3(15):303~307杨荣仙. 变倍目镜的设计[J] . 光学技术 , 1992,6:19~30常军, 翁志成, 姜会林等. 长焦距空间三反光学系统设计[J]. 光学精密工程, 2001,9(4):315~318潘君骅. 成像光学工程面临的光学问题[J]. 中国工程科学. 2000,2(3):32~35姜守信,郭霞, 闫惠民.非共轴反光镜程序的设计[J]. 黑龙江电子技术, 1996,2:7~8赵延仲,宋丰华,孙华燕.高斯光束的激光变焦扩束光学系统设计[J]. 装备指挥技术学院学报, 2021,18(5):85~89涂德华. 共轴光学系统镜框结构设计[J]. 光学仪器, 2021,29(1):52~56袁旭沧. 光学设计[M]. 北京: 科学出版社,1980张楠, 卢振武, 李凤有. 衍射望远镜光学系统设计[J]. 红外与激光工程, 2021.2 36〔1〕:106-108尚华, 刘钧, 高明等. 头盔式单目微光夜视仪中的光学系统设计[J]. 应用光学, 2021.5 28〔3〕:292-296安连生. 应用光学[M]. 北京: 北京理工大学出版社, 1998姚多舜, 梁宏君. 一个可完全自动绘图的光学设计软件——OCAD光学设计软件包[J]. 应用光学, 2004.3 25〔2〕:28-35石顺祥, 张海兴, 刘劲松. 物理光学与应用光学[M]. 西安: 西安电子科技大学出版社,1999杨近松. 光学镜头机械结构参数化设计系统的开发[J] . 光学精密工程, 1999,127〔6〕:6-9高晓斌, 余晓芬. 一种并行共焦显微镜的设计与研制[J]. 光学仪器, 2021.12 27〔6〕:72-76赵丽萍, 赵子英, 邬敏贤等. 折射混合望远镜的设计制作及实验[J]. 光学技术, 1999.5 3:28-31郁道银, 谈恒英. 工程光学[M]. 北京: 机械工业出版社, 1999魏英智, 张琳. 光圈性能测试系统的总体设计[N]. 科技导报, 2021.5 25[5]:53-55姚启钧. 光学教程[M]. 北京: 高等教育出版社, 2002刘钧, 高明. 光学设计[M]. 西安: 西安电子科技大学出版社,2021⒋毕业设计(论文)应完成的主要内容望远镜是重要的光学仪器之一,随着科学技术的飞速开展,望远镜逐步由简单的单筒望远镜开展到双筒望远镜、天文望远镜、射电望远镜。
数字光刻缩微投影系统物镜的设计
片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三 片式物镜结构 ,得到数值 孔径 N A= 0 . 1 ,放 大倍率 为. 0 . 2 5 5 8 ,分
辨力达 3 . 5 p m,不受 D MD栅格效应影响且达到1 z , : - J . 射极 限的缩微物镜 。经过 Z e ma x软件模 拟得 到其全视场光程差
De s i g n o f Re d u c e d P r o j e c t i o n L e n s f o r Di g i t a l L i t h o g r a p h y
LI U Ha i yo ng, ZH OU J i n yu n, LEI Li an g, LI U Li x i a, LI U Zhi t a o, GUO Hua
l i t h o g r a p h y p r o j e c t i o n l e n s , c o mp o s e d o f s i x l e n s e s a n d s u i t a b l e f o r 0 . 7 X GA D i g i t a l Mi c r o - mi r r o r De v i c e( DMD ) , i s d e v e l o p e d a n d d e s i g n e d . T h r o u g h o p t i mi z i n g a n d s p l i c i n g t h e t h r e e p i e c e s o f l e n s ’ s t r u c t u r e , t h e o b j e c t i v e l e n s , o f w h i c h
tcos投影物镜的设计
像之间共轭距有关。 物镜焦距一定时,放大率低,工作距离则 长;当放大率一定时,物使共轭距大,工作 距离就长。 物镜的工作距离与它的结构型式有关,在 焦距相同条件下,反摄远物镜具有较长的 工作距离。
二、投影物镜的结构型式
(a)
图9.40
投影物镜和照相物镜的工作状态恰好相反,
但从视场角、相对孔径等光学特性角度来 看,二者同属一类光学系统。9.2节中曾介 绍了各种类型照相物镜的结构型式以及它 们所能达到的光学性能,在选用投影物镜 时可做参考。
投影机技术演变(主流)LCD
LCD(Liquid Crystal Display:液晶显示器)液晶 投影机 。LCD投影机按内部液晶板的片数可分为单 片式和三片式两种 。三片式LCD投影机比单片式 LCD投影机具有更高的图像质量和更高的亮度 。 优点:LCD投影机体积较小、重量较轻,制造工艺 较简单,亮度较高和对比度适中,分辨率适中 ,彩 色鲜艳。 缺点:高速运动画面可能会出现拖尾现象,对比度 不高。长时间使用后易出现图像偏黄现象(与背光 无关)。
