231B-02(氦质谱检漏仪说明书)

4.5.2 遥控器接口、232 接口
接口 ：BD9 公头
图8
RS232 接口
图9
遥控器接口
4.5.3 RS485 接口
A B GND RS485
RS485 图 10 RS485 接口
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仪器简介
4.5.4 I/O 输入输出接口
接口: DB25（母头）
图 11
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I/O 接口分布
仪器操作
4.5 仪器外部接口
3
5
7
1 2 4 6 8
图6
仪器外部接口分布
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仪器简介
表 6 外部接口简介 编号 1 2 3 4 5 6 7 8 部件类型 电源接口 模拟输出 485 接口 I/O 输入输出接口 遥控器接口 232 接口 USB 接口 排气口 备 注
电源接口包括：开关/保险丝/电源插孔 漏率信号的模拟量输出 485 通讯接口 外部控制、内部输出接口 遥控器接口 232 通讯接口 USB 通讯接口 机械泵排气口
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1.1 图标约定
符号 含义 可能对人身造成伤害的操作，必须由本公司确认的专业人士操作。 必须严格按照使用手册规程、确认安全后操作，或由专业人士操作，否则可能导 致故障。 日常操作时需要注意的事项 ¨ 参见的章节 如果您第一次使用本仪器，请仔细阅读本手册的所有章节。 本手册中的图片仅供参考，在不影响性能和操作方式的前提下，厂家保留产品 升级且不用另行通知的权利。 为确保操作人员和仪器的安全，请在使用前仔细阅读《说明书》
i
前言
1
前言
本手册对“SFJ-231氦质谱检漏仪”对应子机在到用户现场后进行的安装、使用、 维护和故障排除等方面进行了介绍。
本手册的目标读者为需要对“SFJ-231氦质谱检漏仪”或对应子机执行安装、使 用、维护等针对本仪器的操作人员，本公司员工以外的客户方或第三方操作人员尤 其需要仔细阅读本手册。
4.5.1 模拟输出接口
1
2
3
4
5
6
7
8
图7
模拟输出接口分布
表7 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 AO-1 AGND AGND AO-2 GND
模拟输出各接口 备注
音频信号端（+） 音频信号端（-） GND
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仪器简介
线性模式： AO-1：漏率信号线性模拟量输出（单位 V） ； 【 （12-exp）×5041+base×504】*10/65535 AO-2：空。 指数模式： AO-1：漏率信号基数（单位 V） ； 【base×10×655】*10/65535 AO-2：漏率信号指数（单位 V） ； 【 （12-exp）×5041】*10/65535
图 12
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仪器操作
数秒后进入监测画面，如下图：
图 13
表8 编 号 1 2 3 名 称
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概述
2
概述
氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检 漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速 度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦 作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用： 科学研究 航空航天 汽车制冷 军事工业 分析仪器 发电厂 核工业 压力容器 精密机械加工 医疗仪器/仪表 真空炉、镀膜设备等装置或系统 高真空和超高真空的工程 半导体等行业 氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。
部件说明 简介
为质谱室提供高真空，以便灯丝可以正常工作 测量分子泵排气口的真空值 精检阀 中检阀 获取粗真空 粗检阀 预抽阀 放气阀 检漏仪内置校准漏孔 标漏阀 测量检漏口压力的传感器 被检工件的接口的接入端口 离子飞行的腔体
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仪器简介
4.2 仪器电子系统
显示模块
离子源电源模块 CPU 控制模块
输出控制模块 RS232/485 数传模
输入模块
图2
电气系统示意图
表4
各模块功能
模块名称 CPU 显示模块 控制模块 输入模块 RS232 数传模块 输出控制模块 离子源电源模块
功
能
简
介
整个电子系统的核心，协调所有的操作 显示漏率，压力等数据 按键输入以便完成相应的操作 采样数据并传送给 CPU 与外部 232 设备通讯，也可接线控器 控制继电器，电磁阀的动作，以实现检漏、停止等操作 和气路切换 控制离子源的电源
5
仪器操作
仪器搬运到检漏现场； 提供 220V±10% ,50Hz 的交流电源，并且确保有地线； 准备好三芯的插座，并且确保插座的容量是 250V*10A； 准备好氦气和喷枪及其他配件如：波纹管，快卸法兰等。
5.1 基本操作说明 5.1.1 启动
将检漏口用专用堵头堵住，接通Байду номын сангаас源,按下电源开关到“—”的位置，仪器开始 加电。设备显示启动画面。如下图：
SFJ-231 氦质谱检漏仪
PRODUCT USAGE MANUAL 产品使用
说明书
说明
说 明
此说明书之内容，修改时将不经通告。
本说明书版权归安徽皖仪科技股份有限公司所有，未经本企业的事先书面许可， 此说明书之部分或全部均不准复印、翻印或译成它种语言。 本企业对此说明书中所例材料用于其它目的的可营销性及适用性，不作任何保 证，或者默许的保证。对因此引起的由于使用本材料造成的意外或导致的损坏，本 企业将概不负责。
Y 出错（等待重 新加电）
图3
启动流程
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仪器简介
4.3.2 检漏流程
图4
检漏流程
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仪器简介
4.4 仪器面板
调零
开始
触摸显示屏
停止
图5
仪器面板
表5 部件名称 触摸显示 屏 开始/停止 调零 部件类型 显示操作 按钮 按钮 备 注
仪器面板简介
显示设备当前的运行状态，可通过触摸方式更改参数切换 显示画面。 开始检漏或停止检漏按钮，长按停止可对检漏口放入空 气，以便更换工件。 按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零
