洁净室净化空调设计方案(20200905110859)
洁净室净化空调设计方案模板
洁净室净化空调设
计方案
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2020年4月19日
洁
净
室
空
调
设
计
方
案
11月2日
目录
一、设计依据 0
1.1项目地点及气象参数 0
文档仅供参考
1.2相关规范、标准 0
1.3其它已知条件 0
二、系统分析及参数计算 (2)
2.1系统分析 (2)
2.2空调箱相关参数计算 (2)
2.3恒温恒湿净化空调箱设备选型表 (5)
2.4主机选型 (6)
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2020年4月19日
一、设计依据
1.1 项目地点及气象参数
使用地点：上海市；
○1室外条件
○2室内条件
1.2 相关规范、标准
1、洁净厂房设计规范（GB50073- ）；
2、洁净室施工及验收规范（GB50591- ）；
3、采暖通风与空气调节设计规范（GB50019- ）；
4、通风与空调工程施工及验收规范（GB50243- ）
5、业主提供相关资料；
1.3 其它已知条件
○1该洁净区面积为6.6*8=53m2，吊顶以下高度为3m；
○2业主未提供该区域工艺设备功率、照明功率及人员数量，初步冷负
文档仅供参考
荷指标按200w/m2计算；
○3本次方案按洁净区净化等级为100K设计；
○4工艺排气量为4*150=600m3/h；
○5洁净区采用 +5Pa微正压。
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2020年4月19日。
厂房洁净区净化空调施工方案
厂房洁净区净化空调施工方案1洁净区净化空调施工条件（1）现场条件1）土建主体已基本完成，现浇混凝土楼板、柱子、墙壁的空洞、预埋件均按图纸要求及合适位置与尺寸已预留预埋妥当。
2）管道安装的开间、位置线和地面水平线已检测完毕并作了标记。
室内装饰面层厚度一定。
3）有足够大的施工作业及材料、成品和半成品的存放场所。
4）施工作业场地能有效阻挡灰尘进入。
5）加工作业场地、材料堆放场地、成品与半成品堆放场地已具备条件。
操作平台、加工设备、机具布置已形成流水线。
6）电源、水源已经完全能满足全部施工的需要，消防安全设施齐全。
7）安装前检查现场，应具备足够的运输空间和场地。
应清理干净设备安装地点，并无障碍物或无关的管道、设备、设施等。
2材料条件1）风管材料根据设计要求或合同要求选用。
镀锌钢板的厚度、规格尺寸、质量必须符合设计要求或合同要求，并有出厂检验报告。
2）辅助材料如连接用小五金标准件、密封材料必须符合设计要求或合同要求，有出厂合格证。
铆钉、连接螺丝采用优质镀锌产品。
3）风管采用无法兰连接。
2风管制作（1）风管咬口加工表面平整、接缝严密、宽度一致；折角平直，圆弧均匀；两端面平行。
风管无明显扭曲与翘角；表面凹凸不大于10mm。
（2）风管拼装前，在雌咬口内均匀涂中性耐候密封胶，以保证风管密封性能。
（3）风管制作好后二次时，清洗液要用对人体和材质无害的清洁剂。
清洗干燥后，用白布在风管内壁不易擦洗的部位检验，不变色为合格。
填写好风管清洗记录表。
（4）已经清洗、打胶的风管，要及时用塑料膜封闭。
用粘胶带粘牢四边，使粉尘不能进入。
（5）风管应存放在干燥、防雨、不积水的地方。
风管底部要垫塑料布。
堆放时按规格尺寸放齐。
3风管安装（1）风管、静压箱及其他部件，必须擦拭干净，无油污和浮尘，施工停顿或完毕时，应用塑料薄膜和胶带将端口封好。
（2）法兰垫料尽量减少拼接，不得直缝对接，严禁在垫料表面涂涂料。
（3）风管与洁净区吊顶、隔墙等围护结构的接缝应严密。
净化空调设计方案(室内设计状态点相对湿度低,采用除湿转轮的案例)
洁净车间空调工程设计方案一、工程概况该无尘车间洁净空调面积约350m2，楼板净高为4.5m，吊顶高度为2.5m。
二、设计依据1.业主对洁净通风、空调设计的工艺要求2.《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB 50019-20153.《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001三. 设计标准1．室外设计参数1242．室内设计参数：四. 空调负荷计算洁净区：（F=250m2、H=2.6m）1、夏季室内余热余湿的计算：人员 15人×175W/人=2.625KW(其中潜热 15人×85W/人=1.275KW）照明 350m2×15W/m2=5.25KW围护结构传热 350m2×30W/m2=10.5KW设备发热量 5.5KW室内余热 Qx=2.625KW+5.25KW+10.5KW+5.5KW=25.15KW室内余湿 W人=15人×160g/h=2400g/h=2.4 Kg/hW=2.4Kg/h+2Kg/h(围护等)=4.4Kg/h =0.00122Kg/s2．系统送风量的确定：按最大送风温差(即露点送风)送风消除室内余热所需要的风量为：G=(3600*25.15)/1.2*(39.2-27.7)= 6560m3/h其中，室内状态参数为：t n=22℃、i n=39.2kj/kg、ψn=40%、d n=6.7g/kg取露点的状态参数为：T l=10.0℃、i l=27.7 kj/kg、ψn=90%、d l=7.0g/kg按净化要求的循环风量G=350m2×2.5m×20次/h =17500m3/h因此，取净化循环风量17500m3/h作为系统送风量。
