231B-02(氦质谱检漏仪说明书)
氦质谱检漏仪操作规程(3篇)
第1篇一、概述氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的高效、精确的仪器，广泛应用于真空系统、半导体设备、化工、科研等领域。
为确保操作人员的人身安全和仪器的正常运行，以下为氦质谱检漏仪的操作规程。
二、操作前的准备工作1. 环境检查：确保操作环境安全，通风良好，无腐蚀性气体。
2. 设备检查：检查氦质谱检漏仪外观是否完好，电源线、连接线等是否完好无损。
3. 仪器预热：打开仪器电源，预热30分钟以上，使仪器达到工作状态。
4. 参数设置：根据检测需求，设置合适的检测参数，如漏率阈值、扫描时间等。
三、操作步骤1. 连接仪器：将氦气源、抽气系统、波纹管等连接至氦质谱检漏仪，确保连接牢固。
2. 真空系统连接：将氦质谱检漏仪连接至待检测的真空系统，确保连接正确无误。
3. 设置检测参数：根据待检测系统的真空度、漏率等要求，设置合适的检测参数。
4. 启动检测：开启氦气源，调整流量至合适范围，启动检测程序。
5. 观察检测结果：仔细观察仪器显示屏，根据漏率值、泄漏位置等信息，判断是否存在泄漏。
6. 记录数据：将检测结果记录在检测记录表中，包括检测时间、漏率值、泄漏位置等。
四、注意事项1. 安全操作：操作过程中，注意个人防护，佩戴防护手套、眼镜等。
2. 防止误操作：熟悉仪器操作流程，避免误操作导致仪器损坏或安全事故。
3. 注意仪器保养：定期对仪器进行清洁、保养，确保仪器性能稳定。
4. 氦气处理：使用完氦气后，关闭氦气源，确保氦气排放到安全区域。
5. 设备维护：定期对仪器进行校准、维护，确保检测结果的准确性。
五、操作结束后的工作1. 关闭仪器：检测结束后，关闭氦气源、抽气系统等，断开电源。
2. 清理现场：清理操作现场，确保无安全隐患。
3. 整理记录：整理检测记录，归档保存。
六、附录1. 氦质谱检漏仪操作流程图2. 氦质谱检漏仪常见故障及排除方法通过以上操作规程，可以确保氦质谱检漏仪的正确使用，提高检测效率，确保检测结果的准确性。
231B-02(氦质谱检漏仪说明书)
版本：V2.0 / 2014.4
SFJ-231
氦质谱检漏仪
目录
目录
1 1.1 2 3 3.1 3.2 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 5 5.1 5.2 5.3 6 6.1 6.2 6.3 6.4 7 8 8.1 8.2 9 前言 ........................................................ - 1 图标约定 .................................................... - 1 概述 ........................................................ - 2 仪器性能指标 ................................................ - 3 使用环境 .................................................... - 3 性能参数 .................................................... - 4 仪器简介 .................................................... - 5 仪器气路系统 ................................................ - 5 仪器电子系统 ................................................ - 6 系统工作流程 ................................................ - 7 仪器面板 .................................................... - 9 仪器外部接口 ................................................ - 9 仪器操作 ................................................... - 13 基本操作说明 ............................................... - 13 检漏（喷吹法） ............................................. - 31 其他检漏方法操作 ........................................... - 36 维护 ....................................................... - 37 漏率校准 ................................................... - 37 机械泵保养 ................................................. - 37 分子泵维护 ................................................. - 37 质谱管及离子源清洗 ......................................... - 38 常见故障和处理 ............................................. - 39 附录 ....................................................... - 42 通讯协议 ................................................... - 42 仪器外形尺寸 ............................................... - 47 售后服务 ................................................... - 48 -