投影机的历史
1640年 :一个名叫奇瑟的 耶稣教会教士发明了一种叫 魔法灯的幻灯机,运用镜头 及镜子反射光线的原理,将 一连串的图片反射在墙面 上 。不过被老古董们送到 老迈(迈克尔、杰克逊)那 去了。被指控施妖术!你们 看:那时候有文化真可怕。
投影机的历史
二战后 :人类迎来了第3次科技革命 .电脑的发明、集成电路 的大量出现,也使投影机进入的数字化时代。1989年,爱普 生和索尼拥有了液晶板的核心技术,同年,世界上第一台液 晶投影机—爱普生的VPL-2000诞生 .然后就出现大量的山寨 机了。如:东芝、科视、明基等。后来爱普生的执行董满怀 幽怨地说 :“山寨不可怕,就怕山寨能做大 ”。 第1次工业革命:18世纪从英国发起的技术革命是技术发展 史上的一次巨大革命,它开创了以机器代替手工工具的时代 (蒸汽机动力)。 第2次工业革命 :1870年以后 ,即电力的广泛应用、内燃 机和新交通工具的创制、新通讯手段的发明 。
望远镜物镜的设计方法
望远镜物镜的设计方法一、引言望远镜物镜是望远镜中最重要的组件之一,起到聚集和折射光线的作用。
物镜的设计直接影响到望远镜的分辨率、亮度和视场等性能指标。
因此,物镜的设计方法显得尤为重要。
二、物镜设计的基本原理物镜的设计目标是在给定的参数条件下,使得望远镜具有最佳的成像质量。
物镜的设计方法主要基于以下原理:1. 折射原理:物镜利用透镜的折射原理将光线聚焦到焦点上。
根据透镜的曲率和折射率,可以计算出透镜的焦距和焦点位置。
2. 理想成像原理:物镜的设计目标是实现尽可能接近理想成像的效果。
理想成像是指物镜将入射光线聚焦到一个点上,形成清晰的像。
实际物镜设计中,需要考虑像差的问题,通过优化透镜的曲率和厚度分布等参数,减小像差的影响。
3. 光学设计软件:物镜的设计过程通常借助光学设计软件进行模拟和优化。
光学设计软件能够根据设计要求和参数输入,自动生成透镜的曲率和厚度分布,并通过光线追迹法进行成像质量的评估和优化。
三、物镜设计的步骤物镜的设计通常包括以下步骤:1. 确定设计要求:根据望远镜的应用需求,确定物镜的参数要求,如焦距、口径、视场等。
2. 选择透镜材料:根据设计要求和预算,选择适合的透镜材料。
透镜材料的选择应考虑折射率、色散性能、透过率等因素。
3. 初步设计:利用光学设计软件进行初步设计,确定透镜的曲率和厚度分布。
根据设计要求和透镜材料的特性,进行初步的光学系统仿真和评估。
4. 优化设计:通过光学设计软件进行优化设计,调整透镜的参数,如曲率半径、厚度等,以达到更好的成像质量。
优化设计过程中,可以采用遗传算法、模拟退火等方法,寻找最优的设计解。
5. 系统评估:对优化后的设计方案进行系统评估,包括成像质量、像差分析、光学效率等指标。
根据评估结果,对设计方案进行调整和改进。
6. 光学制造和测试:根据最终的设计方案,制造物镜并进行光学测试。
光学测试可以通过干涉仪、星测试等方法进行,以验证物镜的成像质量是否符合设计要求。
TCOS光学设计软件使用说明书_GAOQS
前言TCOS光学设计软件是中船重工集团公司第七一七研究所光电一部自主开发的光学设计软件是一套实用化的可对各种共轴球面非球面系统进行像质分析和结构优化的大型光学设计软件并能对非共轴非常规复杂光学系统进行像质评价TCOS基于中文Windows9X或Windows2000操作系统为全中文界面对硬件的要求是具有硬盘CPU为Pentium166以上64M以上内存本说明书共分七章最基本的章节为第一章第二章第三章和第四章这几章讲述了TCOS的基本使用输入方法包括概貌数据输入方法对系统评价像质的方法自动优化的方法等更多的功能在后面的章节中讲述程序中用到的光学和数学理论不在本手册讨论的范围有关符号规则与国内常用的光学设计符号一致用户可参照北京理工大学出版社出版的光学设计主编袁旭沧一书^_^第一章 TCOS 软件的主要功能和基本操作方法1.1 TCOS 的主要功能TCOS2.00版能计算共轴球面和非球面系统以及非共轴含有复杂面形的系统具有丰富的像质评价功能和作图功能还附带有对光学设计及作图很有帮助的一些实用工具其主要功能罗列如下 系统高斯参数计算 初级与高级像差计算 绘制多种像差曲线 绘制系统二维图 计算并绘制点列图点列图能量分布曲线自动寻找最佳像面位置 计算并绘制光学传递函数MTF 自动计算单个及胶合透镜的参数焦距矢高前后截距等 计算任意两面间高斯参数 任意单根光线追迹 计算任意视场渐晕系数 计算光线在系统各面的瞳孔分布图 适应法自动校正像差 光学系统的温度分析 中国玻璃库查询 面倾角与中心偏边厚差球心偏的相互转换 激光光学高斯光束计算 其它辅助工具如缩放焦距透镜弯曲空气折射率等等 所有计算结果都可以存盘编辑或导出到其它文字处理软件中进行编辑打印等所有图形都可以存为BMP 格式可方便地插入到其它排版系统中进行编辑打印等TCOS 