3．系统新风量及其负荷的确定：按保持室内余压10帕，取正压换气次数取2次，需要的新风量为：350m2×2.5m×2次=1750 m3/h；车间内通风柜的最大排风量为2500m3/h；按每人需要的最小新风量为40m3/h，需要的新风量为：15人×40m3/h=600m3/h；由于满足人员卫生所需要的新风量小于保持室内正压和排风所需要的新风量，故取4250m3/h作为系统的新风量。
洁净空调施工方案(3篇)
第1篇一、工程概述1.1 工程背景随着我国经济的快速发展，各行各业对洁净度要求越来越高，洁净空调系统在医药、电子、食品、科研等领域得到广泛应用。
为确保洁净空调系统的高效、稳定运行，提高洁净度，特制定本洁净空调施工方案。
1.2 工程内容本工程主要内容包括：洁净空调系统的设计、设备采购、安装、调试及验收等。
1.3 工程目标（1）确保洁净空调系统达到设计要求的洁净度；（2）确保系统运行稳定、可靠；（3）确保工程质量，符合国家相关标准规范。
二、施工准备2.1 施工组织成立洁净空调施工项目组，明确项目组成员职责，确保施工顺利进行。
2.2 施工材料根据设计要求，采购符合国家相关标准规范的洁净空调系统材料、设备、配件等。
2.3 施工设备配备必要的施工设备，如电动工具、起重设备、检测仪器等。
2.4 施工人员组织具备相关资质的施工人员，进行技术培训，确保施工质量。
2.5 施工现场管理（1）施工现场布置合理，确保施工安全；（2）施工过程中，严格遵守国家相关法律法规及行业规范；（3）加强施工现场环境保护，减少对周边环境的影响。
三、施工工艺3.1 施工流程（1）施工准备；（2）设备安装；（3）管道安装；（4）电气安装；（5）调试与验收。
3.2 施工要点3.2.1 设备安装（1）设备进场验收：检查设备外观、尺寸、型号、规格等是否符合设计要求；（2）设备基础施工：按照设计要求进行设备基础施工，确保设备安装牢固；（3）设备安装：按照设备安装说明书进行安装，确保设备安装正确、牢固；（4）设备试运行：设备安装完成后，进行试运行，检查设备运行是否正常。
3.2.2 管道安装（1）管道材料验收：检查管道材料是否符合设计要求；（2）管道加工：按照设计要求进行管道加工，确保管道尺寸、形状、连接方式等符合要求；（3）管道安装：按照管道安装规范进行安装，确保管道连接牢固、密封良好；（4）管道试压：对管道进行试压，检查管道是否存在泄漏现象。
3.2.3 电气安装（1）电气材料验收：检查电气材料是否符合设计要求；（2）电气线路敷设：按照电气安装规范进行线路敷设，确保线路连接牢固、安全；（3）电气设备安装：按照设备安装说明书进行安装，确保设备安装正确、牢固；（4）电气试运行：对电气设备进行试运行，检查设备运行是否正常。
净化室空调系统设计方案
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设计方案优化建议
01
优化空气处理机组
采用高效、低能耗的空气处理机 组，提高空气处理效果，降低能
源消耗。
03
考虑热回收
利用热回收技术，将排风中的余 热回收再利用，降低新风处理能
耗。
02
合理配置过滤器
根据净化需求选择合适的过滤器 型号和规格，确保净化效果的同
时降低运行成本。
04
优化控制策略
采用智能控制策略，根据室内外 环境变化自动调节空调系统运行
空气消声与减震
消声设计
通过采用消声材料和优化风道设计等措施，降低空气 处理机组运行时的噪音，保证室内环境的安静度。
减震设计
通过采用减震支座和减震材料等措施，降低空气处理 机组运行时的震动，保证室内环境的稳定度。
05
气流组织与气流平衡
送风口与回风口设计
送风口设计
送风口应均匀布置，以确保空气以最短路径到达工作区 域，减少空气流动的死区。同时，送风口应易于清洁和 维护，以避免灰尘积聚和细菌滋生。
维护与保养
净化室空调系统的维护与保养过程中，需要消耗一 定量的能源，如润滑油、滤料更换等。
空气处理过程
净化室空调系统需要对空气进行加热、冷却 、加湿、除湿等处理，这些处理过程也会消 耗一定的能源。
节能措施与方案设计
优化设备配置
根据实际需要，选择高效、低能耗的 设备，如高效风机、节能灯具等，以 降低设备的能耗。
08
设计方案评估与优化
设计方案评估方法
对比分析法
对比分析不同净化室空调系统的设计方案，从技术、经济、运行效 果等方面进行综合评估，选择最优方案。
模拟仿真法
洁净室净化空调设计方案
洁净室空调设计方案2016 年 11 月 2 日目录一、设计依据 01.1 项目地点及气象参数 01.2 相关规范、标准 01.3 其它已知条件 0二、系统分析及参数计算 (2)2.1 系统分析 (2)2.2 空调箱相关参数计算 (2)2.3 恒温恒湿净化空调箱设备选型表 (5)2.4 主机选型 (6)一、设计依据1.1项目地点及气象参数使用地点：上海市;辺室内条件1.2相关规范、标准1、洁净厂房设计规范（GB50073-2013 ;2、洁净室施工及验收规范（GB50591-2010 ;3、采暖通风与空气调节设计规范（GB50019-2003 ;4、通风与空调工程施工及验收规范（GB50243-20025、业主提供相关资料；1.3其它已知条件①该洁净区面积为6.6*8=53m2,吊顶以下高度为3m；②业主未提供该区域工艺设备功率、照明功率及人员数量，初步冷负荷指标按200w/m2 计算；③本次方案按洁净区净化等级为100K设计;GD工艺排气量为4*150=600m3/h;⑤洁净区采用+5Pa微正压。
二、系统分析及参数计算2.1系统分析（Q该洁净区由空调系统来完成恒温、恒湿及净化功能。
夏季最大冷负荷及除湿量、冬季计算最大热负荷及加湿量、净化（采用初、中效过滤器）等均是由空调系统来完成的，其中初效过滤效率 35%、中效过滤效率95%。