氦质谱检漏仪使用说明资料
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序： 写出设备外部条件的接通先后 顺序，操作方法，具体的参数等。 1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。 2、检查加压罐的密封圈是否有损害， 加压罐进出阀门是否关闭不了； 真空泵是否有足够的泵油， 气镇阀旋钮是否处在关闭的位置； 氦气瓶 减压阀是否漏气现象。 3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。 重氟油粗检
图3 1、 查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油 3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。 四、详细操作 启动检漏仪 1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。 2、 机械泵开始启动。 3、 面板上的指示灯亮。 4、 液晶屏（ LCD ）显示如下信息：
化。如果在报废点之内则说明密封性合格， 如若有报警声响则说明该 点密封性不合格需要返修。 4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。 (二)全检（背压法） 1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用 一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。 2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力 0.2Mpa 的压力加压 4h。 加压罐装置如下图所示：
氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：
一、设备组成及工谱检漏仪
重氟油粗检装置 检漏盒
检漏托盘 氦气喷抢
型号： ZQJ-542
双级旋片真空泵 电阻真空计 氦气瓶
2、设备工作原理 检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体， 机械泵以及控制电路板等组成。 检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为 搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室， 钨制灯丝发射出来的电子 经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进 入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作 用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e） 的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版一、氦质谱检漏仪的原理1.首先，将待检测的物体使用泵抽真空，将环境中的空气抽去，使之达到一个低压下。
2.然后，将氦气注入被检测物体的周围环境中，此时被检测物体内部存在可能的泄漏点。
3.接下来，利用泵将周围的氦气抽入质谱仪进行分析。
在质谱仪中，氦气会分子破裂形成氦原子以及其他质子和电子组成的离子。
4.最后，利用质谱仪的探测器检测这些离子，并根据离子的种类和数量来确定氦气泄漏的位置和程度。
二、氦质谱检漏仪的使用方法使用氦质谱检漏仪来检测气体泄漏需要以下步骤。
1.连接仪器：首先，将氦质谱检漏仪的各个部分按照说明书连接好，确保仪器正常工作。
2.准备工作：确保被检测物体周围环境处于一定的真空状态，注入氦气之前，将其它气体从被检测物体周围排除出去。
3.注入氦气：将氦气注入被检测物体周围环境中，确保氦气在泄漏点出漏时能进入到被检测物体内部。
4.开始检测：通过操作仪器，将泵启动，将周围环境中的氦气抽入质谱仪中进行分析。
5.分析结果：根据质谱仪输出的数据和显示的曲线，来确定氦气泄漏的位置和程度。
6.维护和记录：检测完成后，对仪器进行维护和清洁，同时将检测过程和结果进行记录。
三、氦质谱检漏仪的应用1.工业领域：氦质谱检漏仪可以用于汽车、空调、制冷设备、容器、管道等工业设备的泄漏检测。
它可以检测到微小的泄漏，避免了潜在的安全隐患。
2.实验室应用：氦质谱检漏仪可以用于实验室的真空系统、气体贮存、气体分析等设备的泄漏检测。
它可以保证实验室设备和实验工作的准确性和安全性。
3.能源设备：氦质谱检漏仪可用于能源设备的泄漏检测，如太阳能光伏系统、风力发电机、核电站等。
它可以提高设备的使用寿命和能源利用效率。
综上所述，氦质谱检漏仪是一种非常有效的气体泄漏检测仪器，具有高灵敏度和准确性。
它的工作原理简单明了，使用方法也相对简单。
在工业和实验室中的广泛应用，保证了设备的安全和工作的正常进行。
氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的仪器，常用于工业生产中的排气管道、气密系统、发动机、航空航天等领域。