本身采用一种二进制格式对初始数据进行存盘同时有数据接口用户可将数据存为美国ORA 公司的光学设计软件CODE V 的*.SEQ 格式或者存为北京理工大学的光学设计软件ODP841的数据格式同时用户也可以读取ODP841格式的数据1.2 TCOS 的主界面TCOS 软件基于Windows9X 操作系统也能在Windows 2000上使用具有良好的操作界面如图1.1所示软件有一个父窗口在其顶部有菜单工具条等在通常情况下该父窗口含有两个子窗口一个为数据与控制窗口另一个为结果窗口这两个窗口不可关闭所有数据的输入和主要的控制操作都在数据与控制窗口中窗口中各个功能模块采用多级页面的方式使用者可方便地找到需要使用的功能在实际^_^操作过程中软件会采取一种半自动向导的方式自动切换页面并适时给出操作提示使用者能很快上手简化了操作程序计算的所有结果都放在结果窗口中使用者可方便地对计算结果进行观看修改编辑清空复制存盘等操作在计算的过程中软件还会开辟另外的子窗口以显示图形例如系统二维图点列图光学传递函数MTF 曲线等有些功能在数据与控制窗口中没有列出设计者可在菜单中找到1.3 主要操作方法TCOS 由于是全中文图形界面应该输入的数据在界面上指明得都比较清楚因此用户极易上手在有些关键项当鼠标停留在输入框上时软件会给出提示或说明当输入数据不合理时程序也会给出提示及参考解决方案通常在某一个页面的数据输入完成以后如果该页面有确定按钮则应该按确定按钮以确定输入 具体的各项数据输入方式将在后面的章节详细介绍1.4 数据文件使用者成功地输入了光学系统后可在菜单文件>初始数据存盘中存盘存盘数据为二进制格式缺省扩展名为*.gab 用户也可以选择其它扩展名进行存盘文件的缺省存盘路径为TCOS 的安装目录图1.1 TCOS 主界^_^打开文件同样从菜单文件中进行其操作和存盘类似在进行了文件存盘和打开操作后程序自动记录最近打开或存盘的四个文件可在菜单文件中找到使用者只需点击即可打开为提高软件的兼容性TCOS设置了数据接口使用者可将输入的初始数据存为CODE V格式的文件扩展名为*.SEQ或ODP841格式的文件缺省扩展名为*.TXT用户可用CODE V或ODP841直接打开进行计算这样用户可方便地用其它设计软件进行像质评价考虑到国内ODP841软件的用户比较多TCOS还提供了直接读取ODP841格式的功能这样用户可继承以前的劳动成果而无需重新输入为便于用户统一管理和对比TCOS的所有计算结果放在一个结果窗口中用户可将结果存盘缺省格式为Windows下的基本格式*.RTF富文本格式用户可用其它编辑软件如Word WPS2000Windows自带的写字板等进行排版打印等工作^_^第二章 光学系统的描述和数据的输入2.1 概述光学系统数据可以分成两大类一类是描述光学系统的物理结构的数据包括光学系统的面型曲率半径厚度间隔透镜折射率等等总称为系统的结构参数另一类叫做系统的光学特性参数包括系统的相对孔径视场角物距等在执行像差计算自动校正点列图MTF 等的计算前都必须给定光学系统的初始结构参数和光学特性参数程序才有可能开始工作本章将给出这些数据的输入方法 一光学系统结构参数 本软件用于共轴系统系统中的每个曲面可以是球面二次曲面或高次曲面系统可以是折射系统反射系统或折反系统代表每个曲面的通用方程式为2020886644222)1(11r A r A r A r A r C K CrX +……+++++−+=X 轴与系统对称轴光轴重合Y 轴在子午面内如图2.1所示以上公式中有关参数的意义如下222Z Y r +=C――曲面顶点的近轴曲率对于球面也就是球面的曲率K ――二次曲面系数不同的K 值对应的二次曲面为K<-1 双曲面K=-1 抛物面K<0 (>-1) X 轴为长轴的椭球面K=0 球面k>0 X 轴为短轴的椭球面A4A6A8A10A 20高次非球面系数对于球面所有A 为0对于球面除了要给出中心点曲率半径r r 1/c 外还必须给出相应的K 和A值 ZX图2.1 TCOS 的坐标系统Y ^_^光学系统的结构参数除了各面的面形参数外还有各面的间隔和光学玻璃材料的名称或折射率TCOS 可以计算一种色光或三种色光对反射或折反射系统每遇到一个反射面折射率和间隔改变一次符号当输入玻璃名称时必须首先定义玻璃即给出玻璃的三种折射率对于国产玻璃可以通过查询玻璃库来将数据引入到定义玻璃的窗口中 二光学特性参数 为了进行像差计算除了需要光学系统的结构参数外还必须给出系统成像的光学特性参数它包括下列参数 物距指物体到系统第一面的距离物高或物方半视场角物体的半高度当物距为无穷远时输入半视场角SinU 或半光束孔径孔径角的正弦值当物距为无穷远时输入光束孔径另外还必须指明孔径光阑的位置如果输入实际入瞳距离不为0则可以不指明光阑位置如果实际入瞳距离输入为则必须在面形数据栏输入STO 以指明光阑位置TCOS 允许在实际光学系统后加入一个附加的理想光学系统例如对成像在无限远的系统可以在它的后面附加一个有限焦距的理想光学系统然后对此组合系统计算像差评价像质此时必须给出附加理想系统的焦距以及附加系统离原系统的距离当附加系统离原系统的距离为0时理想系统的物方和像方主面与实际的光学系统最后一个面的顶点重合2.2 