②洁净区空调形式采用AHU+初中效过滤器+排气形式（沿用原有排气设备，本次不涉及），详见洁净空调示意图。
2.2空调箱相关参数计算①空调箱机外余压：根据现场风管最不利环路及过滤要求来确定，经估算空调箱机外余压300P&②循环风量、冷负荷及除湿的确定：循环风量按洁净室100K等级15次/h及按冷量计算风量二种方法取大值；总冷量包括：新风降温除湿冷量及混合风处理至送风状态所需冷量（即表冷器冷量）；新风除湿由表冷器承担，露点控制在14C。
&3 M23 M一£123±1 B C60±102400 U3/H1300 M3/H1100 M3/His+硼HI Ht③热负荷、加湿量的确定：热负荷按冬季混合状态点与冬季送风状态点焓差计算; 加湿量按冬季混合状态点与送风状态点含湿量差值计算。
净化空调工程设计方案(3篇)
第1篇一、项目背景随着我国经济的快速发展，工业、医疗、科研等领域对空气净化设备的需求日益增长。
净化空调设备作为空气净化的重要手段，其设计质量直接影响到空气净化效果和使用效果。
本方案针对净化空调工程设计，提出了一套全面、科学、合理的方案，以满足不同领域的空气净化需求。
二、设计原则1. 安全可靠：保证净化空调设备在运行过程中，确保人身安全和设备稳定运行。
2. 高效节能：提高空气净化效果，降低能耗，降低运行成本。
3. 易于维护：便于操作和维护，延长设备使用寿命。
4. 经济合理：在保证质量的前提下，降低设备成本。
5. 环保节能：采用环保材料，降低对环境的影响。
三、设计方案1. 空气净化系统（1）高效过滤器：选用高效过滤器，如HEPA过滤器，保证净化效果。
过滤器应具备以下特点：1）高效过滤：对0.3μm以上颗粒物的过滤效率应达到99.97%以上；2）低阻力：降低系统阻力，提高风量；3）抗细菌、霉菌：具有良好的抗细菌、霉菌性能；4）耐用性：延长使用寿命。
（2）风机：选用高效、低噪音、低能耗的风机，保证风量、风压和噪音要求。
（3）风机箱：选用优质风机箱，确保风机运行稳定。
（4）净化空调机组：根据净化级别和风量要求，选用合适的净化空调机组。
2. 空调系统（1）新风系统：引入新鲜空气，保证室内空气质量。
新风量应满足室内人员需求，一般按每人30m³/h计算。
（2）排风系统：排除室内污浊空气，降低室内污染物浓度。
排风量应满足室内空气交换需求，一般按新风量的1.2倍计算。
（3）冷却系统：采用高效冷却设备，如冷冻水系统、风冷系统等，保证室内温度满足使用要求。
（4）加热系统：采用高效加热设备，如电加热器、燃气加热器等，保证室内温度满足使用要求。
3. 自动控制系统（1）温湿度控制：通过温湿度传感器，自动调节空调系统运行，保证室内温湿度稳定。
（2）空气净化效果控制：通过空气净化效果传感器，实时监测净化效果，自动调节净化系统运行。
无尘车间,净化车间空调设计
中净环球
五、全自动软化水装置的选择
当工程所在地水质较硬或 是系统较大的时候，系统的循 环水和补水最好是软化水，该 空调系统必须配置水软化装置， 一般选用全自动软化水装置； 全自动软化水装置的选用 一般按照系统补水量进行选择。 补水装置可以根据实际情况来 选（装置小，系统补水时间长； 装置大，系统补水时间短）。
照明 W/m2 40 50 40 60 40
送风量 l/sm2 10 10 12 10 8
药店
零售店 精品店 酒吧 餐厅
110
110 110 130 110 房间 80 110 150 160
210
160 160 260 320 130 160 260 260
3
2.5 5 2 2 10 10 3.5 15
一、制冷主机的选择 • 1.根据建筑的空调面积和房间功能进行空调冷负荷计 算 • 2.统计建筑空调总冷负荷 • 3.大部分建筑需要考虑房间的同时使用率，一般建筑 的同时使用率为70~80%，特殊情况需根据建筑功能和 使用情况确定。 • 4.制冷机冷负荷为建筑空调总冷负荷与同时使用率的 乘积。根据计算的制冷机冷负荷既可选择制冷主机。
3、组合式空调机组的选择（略）
中净环球
七、工程概算
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1.设备费（除膨胀水箱、软化水箱、阀门管道和管件以外，全部为设 备费，设备费的准确度应比合同最终签订价高8%~10%左右）。 2.设备运杂费（运输、包装费等）一般取设备费的1%~2%（根据设备 的产地和使用地的距离来确定）。 3.设备安装费：一般取设备的5%~8%，（除散件设备，如：冷却塔的 安装费：取冷却塔设备费的10%~15%）。 4.设备运行调试费：一般取设备费的0.5%~1%。 5.管道制作、安装、保温等费用，一般为设备费的20%~40%。（根据 系统的复杂程度来确定）。 6.电气费、土建费用（应另行计算）。 7.工程设计费，取以上所有费用合计的2.5%~3%。 8.工程的其他费用（包括各种税费、工程临时设施费、冬雨季施工费、 利润等），一般取以上所有费用合计的5%~8%。 上述所有费用之和即工程总造价。 中净环球
洁净空调设计步骤
洁净空调设计步骤根据根底资料确定冷热湿负荷根据负荷计算风量，根据净化级别计算风量，取二者最大值根据人员，压力，工艺要求确定新风量根据净化级别确定各级过滤的级别根据负荷，冷热源形式确定管路开始画图。
当然这只是最基本的步骤，具体设计要麻烦的多1、先根据洁净等级和体积计算系统风量2、确定完风量后，计算室内总的显热和余湿；计算热湿比参数；3、在根据风量和显热计算送风温差！根据送风温差来确定送风状态点4、送风状态点”等湿加热“过程与相对湿度95%线相交点即为：空气处理的露点温度5、从混合点到露点温度间的焓差，根据风量------计算出系统需求冷量，该冷量就是我们空调箱的冷量。
6、从露点温度到送风状态点间焓差，根据风量计算出的就是系统的再热量。