使用氦质谱检漏仪需要注意以下事项：
1. 确保氦气源充足并连接到仪器上。
2. 预热仪器至工作温度，一般为25℃-35℃之间。
3. 将检漏仪连接至被检测泄漏物的管路或设备。
4. 打开仪器的氦气流控开关，使氦气流经被检测泄漏物的管路或设备。
5. 打开检测仪器的高压控制开关，使电离针产生电离氦原子。
6. 从氦气源中选择一个适合被检测设备的质量标准。
7. 根据设备的检测需求，选择不同的泄漏检测程序和扫描速度。
8. 正常情况下，泄漏位置将在仪器上以响声、指示灯或数字显示的形式出现。
9. 检测完毕后，将仪器清洁干净并储存至干燥处。
10. 注意安全，避免氦气泄漏对人体造成危害。
以上是氦质谱检漏仪的基本操作使用说明，使用时务必遵守安全操作规程，以确保操作人员的安全和设备效果。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍(共52张PPT)
最常用的检漏方法 ——氦质谱检漏法 真空检漏技术就是用适当的方法判断真系统﹑容器或器件是否漏气﹑确定漏孔位及漏率大小的一门技术﹐相应的仪器称为检漏仪。 油封机械真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来； ZhP--30型氦质谱检漏仪由四部分组成。 该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。 它主要由机械泵、涡轮分子泵和三位手动组合阀三部分组成。 油封机械真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来； 将被检测器件与仪器检漏口连接抽真空，并在它的外面罩一个充满氦气的容器，如果被检测器件有漏孔，氦气便会由漏孔进入被检件， 并最终达到质谱管被检测到，所测到的漏率为被检测器件的总漏率，但这种方法不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。 氦质谱检漏仪的主要构成及作用 它主要由机械泵、涡轮分子泵和三位手动组合阀三部分组成。 若以一电子的电荷量作为1电荷单位，正离子的电荷数用Z表示，以相对原子量单位作为离子的质量单位，离子质量数用M表示，M的单 位为高斯（1高斯=10-4特），V的单位为伏特，R的单位为cm，则 氦质谱检漏仪的主要构成及作用 该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。 用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1. 最常用的检漏方法
二 、 真空及其应用
真空的含义
在真空科学中，真空的含义是指在 给定的空间内低于一个大气压力的 气体状态。人们通常把这种稀薄的 气体状态称为真空状况。
不同 真空状态下的真空工艺技术
随着气态空间中气体分子 密度的减小，气体的物理性 质发生了明显的变化，人们就是基 于气体性质的这一 变化，在不同的 真空状态下、应用各种不同的真空工 艺、达到为生产及科学研究服务的目的 。 目前 ， 可 以说 ， 从每平方厘米表面上有上百个电子元件的超大 规模集成 电路的制造，到几公里长的大型加 速器的运 转，从民用装饰品的生产到受控核聚变、人造卫 星、 航天飞机的问世，都与真空工艺技术密切相关。不同真 空状态下 所引发出来的各种真空 工艺技术的应用概况 如下表 所示。
氦质谱仪的类型及其操作规程
氦质谱仪的类型及其操作规程氦质谱仪主要分为单四极杆，四级杆串联（三重四级杆），离子阱（ITMS），飞行时间质谱（TOF）等。
这里面也不缺乏质谱间的联用，比如Q-TOF（四级杆和飞行时间联用），TOF-TOF等等。
氦质谱仪检漏仪的操作1.所需条件1)氦质谱检漏仪一台2)带阀门和氦室渗氦型标准镂孔(楼率1010-~810-Pa•3m/s)一支及其检漏仪检漏口相连的连接件；3)液氮（检漏仪需用时准备）4)电源，水源，气源，（检漏仪需用时准备）2.操作步骤及要点1）开机前检查电源、水源、气源是否符合要求，检查检漏仪上所有开关、旋钮是否在应处的关机位置。
检查机械泵油位和油质是否符合要求。
2）接通电源、水源、气源，开预抽泵和前级泵。
开机后如果发生机械泵逆转，应将机械泵三相电源中的任意两相调换。
3）当前级压力低于5Pa后开高真空泵（分子泵或者扩散泵，开扩散泵前应关抽速阀，30min后再打开）。
4）冷阱中加液氮（检漏仪需要时），党质谱室压力低于规定值（一般5⨯102-Pa左右）后打开质谱室灯丝，并调整检漏仪各参数使其处于正常工作状态。
5）利用标准漏孔正确调整氦峰位置。
其方法是：打开标准漏孔阀，调整加速电压使输出指示达到最大值后关标准漏孔阀，如果输出指示明显下降则认为氦峰位置已调整好；如果输出指示无明显变化则认为不是氦峰位置，应继续调增加速电压使输出指示达到最大值，直到找处氦峰位置为止。
至此，仪器已处于检漏状态。
6）关机。
正确的关机步骤为：关高真空泵前应先关质谱室灯丝、检漏阀、质谱室电源，吹除冷阱中的液氮，关闭抽速阀，然后关高真空泵。
（待扩散泵冷却后）关机械泵。
7）关电源、水源、气源。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程《氦质谱检漏仪操作规程》一、引言氦质谱检漏仪是一种专业用于检测密闭容器和管道系统泄漏的仪器。
它利用氦气作为探测气体，通过质谱分析技术来检测微小泄漏。
正确的操作规程能够确保检测的准确性和可靠性，提高工作效率。
二、操作规程1. 准备工作：检测前需要确认被检测系统已断开氦气供应，并且处于密闭状态。
检测仪器也需要连接好电源和氦气供应管路。
同时，在进行实际操作之前，需要对界面软件进行启动和设置。