系统初始数据的输入 我们将以一个具体的系统为例说明初始数据的输入方法例1假定要输入一个双胶合望远物镜光学特性要求为 焦距 f'250mm图2.2 特性参数输入界面^_^通光直径 D 50mm 视场角 22光阑为系统第一面Lz打开TCOS 则初始的输入窗口如图2.2所示按图2.2中的数据输入实际上要输入的就是物距半视场角入瞳半径和系统总面数其它数据都为缺省数据另外当物距不是无穷远时则用鼠标在下拉框中选择物距在有限距离这时特性参数栏的界面自动变化如图2.3所示 第二第三项输入指示已经变为物高和孔径角正弦需要特别说明的是对于实际入瞳距离通常建议输入为0并在以后的结构参数输入页指明光阑位置则程序会自动计算出入瞳出瞳的位置和口径上光和下光渐晕系数也一般按缺省值对于有渐晕的系统可以给定系统各面的通光口径然后执行计算渐晕系数则程序会计算出准确的渐晕系数 在输入完成以后如图2.2所示单击确定按钮则程序自动切换到结构参数输入页在本页内要求输入曲率半径厚度间隔和玻璃名或折射率以及面形参数并指明光阑位置如图2.4所示图中已经完成了结构参数的输入图2.2 特性参数及其它输入界图2.3 物距在有限距离 图2.5 输入为折射率的情况 图2.4 结构参数输入页面^_^这里我们选择了两种玻璃K9和F5 其中曲率半径是随便输入的数据这是为了和以后执行自动优化时作比较在图2.4的左下角有两个单选按钮当选择输入玻璃名时即为图2.4所示使用者可直接输入玻璃名当选择输入折射率时则结构参数输入界面会发生变化如果已经定义了玻璃则程序会自动给出折射率如图2.5所示在结构参数输入窗口的右边有一个表格要求输入面的通光孔径半径的大小和面型一般情况下孔径可不输入程序在下一步计算系统高斯参数时将自动算出并将计算结果放到该栏如果用户指定透镜的口径通常在计算渐晕系数时必须就需要在输入的数据后加一个字母u 不区分大小写表示用户定义例如25u 对于面型通常要指明光阑所在的面即用STO 表示该面为光阑面在图2.4中第一面为光阑面如果该面为非球面则用ASP 表示如果该面同时是光阑及非球面中间用小圆点表示如STO.ASP 在TCOS2.00版中只有这几种情况具体如下STO 或sto 光阑面ASP 或asp 非球面STO.ASP 该非球面作为光阑面DEC 该面为偏歪面CYL 或CYLZ 柱面柱面的母线和Z 轴一致CYL Y 柱面柱面的母线和Y 轴一致CONE 锥面TOR 镯面双曲率面GRT 光栅面 图2.4中像面后的参数和前面的参数相似通常像面为平面因此曲率半径为0如果像面不是平面可以输入一定的值甚至可以是非球面柱面等像面的厚度间隔通常也为0但优化完成后可以单击菜单系统操作->寻找最佳像面则程序自动寻找出最佳像面并将像面的位移值放入该数据框中以后计算像差评价光学系统成像质量等都按该位置进行在输入完图2.4所示的数据后单击定义玻璃按钮则弹出自定义玻璃的窗口如图2.6所示 在玻璃数一栏中输入定义的玻璃数例如本例中用到了两种玻璃所以可输入2在表格中按图2.6输入两种玻璃的玻璃名和主波长的折射率nD 以及两种参考波长的折射率nF 和nC 注意对于参考波长的折射率必须将短波长的折射率放在前面即必须满足折射率nF>nC 在如图2.6输入完成以后单击确定按钮即可图2.6 自定义玻璃窗口^_^实际上对于用到的玻璃是中国玻璃的情况有一种更简单的输入方式单击菜单工具>玻璃库>中国玻璃库则会弹出中国玻璃库查询窗口如图2.7所示在数据表格中列出了所有中国玻璃的名字及有关折射率及阿贝数的参数对于国标GB903-87中没有列出的玻璃则在玻璃名字后用*号标出对于查询提供了两种方式一种是按玻璃名进行查询一种是按D 光的折射率nD 查询选中按玻璃名查询然后在输入框中输入k9再回车或单击查询按钮则程序自动查出玻璃的折射率参数并同时显示到面板的左上部分的数据列中这时再单击引入到自定义则将该玻璃的三种折射率放到图2.6所示的自定义玻璃窗口中对于F5玻璃可用同样的方法查询得到图2.8 计算的高斯参数页面图2.7 中国玻璃库查询窗口^_^在自定义完玻璃后单击确定按钮则程序自动切换到下一页面并计算出系统的有关参数包括焦距截距像距入瞳出瞳像高等如图2.8所示 到这里所有的基本参数已经全部输入完成以后就可以进行初始数据存盘显示图形计算像差计算MTF等诸多操作2.3 其它类型初始数据输入方式 在示例中输入的是胶合望远物镜所有面为折射球面还有其它一些情况这里作补充说明非球面在结构参数输入页在输入所有结构参数并确定某一面为非球面后在该面对应的面型表格中输入ASP 详见2.3点击确定按钮则在非球面系数页会自动给出非球面所在的面号并要求输入非球面系数如图2.9所示界面上部给出了非球面方程的形式在下部为数据输入表格有关系数的意义详见2.1在输入完成以后单击确定按钮即可数据结组在有些系统中出于工艺某些结构形式如有些反射系统平衡像差等的要求常常将有些数据结组即让两个参数大小相等符号相同或相反TCOS 中可设置两种形式的结组数据曲率半径和厚度间隔格式如下R 35D 26上面第一个格式表示的意义为第3面和第5面半径结组大小相同符号相反R 