7、下步还需要核算冬季加热量与夏季系统再热量哪个参数大？取大者作为我们空调箱的加热量参数。
8、根据新风计算冬季加湿量洁净空调设计计算的一般步骤!净化空调设计计算一般步骤:1.根据工艺要求确定洁净室的洁净度等级,并决定利用全室空气净化还是局部空气净化,根据表选型表确定空气气流型式;2.计算新风量,取以下两项中的大者,计算方法略;(1)补偿室内排风量和保持正压值所需新鲜空气量之和.(2)保证洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3/小时3.计算洁净室的冷热负荷;4.计算送风量,取以下三项中的最大值,计算方法略;(1)为保证空气洁净度等级的送风量.(2)根据热.湿负荷计算确定的送风量(3)向洁净室内供应的新鲜空气量(新风量).5.根据送风量,冷热负荷和选择的气流组织形式,计算气流组织各参数;6.确定空气加热冷却的处理方案,用一次回风还是二次回风;7.根据工业要求或气流组织计算时确定的送风温差及室内外计算参数,在i-d图上确定各状态点,计算空调器处理风量,洁净室循环风量;8.计算总冷热负荷,选择空气处理设备;9.校核洁净室内的微粒浓度和细菌浓度.。
暖通设计-洁净室净化空调设计方案
洁净室空调设计方案2016年11月2日目录一、设计依据 (1)1.1项目地点及气象参数 (1)1.2相关规范、标准 (1)1.3其它已知条件 (1)二、系统分析及参数计算 (3)2.1系统分析 (3)2.2空调箱相关参数计算 (3)2.3恒温恒湿净化空调箱设备选型表 (6)2.4主机选型 (7)一、设计依据1.1 项目地点及气象参数使用地点：上海市；○1室外条件21.2 相关规范、标准1、洁净厂房设计规范（GB50073-2013）；2、洁净室施工及验收规范（GB50591-2010）；3、采暖通风与空气调节设计规范（GB50019-2003）；4、通风与空调工程施工及验收规范（GB50243-2002）5、业主提供相关资料；1.3 其它已知条件○1该洁净区面积为6.6*8=53m2，吊顶以下高度为3m；○2业主未提供该区域工艺设备功率、照明功率及人员数量，初步冷负荷指标按200w/m2计算；○3本次方案按洁净区净化等级为100K设计；○4工艺排气量为4*150=600m3/h；○5洁净区采用+5Pa微正压。
二、系统分析及参数计算2.1 系统分析○1该洁净区由空调系统来完成恒温、恒湿及净化功能。
夏季最大冷负荷及除湿量、冬季计算最大热负荷及加湿量、净化（采用初、中效过滤器）等均是由空调系统来完成的，其中初效过滤效率35%、中效过滤效率95%。
○2洁净区空调形式采用AHU+ 初中效过滤器+排气形式（沿用原有排气设备，本次不涉及），详见洁净空调示意图。
2.2 空调箱相关参数计算○1空调箱机外余压：根据现场风管最不利环路及过滤要求来确定，经估算空调箱机外余压300Pa。
○2循环风量、冷负荷及除湿的确定：循环风量按洁净室100K等级15次/h及按冷量计算风量二种方法取大值；总冷量包括：新风降温除湿冷量及混合风处理至送风状态所需冷量（即表冷器冷量）；新风除湿由表冷器承担，露点控制在14℃。
○3热负荷、加湿量的确定：热负荷按冬季混合状态点与冬季送风状态点焓差计算；加湿量按冬季混合状态点与送风状态点含湿量差值计算。
洁净室净化空调设计方案
洁净室空调设计方案2016年11月2日目录洁 0净 0室 0空 0调 0设 0计 0方 0案 02016年11月2日 0目录 (1)一、设计依据 01.1项目地点及气象参数 01.2相关规范、标准 01.3其它已知条件 (1)二、系统分析及参数计算 (2)2.1系统分析 (2)2.2空调箱相关参数计算 (2)2.3恒温恒湿净化空调箱设备选型表 (5)2.4主机选型 (6)一、设计依据1.1 项目地点及气象参数使用地点：上海市；○1室外条件○2室内条件1.2 相关规范、标准1、洁净厂房设计规范（GB50073-2013）；2、洁净室施工及验收规范（GB50591-2010）；3、采暖通风与空气调节设计规范（GB50019-2003）；4、通风与空调工程施工及验收规范（GB50243-2002）5、业主提供相关资料；1.3 其它已知条件○1该洁净区面积为6.6*8=53m2，吊顶以下高度为3m；○2业主未提供该区域工艺设备功率、照明功率及人员数量，初步冷负荷指标按200w/m2计算；○3本次方案按洁净区净化等级为100K设计；○4工艺排气量为4*150=600m3/h；○5洁净区采用+5Pa微正压。
二、系统分析及参数计算2.1 系统分析○1该洁净区由空调系统来完成恒温、恒湿及净化功能。
夏季最大冷负荷及除湿量、冬季计算最大热负荷及加湿量、净化（采用初、中效过滤器）等均是由空调系统来完成的，其中初效过滤效率35%、中效过滤效率95%。
○2洁净区空调形式采用AHU+ 初中效过滤器+排气形式（沿用原有排气设备，本次不涉及），详见洁净空调示意图。
2.2 空调箱相关参数计算○1空调箱机外余压：根据现场风管最不利环路及过滤要求来确定，经估算空调箱机外余压300Pa。
○2循环风量、冷负荷及除湿的确定：循环风量按洁净室100K等级15次/h 及按冷量计算风量二种方法取大值；总冷量包括：新风降温除湿冷量及混合风处理至送风状态所需冷量（即表冷器冷量）；新风除湿由表冷器承担，露点控制在14℃。
电子工业洁净厂房净化空调系统设计