2. 仪器校准：启动检测仪器后，需要进行系统的自动校准，确保各项参数的正常工作。
包括氦气流量、真空泵运转状态、质谱仪的灵敏度等。
同时还需要对氦气的纯度进行测试，并记录相关数据。
3. 检测操作：将检测仪器放置在被检测系统附近，打开氦气供应阀门，开始充入氦气。
在氦气充入的过程中，观察质谱仪的数据显示，一旦出现氦气浓度异常升高的现象，即可判定系统存在泄漏。
并且质谱仪会自动记录并报警。
4. 结果分析：当检测结束后，需要对检测仪器的数据进行分析。
包括泄漏位置、泄漏程度等情况。
同时也需要对数据进行记录和存档。
5. 整理仪器：检测完成后，及时关闭氦气供应管路，关闭仪器电源，并对仪器进行整理清洁。
同时还需要进行定期的维护和保养。
三、注意事项1. 操作人员需要经过专业培训，并严格按照操作规程进行操作。
2. 在使用时，需要对仪器进行定期的校准。
3. 在检测过程中需要保持现场通风良好，避免仪器受到污染。
4. 检测仪器需放置在平稳的工作台上，避免因振动引起误差。
通过严格按照《氦质谱检漏仪操作规程》进行操作，能够有效提高检测的准确性和可靠性，保障设备和系统的正常运行。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
4.5.2 遥控器接口、232 接口
接口 ：BD9 公头
图8
RS232 接口
图9
遥控器接口
4.5.3 RS485 接口
A B GND RS485
RS485 图 10 RS485 接口
- 11 -
仪器简介
4.5.4 I/O 输入输出接口
接口: DB25（母头）
图 11
- 12 -
I/O 接口分布
仪器操作
5
仪器操作
仪器搬运到检漏现场； 提供 220V±10% ,50Hz 的交流电源，并且确保有地线； 准备好三芯的插座，并且确保插座的容量是 250V*10A； 准备好氦气和喷枪及其他配件如：波纹管，快卸法兰等。
5.1 基本操作说明 5.1.1 启动
将检漏口用专用堵头堵住，接通电源,按下电源开关到“—”的位置，仪器开始 加电。设备显示启动画面。如下图：
本公司最新产品信息、相关文档修订和勘误表，请联系本公司客服。 400 112 0066
1.1 图标约定
符号 含义 可能对人身造成伤害的操作，必须由本公司确认的专业人士操作。 必须严格按照使用手册规程、确认安全后操作，或由专业人士操作，否则可能导 致故障。 日常操作时需要注意的事项 ¨ 参见的章节 如果您第一次使用本仪器，请仔细阅读本手册的所有章节。 本手册中的图片仅供参考，在不影响性能和操作方式的前提下，厂家保留产品 升级且不用另行通知的权利。 为确保操作人员和仪器的安全，请在使用前仔细阅读《说明书》
4.5.1 模拟输出接口
1
2
3
4
5
6
7
8
图4 5 6 7 8 AO-1 AGND AGND AO-2 GND
模拟输出各接口 备注
音频信号端（+） 音频信号端（-） GND
- 10 -
仪器简介
线性模式： AO-1：漏率信号线性模拟量输出（单位 V） ； 【 （12-exp）×5041+base×504】*10/65535 AO-2：空。 指数模式： AO-1：漏率信号基数（单位 V） ； 【base×10×655】*10/65535 AO-2：漏率信号指数（单位 V） ； 【 （12-exp）×5041】*10/65535
SFJ-231 氦质谱检漏仪
PRODUCT USAGE MANUAL 产品使用
说明书
说明
说 明
此说明书之内容，修改时将不经通告。
本说明书版权归安徽皖仪科技股份有限公司所有，未经本企业的事先书面许可， 此说明书之部分或全部均不准复印、翻印或译成它种语言。 本企业对此说明书中所例材料用于其它目的的可营销性及适用性，不作任何保 证，或者默许的保证。对因此引起的由于使用本材料造成的意外或导致的损坏，本 企业将概不负责。
-2-
仪器性能指标
3
仪器性能指标
3.1 使用环境
表1 机 型 环 境 参 使用环境 数 10～40 ＜80% 单相，220V±10% ,50Hz 5A 极 限 条 件
环境温度（℃） 相对湿度 SFJ-231 供电电压 最大工作电流（A） 注意
使用本产品前请确保仪器已可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用本产品！ 如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。 仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以 防氦气干扰。 仪器停机后要等待40分钟以上才可以移动，否则可能影响分子泵
部件说明 简介
为质谱室提供高真空，以便灯丝可以正常工作 测量分子泵排气口的真空值 精检阀 中检阀 获取粗真空 粗检阀 预抽阀 放气阀 检漏仪内置校准漏孔 标漏阀 测量检漏口压力的传感器 被检工件的接口的接入端口 离子飞行的腔体
-5-
仪器简介
4.2 仪器电子系统
显示模块
离子源电源模块 CPU 控制模块
版本：V2.0 / 2014.4
SFJ-231
氦质谱检漏仪
目录
目录