表示半径号表示符号相反第二个格式表示第2个间隔和第6个间隔数据结组大小相等符号相同D 表示间隔号表示二者符号相同如图2.10所示按上述格式在右边的输入框中输入数据然后点击<<按钮则引入到数据列表中去同样如果想删除某一项数据结组则在结组数据列表中选中该项然后单击>>则删除该项也可以单击删除所有来删除图2.9 非球面系数输入界面^_^所有定义的结组数据如果用户输入的格式不正确或输入的面号超过系统的总面数程序会智能判断并给出警告及提示 反射面TCOS 可以计算反射系统例2假如有一个折反系统数据如下面序号 半径 厚度 玻璃1 968.6440 12.000 12 1588.2950 4.105 K93 -577.7730 12.000 14 -762.0000 310.000 K95 -1000.0000 -310.000 16 -762.0000 290.000 -17 -390.4400 4.000 18 -1775.7600 0.100 K99 407.3800 4.000 110 12267.2100 84.693 K9图2.11 例2折反系统示意图图2.10 数据结组输入界面^_^像面 0 0 1 其中第5面和第6面为反射面则数据输入方式如上面所示注意第5面和第6面之间的空气折射率为1厚度为310该系统的二维示意图如图2.11所示系统每遇到一个反射面则折射率反号且曲率半径厚度也反号注意反射面的标志是其后的所有材料的折射率反号且曲率半径厚度间隔都要反号直到遇到下一个反射面即每遇到反射面其后的结构参数都要反号不包括非球面系数为了正确绘制系统二维图当系统的第一面是反射面时可在反射面前加一个虚面虚面后的间隔请给定一个大于0的值 技巧提示对于倾斜的反射面由于光轴发生2倍角度的倾斜显然用偏歪后不返回或偏歪后返回都不容易描述这时可先将反射面倾斜不返回γ角然后在其后距离为0处加一个虚面令虚面再倾斜γ角这样使得反射镜后的零件共倾斜2γ角透镜结构参数编辑功能TCOS 对输入系统的结构参数提供了灵活的输入方式用户可直接在输入表格中输入用户可随意进行插入面删除面将数据颠倒数据反号等操作操作提供快捷键和下拉菜单两种方式 如果想删除某一个面的数据则将鼠标点在该面的数据上然后按快捷键CTRL+D 则可删除如果想在某一面前增加一个面可按快捷键CTRL+I 来完成用户也可以通过菜单编辑>透镜结构参数>…来实现对数据的操作具体的内容如图2.12所示从图中可以看出程序提供了多种方式来进行结构数据的编辑合理应用这些功能将大大降低使用者的劳动强度在输入完初始数据并计算了图2.12 透镜结构参数编辑菜单图2.14 偏歪面的输入界面^_^一次高斯参数后最好马上存盘以防出现意外存盘方式为从菜单文件>初始数据存盘或右边的操作选择面板中的初始数据存盘按钮偏心和倾斜面1) 在数据与控制窗口的初始数据>结构参数页中在面型下面的数据输入表中输入DEC大小写都可以如图2.13所示2) 用鼠标单击特殊面形按钮则弹出如图2.14所示的窗口 3) 在图2.14中输入相应数据然后按确定按钮即可偏心量的符号规则是顺着坐标轴方向的偏移为正反之为负倾斜角的符号规则是迎着坐标轴观看逆时针旋转为正顺时针旋转为负注意X 向偏移是沿光轴方向的移动因此对应着系统两面之间间隔的改变在这种情况下通常不要在这里输入而是直接在结构参数里修改即该值通常都为0 偏歪后不返回其后面跟着偏歪是将坐标以当前的偏歪面来衡量其后的面以其为参照中心和其重合主要用于描述成组偏歪偏歪后返回其后面不跟着偏歪则在偏歪后立即返回到原坐标系中描述主要用于描述单个面的偏歪强烈建议对于一些形式上是偏歪系统实际上是可以转化为非偏歪系统的光学系统最好按非偏歪系统输入计算这样可以减少输入上的麻烦避免坐标变换有利于提高计算速度例如直角反射棱镜展开后为平板玻璃 技巧提示对于倾斜的反射面由于光轴发生2倍角度的倾斜显然用偏歪后不返回或偏歪后返回都不容易描述这时可先将反射面倾斜不返回γ角然后在其后距离为0处加一个虚面令虚面再倾斜γ角这样使得反射镜后的零件共倾斜2γ角 柱面1) 在数据与控制窗口的初始数据>结构参数页中在面型下面的数据输入表中输入CYL或CYLY或CYLZ 大小写都可以参考图 2.13所示其中CYL 及CYLZ 表示柱面的母线和Z 轴一致CYLY 表示柱面的目线和Y 轴一致2) 则结构参数中的曲率半径就表示柱面的半径 锥面1) 在数据与控制窗口的初始数据>结构参数页中在面型下面的数据输入表中输入CONE 大小写都可以表示该面为锥面2)则结构参数中的曲率半径实际上表示的是锥面的半锥顶角单位是° 注意锥面半顶角通常是接近90°的值不能大于90°可正可负 双曲率面镯面1) 在数据与控制窗口的初始数据>结构参数页中在面型下面的数据输入表中输入TOR 大小写都可以表示该面为镯面 图 2.13^_^2) 用鼠标单击特殊面形按钮则弹出如图2.15所示的窗口3) 在图2.15中分别输入子午方向曲率半径和弧矢方向曲率半径然后按确定按钮即完成输入平面光栅1) 在数据与控制窗口的初始数据>结构参数页中在面型下面的数据输入表中输入GRT 大小写都可以表示该面为光栅面2) 