第２０卷第１１期２０２０年１１月R E F R I G E R A T I O N A N D A I R ＧC O N D I T I O N I N G ５９Ｇ６３收稿日期:２０２０Ｇ０５Ｇ２８,修回日期:２０２０Ｇ０７Ｇ０９作者简介:谭月普,硕士,主要从事电子工业洁净厂房设计.电子工业洁净厂房净化空调系统设计谭月普(世源科技工程有限公司上海分公司)摘㊀要㊀以某电子工业洁净厂房为例,介绍其净化空调系统设计参数㊁空调冷热源和加湿水源的选择,重点阐述净化空调系统形式㊁洁净循环风量取值及高效过滤单元㊁回风夹道㊁风机盘管机组㊁独立回风设计原则,叙述新风机组主要功能段㊁新风处理过程及净化空调系统控制等,指出同类厂房净化空调系统设计中应该注意的问题.关键词㊀电子工业洁净厂房;净化空调系统;过滤单元;空气处理过程D e s i g no f c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r e l e c t r o n i c i n d u s t r y cl e a n r o o m T a nY u e pu (S h a n g h a i B r a n c ho f S ．Y．T e c h n o l o g y ,E n g i n e e r i n g &Co n s t r u c t i o nC o ．,L t d ．)A B S T R A C T ㊀T a k i n g o n e e l e c t r o n i c i n d u s t r y c l e a n r o o ma s e x a m p l e ,t h ed e s i g n p a r a m e t e r s o f t h e c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e m ,a sw e l l a s t h e c o o l i n g s o u r c e&h e a t i n g s o u r c e a n dh u Ｇm i d i f i c a t i o nw a t e rs o u r c ea r e i n t r o d u c e d ．I t m a i n l y e l a b o r a t e st h ec l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r m ,t h e c l e a nc i r c u l a t i n g a i rv o l u m e ,a n d t h ed e s i g n p r i n c i p l e so fh i ghe f f i c i e n t f a n f i l t e r u n i t (F F U ),r e t u r na i r c h a s e ,f a nc o i l u n i t a n d t h e i n d e pe n d e n t r e t u r na i r ．T h e c o m p o s i t i o nof f r e s ha i r t r e a t m e n t u n i t a n d i t s t r e a t m e n t p r o c e s s ,a sw e l l a s t h e c o n t r o l o f c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i ng s y t e m a r ed e s c r i b e d ．F i n a l l y ,i ts u mm a r i z e ss o m e p r o b l e m sth a t s h o u l db e p ai d a t t e n t i o n t o i n t h e d e s i g n o f c l e a n a i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r t h e s a m e k i n d o f i n d u s t r y ro o m．K E Y W O R D S ㊀e l e c t r o n i ci n d u s t r y c l e a nr o o m ;c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s ys t e m ;f a nf i l t e r u n i t ;a i r h a n d l i n gpr o c e s s ㊀㊀位于陕西省西安市的某G ４．５代AMO L E D 电子洁净厂房,主要建筑物包括主厂房㊁动力站㊁特气站㊁废水站㊁化学品库㊁办公楼㊁门卫房等.其中,主厂房内根据工艺布局,分为阵列㊁蒸镀㊁模组及MA S K 清洗等生产工艺所在的核心区以及南㊁北侧辅房所在的支持区,总占地面积约３０２５１．２m ２,建筑面积约７６５０３．２m ２.核心区分为下夹层㊁生产工艺层㊁上静压箱层共计３层,下夹层层高６．３５m ,生产工艺层高度６．０m ,上静压箱层高度４．５m ,生产工艺层总面积约２２５００m ２.支持区分为２层,一层层高６．３５m ,二层层高１０．５m .暖通专业设计范围主要包括:主厂房核心区的净化空调系统及工艺废气处理系统,主厂房核心区㊁支持区㊁办公楼的防/排烟系统,支持区㊁办公楼空调/通风系统,特气站㊁化学品库的事故通风系统等.笔者仅就该工程的净化空调系统设计进行介绍和分析.１㊀设计参数室外设计参数根据G B ５００１９ ２０１５«工业建筑供暖通风与空气调节设计规范»[１]中陕西省西安市气象参数选取.另外,由于生产工艺对净化空调系统可靠性要求较高,冬㊁夏季干球温度取极端值作为设计条件.