特别注意 在使用外部辅助真空系统时，请确保检漏仪处于待机状态后再进行辅助真空系 统的抽空，否则可能会造成检漏仪机械泵返油。
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仪器性能指标
3.2 性能参数
表2 机 型 性 仪器性能参数 参 1.0E-12 He
4
能 参 数
3
数
值
最小可检漏率（ Pa·m /s ） 可检气体 响应时间（s） 启动时间（min） 漏率指示范围（Pa·m /s） 检漏口允许最大压力（Pa） 允许质谱管最大压力（Pa） SFJ-231 检大漏功能 无线手持器 双灯丝切换功能 前级泵 分子泵 小推车 仪器物理尺寸（W）×（D）×（H）
版本：V2.0 / 2014.4
SFJ-231
氦质谱检漏仪
目录
目录
1 1.1 2 3 3.1 3.2 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 5 5.1 5.2 5.3 6 6.1 6.2 6.3 6.4 7 8 8.1 8.2 9 前言 ........................................................ - 1 图标约定 .................................................... - 1 概述 ........................................................ - 2 仪器性能指标 ................................................ - 3 使用环境 .................................................... - 3 性能参数 .................................................... - 4 仪器简介 .................................................... - 5 仪器气路系统 ................................................ - 5 仪器电子系统 ................................................ - 6 系统工作流程 ................................................ - 7 仪器面板 .................................................... - 9 仪器外部接口 ................................................ - 9 仪器操作 ................................................... - 13 基本操作说明 ............................................... - 13 检漏（喷吹法） ............................................. - 31 其他检漏方法操作 ........................................... - 36 维护 ....................................................... - 37 漏率校准 ................................................... - 37 机械泵保养 ................................................. - 37 分子泵维护 ................................................. - 37 质谱管及离子源清洗 ......................................... - 38 常见故障和处理 ............................................. - 39 附录 ....................................................... - 42 通讯协议 ................................................... - 42 仪器外形尺寸 ............................................... - 47 售后服务 ................................................... - 48 -
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仪器性能指标
3
仪器性能指标
3.1 使用环境
表1 机 型 环 境 参 使用环境 数 10～40 ＜80% 单相，220V±10% ,50Hz 5A 极 限 条 件
环境温度（℃） 相对湿度 SFJ-231 供电电压 最大工作电流（A） 注意
使用本产品前请确保仪器已可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用本产品！ 如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。 仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以 防氦气干扰。 仪器停机后要等待40分钟以上才可以移动，否则可能影响分子泵
3
≤1 ≤5 1.0E-02～1.0E-13 1500 3×10
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基本型号不具备 选配 有 D16C 普发 SplitFlow80 标配 645 x 678 x 965
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仪器简介
4
仪器简介
4.1 仪器气路系统
图1
仪器系统示意
表3 部件 泵2 P2 V4 V3 泵1 V1 V2 V6 标漏 V5 P1 检漏口 MS 分子泵 电阻规管 电磁阀 电磁阀 机械泵 电磁阀 电磁阀 电磁阀 标准漏孔 电磁阀 真空规管 检漏口 质谱室 名称
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仪器简介
4.3 系统工作流程 4.3.1 启动流程
接通电源 N
Y N
粗真空
300秒
Y 分子泵启动 Y 分子泵 N N
Y 出错（重新加 电）
300秒 Y 出错（重新加 电）
Y 离子源加电 Y N 重试 成功
N 次数>10
Y 启动完成，开始检漏 备注: 启动过程中只有V1打开，其余阀都应 该是关闭的，如果有阀没有关闭，请 检查，或联系生产商；如果系统出错 ,且多次重新启动后均无法启动,请联 系生产厂商。