用鼠标单击特殊面形按钮则弹出如图4所示的窗口3) 在图4中分别输入要计算的衍射级次m和光栅刻线N并选择光栅类型和刻线方向然后按确定按钮即完成输入注意程序认为光栅的中心刻线和一条坐标轴重合如果不重合只要将光栅偏心一个值即可即同时认为光栅面为偏歪面输入说明对于以上的偏心和倾斜面镯面光栅面要修改所输入的数据时必须先用鼠标在对应的面型框内点击一下再单击特殊面形按钮才会弹图 2.15图2.16^_^出如图234所示的输入窗口如果要取消某一面的特殊面形只需删除该面形的符号即可所有特殊面形的符号规则与球面系统的一致^_^第三章 自动优化功能3.1 概述TCOS2.00的自动优化方法为适应法由用户指定需要优化的像差及其应达到的目标值将在后续版本中加入阻尼最小二乘法适应法自动校正程序的最大特点是第一参加校正的像差个数m 不能大于自变量的个数n 第二参加校正的像差不能相关因为适应法所求的解严格满足像差线性方程组的每个方程式如果某两种像差相关像差方程组就无法求解校正过程就要中断这对使用者提出了较高的要求使用者应该有一定的光学设计经验必须先判断那些像差是相关的不能同时参加校正另外给出的初始结构也应该比较合理否则不能得到较好的结果在自动优化的过程中有的变量在初始阶段可能是不相关的但在优化过程中有可能变成相关的这些都是适应法的一些缺点但同时它又具有较大的优点第一符合中国的光学设计人员的传统习惯可根据像差理论进行优化有利于提高设计人员素质第二要平衡的像差由设计人员指定能将一些像差消到很小的指定值且具有较大的灵活性有利于满足一些特殊光学系统的要求程序将系统的四个主要光学参数也作为像差对待用户指定目标值这四项为光焦度焦距倒数相对后截距l'/f'相对出瞳距离lz'/f'垂轴放大率TCOS 在界面安排上充分考虑使用者的要求最大限度减少使用者的输入和记忆量无论是自变量的确定还是要校正像差的确定都非常容易选择3.2 TCOS 的可控像差TCOS2.00的可控制像差有37种具体的代号及中文说明如下Lm' 轴上点边缘球差全口径球差KTm' 视场边缘全口径的子午慧差Xtsm' 视场边缘的细光束像散Xtm' 视场边缘的细光束子午场曲Xsm' 视场边缘的细光束弧矢场曲Yzm' 视场边缘的畸变LFC0.7' 0.707口径的轴像色差YFCm' 视场边缘的垂轴色差Lsn' 0.707口径的剩余球差LTym' 视场边缘的全口径的子午视场高级球差KT'snh 视场边缘0.707口径的剩余子午慧差KT'sny 0.707视场全口径的剩余子午慧差Xtsn' 0.707视场剩余细光束子午场曲Xssn' 0.707视场剩余细光束弧矢场曲LFC' 色球差YFC'sn 色畸变系统总光焦度焦距倒数^_^l'/f' 相对后工作距离lz'/f' 相对出瞳距离垂轴放大率ST 子午垂轴像差的均值L'0.7 0.707口径的球差KT'0.7my 0.707视场全口径的子午慧差KT'my0.7h 边缘视场0.707口径的子午慧差KS'0.7y0.7h 0.707视场0.707口径的弧矢慧差Xts'0.7 0.707视场的细光束像散Xt'0.7 0.707视场的细光束子午场曲Xs'0.7 0.707视场的细光束弧矢场曲Yz'0.7 0.707视场的畸变YFC'0.7 0.707视场的垂轴色差Ks'0.3 0.3视场全口径的弧矢慧差Dm 视场边缘1h的子午光线对的弥散尺寸Dm0.7h 视场边缘0.707h的子午光线对的弥散尺寸D0.7ym 0.707视场1h的子午光线对的弥散尺寸D0.7y0.7h 0.707视场0.707h的子午光线对的弥散尺寸ρDFC 三个视场三种色光的综合弥散圆半径的加权平均值ρD 三个视场主光线的垂轴像差的平均值使用者可选取上述的任意参数作为像差进行平衡但必须满足不能相关及个数小于自变量个数的规定使用者在输入完初始数据后可以通过菜单显示>所有可控像差值来观看系统当前的上述像差的具体值以确定需要平衡那些像差3.3 自动校正功能的实现在输入完初始数据后要进行自动优化必须首先指明那些参数作为自变量以及要平衡哪些像差通常优化一个系统焦距是必须作为要优化的量其它像差则要根据使用者的要求以及光学系统的结构形式与用途来决定我们仍以第二章所述的例1来说明优化的过程在第二章中曲率半径是随便输入的值因此系统的有效焦距为484.64597mm 而我们要求系统焦距为250mm 而且由于是随便输入的数据一般像差也比较大下面我们说明优化的过程将页面换到初始数据的结构参数页在三个曲率半径后加上一个字母v 或V回车或将鼠标点往别处则这些数据变为红色表示用户指明这些参数为优化过程中的自变量如图3.1所示单击确定按钮单击自动优化参数页签则显示出自变量页要求输入欲达到的焦距和优化初始增量界面如图3.2所示其中自变量数是由第步决定的欲达到的焦距则由用户输入图3.1设置优化自变量^_^。
光学设计 第18章 摄影和投影物镜设计
第十八章 摄影和投影物镜设计摄影物镜通常是指照相机、电影和电视摄像机中的镜头。
摄影物镜的作用是把外界的景物成像在感光胶片、电荷耦合器件(CCD)等接收器上。