根据工艺条件及G B ５０４７２ ２００８«电子工业洁净厂房设计规范»[２]和G B ５００７３ ２０１３«洁净厂房设计规范»[３],洁净车间室内设计干球温度为２３ħʃ２ħ,相对湿度为５５％ʃ５％,洁净等级及控制粒径如表１所示.㊀ ６０㊀第２０卷㊀表１㊀洁净车间室内设计参数车间名称洁净等级及控制粒径O H S&S T O C K E R等自动化输送区２．５(１０个/英尺３,＠０．１μm)黄光区㊁E L A区４．５(１００个/英尺３,＠０．３μm)蚀刻㊁彩膜区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)模组区６．５(１００００个/英尺３,＠０．３μm) MA S K清洗区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)其余部分洁净区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)注:O H S:空中走行式穿梭车;S T O C K E R:卡匣储存搬送;E L A区:准分子激光退火区;MA S K:掩膜版.２㊀冷㊁热源配置及加湿水源冷源采用低温冷冻水和中温冷冻水[４]:低温冷冻水供/回水温度为７ħ/１４ħ,由动力站冷冻机房内的低温冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的二级表冷;中温冷冻水供/回水温度为１４ħ/２１ħ,由动力站冷冻机房内的中温冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的一级表冷以及洁净厂房内干式冷却盘管.热源采用低温热水,供/回水温度为４０ħ/３２ħ,由动力站冷冻机房内的中温热回收冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的一级加热㊁二级加热及淋水室温水加湿板换加热.洁净新风机组采用淋水室温水加湿[５],加湿水源为R O软水.净化空调系统冷㊁热量及加湿软水需求见表２.表２㊀冷㊁热量及软水用量参数用量中温冷冻水新风机组/k W３６３２风机盘管机组/k W５０７２低温冷冻水/k W１９６８低温热水/k W５５９６软水/(k g/h)３５７５低温冷冻水系统配置２台低温冷水机组(容量为６００冷吨/台);中温冷冻水系统配置１台中温冷水机组和３台中温热回收机组(容量为６００冷吨/台).中㊁低温冷冻水系统共用１台低温冷水机组(配置板式换热器)为备用.热水系统使用３台中温热回收机组的热回收水,再配置１台１５００k W 的热水锅炉作为热回收不足时的补充.３㊀净化空调系统设计３ １㊀净化空调系统形式除M A S K清洗区之外的洁净区,均选用新风机组＋过滤单元＋风机盘管机组空调形式.其中:新风机组处理室外新风,夏季进行冷却除湿,冬季进行加热加湿,补充工艺各类排气及正压渗透所需要的新风,并满足生产区人员对新风的需求,维持洁净室内正压及湿度,承担新风全部热㊁湿负荷和室内湿负荷;过滤单元用于对洁净等级所需的循环风进行高效过滤并提供循环动力;风机盘管机组负责处理室内显热负荷,控制室内温度.新风机组设置在主厂房南侧支持区二层新风空调机房内,新风管送至核心区上方静压箱,过滤单元布置在吊顶上,下夹层设置风机盘管机组,工艺层与下夹层之间为华夫板/筒和开孔地板.室内气流经华夫筒到下夹层,然后由风机盘管机组降温处理后,经过回风夹道回到上静压箱层,与新风机组处理后的新风混合,再由过滤单元送至吊顶下方的洁净区.M A S K清洗区工艺生产所用化学品原料主要有异丙醇㊁丙酮㊁乙醇等,房间定性为甲类,面积约２２０m２,吊顶高度６m,房间体积为１３２０m３.室内空气不允许循环使用,采用直流式全新风空调系统,即新风机组＋高效过滤单元＋排风机.由于排风气流含有易燃易爆成分,转轮式和板式热回收机组均不适用,溶液循环式热回收机组实际效果也不理想,故参照同类电子工业厂房项目经验,均不对具有易燃易爆危险的M A S K清洁区排风进行热回收.新风机组处理室外新风,夏季进行冷却除湿,冬季进行加热加湿,补充工艺各类排气及正压渗透所需要的新风,并满足生产区人员对新风的需求,新风量取值不小于洁净等级对应的换气次数风量.新风机组设置在主厂房南侧支持区二层新风空调机房内,排风机设置在南侧支持区屋面.新风机组处理后的新风经高效过滤单元后送至吊顶下方的洁净区,排风机通过与下夹层相连的回风夹道排风.３ ２㊀洁净循环风量及过滤单元选型取洁净车间的洁净等级对应风量和消除室内余热所需风量两者之间的大者,作为洁净循环风量的设计值.洁净工艺区设计㊁计算选型后的过滤单元(规格１．２０mˑ１．２０m)总台数约４８５０台,各洁净分区过滤单元布置率及面风速见表３.２．５级洁净区过滤器选取欧标U１６(M P P Sȡ９９．９９９９５％),４．５级和５．５级洁净区过滤器选取欧标U１５(M P P Sȡ９９．９９９５％),６．５级洁净区过滤器选取欧标H１４(M P P Sȡ９９．９９５％),机外静压需求约１５０P a.表３㊀洁净室过滤单元布置率及面风速房间名称布置率/％面风速/(m/s) O H S&S T O C K E R等自动化输送区１０００．４５黄光区㊁E L A区５００．４０蚀刻㊁彩膜区２００．４０模组区１５０．３５除MA S K清洗区以外洁净区２００．４０㊀第１１期谭月普:电子工业洁净厂房净化空调系统设计６１㊀ ㊀㊀㊀MA S K 清洗区空调系统为直流式全新风空调系统,高效过滤器选用欧标U １５(MP P S ȡ９９．９９９５％).取工艺排风＋正压渗透所需新风量㊁生产区内人员所需新风量㊁洁净等级需求对应风量㊁消除室内余热所需风量(风量计算时,送风温度须高于洁净室内对应露点温度(１３．５ħ),该项目MA S K 清洗区取１５ħ送风)四者中的大者作为新风机组的设计风量.