1 1.1 2 3 3.1 3.2 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 5 5.1 5.2 5.3 6 6.1 6.2 6.3 6.4 7 8 8.1 8.2 9 前言 ........................................................ - 1 图标约定 .................................................... - 1 概述 ........................................................ - 2 仪器性能指标 ................................................ - 3 使用环境 .................................................... - 3 性能参数 .................................................... - 4 仪器简介 .................................................... - 5 仪器气路系统 ................................................ - 5 仪器电子系统 ................................................ - 6 系统工作流程 ................................................ - 7 仪器面板 .................................................... - 9 仪器外部接口 ................................................ - 9 仪器操作 ................................................... - 13 基本操作说明 ............................................... - 13 检漏（喷吹法） ............................................. - 31 其他检漏方法操作 ........................................... - 36 维护 ....................................................... - 37 漏率校准 ................................................... - 37 机械泵保养 ................................................. - 37 分子泵维护 ................................................. - 37 质谱管及离子源清洗 ......................................... - 38 常见故障和处理 ............................................. - 39 附录 ....................................................... - 42 通讯协议 ................................................... - 42 仪器外形尺寸 ............................................... - 47 售后服务 ................................................... - 48 -
-1-
概述
2
概述
氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检 漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速 度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦 作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用： 科学研究 航空航天 汽车制冷 军事工业 分析仪器 发电厂 核工业 压力容器 精密机械加工 医疗仪器/仪表 真空炉、镀膜设备等装置或系统 高真空和超高真空的工程 半导体等行业 氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。
i
前言
1
前言
本手册对“SFJ-231氦质谱检漏仪”对应子机在到用户现场后进行的安装、使用、 维护和故障排除等方面进行了介绍。
本手册的目标读者为需要对“SFJ-231氦质谱检漏仪”或对应子机执行安装、使 用、维护等针对本仪器的操作人员，本公司员工以外的客户方或第三方操作人员尤 其需要仔细阅读本手册。
Y 出错（等待重 新加电）
图3
启动流程
-7-
仪器简介
4.3.2 检漏流程
图4
检漏流程
-8-
仪器简介
4.4 仪器面板
调零
开始
触摸显示屏
停止
图5
仪器面板
表5 部件名称 触摸显示 屏 开始/停止 调零 部件类型 显示操作 按钮 按钮 备 注
仪器面板简介
显示设备当前的运行状态，可通过触摸方式更改参数切换 显示画面。 开始检漏或停止检漏按钮，长按停止可对检漏口放入空 气，以便更换工件。 按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零
-6-
仪器简介
4.3 系统工作流程 4.3.1 启动流程
接通电源 N
Y N
粗真空
300秒
Y 分子泵启动 Y 分子泵 N N
Y 出错（重新加 电）
300秒 Y 出错（重新加 电）
Y 离子源加电 Y N 重试 成功
N 次数>10
Y 启动完成，开始检漏 备注: 启动过程中只有V1打开，其余阀都应 该是关闭的，如果有阀没有关闭，请 检查，或联系生产商；如果系统出错 ,且多次重新启动后均无法启动,请联 系生产厂商。