胶片、CCD 以及其他接收器的尺寸通常比外界景物小得多,因此,摄影物镜是使物体缩小成像的。
另外,摄影物镜的焦距通常在几毫米到几百毫米之间,而要拍摄的外界景物与摄影物镜的距离跟物镜的焦距相比是相当大的。
当物距大于焦距的⨯30以上时就可视为无穷远成像。
在绝大多数情况下,外界景物是大于这个距离的,因此摄影物镜可视为对无穷远目标成像。
还有一类物镜,它与摄影物镜相反,是把记录在胶片或其他介质中的图样或图像放大成像到屏幕上,这类物镜称之为投影物镜或放映物镜,电影放映物镜就是其中典型的例子。
除普通照相物镜外,摄影物镜还包括用于航空测量和空中侦察的航空照相物镜、把实物和画面用照相腐蚀方法制成印刷用版的制版物镜等。
§1 摄影物镜的光学性能决定摄影物镜光学特性的参数有三个:焦距/f ,相对孔径/f D ,视场ω2。
1 焦距摄影物镜的焦距/f ,决定了物体所成像的大小,或者说决定了照片上的像与实际物体之间的比例。
用不同焦距的摄影物镜对同一位置的某物体进行摄影,焦距大者,所拍摄得的像也大。
这可以从放大率公式看出,x fx fy y //=-==β可知当/f 大时,垂轴放大率大,即得到比较大的像。
实际上由于摄影物镜的物距一般情况下都很大,可按物在无限远考虑,此时成像于焦面上,则有:ωtg f y ⋅-=//可见,对一定大小的物体,像的大小和物镜的焦距成正比,对于远距离摄影和航空摄影,若利用普通短焦距照相物镜,由于成像比例小,所成像太小,难以辨认目标,这时需用长焦距物镜,焦距可达1米以上。
由于摄影物镜用途不同,焦距范围也不一致。
普通用照相机焦距多在mm 100以下。
#135相机的常用镜头焦距为mm 35,#120相机常用镜头焦距为mm 75。
2 视场摄影物镜的视场ω2,决定了所拍摄的物空间范围。
亚10 μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定
亚10 μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定雷亮;李浪林;袁炜;刘新;周金运【摘要】采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405 nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12 mm×12 mm内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法.将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10μm线宽.【期刊名称】《应用光学》【年(卷),期】2014(035)002【总页数】5页(P311-315)【关键词】光刻;投影物镜;光学传递函数;MTF【作者】雷亮;李浪林;袁炜;刘新;周金运【作者单位】广东工业大学物理与光电工程学院,广东广州510006;广东工业大学物理与光电工程学院,广东广州510006;郑州铁路职业技术学院,河南郑州450052;广东工业大学物理与光电工程学院,广东广州510006;广东工业大学物理与光电工程学院,广东广州510006【正文语种】中文【中图分类】TN23;TN29引言光刻是集成电路工业的核心工艺,现今超大规模集成电路的工艺生产中,大部分都采用投影式缩小光刻系统,为获得更好性能的超大规模集成电路,需要制作出特征尺寸越来越小的元件,分辨率就成了投影式光刻的重要参数之一[1]。
光学传递函数MTF表征了光刻物镜的分辨能力和物镜对光的传递能力,MTF函数作为评判成像质量的最重要综合指标,如何能准确有效地测量对于检验光学系统具有重要的意义[2-3]。
现今的大规模集成电路工业中,采用的光刻系统及工艺要求已低于100 nm,所使用的光源要求深紫外甚至X射线波段,投影物镜材质亦相当昂贵,一套可靠的纳米级光刻机商用价格达数百万美金。
而在亚10 μm级的PCB、TFT、高密度封装、触控面板、平板显示器领域,几十万元人民币的投影式光刻机有十分庞大的市场需求[4]。
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或y
(二)相对孔径
投影物镜的作用是把投影物体成像在屏幕上,屏幕 距离和投影物镜焦距相比,通常都达数十倍。因此, 可认为投影物平面近似位于物镜的物方焦平面,所 以物方孔径角U为 D
sin U 2f'
投影物镜的放大率为
sin U sin U '
或写成 sin U ' sin U
而直接用投影物体的最大尺寸—线视场表 示。屏幕尺寸是确定的。例如测量用投影 仪的屏幕是圆形的,常见的屏幕尺寸有 400 、 600 、 800 、 1200 、 1500 mm 等,屏幕框实际上就是投影系统的视场光 阑,它的大小决定了物镜的线视场。根播 放大率公式 y' y'
y
(四)工作距离
投影仪的屏幕距离是确定的,我们把与屏幕
共轴的物平面到投影物镜第一面叫做工作距 离。工作距离的大小将直接影响投影仪的使 用范围。因为投影物体不仅有图片,幻灯片, 照相底片等,还有具有一定体积的物体。例 如齿轮,各种工件等,如果工作距离太小, 则投影仪的使用范围必将受到限制。