经计算比较,MA S K 清洗区的新风机组设计风量为７２６００m ３/h ,设计房间换气次数约５５次/时.３ ３㊀回风夹道㊁风机盘管机组㊁独立回风等设计回风夹道面积根据洁净循环风量计算,应尽量均匀布置.回风夹道风速过大会导致空气循环阻力增大㊁过滤单元功耗增加,回风夹道风速过小则回风夹道占用洁净工艺区面积越大,故回风夹道截面风速一般控制在２~４m /s.风机盘管机组承担了洁净区内显热负荷,需考虑回风夹道长度㊁进出风温差㊁进出风压降㊁空间高度㊁设备造价等因素.设计进出风温差一般ɤ３ħ,盘管截面风速控制在２~３m /s 内,本项目中风机盘管机组盘管总截面面积约１４００m ２.根据工艺资料,自动化输送区㊁黄光㊁蚀刻㊁离子注入㊁清洗等车间存在交叉污染风险.应将此类洁净区下夹层㊁工艺生产层㊁上静压箱层均与其他洁净区隔断,同时相应配置独立的回风夹道,以避免或减轻交叉污染.３ ４㊀新风机组主要功能段及其处理过程本项目配置７台新风机组,单台新风机组风量８００００m ３/h ,其中MA S K 清洗区新风机组为１用１备,其他洁净区新风机组为４用１备.新风机组功能段由进风段㊁板式初效过滤段㊁中效过滤段㊁一级加热段㊁一级表冷段㊁淋水加湿段㊁二级表冷段㊁二级加热段㊁送风机段㊁均流段㊁化学过滤段(预留)㊁中效过滤段㊁高效过滤段㊁出风段及中间段组成,如图１所示.空气处理焓Ｇ湿图见图２,其中,W 为室外状态点,D 为新风送风状态点,N 为室内状态点.夏季和冬季新风机组处理状态点及处理过程分别见表４和表５.表４和表５中风机温升按式(１)计算:Δt ＝０．０００８ˑHη１η２(１)式中:H 为风机的全压(P a );η１为风机的全压效率;η２为电机效率.计算得到该项目所用新风机组风机温升约２．５ħ图１㊀新风机组功能段示意图㊀ ６２㊀第２０卷㊀表４㊀夏季新风机组处理状态点及处理过程状态点干球温度/ħ相对湿度/％过程描述功能段冷热源或加湿水源W 室外空气状态点４１．８３４A 一级表冷处理点２０．０９５WңA 降温㊁除湿一级表冷段１４ħ/２１ħ低温水B 二级表冷处理点１４．３９５AңB降温㊁除湿二级表冷段７ħ/１４ħ低温水C 风机出风状态点１６．８８１B ңC 等焓温升D 送风状态点１８．０７５C ңD 等含湿量加热二级加热段４０ħ/３２ħ热水N室内状态点２３．０５５表５㊀冬季新风机组处理空气状态点及处理过程状态点干球温度/ħ含湿量/(g /k g 干空气)过程描述功能段冷热源或加湿水源W 室外空气状态点－１２．８０．８２４A 一级加热处理点３０．００．８２４WңA 等含湿量加热一级加热段４０ħ/３２ħ热水B 淋水加湿处理点１４．３９．７５０AңB增焓加湿温水加湿段R O 水C 风机后出风状态点１６．８９．７５０B ңC 等焓温升D 送风状态点１８．０９．７５０C ңD 等含湿量加热二级加热段４０ħ/３２ħ热水N室内状态点２３．０９．７５０图３㊀洁净区净化空调系统图３ ５㊀净化空调系统控制３ ５ １㊀洁净区(除M A S K 清洗区)空调系统控制采集新风出风管内露点温度信号控制新风机组回水管上的电动两通阀,同时采集室内湿度信号整定露点温度的设定值,用以控制房间湿度[６].新风机组温㊁湿度控制主要包括以下４点:１)当室外新风露点温度t d p ȡ１３．５ħ(可调)时,关闭一级加热段的电动调节阀,开启并调节一级㊁二级表冷段的电动调节阀,使一级表冷段出风干球温度t d b ＝２０．０ħ,使二级表冷段出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定).２)当室外湿球温度t w b ＜１３．５ħ,露点温t d p＜１３．５ħ时(可调),关闭一级表冷段㊁二级表冷段电动调节阀,打开一级加热段㊁淋水室温水加湿板换电动调节阀,首先调节一级加热段电动调节阀,当开度达到９０％,相对湿度仍偏低时,再开启淋水室温水加湿板换热水管道上的电动调节阀.当室内相对湿度大于需求时,先减小淋水室温水加湿板换热水管道上电动阀的开度,直到其全部关闭,相对湿度仍然偏高时,再调小一级加热段电动调节阀的开度,使加湿后的出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定)).３)当室外湿球温度t w b ȡ１３．５ħ(可调),露点温度t d p ＜１３．５ħ时(可调),关闭一级加热段的电动调节阀,打开淋水泵及一级㊁二级表冷电动调节阀.先调节一级表冷电动调节阀,当全开仍然不能达到要求时,调节二级表冷电动调节阀,使二级表冷出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定).４t ＝１８．０ħ㊀第１１期谭月普:电子工业洁净厂房净化空调系统设计 ６３㊀ ㊀级加热段的电动调节阀,使送风温度t＝１８．０ħ(可根据运行情况,重新设定),避免结露.此功能为预留,运行时根据运行情况确定是否联动.洁净室内温度控制:以室内某一区域温度信号控制相应区域干式冷却盘管中温水管上的电动两通阀,以满足房间所需温度要求.洁净室内压力控制:以某一区域内压力信号控制相应新风支管上的电动调节阀,以新风总管的压力信号控制新风机组变频运行,以满足室内正压需求.３ ５ ２㊀MA S K清洗区净化空调系统控制MA S K清洗区净化空调系统控制与３．５．１节所述类似,但存在不同之处:１)新风机组为定频运行;２)室内设置相对湿度探测,以室内相对湿度信号连续设定新风机组出口的露点温度.３)以室内温度信号调节新风机组二次加热段的电动两通阀开度;４)净化空调为直流式全新风系统,设置３台排风机,２用１备,其中１台排风机兼作事故排风,排风机以室内正压平均值自动调节排风机的转速,确保室内正压需求.