超声液体环境下压电式振动能量采集的研究

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摘
要：针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题，作了一种可在液体环境下工作的振制
动能量采集器，用压电悬臂梁结构源自文库在液体环境中采集水中的超声能量，３Ｈ超声频率激励下，高采在２ｋｚ最获得了５０的输出电压。通过改变超声波与悬臂梁的相对方向及液体盐分质量分数，现能量采集器．４Ｖ发在超声液体环境下工作的发电效率随盐分质量分数的增加而减小；当悬臂梁与超声换能器平面的夹角在
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传感器与微系统（ｒｎｄｃｒｎｉｒｓｓｍＴｃｎｌｇｓＴａｓｕｅｄＭｃｏｙｔｅｈｏｉ）ａｅｏｅ
２１０１年第３０卷第３期
超声液体环境下压电式振动能量采集的研究
郑慈航，唐刚３，景全，刘４，尹桂林余，震何丹农，
Ａｂｓｒｃ：Ａｎｉｒｔｏｅｅｇｈｒｅｔｒｔａｔｖｂａｉｎｎｒｙａｖｓｅｗｈｉｈａｗｏｋｎｌｄｎｉｏｍｅｓｓａｉｃｔｄ．Ｐｉｚｅｅｔｃｃｃｎｒｉｆｅｖｒｎｎｔｉｆｂｒａｅｕｉｅｏｌｃｒｉｃｎｉｖｒｓｒｃｕｅｉｄｐｅ．ｔａｏｉｎｒｙｉｔｒｉａｅｔｄ．ｈｎｉｇｒｌｔｅｄｉｅｔｏｆｕｔａｏｉａｔｌｅｔｕｔｒｓａｏｔｄＵｌｒｓｎｃｅｅｇｎｗａｅｓｈｒｓｅＢｙｃａｇｎｅａｉｎｃｉｎｏｌｒｓｎｃｅｖｖａｄａｔｌｖｒｎｓｌｔｗｅｇｐｅｃｎｔｔｉｄｉｃｖｒｄｔａｇｎｒｔｎｅｆｃｅｃｉｕｔａｏｉｌｑｄｎｃｎｉｅ，ａｄａｉｙｅｎｉｉｈｒｅ，ｉｓｓｏｅｅｈｔｅｅａｉｇｆｉｎｙｎｌｒｓｎｃｉｕｉｉ
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（．海交通大学材料科学与工程学院，海２０４；１上上０２０２纳米技术及应用国家工程研究中心，海２０４；．上０２１３上海交通大学微纳科学技术研究院微米／米加工技术国家级重点实验室．纳薄膜与微细技术教育部重点实验室，海２０４；上０２０４南昌工程学院机械与电气学院，西南昌３０９）．江３０９
为４。－０时，５６。能量采集器的发电效率最高。
关键词：能量采集器；压电悬臂梁；声波振动；体环境超液
中图分类号：Ｔ８Ｎ３４文献标识码：Ａ文章编号：１０－７７２１）３０４－４００（８（０１０－０６０３