投影物镜的工作距离与物镜的放大率、物
投影机的历史
1640年 :一个名叫奇瑟的 耶稣教会教士发明了一种叫 魔法灯的幻灯机,运用镜头 及镜子反射光线的原理,将 一连串的图片反射在墙面 上 。不过被老古董们送到 老迈(迈克尔、杰克逊)那 去了。被指控施妖术!你们 看:那时候有文化真可怕。
投影机的历史
二战后 :人类迎来了第3次科技革命 .电脑的发明、集成电路 的大量出现,也使投影机进入的数字化时代。1989年,爱普 生和索尼拥有了液晶板的核心技术,同年,世界上第一台液 晶投影机—爱普生的VPL-2000诞生 .然后就出现大量的山寨 机了。如:东芝、科视、明基等。后来爱普生的执行董满怀 幽怨地说 :“山寨不可怕,就怕山寨能做大 ”。 第1次工业革命:18世纪从英国发起的技术革命是技术发展 史上的一次巨大革命,它开创了以机器代替手工工具的时代 (蒸汽机动力)。 第2次工业革命 :1870年以后 ,即电力的广泛应用、内燃 机和新交通工具的创制、新通讯手段的发明 。
投影机技术演变(主流)LCD
LCD(Liquid Crystal Display:液晶显示器)液晶 投影机 。LCD投影机按内部液晶板的片数可分为单 片式和三片式两种 。三片式LCD投影机比单片式 LCD投影机具有更高的图像质量和更高的亮度 。 优点:LCD投影机体积较小、重量较轻,制造工艺 较简单,亮度较高和对比度适中,分辨率适中 ,彩 色鲜艳。 缺点:高速运动画面可能会出现拖尾现象,对比度 不高。长时间使用后易出现图像偏黄现象(与背光 无关)。
一.投影仪: 像距V
镜 头
应 用
设 计 课 题Biblioteka 屏幕 像投影片(物)
凸 透 镜
像距V
( )
预 备 实 验 1 0 5 论 证 口 诀 练 习 拓 展 挑 战 返 回 结 束
物距U
1.原理: 2.规律:
投影仪是利用f<U<2f时,凸透镜能成倒立、放 大、实像的原理制成的.(小物成大像) 投影片倒插在大于焦距小于2倍焦距但更接近 焦距处.
投影物镜的设计
投影仪的简介
投影仪的作用
投影仪是将一定大小的物体,用光源照明以后成像 在屏幕上进行观察或测量的一种光学仪器,例如电 影放映机、幻灯机、印相放大机,计置用投影仪等。 对干投影仪所成的像,除了要求成像清晰,物像相 似而外,还要求像足够亮,也就是要求有足够的像 面光照度,并且整个像面光照度尽可能一致,后面 这两个要求决定了投影系统的主要特点。
投影机技术演变 (元老级) CRT
CRT(Crystal Ray Tube:阴极射线管)、投 影机的历史可以追溯到上世纪50年代 ,当时 主要应用在商务飞机上,进行录像带的播放 。 优点:分辨率高、对比度好、色彩饱和度佳、 对信号的兼容性强,且技术十分成熟 。 缺点:亮度低,体积大。 应用场所:CRT投影机在航空航天、遥控监控 行业中起到其它投影机无法替代的作用,所以 应用于相对高端的专业领域 。
像之间共轭距有关。 物镜焦距一定时,放大率低,工作距离则 长;当放大率一定时,物使共轭距大,工作 距离就长。 物镜的工作距离与它的结构型式有关,在 焦距相同条件下,反摄远物镜具有较长的 工作距离。
二、投影物镜的结构型式
(a)
图9.40
投影物镜和照相物镜的工作状态恰好相反,
但从视场角、相对孔径等光学特性角度来 看,二者同属一类光学系统。9.2节中曾介 绍了各种类型照相物镜的结构型式以及它 们所能达到的光学性能,在选用投影物镜 时可做参考。
例如,电影放映物镜的相对孔径较大,一
般为1:2~1:1.2,而视场较小,只需校正 球差,彗差,轴向色差,因此电影放映物 镜多采用等明型物镜;当视场比较大,成 像质量要求高时,除了校正以上三种像差 之外,还需校正像散,场曲,这时通常采 用三叶型物镜、天塞型物镜,有时采用双 高斯型物镜;如果对工作距离有特殊要求, 必须采用长工作距离物镜。
重点:投影物镜
一、投影物镜的作用及光学持性
投影物镜的作用是将被光源照明的投影物体
成像在屏幕上,保证成像清晰照明系统合理 配合,保证屏幕上有足够的光照度。投影物 镜的光学特性,通常用视场、相对孔径,放 大率,工作距离表示,下面分别进行说明。
(一)视场
投影系统中,成像范围不用视场角表示,
DLP数字投影机 (后起之秀 )
DMD(Digital Micromirror Device:数字微透镜装 置)DLP投影机是一种光学数字化反射式投射设备。 成像器件DMD是由美国德州仪器公司自行研制开发 的、可通过二位元脉冲控制的半导体元件。 优点:清晰度高、画面均匀、对比度高,亮度高。 缺点:价钱高,彩色鲜艳度比LCD差,快速切换视 觉,有彩虹现象。
关于投影仪
投影系统一般由两部分构成,一部分是照
明系统;另一都分是投影物镜,照明系统的 作用是把光源的光通量尽可能多的聚集到 投影物镜中去,并使被投影物体照明均匀, 投影物镜的作用是把投影物体成像在屏幕 上,并保证成像清惭,物像相似。 投影系统根据照明方式不同,可以分成两 大类。一、临界照明。二、柯勒照明。