４㊀结束语电子工业洁净厂房因工艺复杂㊁厂房空间大㊁环境要求严格,其空调㊁通风系统设计较为复杂,在进行此类厂房的净化空调设计时,须关注以下４个方面:１)合理规划空调机房㊁废气处理设备布置,新风引入口应尽量远离废气排放区域,且位于厂区室外主导风向的上风向,避免废气排放与新风导入产生短路.２)与工艺密切配合,选择合理的净化空调方案㊁气流组织形式,满足生产工艺对室内温度㊁湿度㊁洁净度的需求.３)一次冷却盘管与二次冷却盘管承担的冷负荷比例,应综合考虑盘管的风阻㊁水阻及中低温冷水机组配比等因素.４)AMO L E D厂房工艺及各专业配套系统复杂,在管线平面㊁管井位置㊁侧墙开洞㊁外墙百叶㊁空间利用等方面,设计过程中各专业应及时沟通协调.参考文献[１]㊀工业建筑供暖通风与空气调节设计规范:G B５００１９ ２０１５[S]．[２]㊀电子工业洁净厂房设计规范:G B５０４７２ ２００８[S]．[３]㊀洁净厂房设计规范:G B５００７３ ２０１３[S]．[４]㊀焦俊明,龙孝东．中温水在净化空调系统中的应用及产生方法[J]．制冷与空调,２０１０,１０(２):９８Ｇ１０１．[５]㊀郑文亨,黄翔．喷水室净化处理空调新风[J]．制冷与空调,２００４,４(１):３３Ｇ３６．[６]㊀翟传明,章忠飞,王娟娟,等．电子工业洁净厂房洁净区试运行阶段检测要点分析与探讨[J]．制冷与空调,２０２０,２０(１):１７Ｇ２１．。
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洁
净
室
空
调
设
计
方
案
2016年11月2日
目录
一、设计依据 0
1.1 项目地点及气象参数 0
1.2 相关规范、标准 0
1.3 其它已知条件 0
二、系统分析及参数计算 (2)
2.1 系统分析 (2)
2.2 空调箱相关参数计算 (2)
2.3 恒温恒湿净化空调箱设备选型表 (5)
2.4 主机选型 (6)
一、设计依据
1.1项目地点及气象参数
囤室内条件
1、洁净厂房设计规范（GB50073-2013 ;
2、洁净室施工及验收规范（GB50591-2010 ;
3、采暖通风与空气调节设计规范（GB50019-2003 ;
4、通风与空调工程施工及验收规范（GB50243-2002
5、业主提供相关资料；
1.3其它已知条件
①该洁净区面积为6.6*8=53m2,吊顶以下高度为3m
②业主未提供该区域工艺设备功率、照明功率及人员数量，初步冷负荷指标按200w/m2 计算；
②本次方案按洁净区净化等级为100K设计；
②4 工艺排气量为4*150=600m3/h；
②5 洁净区采用+5Pa 微正压。
、系统分析及参数计算
2.1系统分析
①该洁净区由空调系统来完成恒温、恒湿及净化功能。
夏季最大冷负荷及除湿量、
冬季计算最大热负荷及加湿量、 净化（采用初、中效过滤器）等均是由空调系统 来完成的，其中初效过滤效率 35%中效过滤效率95%
②洁净区空调形式采用AHU+初中效过滤器+排气形式（沿用原有排气设备，本次 不
涉及），详见洁净空调示意图。
2.2空调箱相关参数计算
②空调箱机外余压：根据现场风管最不利环路及过滤要求来确定，经估算空调箱
机外余压300P&
②循环风量、冷负荷及除湿的确定：循环风量按洁净室100K 等级15次/h 及按冷 量
计算风量二种方法取大值；总冷量包括：新风降温除湿冷量及混合风处理至 送风状态所需冷量（即表冷器冷量）；新风除湿由表冷器承担，露点控制在14C 。
53 M? 3 M —
23±1 'C 18血
istAi
24LKJ M3/H
M3/H
环
1100 MJ/H
申
A
it I I
③热负荷、加湿量的确定：热负荷按冬季混合状态点与冬季送风状态点焓差计算; 加
湿量按冬季混合状态点与送风状态点含湿量差值计算。
4下表图为参数计算表、流程图、冬夏季状态点参数表及冬夏季
id 图
夏季参数计算表
名称
面积
高度
体积 送风量
新风量
回风量 实际冷 负荷 实际冷 指标 m2 m m3
15次换 气次数
计算
5Pa 正
压（考 虑泄
漏）
补充排
气 新风量 CMH CMH CMH CMH
KW W/m2
检验室 5-3洁 净区
53 3 159 2385 477 600 1077
1308 24.24
457
2400
1100 1300
冬季参数计算表
名称
面积
高度
体积 送风量
新风量
回风量 热负荷 （校核 值） 实际热 指标 m2 m m3
15次换 气次数
计算
5Pa 正 压（考 虑泄
漏）
补充排
气 新风量 CMH CMH CMH CMH CMH KW W/m2 检验室 5-3洁 净区
53 3 159 2385
477 600 1077
1308 17.04
322
2400
1100
1300
—
30'iPn
凤机段
©杀卫曲
閃 Return 1300C 酬怙
F FCS /I A
n -
1
f
B
■
Air
初裁展出担电慢加龍
室内
夏麴空气齡
2.3恒温恒湿净化空调箱设备选型表
空调箱选型表
001
2.4主机选型
负荷计算表
夏季冷负荷冬季热负荷混合点焓值KJ/kg 71.5 混合点焓值KJ/kg 28.9 送风点焓值KJ/kg 41.2 送风点焓值KJ/kg 50.2 焓差KJ/kg 30.3 焓差KJ/kg 21.3 计算冷负荷KW 24 计算热负荷KW 17
根据计算得负荷，主机选用小型涡旋风冷热泵机组。
型号：30RQ02609100THC
制冷量27KW制热量29.6KW
制冷输入功率8.7KW 制热输入功率9.3KW
内置水力模块,系统最大高差20m接管DN32重量：330Kg(
外形图如下：
30RB/RQ026'033
_____________________________________________________________ }
21b I0&。